JPH0541424Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0541424Y2 JPH0541424Y2 JP1987010873U JP1087387U JPH0541424Y2 JP H0541424 Y2 JPH0541424 Y2 JP H0541424Y2 JP 1987010873 U JP1987010873 U JP 1987010873U JP 1087387 U JP1087387 U JP 1087387U JP H0541424 Y2 JPH0541424 Y2 JP H0541424Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat conductive
- ray detector
- conductive rod
- heat
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案はエネルギー分散型Ｘ線検出装置の改良
に関する。
に関する。
［従来技術］
例えば、電子顕微鏡には試料の微小領域を元素
分析する装置としてエネルギー分散型Ｘ線検出装
置が使用されている。このような装置は、液体窒
素が収納された冷媒槽に熱伝導棒を接続し、この
熱伝導棒に半導体Ｘ線検出器（以下Ｘ線検出器と
略する）を密着させることによりＸ線検出器を冷
却している。又、この冷媒槽，熱伝導棒及びＸ線
検出器は保護容器内に真空封入されており、該冷
媒槽の外周には高真空を保つため活性炭等の吸着
材が配置され、更に冷媒槽と保護容器との間に間
隙を設けて、保護容器より熱が冷却槽に伝わらな
いように該間隙を10-5Torr程度の真空度に保つ
ている。
分析する装置としてエネルギー分散型Ｘ線検出装
置が使用されている。このような装置は、液体窒
素が収納された冷媒槽に熱伝導棒を接続し、この
熱伝導棒に半導体Ｘ線検出器（以下Ｘ線検出器と
略する）を密着させることによりＸ線検出器を冷
却している。又、この冷媒槽，熱伝導棒及びＸ線
検出器は保護容器内に真空封入されており、該冷
媒槽の外周には高真空を保つため活性炭等の吸着
材が配置され、更に冷媒槽と保護容器との間に間
隙を設けて、保護容器より熱が冷却槽に伝わらな
いように該間隙を10-5Torr程度の真空度に保つ
ている。
このように構成された装置では、該装置を長時
間使用すると、吸着材のガス吸着能力が低下する
ため、冷媒槽と保護容器との間の間隙にガスが滞
留し真空度が低下してしまう。そのため、前記保
護容器内に収納されたＸ線検出器の表面に霜や汚
れが付着してしまいＸ線検出器を使用することが
できなくなる。このようになつたエネルギー分散
型Ｘ線検出装置は、排気設備のある工場等に送ら
れ、該保護容器内を排気してＸ線検出器を再生し
てから使用するようにしている。
間使用すると、吸着材のガス吸着能力が低下する
ため、冷媒槽と保護容器との間の間隙にガスが滞
留し真空度が低下してしまう。そのため、前記保
護容器内に収納されたＸ線検出器の表面に霜や汚
れが付着してしまいＸ線検出器を使用することが
できなくなる。このようになつたエネルギー分散
型Ｘ線検出装置は、排気設備のある工場等に送ら
れ、該保護容器内を排気してＸ線検出器を再生し
てから使用するようにしている。
［考案が解決しようとする問題点］
ところで、上述した装置再生作業においては、
保護容器内を排気しただけでは、吸着材に吸着し
たガスを充分に取り除くことができないため、冷
媒槽内に温風等を吹き込み吸着材に吸着したガス
を強制的に追い出すようにするのが有効的であ
る。しかしながら、冷媒槽内に温風等を吹き込む
と、該冷媒槽からの熱が熱伝導棒を介してＸ線検
出器に伝わりＸ線検出器の特性を劣化させると共
に寿命を短くするため、従来装置においては、冷
媒槽内に温風等を吹き込んで加熱するような脱ガ
ス処理を充分に行なうことができなかつた。
保護容器内を排気しただけでは、吸着材に吸着し
たガスを充分に取り除くことができないため、冷
媒槽内に温風等を吹き込み吸着材に吸着したガス
を強制的に追い出すようにするのが有効的であ
る。しかしながら、冷媒槽内に温風等を吹き込む
と、該冷媒槽からの熱が熱伝導棒を介してＸ線検
出器に伝わりＸ線検出器の特性を劣化させると共
に寿命を短くするため、従来装置においては、冷
媒槽内に温風等を吹き込んで加熱するような脱ガ
ス処理を充分に行なうことができなかつた。
本考案は以上の点に鑑みなされたもので、Ｘ線
検出器の特性を劣化させたり、寿命を短縮させる
ことなく充分な脱ガス処理を行なうことのできる
エネルギー分散型Ｘ線検出装置を提供することを
目的としている。
検出器の特性を劣化させたり、寿命を短縮させる
ことなく充分な脱ガス処理を行なうことのできる
エネルギー分散型Ｘ線検出装置を提供することを
目的としている。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するための本考案は、半導体Ｘ
線検出器と、該半導体Ｘ線検出器を冷却するため
の冷媒を収容する冷媒槽と、一端が前記冷媒槽に
接続され他端に凹部が形成された第１の熱伝導棒
と、一端が前記半導体Ｘ線検出器に接続され他端
に前記凹部に挿入される凸部が形成された第２の
熱伝導棒と、前記冷媒槽，前記第１，第２の熱伝
導棒および前記半導体Ｘ線検出器を収納し少なく
とも前記半導体Ｘ線検出器の使用中は内部が真空
に保持される保護容器と、前記第１の熱伝導棒の
加熱状態で前記凹部と前記凸部との熱接触を抑制
するため前記両部の接触面の一部に配置された弾
性熱絶縁部材とを備え、前記第１の熱伝導棒が冷
却された場合には前記凹部が前記弾性熱絶縁部材
を押しつぶして収縮して前記第１の熱伝導棒と前
記第２の熱伝導棒間の隙間をなくし、前記第１の
熱伝導棒が加熱された場合には前記凹部が熱膨脹
して前記隙間が復元されるように前記第１の熱伝
導棒の材質が選定されることを特徴としている。
線検出器と、該半導体Ｘ線検出器を冷却するため
の冷媒を収容する冷媒槽と、一端が前記冷媒槽に
接続され他端に凹部が形成された第１の熱伝導棒
と、一端が前記半導体Ｘ線検出器に接続され他端
に前記凹部に挿入される凸部が形成された第２の
熱伝導棒と、前記冷媒槽，前記第１，第２の熱伝
導棒および前記半導体Ｘ線検出器を収納し少なく
とも前記半導体Ｘ線検出器の使用中は内部が真空
に保持される保護容器と、前記第１の熱伝導棒の
加熱状態で前記凹部と前記凸部との熱接触を抑制
するため前記両部の接触面の一部に配置された弾
性熱絶縁部材とを備え、前記第１の熱伝導棒が冷
却された場合には前記凹部が前記弾性熱絶縁部材
を押しつぶして収縮して前記第１の熱伝導棒と前
記第２の熱伝導棒間の隙間をなくし、前記第１の
熱伝導棒が加熱された場合には前記凹部が熱膨脹
して前記隙間が復元されるように前記第１の熱伝
導棒の材質が選定されることを特徴としている。
［実施例］
以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。
第１図は本考案の一実施例の構成図で、第２図
ａ，ｂはその要部を説明するための縦断面図及び
横断面図である。図中１は液体窒素２が収容され
た冷媒槽である。３，４は円柱状に形成され接触
部イによつて接続されたそれぞれ第１，第２の熱
伝達棒である。該第１の熱伝導棒３の一方の端部
は冷媒槽１に熱的に接続され、該第１の熱伝導棒
３の他端部には凹部３ａが形成されている。又、
第２の熱伝導棒４の一方の端部にはＸ線検出器５
が装着されており、他端部には前記凹部３ａに挿
入される円柱状の凸部４ａが形成されている。６
は保護容器であり、該保護容器６は冷媒槽１，前
記熱伝導棒３，４，Ｘ線検出器５を真空封入する
ためのものである。又、該保護容器６は図示しな
い電子顕微鏡等の試料近傍に前記Ｘ線検出器５を
配置するため、その一端は管状をしている。該冷
媒槽６の外周には、真空低下を防止するための活
性炭等の吸着材７が配置され、又、冷媒槽１と保
護容器６の間の間隙Ａは冷媒槽１の温度が保護容
器６に伝わらないように例えば10-5Torr程度に
真空排気されている。８は保護容器６の一端に支
持され、Ｘ線が入射する例えばベリウム薄膜が張
られたＸ線入射窓で、該Ｘ線入射窓７は保護容器
６を真空シールする機能も有する。９はＸ線検出
器５よりの信号を外部に取出すための出力端子、
１０は冷媒槽１と保護容器６の間の間隙Ａを真空
排気するための開閉可能な排気口、１１は冷媒槽
１内の液体窒素２を出し入れするための栓であ
る。
ａ，ｂはその要部を説明するための縦断面図及び
横断面図である。図中１は液体窒素２が収容され
た冷媒槽である。３，４は円柱状に形成され接触
部イによつて接続されたそれぞれ第１，第２の熱
伝達棒である。該第１の熱伝導棒３の一方の端部
は冷媒槽１に熱的に接続され、該第１の熱伝導棒
３の他端部には凹部３ａが形成されている。又、
第２の熱伝導棒４の一方の端部にはＸ線検出器５
が装着されており、他端部には前記凹部３ａに挿
入される円柱状の凸部４ａが形成されている。６
は保護容器であり、該保護容器６は冷媒槽１，前
記熱伝導棒３，４，Ｘ線検出器５を真空封入する
ためのものである。又、該保護容器６は図示しな
い電子顕微鏡等の試料近傍に前記Ｘ線検出器５を
配置するため、その一端は管状をしている。該冷
媒槽６の外周には、真空低下を防止するための活
性炭等の吸着材７が配置され、又、冷媒槽１と保
護容器６の間の間隙Ａは冷媒槽１の温度が保護容
器６に伝わらないように例えば10-5Torr程度に
真空排気されている。８は保護容器６の一端に支
持され、Ｘ線が入射する例えばベリウム薄膜が張
られたＸ線入射窓で、該Ｘ線入射窓７は保護容器
６を真空シールする機能も有する。９はＸ線検出
器５よりの信号を外部に取出すための出力端子、
１０は冷媒槽１と保護容器６の間の間隙Ａを真空
排気するための開閉可能な排気口、１１は冷媒槽
１内の液体窒素２を出し入れするための栓であ
る。
このように構成された装置では、前記冷媒槽１
内に液体窒素２が収容されている場合には、該冷
媒槽１に接続された第１の熱伝導棒３は液体窒素
温度程度まで冷却される。該第１の熱伝導棒３が
冷却されると、該第１の熱伝導棒３に形成された
凹部３ａが熱収縮し、該凹部３ａに微小間隙をも
つて挿入された前記凸部４ａが締め付けられる。
そのため、第２の熱伝導棒４から第１の熱伝導棒
３への熱伝達が充分良く行なわれ、該第２の熱伝
導棒４に密着したＸ線検出器が冷却されるため通
常のエネルギー分散型Ｘ線検出装置として使用す
ることができる。
内に液体窒素２が収容されている場合には、該冷
媒槽１に接続された第１の熱伝導棒３は液体窒素
温度程度まで冷却される。該第１の熱伝導棒３が
冷却されると、該第１の熱伝導棒３に形成された
凹部３ａが熱収縮し、該凹部３ａに微小間隙をも
つて挿入された前記凸部４ａが締め付けられる。
そのため、第２の熱伝導棒４から第１の熱伝導棒
３への熱伝達が充分良く行なわれ、該第２の熱伝
導棒４に密着したＸ線検出器が冷却されるため通
常のエネルギー分散型Ｘ線検出装置として使用す
ることができる。
一方、このように構成された装置では、装置再
生作業において、保護容器６内を排気すると共
に、吸着材７に吸着したガスを充分に取り除くた
め冷媒槽１内に温風等を吹き込み吸着材７に吸着
したガスを強制的に追い出す場合、冷媒槽１が温
度上昇して、ここからの熱が第１の熱伝導棒３に
伝わると、該第１の熱伝導棒３が熱膨脹して、該
凹部３ａと凸部４ａとの締め付けが緩み、凹部３
ａと凸部４ａとの挿入部に間隙を生ずる。従つ
て、第１の熱伝導棒３から第２の熱伝導棒４への
熱伝達効率が極端に低下し、第２の熱伝導棒４に
密着したＸ線検出器５が温度上昇することがない
ため、冷媒槽を比較的高い温度に加熱して脱ガス
処理を行なうことができる。
生作業において、保護容器６内を排気すると共
に、吸着材７に吸着したガスを充分に取り除くた
め冷媒槽１内に温風等を吹き込み吸着材７に吸着
したガスを強制的に追い出す場合、冷媒槽１が温
度上昇して、ここからの熱が第１の熱伝導棒３に
伝わると、該第１の熱伝導棒３が熱膨脹して、該
凹部３ａと凸部４ａとの締め付けが緩み、凹部３
ａと凸部４ａとの挿入部に間隙を生ずる。従つ
て、第１の熱伝導棒３から第２の熱伝導棒４への
熱伝達効率が極端に低下し、第２の熱伝導棒４に
密着したＸ線検出器５が温度上昇することがない
ため、冷媒槽を比較的高い温度に加熱して脱ガス
処理を行なうことができる。
尚、上記実施例においては、第１の熱伝導棒３
の凹部３ａを孔を穿つことにより形成し、又、こ
の孔に挿入される第２の熱伝導棒４の凸部４ａを
円柱状に形成するようにしたが、このような形状
に限定されるものではなく、例えば第３図ａ，ｂ
に示すように第１の熱伝導棒３の凹部３ａを溝状
に形成し、第２の熱伝導棒４の凸部４ａをそれに
合わせるようにしてもよい。要は、熱収縮によつ
て凹部と凸部の間で締め付けが行なわれ、熱膨脹
によつて凹部と凸部の間で間隙が形成される形状
であれば良い。
の凹部３ａを孔を穿つことにより形成し、又、こ
の孔に挿入される第２の熱伝導棒４の凸部４ａを
円柱状に形成するようにしたが、このような形状
に限定されるものではなく、例えば第３図ａ，ｂ
に示すように第１の熱伝導棒３の凹部３ａを溝状
に形成し、第２の熱伝導棒４の凸部４ａをそれに
合わせるようにしてもよい。要は、熱収縮によつ
て凹部と凸部の間で締め付けが行なわれ、熱膨脹
によつて凹部と凸部の間で間隙が形成される形状
であれば良い。
又、第４図に示すように前記凹部と凸部の間
に、シリコンゴム等の樹脂で形成され柔軟性があ
る熱絶縁部材１２を溝口に取り付け、第１の熱伝
導棒３が冷却された場合にはこの部材１２が潰さ
れ、加熱された場合には前記熱絶縁部材１２が復
元して間隙が均等に形成されるようにしても良
い。
に、シリコンゴム等の樹脂で形成され柔軟性があ
る熱絶縁部材１２を溝口に取り付け、第１の熱伝
導棒３が冷却された場合にはこの部材１２が潰さ
れ、加熱された場合には前記熱絶縁部材１２が復
元して間隙が均等に形成されるようにしても良
い。
更に、第１，第２の熱伝導棒間には温度勾配が
あるため、第１の熱伝導棒３と第２の熱伝導棒４
を同一材料、即ち、熱膨脹係数が同じものを使用
するようにしたが、第１の熱伝導棒３の熱膨脹係
数を第２の熱伝導棒４の熱膨脹係数より大きいも
のを使用すればより効果的である。
あるため、第１の熱伝導棒３と第２の熱伝導棒４
を同一材料、即ち、熱膨脹係数が同じものを使用
するようにしたが、第１の熱伝導棒３の熱膨脹係
数を第２の熱伝導棒４の熱膨脹係数より大きいも
のを使用すればより効果的である。
［考案の効果］
本考案によれば、第１の熱伝導棒の加熱状態で
第１の熱伝導棒の凹部と第２の熱伝導棒の凸部と
の熱接触を抑制するため前記両部の接触面の一部
に配置された弾性熱絶縁部材を備え、第１の熱伝
導棒が冷却された場合には前記凹部が前記弾性熱
絶縁部材を押しつぶして収縮して前記第１の熱伝
導棒と前記第２の熱伝導棒間の隙間をなくし、前
記第１の熱伝導棒が加熱された場合には前記凹部
が熱膨脹して前記隙間が復元されるように前記第
１の熱伝導棒の材質が選定されているので、冷媒
槽を脱ガス処理している間、第２の熱伝導棒は弾
性熱絶縁部材に安定に支持され、第２の熱伝導棒
が第１の熱伝導棒に接触することはなく、第１の
熱伝導棒から第２の熱伝導棒への熱伝達は確実に
阻止できる。このため、第１の熱伝導棒に密着し
た半導体Ｘ線検出器が温度上昇することはなく、
半導体Ｘ線検出器の特性を劣化させたり、寿命を
短縮させることはない。
第１の熱伝導棒の凹部と第２の熱伝導棒の凸部と
の熱接触を抑制するため前記両部の接触面の一部
に配置された弾性熱絶縁部材を備え、第１の熱伝
導棒が冷却された場合には前記凹部が前記弾性熱
絶縁部材を押しつぶして収縮して前記第１の熱伝
導棒と前記第２の熱伝導棒間の隙間をなくし、前
記第１の熱伝導棒が加熱された場合には前記凹部
が熱膨脹して前記隙間が復元されるように前記第
１の熱伝導棒の材質が選定されているので、冷媒
槽を脱ガス処理している間、第２の熱伝導棒は弾
性熱絶縁部材に安定に支持され、第２の熱伝導棒
が第１の熱伝導棒に接触することはなく、第１の
熱伝導棒から第２の熱伝導棒への熱伝達は確実に
阻止できる。このため、第１の熱伝導棒に密着し
た半導体Ｘ線検出器が温度上昇することはなく、
半導体Ｘ線検出器の特性を劣化させたり、寿命を
短縮させることはない。
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図
ａ，ｂは要部を説明するための縦断面図及び横断
面図断面図、第３図ａ，ｂ乃至第４図は本考案の
他の実施例を説明するための図である。 １……冷媒槽、２……液体窒素、３……第１の
熱伝導棒、４……第２の熱伝導棒、５……Ｘ線検
出器、６……保護容器、７……吸着材、８……Ｘ
線入射窓、９……出力端子、１０……排出口、１
１……栓、１２……熱絶縁部材。
ａ，ｂは要部を説明するための縦断面図及び横断
面図断面図、第３図ａ，ｂ乃至第４図は本考案の
他の実施例を説明するための図である。 １……冷媒槽、２……液体窒素、３……第１の
熱伝導棒、４……第２の熱伝導棒、５……Ｘ線検
出器、６……保護容器、７……吸着材、８……Ｘ
線入射窓、９……出力端子、１０……排出口、１
１……栓、１２……熱絶縁部材。
Claims (1)
- 半導体Ｘ線検出器と、該半導体Ｘ線検出器を冷
却するための冷媒を収容する冷媒槽と、一端が前
記冷媒槽に接続され他端に凹部が形成された第１
の熱伝導棒と、一端が前記半導体Ｘ線検出器に接
続され他端に前記凹部に挿入される凸部が形成さ
れた第２の熱伝導棒と、前記冷媒槽，前記第１，
第２の熱伝導棒および前記半導体Ｘ線検出器を収
納し少なくとも前記半導体Ｘ線検出器の使用中は
内部が真空に保持される保護容器と、前記第１の
熱伝導棒の加熱状態で前記凹部と前記凸部との熱
接触を抑制するため前記両部の接触面の一部に配
置された弾性熱絶縁部材とを備え、前記第１の熱
伝導棒が冷却された場合には前記凹部が前記弾性
熱絶縁部材を押しつぶして収縮して前記第１の熱
伝導棒と前記第２の熱伝導棒間の隙間をなくし、
前記第１の熱伝導棒が加熱された場合には前記凹
部が熱膨脹して前記隙間が復元されるように前記
第１の熱伝導棒の材質が選定されることを特徴と
するエネルギー分散型Ｘ線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987010873U JPH0541424Y2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987010873U JPH0541424Y2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63120184U JPS63120184U (ja) | 1988-08-03 |
| JPH0541424Y2 true JPH0541424Y2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=30797576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987010873U Expired - Lifetime JPH0541424Y2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541424Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59143371A (ja) * | 1983-02-04 | 1984-08-16 | Nippon Atom Ind Group Co Ltd | ゲルマニウム検出器 |
-
1987
- 1987-01-28 JP JP1987010873U patent/JPH0541424Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63120184U (ja) | 1988-08-03 |
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