JPH064286Y2 - 赤外線検出器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本考案はデューア形態の外囲器を
具えている赤外線検出器、特にデューア外囲器の真空空
所からガス分子をゲッタリングするためのゲッターの構
造に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】赤外線検出器は通常内壁および外壁を有
するデューア外囲器を具えており、内壁と外壁との間に
は真空空所があり；内壁はデューア外囲器の内側チャン
バを画成し；少なくとも１個の赤外線検出素子が真空空
所内で、しかも前記内壁の端面に取付けられており；前
記内側チャンバ内に設けた冷却素子によって検出器の作
動中前記内壁およびその内壁に取付けた検出素子を冷却
するようにしている。冷却内壁は検出器の“低温フィン
ガー”と称されることもある。 【０００３】検出器が故障する主な原因は、内壁と外壁
との間の空所における真空に曝される検出器の種々の構
成部分からその真空中に発生するガスにより真空度が漸
次退化することにあることは既知である。この真空度の
退化によって結局は冷却素子が検出素子を赤外線の有効
検出に望ましい温度にまで最早十分速く有効的に冷却す
ることができなくなる。従って検出器の寿命が短くな
る。このような真空中でのガス発生の影響を低減させる
ために真空空所内に少なくとも１個のゲッターを入れ
て、この空所内に発生するガス分子をゲッタリングする
ことは既知である。 【０００４】デューア外囲器の真空度を維持するゲッタ
ーを内蔵している赤外線検出器は例えば米国特許 (US−
A)第3,786,269 号に開示されている。この検出器におけ
る検出素子アレイはスターリングサイクル式の冷却器に
よって約50°Ｋにまで冷却される。この特殊検出器で
は、一連の化学的に活性のゲッターを外壁の外周に取付
けると共にこれらのゲッターを外壁と低温フィンガーと
の間の真空空所内に突出させている。しかし、十分多量
のガスをゲッタリングするためには斯様な化学的に活性
のゲッターの表面積を大きくする必要があり、非常にか
さばることになる。このことは内壁と外壁との間の空所
および／または外壁の形状に寸法上の問題を提起するこ
とになる。さらに、斯様な化学的に活性のゲッターはデ
ューア外囲器を排気し、封止した後に例えば900 〜1000
℃のような極めて高い温度にすることによって活性化さ
せている。このためにゲッターを外部電気接続線と一緒
に外壁の内部に取付けているが、この場合には斯かるゲ
ッターと検出素子との間の間隔を大きくしないと、検出
素子が上述したような極めて高い温度によって破壊され
てしまう。このようなことからしてこの場合にはデュー
ア外囲器の寸法を大きくする必要があり、慣例の構造の
デューア外囲器は使用できない。 【０００５】 【考案が解決しようとする課題】本考案の目的は上述し
た諸欠点を除去し得るように適切に構成配置した上述し
た種類の赤外線検出器を提供することにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本考案は内壁と外壁との
間に真空空所を有するデューア形態の外囲器を具え、少
なくとも１個の赤外線検出素子を前記真空空所内で、し
かも前記内壁の上に取付けて、検出器の作動中に前記検
出素子を冷却するように前記内壁を冷却素子によって冷
却し、且つ前記真空空所内に該真空空所からガス分子を
ゲッタリングするための少なくとも１個のゲッターを設
けた赤外線検出器において、前記ゲッターを分子−収着
性の多孔質の物質によりほぼ環状のものとなるようにモ
ノリシックに形成し、この環状ゲッターを前記デューア
の内壁か、この内壁に取付けた部材の外側の環状冷却面
のまわりに嵌合するように形成し、前記環状ゲッターが
前記分子−収着性多孔質物質の堆積層か、又は前記物質
から成る少なくとも１個の造形体を構成し、この環状造
形ゲッターの内側面は前記環状冷却面個所に嵌合すると
共にこの冷却面個所に熱交換関係をもって接着されるよ
うに形成して、検出器の作動中に前記環状造形ゲッター
が前記冷却素子により冷却されるようにしたことを特徴
とする。 【０００７】ゲッターとして分子−収着性の多孔質体を
用いることは既知であり、これについては例えば1974年
にJohn Wiley and Sons 社にて発行されたD. W. Breck
著による"Zeolite and Molecular Sieves"なる本に斯様
な多孔質分子収着剤について概説されている。スクリー
ンの後方または保持器（かご）内に保持されるルースビ
ーズまたはルースペレット状のモレキュラーシーブゲッ
ターを使用することも既知であり、これらの２通りの使
用法については例えば、液化ガス蓄積容器に関する英国
特許 (GB−A)第921,273 号および回路遮断器に関する英
国特許 (GB−A)第1,192,897 号を参照することができ
る。しかし本考案は赤外線検出器に関するもので、しか
も赤外線検出器のデューア外囲器の内壁に関連する冷却
面のまわりに配置され、かつ主面が冷却面に嵌合すると
共にその冷却面に熱交換関係をもって接着されるように
形成される分子−収着性の多孔質材料から成る１個以上
の造形ゲッター本体を提供することも包含している。本
考案による斯種のゲッターは、赤外線検出器の機械的お
よび光学的特性を損なうことなく、検出素子付近のデュ
ーア外囲器内に満足に収納させることができ、またデュ
ーア外囲器を成す内壁と外壁との間の間隔を大きくしな
くてもゲッターの収着能力を高めることができ、さらに
は上記ゲッターを冷却素子によって有効に冷却して収着
効率を高めると共に内壁を例えば50°Ｋ程度の適当な極
低温にまで冷却する場合でもその冷却時間を早めること
ができる。この最後の特徴は重要なことである。その理
由は、一般に分子−収着性の多孔質ゲッターの収着効率
は極低温に冷却する場合に高まるのに対し、化学的活性
ゲッターの収着効率は例えば周囲温度が300 °Ｋおよび
それ以上の高い温度とする場合に増大するからである。
さらに既知の如く、分子−収着性ゲッターはそれを真空
空所に取付けた後に極めて高温度に加熱して活性化させ
る必要がないため、ゲッターを検出素子の近くに取付け
て、その分子−収着性の多孔質ゲッター本体を最大限に
冷却することができる。 【０００８】分子−収着性の多孔質造形ゲッター本体を
最大限に有効に冷却するのは、ゲッター本体をデューア
外囲器の内壁における冷却素子によって直接冷却される
個所付近の内壁のまわりに取付けることによって達成す
ることができる。分子−収着性多孔質物質から成る少な
くとも１つの造形ゲッター本体は内壁の外側面および／
またはその内壁に関連する他の冷却面に接着することが
できる。検出素子のまわりの内壁の端部には環状の放射
線遮蔽体を取付けて、少なくとも１個の前記造形ゲッタ
ー本体を固定させる冷却面を、放射線遮蔽体の外側面と
することができる。 【０００９】環状構造をしている冷却面のまわりに分子
−収着多孔質材料製の造形ゲッター本体を取付けるよう
にすれば、真空空所、特にデューア外囲器の低温フィン
ガーの周囲におけるガス−収着容積を有効的に大きくし
得ると云う利点がある。この場合、ゲッター本体そのも
のも環状にして、組立て処理工程を簡単にすると共に、
最小空間に分子−収着性物質を最大量入れるようにする
のが好適である。しかし、斯様な環状冷却面のまわりに
各々部分的に延在させる１個以上のゲッター本体を組合
わせて、本考案による検出器における環状ゲッターのよ
うにすることもできることは明らかである。なお、本明
細書にて用いている「環状」なる表現は円形構造のもの
に限定されるものではないが、一般的にはデューア外囲
の少なくとも内壁は円形のものを用いるのが好適であ
る。 【００１０】 【実施例】 以下図面につき本考案を説明する。なお各図は実寸図示
したものでなく、説明の便宜上部分的に拡大または縮小
して図示してある。また、本考案にとって必要でない検
出器の幾つかの部分は図示してなく、これらは既知の方
法で検出器に取付けることができる。 【００１１】図１に示す本考案による赤外線検出器は、
内壁１と外壁２とを有するデューア(dewar) 外囲器１，
２を具えている。内壁１はデューア外囲器の内側チャン
バ11を画成し、内壁１と外壁２との間には真空空所12が
存在する。この真空空所12内で、しかも内壁１の端面上
には少なくとも１個の赤外線検出素子３を装着する。こ
の検出素子は既知のタイプのものとすることができ、ま
たこれは上記端面上の例えばサファイア製の基板５に既
知の方法で取付けることができる。 【００１２】デューア外囲器１，２は既知のタイプのも
のとすることができる。内壁１は例えば厚さが0.5mm の
ガラス製とすることができ、また外壁２は例えば金属製
とすることができる。図面には図示してないが、内側の
ガラス壁１にはその外側面上またはその外側面に埋設さ
れる電気的な導線を既知の方法にて設ける。これらの導
線は内壁１の端面に隣接する検出素子３の電極に電気的
に接続して、内壁１のたけに沿って延在させてからデュ
ーア外囲器の外部に通して、その個所にて導線を検出器
用の外部接続線に既知の方法にて電気的に接続する。デ
ューア外囲器の外壁２は端部分６，７を具えており、こ
の端部分は検出素子３の取付けおよびその素子への結線
が済むまではデューア外囲器１，２の残部に封止ないよ
うにする。外壁２の端面７は赤外線を透過する窓を構成
する。検出素子３のまわりには慣例の如く環状の放射線
遮蔽体８も設ける。端部分６，７を外壁２の残りの部分
に封止した後に内壁１と外壁２との間の空所を既知の方
法で排気する。 【００１３】デューア外囲器の内壁１は内側チャンバ11
を画成し、このチャンバ内には細長形の冷却素子20をそ
のチャンバ内壁に沿って内壁１の端面に向けて延在させ
るように挿入して、この冷却素子20により検出器の作動
中検出素子３を既知の方法にて冷却せしめる。図１に示
す例では放射線遮蔽体８も冷却素子20によって冷却され
るように内壁１に取付ける。 【００１４】冷却素子20は、例えばジュール−トムソン
効果の冷却能力を利用すべく設計される既知の低温槽タ
イプのものとすることができる。この場合には流体を圧
力下にて弁または他の孔を経て低圧個所へと流出させ
る。流体が膨張する際にこの流体は低圧個所にて熱を吸
収するため、冷却作用が生ずる。端面に隣接するデュー
ア外囲器１，２の内側チャンバ11は低圧領域を成す。冷
却流体は例えば乾燥空気、窒素またはアルゴンのような
ものとすることができ、これをマウント（台板）21の入
口22から冷却素子20に供給する。斯かるマウント21は例
えば既に公告されている欧州特許願第0006277 号に記載
されているような方法で構成することができる。 【００１５】入口22は冷却素子20のら旋状に巻回した管
部分と連通しているため、可動流体は素子20を漸次回わ
って、最後には検出素子３および放射線遮蔽体８を取付
けてある端面に隣接する冷却素子20の遊端における孔か
ら放出される。この放出時に流体が膨張するため、流体
温度は所望温度レベルに達するまで低下する。冷却流体
をデューア外囲器１，２の開口部を経て放出する前に、
内側チャンバ11内で冷却流体を素子20のら旋状の管部分
のまわりに循環させるため、新たに到来する流体は予め
冷却されるようになる。このような冷却素子20を用いれ
ば、検出素子３を例えば約80°Ｋの温度にまで冷却する
ことができる。放射線遮蔽体８の温度は、この遮蔽体の
壁部に沿う熱伝導率およびデューア外囲器の内壁１の端
部への遮蔽体の取付け方法に応じて多少高くなるのが普
通である。 【００１６】図１の赤外線検出器はデューア外囲器１，
２の一部を収納させるデューア−マウント13も具えてい
る。このマウント13は例えばアルミニウム製とすること
ができ、これには特に検出素子３用の電気接続線のまわ
りに例えばシリコンゴム14を部分的に充填させることが
できる。デューア外囲器１，２は、その外壁２とマウン
ト13のフランジとの間を例えば適当なろう付接合によっ
てマウント13に取付ける。冷却素子20のマウント21は例
えばボルト締めのような既知の方法にてデューア−マウ
ント13に取付けることができる。 【００１７】端部分６，７を外壁２の残りの部分に封止
する前に内壁１と外壁２との間の空所１２には少なくと
も１個のゲッター10, 10′を入れるようにする。端部分
６,７を封止し、かつ真空ポンプを用いて上記空所12を
排気した後に上記ゲッターは、真空に曝される検出器の
種々の構成部分から漸次発生するガスにより真空空所12
内に発生するガス分子をゲッタリングして真空を維持す
るのに仕える。 【００１８】本考案によれば、ゲッターを分子−収着性
多孔質材料により少なくとも１個の環状造形体10, 10′
となるようにモノリシックに形成し、その主面は内壁１
に関連する冷却面に嵌合し、かつその冷却面に接着され
て、冷却素子20によって冷却されるように形成する。図
１に示す例では、ゲッター本体10を取付ける冷却面を環
状の放射線遮蔽体８の外側面とする。ゲッター本体10は
例えば前述した D.W.Breck著による論文に記載されてい
るような "モレキュラーシーブ" (分子ふるい) として
も既知の多孔質合成ゼオライト物質製のものとする。GB
−Ａ1,192,897号およびGB−Ａ921,273 号に記載されて
いるようなゼオライト物質を用いてゲッター本体10を形
成することができる。多孔質の分子−収着性物質を不活
性結合剤で図２に示すように環状に成型する。その寸法
は環状ゲッター本体10が冷却放射線遮蔽体８の外側面の
まわりに嵌合するような大きさとする。ゲッター本体10
の内側主面は検出器の作動中に冷却素子20によって冷却
されるような熱交換関係で遮蔽体８の外側面に接着せし
める。ゲッター本体10はエポキシ樹脂の如き薄い粘着性
の中間フィルムによって遮蔽体８に固着して、この環状
ゲッター本体10の内側主面と冷却遮蔽体８の外側面との
間にて大領域にわたる良好な熱接触が成されるように
し、かつ検出器の取扱い中または走査中にゲッター本体
10が遮蔽体８からすべり落ちないようにするのが好適で
ある。 【００１９】図１および図２に示す構造をしている本考
案による検出器の特定例では、内壁１と外壁２との間の
真空空所12の容積を、10^-2パスカル以下の残留ガス圧を
有する真空度で10cm³ とし；環状の放射線遮蔽体８を外
径が約1.0cm の円形構造とし；環状ゲッター本体10も図
２に示すように、内径が約1.0cm で、長さが約0.5cm
で、厚さが約0.1cm の円形構造のものとすることができ
る。斯様な肉厚を有している環状ゲッター本体10は、遮
蔽体８の外側面と外壁２の端部分６の内側面との間にお
ける通常0.4cm の距離を有している真空空所12に容易に
収納させることができる。 【００２０】成型ゲッター本体10は一般に極めてもろい
ため、放射線遮蔽行８によってゲッター本体10の内側主
面を機械的に支持せしめるのが重要である。代表的には
合成ゼオライト本体10を、幅がせいぜい数マイクロメー
タの粒子で構成するので、本体10には多少不規則の粒子
間空隙も存在する。ゲッター本体10を成す多孔質ゼオラ
イト粒子の細孔の幅は真空空所12内におけるガスの分子
の寸法 (約0.5nm まで) に匹敵し、斯様な細孔はゼオラ
イト粒子を環状に成型して本体10を形成する前にゼオラ
イト物質の結晶水を取除くことによって形成されたもの
であり、従って斯かる脱水を行うのに必要な加熱はデュ
ーア外囲器１，２にゲッター本体10を取付ける前に行う
ようにする。斯くして分子の大きさの細孔がゼオライト
粒子に拡がって内部表面領域を極めて大きくするため
に、冷却されたゲッター本体10は細孔の内側面での吸着
作用によって大量のガスを吸収することができる。 【００２１】冷却素子20は放射線遮蔽体８を適切な極低
温に冷却するだけであるたため、ゲッター本体10の内側
主面と遮蔽体８の外側面との間の大領域の熱接触を良好
とすることは、モレキュラーシーブ本体10を有効に冷却
して高い収着効率を得るために特に重要である。ゲッタ
ー本体10及び (遮蔽体８によって形成される) 冷却面の
双方を上述したように環状構造とすることによって、ゲ
ッター本体10を遮蔽体８に固着するのに用いるエポキシ
接着剤の量も最少で済み、このことは多量のエポキシ樹
脂が真空空所12内に多量のガスを発生し得ることからし
て重要なことである。代表的にはエポキシフィルムの膜
厚を100 マイクロメータとするのが好適である。膜厚が
厚いエポキシフィルムの熱伝導率は銀または他の伝熱材
料を混ぜたエポキシ樹脂を用いることによって高めるこ
とができる。 【００２２】本考案によれば、少なくとも１個の多孔質
の分子−収着性造形体をデューア外囲器１，２の内壁１
に関連する適当な冷却面に固着させることができる。従
って、合成ゼオライト物質製の同様な多孔質体を、例え
ば図１に破線10′にて示すように、内壁１そのものの環
状外側面に同様な方法で取付けることもできる。このよ
うな多孔質のゲッター本体10′は放射線遮蔽体８に取付
ける前記ゲッター本体10の代わりか、またはそれに加え
て設けることができる。なお、本考案者等は、ゼオライ
ト物質から成る環状ゲッター本体10′を冷却素子20の冷
却端付近にて内壁１の外側面のまわりに接着させるよう
にすると、内壁１の端部を越す遮蔽体８に同一組成のゲ
ッター本体10を接着する場合に比べてゲッター効率が著
しく改善されることを確かめた。遮蔽体８および内壁１
が冷却される実際の温度に依存して、同一構成のゲッタ
ー本体10および10′のゲッター能力は、そのゲッター本
体を冷却素子20によって直接冷却される箇所の内壁１に
取付けるようにする場合に、ゲッター本体を内壁１の端
部を越した遮蔽体８に取付ける場合に比べて10倍以上に
高くなり得る。このことからして、適切な極低温にまで
冷却される赤外線検出器用のゲッター本体10′および／
または10の取付けに当り、熱交換関係を良好とすること
は重要なことである。しかし、内壁１の端部を越す遮蔽
体８にゲッター本体10を取付ける場合でも、本考案に基
づき、遮蔽体８の冷却面に環状のゲッター本体を少なく
とも１個配置し、このゲッター本体の主面を前記冷却面
に嵌合させると共に該冷却面に熱交換関係をもって接着
せしめるようにすることによって満足のゆくゲッター効
率を達成することができる。 【００２３】上述したタイプの赤外線検出器では、放射
線遮蔽体８または内壁１のまわりのかごにルース−ビー
ズまたはルース−ペレット状のモレキュラーシーブゲッ
ターを入れるようにするのでは十分でなく、このような
ルース粒子形態のゲッター本体は本考案によるものでは
ない。斯様なルース粒子は内壁１または遮蔽体８の冷却
面と十分な熱交換をしないため、適切な極低温に冷却す
るだけの赤外線検出器の真空空所12内で斯かるルース粒
子は適切な高速ゲッターとして機能しない。しかし本考
案によれば、ゲッター本体10, 10′の主面を、冷却面の
輪郭に整合させ、かつその冷却面に接着させる形状とす
るために、ゲッター本体と冷却面との熱交換が有効に行
われるようになる。ゲッター本体を環状構造とすること
によってその接合面箇所におけるゲッターの熱質量の関
係が最適となるため、ゲッター本体10, 10′を作動温度
にまで速く冷却させることができる。このことは特に赤
外線検出器に必要とされる冷却電力を低減させるのに重
要なことであり、検出器の作動に際しては真空空所の圧
力を例えば30秒以内に10^-3Torr以下に低減させるのが臨
まれることが屡々である。 【００２４】ルース粒子形態のゲッターはかさばると共
に、赤外線検出器の狭い真空空所12内に収納させるのが
困難であり、場合によっては不可能なこともある。ま
た、検出素子３または光学窓７がルース粒子からのほこ
りで不透明とならないようにすることも困難である。本
考案による環状構造をしている接着ゲッター本体10, 1
0′は機械的に有利な構造をしており、これはコンパク
トになり、しかも機械的な衝撃にも耐え、また検出器の
振動中でもデューア外囲器の内壁１が左程疲労すること
もない。 【００２５】本考案は上述した例のみに限定されるもの
でなく、幾多の変更を加え得ること勿論である。例えば
放射線遮蔽体８はその下側部分５を延長させて、内壁１
に重なるようにすることができ、この遮蔽体の延長部に
ゲッター本体10′を接着して、冷却素子20によって直接
冷却される内壁１の箇所のまわりにこのゲッター本体1
0′が取付けられるようにすることもできる。完全な環
状体を成す単一のゲッター本体10の代わりに、２つ以上
の各別のゲッター本体となるように半径方向に分割され
る環状体を用い、これらの各別の本体をそれらの内側主
面と遮蔽体８の外側面との間にエポキシ接着剤を用いて
遮蔽体８の外側面のまわりに個々固定させることもでき
る。これらの個々のゲッター本体全体はほぼ完全な環状
体を成すようにするか、または個々のゲッター本体間に
ギャップを有する不連続な構造となるようにすることも
できる。このように個々のゲッター本体を組合わせて一
緒にすることは検出器の構造を複雑とし、これは単一の
環状ゲッター本体を使用する程には好ましくない。しか
し、各別の環状ゲッター本体10および10′のように、２
個以上の各別のゲッター本体、即ち各々が環状構造をし
ている各別のゲッター本体を２個以上検出器に設けるこ
とは、個々のゲッター本体がそれぞれ異なるガス分子に
対して異なる合い生を呈するようにする場合に有利であ
る。 【００２６】所要に応じゲッター本体10はデューア外囲
器１，２に遮蔽体８を取付ける前に、その遮蔽体の外側
面に分子−収着性物質を堆積することによって前述した
元の位置に形成することもでき、この場合には中間のエ
ポキシ接着層が不要となる。合成ゼオライト以外の分子
−収着性の多孔質物質としては例えばシリカゲルを用い
ることができる。 【００２７】デューア外囲器１，２の内側チャンバ11に
入れる冷却素子20は必ずしもジュール−トムソン式の冷
却器とする必要はなく、他の多くの既知の冷却素子を用
いることができる。例えば冷却素子としてはスターリン
グサイクル式の冷却器を用いることができる。また、所
謂液体輸送式の冷却素子を使用することもでき、この場
合には２つの真直ぐの同心管のアセンブリを冷却素子に
設けて、斯かるアセンブリをデューア外囲器１，２の内
側チャンバ内に延在させ；例えば液化窒素または液化乾
燥空気のようなものとし得る極低温化流体を内側のチュ
ーブを介して内側チャンバ11内に供給し、この際上記内
側チューブに沿って極低温流体を端面に向けて小滴状に
輸送せしめ；この流体を通常例えばゴム封止リングを介
してデューア外囲器１，２の内壁１に接触させる外側チ
ューブを経て排出せしめるようにする。冷却素子として
は所謂バルク液体冷却式のものを用いることもでき、こ
の場合にはデューア外囲器１，２の内側チャンバ11内に
延在する単一チューブを用いて極低温液体を外壁端面に
接触させるようにする。

【図面の簡単な説明】 【図１】本考案による赤外線検出器の一部を断面にて示
す側面図である。 【図２】図１の検出器に用いる分子−収着性ゲッター本
体の一例を示す斜視図である。 １ 内壁 ２ 外壁 （１，２） デューア外囲器 ３ 赤外線検出素子 ５ 基板 ６ 外側壁端部 ７ 赤外線透過窓 ８ 放射線遮蔽体 10, 10′ ゲッター 11 内側チャンバ 12 真空空所 13 デューアマウント 14 シリコンゴム 20 冷却素子 21 冷却素子用マウント 22 冷却流体供給用入口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−60982（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】1. 内壁と外壁との間に真
   空空所を有するデューア形態の外囲器を具え、少なくと
   も１個の赤外線検出素子を前記真空空所内で、しかも前
   記内壁の上に取付けて、検出器の作動中に前記検出素子
   を冷却するように前記内壁を冷却素子によって冷却し、
   且つ前記真空空所内に該真空空所からガス分子をゲッタ
   リングするための少なくとも１個のゲッターを設けた赤
   外線検出器において、前記ゲッターを分子−収着性の多
   孔質の物質によりほぼ環状のものとなるようにモノリシ
   ックに形成し、この環状ゲッターを前記デューアの内壁
   か、この内壁に取付けた部材の外側の環状冷却面のまわ
   りに嵌合するように形成し、前記環状ゲッターが前記分
   子−収着性多孔質物質の堆積層か、又は前記物質から成
   る少なくとも１個の造形体を構成し、この環状造形ゲッ
   ターの内側面は前記環状冷却面個所に嵌合すると共にこ
   の冷却面個所に熱交換関係をもって接着されるように形
   成して、検出器の作動中に前記環状造形ゲッターが前記
   冷却素子により冷却されるようにしたことを特徴とする
   赤外線検出器。 2. 少なくとも１個の前記造形ゲッターが、前記冷却素
   子により前記デューアの内壁が直接冷却される付近にお
   ける前記内壁のまわりに延在するようしたことを特徴と
   する請求の範囲１記載の赤外線検出器。 3. 少なくとも１個の前記造形ゲッターを取付ける前記
   冷却表面個所を前記内壁の外側面の一部としたことを特
   徴とする請求の範囲２記載の赤外線検出器。 4. 前記部材を前記検出素子のまわりの前記内壁に取付
   けた放射線遮蔽体とし、且つ少なくとも１個の前記造形
   ゲッターを取付ける、前記冷却表面個所を前記遮蔽体の
   外側面としたことを特徴とする請求の範囲１又は２記載
   の赤外線検出器。 5. 前記造形ゲッターを中間物の接着フィルムによっ
   て、前記冷却表面個所に取付けたことを特徴とする請求
   の範囲１〜４のいずれかに記載の赤外線検出器。 6. 前記接着フィルムをエポキシ樹脂としたことを特徴
   とする請求の範囲５記載の赤外線検出器。 7. 前記造形ゲッターを合成ゼオライト物質の成形体と
   したことを特徴とする請求の範囲１〜６のいずれかに記
   載の赤外線検出器。