JPH0310138A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH0310138A JPH0310138A JP1145896A JP14589689A JPH0310138A JP H0310138 A JPH0310138 A JP H0310138A JP 1145896 A JP1145896 A JP 1145896A JP 14589689 A JP14589689 A JP 14589689A JP H0310138 A JPH0310138 A JP H0310138A
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- pressure sensor
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- tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサ
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
近蝦 非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサが
提案されていも 第５図はこのような圧力センサの一例
の概略を示す断面図であ＆ ５１は円柱状の本体 ５
２は圧力導入り、 ５３は圧力を伝える圧力室である
。５４は本体５１の一部を薄く加工した変形部分、 ５
５は圧力による歪が生じないようにした非変形部分であ
も 非変形部分５５は圧力室５３と同径の中空部分５６
を持つ。
提案されていも 第５図はこのような圧力センサの一例
の概略を示す断面図であ＆ ５１は円柱状の本体 ５
２は圧力導入り、 ５３は圧力を伝える圧力室である
。５４は本体５１の一部を薄く加工した変形部分、 ５
５は圧力による歪が生じないようにした非変形部分であ
も 非変形部分５５は圧力室５３と同径の中空部分５６
を持つ。
５７は本体５１の外周上で、変形部分５４及び非変形部
分５５の上に接着した非晶質磁性合金であム ５８は圧
力検出コイルで、変形部分５４の外周上に接着した非晶
質磁性合金５７の外側にボビン５９を介して配されも
６０は圧力検出コイル５８と同構成の差動用コイルで、
非変形部分５５の外周上に接着した非晶質磁性合金５７
の外側にボビン５９を介して配され、４ ６１はヨーつ
てボビン５９の外周に装着されも ６２は本体５１の固
定用ネジ部分、 ６３は検出回路である。
分５５の上に接着した非晶質磁性合金であム ５８は圧
力検出コイルで、変形部分５４の外周上に接着した非晶
質磁性合金５７の外側にボビン５９を介して配されも
６０は圧力検出コイル５８と同構成の差動用コイルで、
非変形部分５５の外周上に接着した非晶質磁性合金５７
の外側にボビン５９を介して配され、４ ６１はヨーつ
てボビン５９の外周に装着されも ６２は本体５１の固
定用ネジ部分、 ６３は検出回路である。
圧力は圧力導入口５２から圧力室５３に伝わり、圧力室
５３を膨らませる方向に応力をかける。その結果 変形
部分５．４が変動し その表面に接着された非晶質磁性
合金５７の透磁率が変化すもこの透磁率変化を圧力検出
コイル５８でインダクタンスの変化として検出し 差動
用コイル６０との差動出力より圧力の変化を得ていも 発明が解決しようとする課題 従来の構成による圧力センサにおいて、その出力から温
度による０点のドリフトを求めたとこへ３０℃でのセン
サの出力感度幅に対１．．−３０℃で２４．ｌ＼ ８０
℃で２７．５％の０点ドリフトを持っ九 このことか収
従来構成のセンサは温度が変化すると圧力検出コイル
と差動用コイルの出力電圧差が変化し 温度ドリフトを
持つ課題があっ九 これは 変形部分、非変形部分が非
対称のため熱容量が異なり、非晶質磁性合金を接着する
際に加えられる本体との熱膨張率差起因の熱歪が均一に
加わらないためである。また 従来構成の圧力センサで
流体の圧力を測る場合、第６図に示すように円筒管７１
から圧力センサ７２を取り付けるバイパス管７３が必要
となるので場所を取り、さらに圧力センサ７２およびバ
イパス管７３の取り付は位置が限定される課題もあつ九
本発明の目的（友 温度ドリフトが少なく、場所を取ら
哄 圧力によって歪が生じる円筒管の任意の位置に取り
付けできる圧力センサを提供することにあム 課題を解決するための手段 圧力導入口と、前記圧力導入口から導入される圧力によ
ってひずむ変形部分と、圧力によって歪が生じない非変
形部分とを有する円筒状本体において、磁歪を有する非
晶質磁性合金を表面に固着した管を前記変形部分及び非
変形部分の外周に密着固定し 前記非晶質磁性合金と磁
気回路をなすよう前記変形部分と非変形部分に各々透磁
率を検出する素子を配置した構成を有する圧力センサで
あって、圧力印加にともなう前記２種の素子の透磁率の
変化およびその差が電気的手段によって検出する。
５３を膨らませる方向に応力をかける。その結果 変形
部分５．４が変動し その表面に接着された非晶質磁性
合金５７の透磁率が変化すもこの透磁率変化を圧力検出
コイル５８でインダクタンスの変化として検出し 差動
用コイル６０との差動出力より圧力の変化を得ていも 発明が解決しようとする課題 従来の構成による圧力センサにおいて、その出力から温
度による０点のドリフトを求めたとこへ３０℃でのセン
サの出力感度幅に対１．．−３０℃で２４．ｌ＼ ８０
℃で２７．５％の０点ドリフトを持っ九 このことか収
従来構成のセンサは温度が変化すると圧力検出コイル
と差動用コイルの出力電圧差が変化し 温度ドリフトを
持つ課題があっ九 これは 変形部分、非変形部分が非
対称のため熱容量が異なり、非晶質磁性合金を接着する
際に加えられる本体との熱膨張率差起因の熱歪が均一に
加わらないためである。また 従来構成の圧力センサで
流体の圧力を測る場合、第６図に示すように円筒管７１
から圧力センサ７２を取り付けるバイパス管７３が必要
となるので場所を取り、さらに圧力センサ７２およびバ
イパス管７３の取り付は位置が限定される課題もあつ九
本発明の目的（友 温度ドリフトが少なく、場所を取ら
哄 圧力によって歪が生じる円筒管の任意の位置に取り
付けできる圧力センサを提供することにあム 課題を解決するための手段 圧力導入口と、前記圧力導入口から導入される圧力によ
ってひずむ変形部分と、圧力によって歪が生じない非変
形部分とを有する円筒状本体において、磁歪を有する非
晶質磁性合金を表面に固着した管を前記変形部分及び非
変形部分の外周に密着固定し 前記非晶質磁性合金と磁
気回路をなすよう前記変形部分と非変形部分に各々透磁
率を検出する素子を配置した構成を有する圧力センサで
あって、圧力印加にともなう前記２種の素子の透磁率の
変化およびその差が電気的手段によって検出する。
もしく（ヨ 磁歪を有する非晶質磁性合金を表面に固
着した管を、流体を伝達する円筒管の一部分に密着固定
し 前記非晶質磁性合金の外周に磁気回路をなすよう透
磁率検出素子を配置した構成を有する圧力センサであっ
て、流体の圧力変化にともなう非晶質磁性合金の透磁率
の変化から圧力を検出すも 作用 本発明の構成によれは 非晶質磁性合金を接着する際の
本体との熱膨張差起因の熱ひずみが均一に加わるた八
温度ドリフトの少ない圧力センサを得ることが可能とな
も ま゛た 流体を伝達する円筒管の表面に非晶質磁性合金
を固着した管を密着するた八 場所を取らず任意の場所
に取り付けられる圧力センサを構成することが可能とな
も 実施例 実施例１ 第１図は本発明の請求項１に記載の一実施例による圧力
センサの概略を示す断面図である。 １はチタン製の直
径８ｍｍ、 高さ７０ｍｍの円柱状の本＃、、 ２は
直径６ｍｍの圧力導入μ ３は圧力を伝える圧力室であ
る。４は圧力による変形部分六本体１の一部分を肉厚１
ｍｍに加工してあム ５は圧力によってひずみを生じな
い非変形部分で、その内部には圧力室３と同じ大きさの
中空部分６が設けである。７は外径１０ｍｍ、 内径
８ｍｍのチタン製の管８の表面にエポキシ系樹脂で２５
０’ｔＡ ２時間であらかじめ固着したＦｅ−３ｉ −
Ｂ−Ｃｒ系非晶質磁性合金である。非晶質磁性合金７を
接着した管８は本体１の変形部分４および非変形部分５
の外周に焼きばめられ翫 ９はテトラフルオロエチレン
（以後ＴＦＥと称す）製ボビン１１のまわりに１００回
コイルを巻いて形成した圧力検出コイ／ｋｌＯは圧力検
出コイル９と同構成の差動用コイルである。これらのコ
イルを持つボビン１１は非晶質磁性合金７の外周に装着
されも １２は４５％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるヨークで
、ボビン１１の外周に装着され、Ｌ １３は本体固定
用のネジ部分″ｒ、ＰＦ３／８のピッチに加工しである
。 １４は検出回路であも 以下に上述の圧力センサの動作を説明すも圧力は圧力導
入口２から圧力室３に伝わり、圧力室３を膨らませる方
向に応力をかけも その結果 変形部分４が変動し そ
れに応じて管８が変形すム これにより、さらにその表
面に固着された非晶質磁性合金７が変形し 逆磁歪効果
で非晶質磁性合金７の透磁率が変化すも この変化をイ
ンダクタンスの変化として圧力検出コイル９で検出し
差動用コイル１０との差動を検出回路１４で取ることに
よって圧力を得も 本構成による圧力センサの出力から求めた３０℃での感
度幅に対する一３０ｔ、８０℃における０点ドリフトを
従来例と比較して以下の表に示を表 上記の表より非晶質磁性合金を完全に熱的に均一な状態
で接着することにより、センサの温度変化に対する０点
ドリフトは従来に比べ約５分の１に低減する。
着した管を、流体を伝達する円筒管の一部分に密着固定
し 前記非晶質磁性合金の外周に磁気回路をなすよう透
磁率検出素子を配置した構成を有する圧力センサであっ
て、流体の圧力変化にともなう非晶質磁性合金の透磁率
の変化から圧力を検出すも 作用 本発明の構成によれは 非晶質磁性合金を接着する際の
本体との熱膨張差起因の熱ひずみが均一に加わるた八
温度ドリフトの少ない圧力センサを得ることが可能とな
も ま゛た 流体を伝達する円筒管の表面に非晶質磁性合金
を固着した管を密着するた八 場所を取らず任意の場所
に取り付けられる圧力センサを構成することが可能とな
も 実施例 実施例１ 第１図は本発明の請求項１に記載の一実施例による圧力
センサの概略を示す断面図である。 １はチタン製の直
径８ｍｍ、 高さ７０ｍｍの円柱状の本＃、、 ２は
直径６ｍｍの圧力導入μ ３は圧力を伝える圧力室であ
る。４は圧力による変形部分六本体１の一部分を肉厚１
ｍｍに加工してあム ５は圧力によってひずみを生じな
い非変形部分で、その内部には圧力室３と同じ大きさの
中空部分６が設けである。７は外径１０ｍｍ、 内径
８ｍｍのチタン製の管８の表面にエポキシ系樹脂で２５
０’ｔＡ ２時間であらかじめ固着したＦｅ−３ｉ −
Ｂ−Ｃｒ系非晶質磁性合金である。非晶質磁性合金７を
接着した管８は本体１の変形部分４および非変形部分５
の外周に焼きばめられ翫 ９はテトラフルオロエチレン
（以後ＴＦＥと称す）製ボビン１１のまわりに１００回
コイルを巻いて形成した圧力検出コイ／ｋｌＯは圧力検
出コイル９と同構成の差動用コイルである。これらのコ
イルを持つボビン１１は非晶質磁性合金７の外周に装着
されも １２は４５％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるヨークで
、ボビン１１の外周に装着され、Ｌ １３は本体固定
用のネジ部分″ｒ、ＰＦ３／８のピッチに加工しである
。 １４は検出回路であも 以下に上述の圧力センサの動作を説明すも圧力は圧力導
入口２から圧力室３に伝わり、圧力室３を膨らませる方
向に応力をかけも その結果 変形部分４が変動し そ
れに応じて管８が変形すム これにより、さらにその表
面に固着された非晶質磁性合金７が変形し 逆磁歪効果
で非晶質磁性合金７の透磁率が変化すも この変化をイ
ンダクタンスの変化として圧力検出コイル９で検出し
差動用コイル１０との差動を検出回路１４で取ることに
よって圧力を得も 本構成による圧力センサの出力から求めた３０℃での感
度幅に対する一３０ｔ、８０℃における０点ドリフトを
従来例と比較して以下の表に示を表 上記の表より非晶質磁性合金を完全に熱的に均一な状態
で接着することにより、センサの温度変化に対する０点
ドリフトは従来に比べ約５分の１に低減する。
以上の構成 動作により従来に比べて温度ドリフトの少
ない圧力センサを得ることができた実施例２ 第２図は本発明の請求項２に記載の一実施例による圧力
センサの概略を示す断面図である。２１は流体を伝達す
る円筒管であり、その外周にはＦｅ−８ｉ−Ｂ−Ｃｒ系
非晶質磁性合金２２をエポキシ系接着剤により２５０’
ｌ： ２時間であらかじめ表面に固゛着した管２３が
焼きばめられモ２４は非晶質磁性合金２２の外周に配さ
れたＴＦＥ製ボビン２５のまわりに１００回コイルを巻
いて形成した圧゛力検出コイルであム ボビン２５の外
周には４５％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるヨーク２６が装着
されム ２７は検出回路である。
ない圧力センサを得ることができた実施例２ 第２図は本発明の請求項２に記載の一実施例による圧力
センサの概略を示す断面図である。２１は流体を伝達す
る円筒管であり、その外周にはＦｅ−８ｉ−Ｂ−Ｃｒ系
非晶質磁性合金２２をエポキシ系接着剤により２５０’
ｌ： ２時間であらかじめ表面に固゛着した管２３が
焼きばめられモ２４は非晶質磁性合金２２の外周に配さ
れたＴＦＥ製ボビン２５のまわりに１００回コイルを巻
いて形成した圧゛力検出コイルであム ボビン２５の外
周には４５％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるヨーク２６が装着
されム ２７は検出回路である。
以下に上述の圧力センサの動作を説明すも円筒管２１内
を流れる流体の圧力が変化すると、それに応じて円筒管
表面が膨張 あるいは収縮方向に応力を受けも その結
果 円筒管２１の表面に配した管２３がひず払 この歪
により管２３の表面に固着した非晶質磁性合金２２がひ
ずへ 逆磁歪効果で非晶質磁性合金２２の透磁率が変化
すも この変化をインダクタンスの変化として圧力検出
コイル２４で検出し検出回路２７を通して圧力を得も 本実施例の圧力センサの出力例を第３図に示す。
を流れる流体の圧力が変化すると、それに応じて円筒管
表面が膨張 あるいは収縮方向に応力を受けも その結
果 円筒管２１の表面に配した管２３がひず払 この歪
により管２３の表面に固着した非晶質磁性合金２２がひ
ずへ 逆磁歪効果で非晶質磁性合金２２の透磁率が変化
すも この変化をインダクタンスの変化として圧力検出
コイル２４で検出し検出回路２７を通して圧力を得も 本実施例の圧力センサの出力例を第３図に示す。
・図より低ヒステリシスで、直線性のよい良好な出力が
得られ九 また 第６図に示したようなバイパス管や圧力センサ本
体の占める場所が不要となるたへ 場所を取らな（ｔ さらに本構成による圧力センサは管２３を円筒管２１の
任意の位置に固定できるたべ 圧力センサの設置が容易
になも な抵 本実施例では非晶質磁性合金の透磁率の変化をコ
イルで検出した戟 これはヘッドを用いてもよｔ〜 こ
の場合、非晶質磁性合金の一部にヘッドを当てるだけで
よいので、コイルに比べさらに小型化が可能となも 以上の構磁 動作により従来に比べて場所を取らない圧
力センサを得ることができ一 実施例３ 第４図は本発明の請求項３に記載の一実施例による圧力
センサの概略を示す断面図であム３１は流体を伝達する
円筒管であり、その外周にはＦｅ−８ｉ−Ｂ−Ｃｒ系非
晶質磁性合金３２をエポキシ系接着剤により２５０ｔ、
２時間であらかじめ表面に固着した管３３が焼きば
められる。管３３は内部に０．５ｍｍの段差が設けられ
焼きばめたとき円筒管３１と接する密着部分３４およ
び接しない非密着部分３５を持つ。３６は非晶質磁性合
金３２が接着された管３３の外周に配されたＴＦＥ製ボ
ビンであり、そのまわりには密着部分３４および非密着
部分３５の外側に相当する部分にそれぞれ１００回コイ
ルを巻いて形成した圧力検出コイル３７および差動用コ
イル３８であムボビン３６の外周には４５％Ｎｉ−Ｆｅ
合金よりなるヨーク３９が装着される。 ４０は検出回
路であム 以下に上述の圧力センサの動作を説明す４円筒管３１内
を流れる流体の圧力が変化すると、それに応じて円筒管
表面が膨張 あるいは収縮方向に応力を受けも その結
果 円筒管３１の表面に配した管３３の密着部分３４が
ひず仏 この歪により管３３の表面に固着した非晶質磁
性合金３２がひずへ 逆磁歪効果で非晶質磁性合金３２
の透磁率が変化する。この変化をインダクタンスの変化
として圧力検出コイル３７で検出すモー人非密着部分３
５の外周に配された差動用コイル３８のインダクタンス
は変化しないの六 両コイルの差を検出回路４０で読み
取ることによって圧力を得も 本実施例の圧力センサは基本的に実施例２と同様の構成
であるた八 出力特性は第３図と同様のよい特性が得ら
れた また 本実施例における温度に対する０点ドリフ
トは管３３の構成が実施例１とほぼ同等であるた敢 実
施例１と同じ結果が得られ九 な抵 本構成による圧力センサは管３３を円筒管３１の
任意の位置に固定できるた八 圧力センサの設置が容易
になａ 以上の構成 動作により従来に比べて温度ドリフトが少
なく、場所を取らず、円筒管の任意の位置に設置できる
圧力センサを得ることができ總発明の効果 以上の説明から明らかなようく 本発明は非晶質磁性合
金を熱的に均一な状態で接着するような構成を備えるこ
とによりに温度ドリフトを低減することができ、また
流体を伝える円筒管の表面に 非晶質磁性合金を固着し
た管を密着することにより場所を取らない圧力センサを
構成することができ、さらに両方の特徴を備えることに
より温度ドリフトが少なく、場所を取ら哄 かス 円筒
管の任意の位置に設置できる圧力センサを構成すること
が可能であも
得られ九 また 第６図に示したようなバイパス管や圧力センサ本
体の占める場所が不要となるたへ 場所を取らな（ｔ さらに本構成による圧力センサは管２３を円筒管２１の
任意の位置に固定できるたべ 圧力センサの設置が容易
になも な抵 本実施例では非晶質磁性合金の透磁率の変化をコ
イルで検出した戟 これはヘッドを用いてもよｔ〜 こ
の場合、非晶質磁性合金の一部にヘッドを当てるだけで
よいので、コイルに比べさらに小型化が可能となも 以上の構磁 動作により従来に比べて場所を取らない圧
力センサを得ることができ一 実施例３ 第４図は本発明の請求項３に記載の一実施例による圧力
センサの概略を示す断面図であム３１は流体を伝達する
円筒管であり、その外周にはＦｅ−８ｉ−Ｂ−Ｃｒ系非
晶質磁性合金３２をエポキシ系接着剤により２５０ｔ、
２時間であらかじめ表面に固着した管３３が焼きば
められる。管３３は内部に０．５ｍｍの段差が設けられ
焼きばめたとき円筒管３１と接する密着部分３４およ
び接しない非密着部分３５を持つ。３６は非晶質磁性合
金３２が接着された管３３の外周に配されたＴＦＥ製ボ
ビンであり、そのまわりには密着部分３４および非密着
部分３５の外側に相当する部分にそれぞれ１００回コイ
ルを巻いて形成した圧力検出コイル３７および差動用コ
イル３８であムボビン３６の外周には４５％Ｎｉ−Ｆｅ
合金よりなるヨーク３９が装着される。 ４０は検出回
路であム 以下に上述の圧力センサの動作を説明す４円筒管３１内
を流れる流体の圧力が変化すると、それに応じて円筒管
表面が膨張 あるいは収縮方向に応力を受けも その結
果 円筒管３１の表面に配した管３３の密着部分３４が
ひず仏 この歪により管３３の表面に固着した非晶質磁
性合金３２がひずへ 逆磁歪効果で非晶質磁性合金３２
の透磁率が変化する。この変化をインダクタンスの変化
として圧力検出コイル３７で検出すモー人非密着部分３
５の外周に配された差動用コイル３８のインダクタンス
は変化しないの六 両コイルの差を検出回路４０で読み
取ることによって圧力を得も 本実施例の圧力センサは基本的に実施例２と同様の構成
であるた八 出力特性は第３図と同様のよい特性が得ら
れた また 本実施例における温度に対する０点ドリフ
トは管３３の構成が実施例１とほぼ同等であるた敢 実
施例１と同じ結果が得られ九 な抵 本構成による圧力センサは管３３を円筒管３１の
任意の位置に固定できるた八 圧力センサの設置が容易
になａ 以上の構成 動作により従来に比べて温度ドリフトが少
なく、場所を取らず、円筒管の任意の位置に設置できる
圧力センサを得ることができ總発明の効果 以上の説明から明らかなようく 本発明は非晶質磁性合
金を熱的に均一な状態で接着するような構成を備えるこ
とによりに温度ドリフトを低減することができ、また
流体を伝える円筒管の表面に 非晶質磁性合金を固着し
た管を密着することにより場所を取らない圧力センサを
構成することができ、さらに両方の特徴を備えることに
より温度ドリフトが少なく、場所を取ら哄 かス 円筒
管の任意の位置に設置できる圧力センサを構成すること
が可能であも
第１図は本発明の第１の実施例の圧力センサの断面医
第２図は本発明の第２の実施例の圧力センサの断面医
第３図は同センサの出力特性諷第４図は本発明の第３の
実施例の圧力センサの断面久 第５図は従来例の圧力セ
ンサの断面文 第６図は従来構成の圧力センサを円筒管
へ取り付けた側面図であも １、５１・・・本体 ２、５２・・・圧力導入（１３，
５３・・・圧力皇 ４．５４・・・変形部分、５、５５
・・・非変形部分、 ６、５６・・・中空部分、 ７．
２２、３２、・５７・・・非晶質磁性合金 ８、２３、
３３・・・管、９、２４、３７、５ ｇ ・・・圧力検
出コイ／ｌ、、１０．３８、６０・・・差動用コイノ区
１１、２５、３６．５９・・・ボビン、 １２、２６
、３９、６１・・・ヨー久１３、６２・・・固定用ネス
１４、２７、４ｏ、 ６３・・・検出口ｆＫ ２１
、３１，７１・・・円筒惺３４・・・密着部分、３５・
・・非密着部分、 ７２・・・圧力センサ、 ７３・・
・バイパスを
第２図は本発明の第２の実施例の圧力センサの断面医
第３図は同センサの出力特性諷第４図は本発明の第３の
実施例の圧力センサの断面久 第５図は従来例の圧力セ
ンサの断面文 第６図は従来構成の圧力センサを円筒管
へ取り付けた側面図であも １、５１・・・本体 ２、５２・・・圧力導入（１３，
５３・・・圧力皇 ４．５４・・・変形部分、５、５５
・・・非変形部分、 ６、５６・・・中空部分、 ７．
２２、３２、・５７・・・非晶質磁性合金 ８、２３、
３３・・・管、９、２４、３７、５ ｇ ・・・圧力検
出コイ／ｌ、、１０．３８、６０・・・差動用コイノ区
１１、２５、３６．５９・・・ボビン、 １２、２６
、３９、６１・・・ヨー久１３、６２・・・固定用ネス
１４、２７、４ｏ、 ６３・・・検出口ｆＫ ２１
、３１，７１・・・円筒惺３４・・・密着部分、３５・
・・非密着部分、 ７２・・・圧力センサ、 ７３・・
・バイパスを
Claims (3)
- （１）圧力導入口と、前記圧力導入口から導入される圧
力によってひずむ変形部分と、圧力によって歪が生じな
い非変形部分とを有する円筒状本体において、磁歪を有
する非晶質磁性合金を表面に固着した管を前記変形部分
及び前記非変形部分の外周に密着固定し、前記非晶質磁
性合金と磁気回路をなすよう前記変形部分と前記非変形
部分に各々透磁率を検出する素子を配置した構成を有す
ることを特徴とする圧力センサ。 - （２）磁歪を有する非晶質磁性合金を表面に固着した管
を、円筒管の一部分に密着固定し、前記非晶質磁性合金
の外周に磁気回路をなすよう透磁率検出素子を配置した
構成を有することを特徴とする圧力センサ。 - （３）円筒管と接する密着部分及び前記円筒管と接しな
い非密着部分とを持ち、磁歪を有する非晶質磁性合金を
前記密着部分と前記非密着部分とにそれぞれもしくは双
方に渡って表面に固着した管を、前記円筒管の一部分に
密着固定し、前記非晶質磁性合金と磁気回路をなすよう
前記密着部分と前記非密着部分に各々透磁率検出素子を
配置した構成を有することを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145896A JPH0310138A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145896A JPH0310138A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0310138A true JPH0310138A (ja) | 1991-01-17 |
Family
ID=15395559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1145896A Pending JPH0310138A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0310138A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101594881B1 (ko) * | 2015-07-01 | 2016-02-17 | 태광후지킨 주식회사 | 반도체 공정용 압력용기 및 그의 제조방법 |
-
1989
- 1989-06-08 JP JP1145896A patent/JPH0310138A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101594881B1 (ko) * | 2015-07-01 | 2016-02-17 | 태광후지킨 주식회사 | 반도체 공정용 압력용기 및 그의 제조방법 |
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