JPH04259838A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH04259838A JPH04259838A JP4297891A JP4297891A JPH04259838A JP H04259838 A JPH04259838 A JP H04259838A JP 4297891 A JP4297891 A JP 4297891A JP 4297891 A JP4297891 A JP 4297891A JP H04259838 A JPH04259838 A JP H04259838A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- magnetic
- sensor according
- amorphous magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車部品などとして
利用される圧力センサに関するものである。
利用される圧力センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】自動車用センサなどとして非晶質（アモ
ルファス）磁性合金の磁歪効果を利用した圧力センサが
提案されている。
ルファス）磁性合金の磁歪効果を利用した圧力センサが
提案されている。
【０００３】この種の圧力センサは、図３の断面図に示
すように、円筒形状の上側ケース３１と下側ケース３２
とで形成するケース内に、圧力導入孔３３を介して油圧
を受ける圧力室３４を形成し、この圧力室３４の上壁面
を円板形状のダイヤフラム３５とアモルファス磁性合金
３６との積層体で仕切り、この積層体上にスペーサリン
グ３７を介してコイル３９収容のフェライトコア３８を
載置し、上側ケース３１と下側ケース３２との螺合によ
り、上記各構成要素をケース内に保持しつつ収容する構
成となっている。
すように、円筒形状の上側ケース３１と下側ケース３２
とで形成するケース内に、圧力導入孔３３を介して油圧
を受ける圧力室３４を形成し、この圧力室３４の上壁面
を円板形状のダイヤフラム３５とアモルファス磁性合金
３６との積層体で仕切り、この積層体上にスペーサリン
グ３７を介してコイル３９収容のフェライトコア３８を
載置し、上側ケース３１と下側ケース３２との螺合によ
り、上記各構成要素をケース内に保持しつつ収容する構
成となっている。
【０００４】ケース内に周辺固定で保持される円板形状
のダイヤフラム３５とアモルファス磁性合金３６は、図
示しない油圧機構から圧力導入孔３３を介して圧力室３
４内に導入される油圧に応じて撓みを生じ、アモルファ
ス磁性合金の透磁率が変化する。この透磁率の変化がフ
ェライトコア３８とコイル３９とで構成される電磁変換
素子によって電気的特性の変化として検出される。
のダイヤフラム３５とアモルファス磁性合金３６は、図
示しない油圧機構から圧力導入孔３３を介して圧力室３
４内に導入される油圧に応じて撓みを生じ、アモルファ
ス磁性合金の透磁率が変化する。この透磁率の変化がフ
ェライトコア３８とコイル３９とで構成される電磁変換
素子によって電気的特性の変化として検出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図３に示す構造の従来
の圧力センサでは、フェライトコアやアモルファス磁性
合金の透磁率が温度に依存して変化するため、広い温度
範囲にわたって高い検出精度が維持できないという問題
がある。
の圧力センサでは、フェライトコアやアモルファス磁性
合金の透磁率が温度に依存して変化するため、広い温度
範囲にわたって高い検出精度が維持できないという問題
がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の圧力センサは、
検出対象の圧力によって歪みを生じる変形部分と歪みを
生じない非変形部分とのそれぞれに保持されたほぼ同一
かつ平板形状の第１，第２の磁歪体のそれぞれを含んで
形成されるほぼ同一の磁気特性を有する第１，第２の磁
路と、上記第１，第２の磁路のそれぞれに電磁結合され
る第１，第２のコイルと、これら第１，第２のコイルの
電気特性の差を上記圧力の大きさを反映する量として検
出する検出回路とを備えることにより、上記従来技術の
問題点を解決するように構成されている。
検出対象の圧力によって歪みを生じる変形部分と歪みを
生じない非変形部分とのそれぞれに保持されたほぼ同一
かつ平板形状の第１，第２の磁歪体のそれぞれを含んで
形成されるほぼ同一の磁気特性を有する第１，第２の磁
路と、上記第１，第２の磁路のそれぞれに電磁結合され
る第１，第２のコイルと、これら第１，第２のコイルの
電気特性の差を上記圧力の大きさを反映する量として検
出する検出回路とを備えることにより、上記従来技術の
問題点を解決するように構成されている。
【０００７】
【実施例】図１は、本発明の一実施例の圧力センサのう
ち周知の検出回路とリード線とを除く部分の構成を示す
断面図であり、１１ａ，１１ｂはケース、１２は圧力導
入口、１３は圧力室、１４はダイヤフラム、２１，２２
ａ，２２ｂはフェライトコア、２３ａ，２３ｂは第１，
第２の非晶質磁性合金、２４ａは圧力検出コイル、２４
ｂは差動用コイル、２５ボビン、２６は非磁性体のスペ
ーサである。
ち周知の検出回路とリード線とを除く部分の構成を示す
断面図であり、１１ａ，１１ｂはケース、１２は圧力導
入口、１３は圧力室、１４はダイヤフラム、２１，２２
ａ，２２ｂはフェライトコア、２３ａ，２３ｂは第１，
第２の非晶質磁性合金、２４ａは圧力検出コイル、２４
ｂは差動用コイル、２５ボビン、２６は非磁性体のスペ
ーサである。
【０００８】ケース１１ａの中心部分には圧力室１３が
形成されており、ここに圧力導入口１２を通して油圧な
どの圧力が導入される。この圧力室１３の上方の壁面は
、室内の圧力によって撓むダイヤフラム１４を兼ねてい
る。このダイヤフラム１４の上面には円板形状の第１の
非晶質磁性合金２３ａが載置され、この非晶質磁性合金
２３ａの周辺部分にはフェライトコア２２ａ，スペーサ
２６及びフェライトコア２２ｂが順次載置されると共に
、中央部分には圧力検出コイル２４ａと差動用コイル２
４ｂが巻回されたボビン２５が載置される。このボビン
２５とフェライトコア２２ｂの上面には円板形状の第２
の非晶質磁性合金２３ｂが載置される。これらダイヤフ
ラム１４上に載置された各要素は、ケース１１ａと１１
ｂの螺合に伴う押圧力によってケース内に固定される。
形成されており、ここに圧力導入口１２を通して油圧な
どの圧力が導入される。この圧力室１３の上方の壁面は
、室内の圧力によって撓むダイヤフラム１４を兼ねてい
る。このダイヤフラム１４の上面には円板形状の第１の
非晶質磁性合金２３ａが載置され、この非晶質磁性合金
２３ａの周辺部分にはフェライトコア２２ａ，スペーサ
２６及びフェライトコア２２ｂが順次載置されると共に
、中央部分には圧力検出コイル２４ａと差動用コイル２
４ｂが巻回されたボビン２５が載置される。このボビン
２５とフェライトコア２２ｂの上面には円板形状の第２
の非晶質磁性合金２３ｂが載置される。これらダイヤフ
ラム１４上に載置された各要素は、ケース１１ａと１１
ｂの螺合に伴う押圧力によってケース内に固定される。
【０００９】フェライトコア２１，２２ａと非晶質磁性
合金２３ａとによって第１の磁路が形成されると共に、
フェライトコア２１，２２ｂと非晶質磁性合金２３ｂと
によって第２の磁路が形成される。これら第１，第２の
磁路は、同一の磁気特性（磁気抵抗など）を有するよう
に、同一形状の非晶質磁性合金とフェライトコアとによ
って形成される。
合金２３ａとによって第１の磁路が形成されると共に、
フェライトコア２１，２２ｂと非晶質磁性合金２３ｂと
によって第２の磁路が形成される。これら第１，第２の
磁路は、同一の磁気特性（磁気抵抗など）を有するよう
に、同一形状の非晶質磁性合金とフェライトコアとによ
って形成される。
【００１０】煩雑化を避けるために図示を省略した周知
の検出回路から同じく図示しないリード線を介して圧力
検出コイル２４ａと差動用コイル２４ｂとに高周波の電
流が供給され、コイル２４ａと２４ｂの自己インダクタ
ンスの差が温度特性の補償済みの検出対象の圧力として
検出される。コイル２４ａ に流れる高周波の電流に
よって発生する磁束は非晶質磁性合金２３ａに直角に入
射し、径方向に拡がりながらこれを通過したのちフェラ
イトコア２２ａとコイル２４ａとを通過してフェライト
コア ２１に戻ることになる。同様に、コイル２４ｂ
に流れる高周波の電流によって発生する磁束についても
同様である。
の検出回路から同じく図示しないリード線を介して圧力
検出コイル２４ａと差動用コイル２４ｂとに高周波の電
流が供給され、コイル２４ａと２４ｂの自己インダクタ
ンスの差が温度特性の補償済みの検出対象の圧力として
検出される。コイル２４ａ に流れる高周波の電流に
よって発生する磁束は非晶質磁性合金２３ａに直角に入
射し、径方向に拡がりながらこれを通過したのちフェラ
イトコア２２ａとコイル２４ａとを通過してフェライト
コア ２１に戻ることになる。同様に、コイル２４ｂ
に流れる高周波の電流によって発生する磁束についても
同様である。
【００１１】図２は、本発明の他の実施例の圧力センサ
の構成を示す断面図である。本図において、図１と同一
の参照符号が付されている要素は、図１の対応の構成要
素と同一のものであり、これらについては重複する説明
を省略する。
の構成を示す断面図である。本図において、図１と同一
の参照符号が付されている要素は、図１の対応の構成要
素と同一のものであり、これらについては重複する説明
を省略する。
【００１２】この実施例の圧力センサにおいては、フェ
ライトコア２１ａと２１ｂとが非磁性体のスペーサ２６
によって完全に分離されており、これに伴いボビン２５
ａと２５ｂも完全に分離されている。従って、圧力検出
用コイル２４ａに流れる高周波電流により発生した磁束
はフェライトコア２１ａと非晶質磁性合金２３ａとによ
ってほぼ閉じられた磁路内のみを通ると共に、差動用コ
イル２４ｂに流れる高周波電流により発生した磁束はフ
ェライトコア２１ｂと非晶質磁性合金２３ｂとによって
ほぼ閉じられた磁路内のみを通ることになる。
ライトコア２１ａと２１ｂとが非磁性体のスペーサ２６
によって完全に分離されており、これに伴いボビン２５
ａと２５ｂも完全に分離されている。従って、圧力検出
用コイル２４ａに流れる高周波電流により発生した磁束
はフェライトコア２１ａと非晶質磁性合金２３ａとによ
ってほぼ閉じられた磁路内のみを通ると共に、差動用コ
イル２４ｂに流れる高周波電流により発生した磁束はフ
ェライトコア２１ｂと非晶質磁性合金２３ｂとによって
ほぼ閉じられた磁路内のみを通ることになる。
【００１３】以上、圧力室とダイヤフラムとの組合せに
よって油圧を測定する場合の構成を例示した。しかしな
がら、非晶質磁性合金を接着などによりフェライトコア
に固着すると共に、圧力室やダイヤフラムなどを除去し
、油圧に限定されない各種の押圧力を直接非晶質磁性合
金に受ける構成とすることもできる。
よって油圧を測定する場合の構成を例示した。しかしな
がら、非晶質磁性合金を接着などによりフェライトコア
に固着すると共に、圧力室やダイヤフラムなどを除去し
、油圧に限定されない各種の押圧力を直接非晶質磁性合
金に受ける構成とすることもできる。
【００１４】
【発明の効果】本発明の圧力センサは上述のような構成
であるから、広い温度範囲に渡って高い精度の圧力検出
が可能になるという効果が奏される。
であるから、広い温度範囲に渡って高い精度の圧力検出
が可能になるという効果が奏される。
【図１】本発明の一実施例の圧力センサのうち検出回路
とリード線を除く部分の構成を示す断面図である。
とリード線を除く部分の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例の圧力センサのうち検出回
路とリード線を除く部分の構成を示す断面図である。
路とリード線を除く部分の構成を示す断面図である。
【図３】従来の圧力センサの構成を示す断面図である。
１３ 圧力室
１４ ダイヤフラム、
２１ フェライトコア
２１ａ フェライトコア
２１ｂ フェライトコア
２３ａ 非晶質磁性合金
２３ｂ 非晶質磁性合金
２４ａ 圧力検出用コイル
２４ｂ 差動用コイル
２５ ボビン
Claims (4)
- 【請求項１】検出対象の圧力によって歪みを生じる変形
部分と歪みを生じない非変形部分とのそれぞれに保持さ
れたほぼ同一かつ平板形状の第１，第２の磁歪体のそれ
ぞれを含んで形成されるほぼ同一の磁気特性を有する第
１，第２の磁路と、前記第１，第２の磁路のそれぞれに
電磁結合される第１，第２のコイルと、これら第１，第
２のコイルの電気特性の差を前記検出対象の圧力の大き
さを反映する量として検出する検出回路とを備えたこと
を特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】前記第１，第２の磁路は、磁性体によって
ほぼ閉じられていることを特徴とする請求項１記載の圧
力センサ。 - 【請求項３】前記変形部分は、圧力導入口に連なる圧力
室の壁面を兼ねるダイヤフラムであることを特徴とする
請求項１又は２記載の圧力センサ。 - 【請求項４】前記第１，第２の磁歪体はアモルファス磁
性合金であることを特徴とする請求項１乃至３記載の圧
力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4297891A JPH04259838A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4297891A JPH04259838A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259838A true JPH04259838A (ja) | 1992-09-16 |
Family
ID=12651134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4297891A Pending JPH04259838A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04259838A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100600808B1 (ko) * | 2004-12-08 | 2006-07-18 | 주식회사 엠디티 | 자왜효과를 이용한 가변 인덕터형 ｍｅｍｓ 압력센서 |
-
1991
- 1991-02-15 JP JP4297891A patent/JPH04259838A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100600808B1 (ko) * | 2004-12-08 | 2006-07-18 | 주식회사 엠디티 | 자왜효과를 이용한 가변 인덕터형 ｍｅｍｓ 압력센서 |
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