JPH03102738A - ガス放電表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガス放電表示装置の！！ｌ！遣方法に関し、
詳細には、電極の水銀付着の均一化を図るものである。

〔従来の技術〕

第２図はガス放電表示装置の内部構造を示す斜視図であ
る． 同図に示されるように、ガス放電表示装置においては、
ベースガラスｌ上に複数のカソード電極２が備えられ、
その上にカソード電極２に直交ずる方向に延びる複数の
隔壁３が備えられている。

一方、ウィンドウガラス４上にはカソード電極２に直交
ずる方向に延びる複数の透１ｊＪＪ電極４が備えれれて
いる．そして、ベースガラスｌとウインドウガラス５と
は重ね合わせされ周囲をシールガラス６でシールされて
、両ガラス５，６間に放電室７を形成している．そして
、この放電室７には表示用の希ガスが封入される。尚、
２ａはカソード電極２に接続される外部電極である． 第３図は上記ガス放電表示装置の従来の！Ｉ！ｌ！造工
程の一部を示すフローチャートである．同図に示される
ように、従来は、ベースガラスとウィンドウガラスとが
シールガラスによりシールされ、放電室に希ガスを含む
表示用ガスと水銀が封入され（ステップ１１）、アノー
ド電極とカソード電極の間に電圧が印加され、カソード
電極の表面の汚れを取り除く一次エージング工程がなさ
れる（ステップ１２〉．次に、加熱処理により水銀を均
一に拡散させカソード電極表面に水銀粒子を均一に付着
させ（ステップ１３）、その後、放電状態を安定化させ
るための二次エージングエ程がなされる〈ステップ１４
〉． 〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、上記一次エージング工程は電極表面にイオン
粒子を衝突させることにより電極表面の汚れを除去する
働きを持ち、その後の水銀粒子の付着はカソード電極表
面におけるスパッタを防止する働きを持つ。

しかしながら、上記した従来の方法によると、封入され
るガスの種類や圧力によっては、一次エージング工程に
おける電極表面の汚れの除去が不充分な場合があり、水
銀をカソードＮ’ｆｈの表面に均一に付着させることが
できないことがあった．この場合には、カソード電極に
おけるスパッタの発生を防止できず、製品寿命が短くな
るという問題があった． そこで、本発明は上記したような従来技術の課題を解決
するためになされたものであり、その目的とするところ
は、製品寿命を長くできるガス放電表示装置の製造方法
を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係るガス放電表示装置のｔＭ造方法は、アノー
ド電極を備えた基板とカソード電極を備えた基板との間
に形成され、その中で上記アノード電極と上記カソード
電極とを対向配置させる放電室内に希ガスを含むエージ
ング用のガスを封入し、上記アノード電極と上記カソー
ド電極間に所定の電圧を印加することにより予備エージ
ングを施す工程と、上記放電室に封入されたエージング
用のガスを箱ガスを含む表示用のガスと水銀に置換する
工程と、上記表示用のガス内にある上記アノード電極と
上記カソード電極間に所定の電圧を印加することにより
エージングを施す工程と、加熱することに上り上記水銀
を拡敗させて上記カソード電極の表向に水銀粒子を付着
させる工程とを有することを特徴としている。

〔作　用〕

本発明においては、放電室内にエージング用のガスを封
入して予備エージングを施した後に、エージング用のガ
スを表示用のガスと置換するので、エージング用のガス
として汚れ除去効果の高いもの《例えば、質量数の大き
な希ガスを含むガス〉を選択できる．このためカソード
電極表面の汚れを少なくでき、汚れにより水銀が付着で
きない部分が少なくなるので、カソード電極表面に水銀
粒子を均一にイ一Ｉ着できる。

〔実施例〕

以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明する． 第１図は本発明に係るガス放電表示装置の製造方法の一
実施例を示すフローチャートである。尚、本実施例の製
造方法が適用されるガス放電表示装置の梢造は第２図の
ものと同一であるので、以下の説明においては第１図と
共に第２図をも参照する。

本実施例の製造方法においては、先ず、複数本のカソー
ド電極２と複数本の隔壁３とを備えたベースガラス１と
、複数本のアノード電極５を備えたウインドウガラス４
とを用意し、カソード電極２とアノード電極５とが対向
ずるようにベースガラス１とウィンドウガラス４とを重
ね合わせる．次に、重ね合わされたベースガラス１とウ
インドウガラス４の周囲をシールガラス６でシールして
、ベースガラス１とウィンドウガラス４との間に放電室
７を形成し、この放電室７内にエージング用のガス（Ｎ
ｅ，Ａｒ，Ｋｒ等のａガスをベースとしたガス）を封入
する（ステップ１）．但し、この段階ではシールガラス
６によるシールを完全に施すのではなく、ガス封入用の
排気管《図示せず）の一部を残しておき、後に封入ガス
の置換を可能にしておく． 次に、アノード電極５とカソード電極２間に所定の電圧
を印加して放電させる予備エージングを行う《ステップ
２》．これは、この工程によりカソード電［！２表面に
イオンが衝突して、カソード電極２表面に付着している
汚れを取り除くことが可能だからである． 次に、排気管を用いて、エージング用ガスと予備エージ
ング時に発生した不純物ガスを加熱脱気し、表示用のガ
ス（Ｈｅ，Ｎｅ等の希ガスをベースガスとしたガス〉と
水銀を放電室７に封入し、排気管を除去する《ステップ
３）． 次に、アノード電極５とカソード電極２間に所定の電圧
を印加して放電さぜる一次エージングを行う（ステップ
４）． 次に、加熱処理により放電室７内で水銀を均一に拡散さ
せカソード電極２表面に水銀粒子を均一に付着させる（
ステップ５）。

ｆｉｆ＆に、放電状態を安定化させるための二次エージ
ング工程を行う（ステップ６）。

以上説明したように、本実施例においては、放電室７内
にエージング用のガスを封入して予備二一ジングを施し
た後に、エージング用のガスを表示用のガスと置換する
ので、エージング用のガスとして汚れ除去効果の高いも
のを選択できる．このためカソード電極２表面の汚れを
ほとんどなくすることができ、汚れにより水銀が付着で
きない部分がほとんどなくなるので、カソード電極２表
面に水銀粒子を均一に付着させることができる．この結
果、カソードＺ４ｆ！２におけるスパッタの発生が少な
くなり、製品寿命が向上する．また、製品寿命の向上は
試験によっても確認されている．試験によると、初めか
らＨｅをベースガスとする表示用ガスを封入した従来の
場合には表示不艮が短時間で発生したが、Ｎｅをベース
ガスとしたエージング用ガスを使用し２５０Ｖ程度で予
備エージングを施した場合には表示不良が生じず製品寿
命が長いことが確認された。

Ｈｅをベースガスとしたエージング用ガスを使用し放電
電圧２６０Ｖ程度で予備エージングを施した場合にも同
様に製品寿命の向上が確認された．さらに、Ａｒをベー
スガスとしたエージング用ガスとした場合．及びＫｒを
ベースガスとしたエージング用ガスとした場合にも同様
な予備エージングの効果が確認された。ここで、予備エ
ージングの効果（冫りれの除去効率）は希ガスの質量が
大きい方が大きい． 尚、上記実施例においては予備エージング後に一次エー
ジンダ、水銀拡散、二次エージングの順に処理を施した
場合について説明したが、本発明はこれには限定されず
、予備エージング後に水銀拡散工程を行なう限り同様な
効果が得られる．〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、汚れ除去効果の
高いエージング用ガスで予備エージングを施すのでカソ
ード電極表面の汚れをほとんどなくずることができる、
カソード電極表面に水銀粒子をカーに付着させることが
できる．よって、カソード電極におけるスパッタの発生
が少なくなり、製品寿命を向上させることができるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るガス放電表示装置の製造方法の一
実施例を示すフローチャート、第２図はガス放電表示装
置の内部構造を示す斜視図、 第３図は従来のガス放電表示装置の’ｌ！遣方法の一部
を示すフローチャートである．

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 アノード電極を備えた基板とカソード電極を備えた基板
   との間に形成され、その中で上記アノード電極と上記カ
   ソード電極とを対向配置させる放電室内に希ガスを含む
   エージング用のガスを封入し、上記アノード電極と上記
   カソード電極間に所定の電圧を印加することにより予備
   エージングを施す工程と、 上記放電室に封入されたエージング用のガスを希ガスを
   含む表示用のガスと水銀に置換する工程と、 上記表示用のガス内にある上記アノード電極と上記カソ
   ード電極間に所定の電圧を印加することによりエージン
   グを施す工程と、 加熱することにより上記水銀を拡散させて上記カソード
   電極の表面に水銀粒子を付着させる工程とを有すること
   を特徴とするガス放電表示装置の製造方法。