JPH03103680A - マイクロバルブ - Google Patents
マイクロバルブInfo
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- JPH03103680A JPH03103680A JP24131489A JP24131489A JPH03103680A JP H03103680 A JPH03103680 A JP H03103680A JP 24131489 A JP24131489 A JP 24131489A JP 24131489 A JP24131489 A JP 24131489A JP H03103680 A JPH03103680 A JP H03103680A
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- Japan
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- input hole
- diaphragm
- microvalve
- silicon substrate
- silicon
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、シリコンで作威され、極めて小型で、軽量、
安価で、自己開閉機能を有し、高圧流体でもバルブの開
閉の容易なノルマリクローズド形のマイクロバルブに関
するものである． く従来の技術〉 第５図は従来より一般に使用さｈている従来例の構成説
明図である， 図において、１は、第１のシリコン基板である．２は、
シリコン基板１に設けられた入力孔である． ３は、シリコン基板１に設けられた出力孔である． ４は入力孔２に対向して設けられ入力孔２を開閉するシ
リコンの一方弁である， 一方弁４は、第６図に要部拡大図を示し、第７図に斜視
図を示す． ５は出力孔３に対向して設けられ出力孔３を開閉するシ
リコンの一方弁である． 一方弁５は、一方弁４と同様の形状をなす．６は第１の
シリコン基板１に一面が固定された第２のシリコン基板
である． ７は第２のシリコン基板６に設けられ、第１のシリコン
基板１と導圧室８を構成する凹部である．９は第２のシ
リコン基板６に設けられたダイアフラムである． １１はダイアフラム８に取付けられた積層形圧電アクチ
ュエー夕である． 以上の楕成において、アクチュエータ１１を動作させる
と、ダイアフラム９は、図の上下方向に上下する． ダイアフラム９が上方向に移動した場合には、一方弁４
は入力孔２を閉じ、一方弁５は出力孔２を開く． ダイアフラム９が下方向に移動した場合には、一方弁４
は入力孔２を開き、一方弁５は出力孔２を閉じる． この結果、流体を入力孔２より吸入し、出力孔３より吐
出する事が出来る． く発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、以下の問題点
を有する． （１）アクチュエータ１１を必要とする．（２）ｍ造が
複雑となる． 本発明は、この問題点を解決するものである．本発明の
目的は、シリコンで作成され、極めて小型で、軽量、安
価で、自己開閉機能を有し、高圧流体でもバルブの開閉
の容易なノルマリクローズド形のマイクロバルブを提供
するにある．く課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、シリコン基板と
、該シリコン基板に設けられた入力孔と、該入力孔に対
向して設けられ該入力孔を開閉するシリコンダイアフラ
ムとを具備するマイクロバルブにおいて、 前記入力孔に対向して湾曲して取付けられ前記入力孔を
押圧して塞ぐシリコンダイアフラムと、前記シリコン基
板に設けられた励磁コイルと、前記シリコンダイアフラ
ムに設けられ前記励磁コイルが励磁された場合に反発さ
れる磁性膜とを具備したことを特徴とするマイクロバル
ブを構或したものである． く作 用〉 以上の梢成において、通常、マイクロバルブは、閉じて
おり、必要時に、励磁コイルに電気信号を印加する事に
より、発生した磁界によりシリコンダイアフラムを反発
し、入力孔を開く．以下、実施例に基づき詳細に説明す
る．く実施例〉 第１図は本発明の一実施例の要部構戒説明図で、第２図
は第１図の斜視図である． 図において、２１は、第１のシリコン基板である． ２１１は第１のシリコン基板２１に設けられた開閉室で
ある． ２２は第１のシリコン基板２１に一端が接続されたガラ
ス材よりなるチューブ２２１に設けられた入力孔である
． ２３は第１のシリコン基板２１に一面が接する第２のシ
リコン基板である， ２４は第２のシリコン基板２３に設けられシリコン基板
２３にダイアフラム２５を構成する凹部である． ダイアフラム２５は、通常の状態では平板状をなし、組
立てられた状態では、入力孔２２に対向して湾曲して取
付けられ、常時は、前記入力孔２２を押圧して塞ぐ． ２５１はダイアフラム２５に設けられた小突起である． ２６は第１のシリコン基板２１に設けられた励磁コイル
である．この場合は、第３図に示す如く、シリコン基板
２１にアルミパターン２６１が設けられている． ２７はシリコン基板２１に設けられ入力孔２２と開閉室
２１１とを連通ずる連通孔である．２８はシリコンダイ
アフラム２５に設けられ励磁手段２６が励磁された場合
に反発される磁性膜である．この場合は、第４図に示す
如く、純鉄あるいはバーマロイからなり、シリコンダイ
アフラムにスパッタあるいは蒸着により設けられ、磁化
処理される． ２９は第２のシリコン基板２３に一面が接して設けられ
、凹部２４と導圧室３１を梢成する第３のシリコン基板
である。
安価で、自己開閉機能を有し、高圧流体でもバルブの開
閉の容易なノルマリクローズド形のマイクロバルブに関
するものである． く従来の技術〉 第５図は従来より一般に使用さｈている従来例の構成説
明図である， 図において、１は、第１のシリコン基板である．２は、
シリコン基板１に設けられた入力孔である． ３は、シリコン基板１に設けられた出力孔である． ４は入力孔２に対向して設けられ入力孔２を開閉するシ
リコンの一方弁である， 一方弁４は、第６図に要部拡大図を示し、第７図に斜視
図を示す． ５は出力孔３に対向して設けられ出力孔３を開閉するシ
リコンの一方弁である． 一方弁５は、一方弁４と同様の形状をなす．６は第１の
シリコン基板１に一面が固定された第２のシリコン基板
である． ７は第２のシリコン基板６に設けられ、第１のシリコン
基板１と導圧室８を構成する凹部である．９は第２のシ
リコン基板６に設けられたダイアフラムである． １１はダイアフラム８に取付けられた積層形圧電アクチ
ュエー夕である． 以上の楕成において、アクチュエータ１１を動作させる
と、ダイアフラム９は、図の上下方向に上下する． ダイアフラム９が上方向に移動した場合には、一方弁４
は入力孔２を閉じ、一方弁５は出力孔２を開く． ダイアフラム９が下方向に移動した場合には、一方弁４
は入力孔２を開き、一方弁５は出力孔２を閉じる． この結果、流体を入力孔２より吸入し、出力孔３より吐
出する事が出来る． く発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、以下の問題点
を有する． （１）アクチュエータ１１を必要とする．（２）ｍ造が
複雑となる． 本発明は、この問題点を解決するものである．本発明の
目的は、シリコンで作成され、極めて小型で、軽量、安
価で、自己開閉機能を有し、高圧流体でもバルブの開閉
の容易なノルマリクローズド形のマイクロバルブを提供
するにある．く課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、シリコン基板と
、該シリコン基板に設けられた入力孔と、該入力孔に対
向して設けられ該入力孔を開閉するシリコンダイアフラ
ムとを具備するマイクロバルブにおいて、 前記入力孔に対向して湾曲して取付けられ前記入力孔を
押圧して塞ぐシリコンダイアフラムと、前記シリコン基
板に設けられた励磁コイルと、前記シリコンダイアフラ
ムに設けられ前記励磁コイルが励磁された場合に反発さ
れる磁性膜とを具備したことを特徴とするマイクロバル
ブを構或したものである． く作 用〉 以上の梢成において、通常、マイクロバルブは、閉じて
おり、必要時に、励磁コイルに電気信号を印加する事に
より、発生した磁界によりシリコンダイアフラムを反発
し、入力孔を開く．以下、実施例に基づき詳細に説明す
る．く実施例〉 第１図は本発明の一実施例の要部構戒説明図で、第２図
は第１図の斜視図である． 図において、２１は、第１のシリコン基板である． ２１１は第１のシリコン基板２１に設けられた開閉室で
ある． ２２は第１のシリコン基板２１に一端が接続されたガラ
ス材よりなるチューブ２２１に設けられた入力孔である
． ２３は第１のシリコン基板２１に一面が接する第２のシ
リコン基板である， ２４は第２のシリコン基板２３に設けられシリコン基板
２３にダイアフラム２５を構成する凹部である． ダイアフラム２５は、通常の状態では平板状をなし、組
立てられた状態では、入力孔２２に対向して湾曲して取
付けられ、常時は、前記入力孔２２を押圧して塞ぐ． ２５１はダイアフラム２５に設けられた小突起である． ２６は第１のシリコン基板２１に設けられた励磁コイル
である．この場合は、第３図に示す如く、シリコン基板
２１にアルミパターン２６１が設けられている． ２７はシリコン基板２１に設けられ入力孔２２と開閉室
２１１とを連通ずる連通孔である．２８はシリコンダイ
アフラム２５に設けられ励磁手段２６が励磁された場合
に反発される磁性膜である．この場合は、第４図に示す
如く、純鉄あるいはバーマロイからなり、シリコンダイ
アフラムにスパッタあるいは蒸着により設けられ、磁化
処理される． ２９は第２のシリコン基板２３に一面が接して設けられ
、凹部２４と導圧室３１を梢成する第３のシリコン基板
である。
２３１は、第２のシリコン基板２３に設けられ、開閉室
２１１と導圧室３１とを連通する連通孔である． ３２は、第３のシリコン基板２つに一端が取付けられた
ガラス材よりなるチューブ３２１に設けられ、導圧室３
１と外部とを連通ずる出力孔である。
２１１と導圧室３１とを連通する連通孔である． ３２は、第３のシリコン基板２つに一端が取付けられた
ガラス材よりなるチューブ３２１に設けられ、導圧室３
１と外部とを連通ずる出力孔である。
３３は第ｌのシリコン基板２１または第３のシリコン基
板２つと、金属枠３４との間に設けられたガラス材より
なるスベーサである． 金属枠３４は、シリコン基板２１．２３．２９相互の剥
離を防止する為のものである．以上の構成において、通
常、マイクロバルブは、閉じており、必要時に、励磁コ
イル２６に電気信号を印加する事により、発生した磁界
によりシリコンダイアフラム２５を反発し、入力孔２２
を開く． この場合、マイクロバルブの動作に必要な力Ｆ，は、流
量が充分に小さければ、流れによる動圧を無視出来、ダ
イアフラム２５が入力孔２２を開くに必要な距Ｍｔ２だ
け変位させるに必要な力となる。
板２つと、金属枠３４との間に設けられたガラス材より
なるスベーサである． 金属枠３４は、シリコン基板２１．２３．２９相互の剥
離を防止する為のものである．以上の構成において、通
常、マイクロバルブは、閉じており、必要時に、励磁コ
イル２６に電気信号を印加する事により、発生した磁界
によりシリコンダイアフラム２５を反発し、入力孔２２
を開く． この場合、マイクロバルブの動作に必要な力Ｆ，は、流
量が充分に小さければ、流れによる動圧を無視出来、ダ
イアフラム２５が入力孔２２を開くに必要な距Ｍｔ２だ
け変位させるに必要な力となる。
今、凹部１４の直径φＤ＝３ｍｍ、ダイアフラムｌ５の
厚さｔ＋＝２０μｍ、距Ｍ ｔ ２ ＝ ８ μｍの場
合、 Ｆ，：２７ｇである． マイクロバルブを閉じているのに必要な力Ｆ２は、動作
圧をＰとすると、 Ｆ２＝（π／４）ｄ２Ｐ 今、φｄ＝３ｍｍ，Ｐ＝５００Ｋｇ／ｃｍ２とすると Ｆ２：１５７ｇとなる． Ｆ１とＦ２とより、この場合は、Ｆ１とＦ２の和の、約
１５７ｇの力を発生するようにすれば良い．この結果、 （１）構成が簡単で、小型、軽量なマイクロバルブが得
られる． （２）シリコンの微細加工技術が利用でき、大量生産が
容易であり、安価なものが得られる．（３）自己開閉機
能を有し、計算例で示したように、高圧流体下でもバル
ブの開閉の容易なマイクロバルブが得られる。
厚さｔ＋＝２０μｍ、距Ｍ ｔ ２ ＝ ８ μｍの場
合、 Ｆ，：２７ｇである． マイクロバルブを閉じているのに必要な力Ｆ２は、動作
圧をＰとすると、 Ｆ２＝（π／４）ｄ２Ｐ 今、φｄ＝３ｍｍ，Ｐ＝５００Ｋｇ／ｃｍ２とすると Ｆ２：１５７ｇとなる． Ｆ１とＦ２とより、この場合は、Ｆ１とＦ２の和の、約
１５７ｇの力を発生するようにすれば良い．この結果、 （１）構成が簡単で、小型、軽量なマイクロバルブが得
られる． （２）シリコンの微細加工技術が利用でき、大量生産が
容易であり、安価なものが得られる．（３）自己開閉機
能を有し、計算例で示したように、高圧流体下でもバル
ブの開閉の容易なマイクロバルブが得られる。
なお、ダイアフラム２５の平面形状は、円形、矩形など
、形状はどのようなものでも良い．また、Ｉｉｉｌｌ磁
コイル２６は、第１のシリコン基板２１の外気に接する
該表面に形成されても良い．また、小突起２５１は無く
ても良いことは勿論である． また、開閉室２ｌ１、凹部２５、連通孔２７，２３１等
の形成の為のエッチングの種類は問わない く発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、シリコン基板と、該シ
リコン基板に設けられた入力孔と、該入力孔に対向して
設けられ該入力孔を開閉するシリコンダイアフラムとを
具備するマイクロバルブにおいて、 前記入力孔に対向して湾曲して取付けられ前記入力孔を
押圧して塞ぐシリコンダイアフラムと、前記シリコン基
板に設けられた励磁コイルと、前記シリコンダイアフラ
ムに設けられ前記励磁コイルが励磁された場合に反発さ
れる磁性膜とを具備したことを特徴とするマイクロバル
ブを構戒した．この結果、 （１）構成が簡単で、小型、軽量なマイクロバルブが得
られる． （２）シリコンのｇ＆細加工技術が利用でき、大量生産
が容易であり、安価なものが得られる．（３）自己開閉
機能を有し、計算例で示したように、高圧流体下でもバ
ルブの開閉の容易なマイクロバルブが得られる． 従って、本発明によれば、シリコンで作成され、極めて
小型で、軽量、安価で、自己開閉機能を有し、高圧流体
でもバルブの開閉の容易なノルマリクローズド形のマイ
クロバルブを実現することが出来る．
、形状はどのようなものでも良い．また、Ｉｉｉｌｌ磁
コイル２６は、第１のシリコン基板２１の外気に接する
該表面に形成されても良い．また、小突起２５１は無く
ても良いことは勿論である． また、開閉室２ｌ１、凹部２５、連通孔２７，２３１等
の形成の為のエッチングの種類は問わない く発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、シリコン基板と、該シ
リコン基板に設けられた入力孔と、該入力孔に対向して
設けられ該入力孔を開閉するシリコンダイアフラムとを
具備するマイクロバルブにおいて、 前記入力孔に対向して湾曲して取付けられ前記入力孔を
押圧して塞ぐシリコンダイアフラムと、前記シリコン基
板に設けられた励磁コイルと、前記シリコンダイアフラ
ムに設けられ前記励磁コイルが励磁された場合に反発さ
れる磁性膜とを具備したことを特徴とするマイクロバル
ブを構戒した．この結果、 （１）構成が簡単で、小型、軽量なマイクロバルブが得
られる． （２）シリコンのｇ＆細加工技術が利用でき、大量生産
が容易であり、安価なものが得られる．（３）自己開閉
機能を有し、計算例で示したように、高圧流体下でもバ
ルブの開閉の容易なマイクロバルブが得られる． 従って、本発明によれば、シリコンで作成され、極めて
小型で、軽量、安価で、自己開閉機能を有し、高圧流体
でもバルブの開閉の容易なノルマリクローズド形のマイ
クロバルブを実現することが出来る．
第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図は
第１図の斜視図、第３図，第４図は第１図の部品説明図
、第５図は従来より一般に使用されでいる従来例の構成
説明図、第６図は第５図の要部構成説明図、第７図は第
５図の部品説明図である． ２１・・・第１のシリコン基板、２１１・・・開閉室、
２２・・・入力孔、２２１・・・チューブ、２３・・・
第２のシリコン基板、２３１・・・連通孔、２４・・・
凹部、２５・・・ダイアフラム、２５１・・・小突起、
２６・・・励磁コイル、２７・・・連通孔、２８・・・
磁性膜、２９・・・第３のシリコン基板、３１・・・導
圧室、３２・・・出力孔、３２１・・・チューブ、３３
・・・スペーサ、３４・・・金属枠． 第 ２ 図
第１図の斜視図、第３図，第４図は第１図の部品説明図
、第５図は従来より一般に使用されでいる従来例の構成
説明図、第６図は第５図の要部構成説明図、第７図は第
５図の部品説明図である． ２１・・・第１のシリコン基板、２１１・・・開閉室、
２２・・・入力孔、２２１・・・チューブ、２３・・・
第２のシリコン基板、２３１・・・連通孔、２４・・・
凹部、２５・・・ダイアフラム、２５１・・・小突起、
２６・・・励磁コイル、２７・・・連通孔、２８・・・
磁性膜、２９・・・第３のシリコン基板、３１・・・導
圧室、３２・・・出力孔、３２１・・・チューブ、３３
・・・スペーサ、３４・・・金属枠． 第 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 シリコン基板と、 該シリコン基板に設けられた入力孔と、 該入力孔に対向して設けられ該入力孔を開閉するシリコ
ンダイアフラムとを具備するマイクロバルブにおいて、 前記入力孔に対向して湾曲して取付けられ前記入力孔を
押圧して塞ぐシリコンダイアフラムと、前記シリコン基
板に設けられた励磁コイルと、前記シリコンダイアフラ
ムに設けられ前記励磁コイルが励磁された場合に反発さ
れる磁性膜とを具備したことを特徴とするマイクロバル
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24131489A JP2738054B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | マイクロバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24131489A JP2738054B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | マイクロバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03103680A true JPH03103680A (ja) | 1991-04-30 |
| JP2738054B2 JP2738054B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=17072451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24131489A Expired - Fee Related JP2738054B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | マイクロバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2738054B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1008765A2 (de) | 1998-12-08 | 2000-06-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil |
| US6131879A (en) * | 1996-11-25 | 2000-10-17 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Piezoelectrically actuated microvalve |
| US6142444A (en) * | 1996-11-25 | 2000-11-07 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Piezoelectrically actuated microvalve |
| WO2009053027A2 (de) | 2007-10-22 | 2009-04-30 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Pumpe, pumpenanordnung und pumpenmodul |
| JP2018508721A (ja) * | 2015-01-30 | 2018-03-29 | ヴァレオ システム デシュヤージュＶａｌｅｏ Ｓｙｓｔｅｍｅｓ Ｄ’Ｅｓｓｕｙａｇｅ | 車両風防ガラス洗浄液分配システムのための流体分配バルブ |
-
1989
- 1989-09-18 JP JP24131489A patent/JP2738054B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6131879A (en) * | 1996-11-25 | 2000-10-17 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Piezoelectrically actuated microvalve |
| US6142444A (en) * | 1996-11-25 | 2000-11-07 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Piezoelectrically actuated microvalve |
| EP1008765A2 (de) | 1998-12-08 | 2000-06-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil |
| DE19856583A1 (de) * | 1998-12-08 | 2000-06-21 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil |
| EP1008765A3 (de) * | 1998-12-08 | 2003-01-22 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil |
| WO2009053027A2 (de) | 2007-10-22 | 2009-04-30 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Pumpe, pumpenanordnung und pumpenmodul |
| WO2009053027A3 (de) * | 2007-10-22 | 2009-11-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Pumpe, pumpenanordnung und pumpenmodul |
| US9217426B2 (en) | 2007-10-22 | 2015-12-22 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Pump, pump arrangement and pump module |
| JP2018508721A (ja) * | 2015-01-30 | 2018-03-29 | ヴァレオ システム デシュヤージュＶａｌｅｏ Ｓｙｓｔｅｍｅｓ Ｄ’Ｅｓｓｕｙａｇｅ | 車両風防ガラス洗浄液分配システムのための流体分配バルブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2738054B2 (ja) | 1998-04-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |