JPH03104731U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03104731U JPH03104731U JP1342190U JP1342190U JPH03104731U JP H03104731 U JPH03104731 U JP H03104731U JP 1342190 U JP1342190 U JP 1342190U JP 1342190 U JP1342190 U JP 1342190U JP H03104731 U JPH03104731 U JP H03104731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pull
- diffusion furnace
- out rod
- semiconductor diffusion
- quartz jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning In General (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に係る半導体拡散炉用
石英治具と収納される引出棒の構成を示す断面図
、第２図は第１図に示される実施例の説明に共さ
れる図、第３図は従来の技術の半導体拡散炉用石
英治具と引出棒を示す断面図である。 Ａ……半導体拡散炉用石英治具（ホルダ）、Ｂ
……引出棒、Ｒ……貫通孔、２……湾曲部、３…
…水槽、４……洗浄液、５……空気、６……ホー
ス、８……洗浄液。
石英治具と収納される引出棒の構成を示す断面図
、第２図は第１図に示される実施例の説明に共さ
れる図、第３図は従来の技術の半導体拡散炉用石
英治具と引出棒を示す断面図である。 Ａ……半導体拡散炉用石英治具（ホルダ）、Ｂ
……引出棒、Ｒ……貫通孔、２……湾曲部、３…
…水槽、４……洗浄液、５……空気、６……ホー
ス、８……洗浄液。
Claims (1)
- 引出棒を収納する半導体拡散炉用石英治具にお
いて、先端部に前記引出棒が突出しない貫通孔が
設けられることを特徴とする半導体拡散炉用石英
治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342190U JPH03104731U (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342190U JPH03104731U (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104731U true JPH03104731U (ja) | 1991-10-30 |
Family
ID=31516836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1342190U Pending JPH03104731U (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03104731U (ja) |
-
1990
- 1990-02-14 JP JP1342190U patent/JPH03104731U/ja active Pending