JPH0420225U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0420225U JPH0420225U JP6179590U JP6179590U JPH0420225U JP H0420225 U JPH0420225 U JP H0420225U JP 6179590 U JP6179590 U JP 6179590U JP 6179590 U JP6179590 U JP 6179590U JP H0420225 U JPH0420225 U JP H0420225U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pen
- diamond pen
- diamond
- end surface
- outer cylinder
- Prior art date
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- Pending
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- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例における半導体ウエ
ーハのナンバリング装置の構造を示しａは側面図
、ｂは縦断面図、ｃは横断面図である。 １……外筒、１Ａ……端面（反ペン先部側の）
、１Ｂ……吸引部、２……ダイアモンドペン、２
Ａ……ペン先部、３……吸引装置のパイプ、４…
…支持枠。
ーハのナンバリング装置の構造を示しａは側面図
、ｂは縦断面図、ｃは横断面図である。 １……外筒、１Ａ……端面（反ペン先部側の）
、１Ｂ……吸引部、２……ダイアモンドペン、２
Ａ……ペン先部、３……吸引装置のパイプ、４…
…支持枠。
Claims (1)
- ダイアモンドペンと、このダイアモンドペンの
ペン先部を除いてダイアモンドペンの周囲を囲む
外筒とからなり、この外筒はダイヤモンドペンの
軸方向に流体の通流可能な支持枠を介してダイア
モンドペンに支持され、反ペン先部側の端面にお
いて吸引装置のパイプに連通して結合されかつペ
ン先部側の端面に狭隘な開口を有する吸引部が形
成されてなることを特徴とする半導体ウエーハの
ナンバリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6179590U JPH0420225U (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6179590U JPH0420225U (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0420225U true JPH0420225U (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=31590363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6179590U Pending JPH0420225U (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0420225U (ja) |
-
1990
- 1990-06-12 JP JP6179590U patent/JPH0420225U/ja active Pending