JPH0310528U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一例に係るウエハトレイの縦
断面図。第２図は本考案の一例に係るサセプタの
縦断面図。第３図は本考案の一例に係るトレイ受
台の縦断面図。第４図はサセプタにウエハトレイ
を戴置したものの縦断面図。第５図はウエハトレ
イをトレイ受台に戴置したものの縦断面図。第６
図は気相成長装置の一例を示す平面図。第７図は
同じものの縦断面図。第８図は実施例に係るトレ
イ受台の平面図。第９図は同じトレイ受台の正面
図。第１０図はフオークの平面図。第１１図は第
１０図の−断面図。第１２図は従来例に係る
ウエハトレイ、サセプタの嵌合状態を示す縦断面
図。 １……ウエハトレイ、２……ウエハ戴置部、３
……裏板部、４……周縁、５……内傾斜周面、６
……サセプタ、７……上面部、８……外傾斜周面
、９……サセプタ指示シヤフト、１０……円筒周
面、１１……ウエハ、１２……トレイ受台、１３
……上面部、１４……下面部、１５……外傾斜周
面、１６……取付柄部、１７……穴、１９……ト
レイ受台ベース板、２１……垂直壁、２３……カ
セツト、２５，２６……ゲートバルブ、２７……
直線導入機、２８……搬送装置、Ｆ……ロードロ
ツク室、Ｇ……成長室、Ｈ……ゲートバルブ、ｓ
……サセプタとウエハトレイの間隙、ｔ……トレ
イ受台とトレイの間隙。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上面にウエハを戴置すべきウエハ戴置部２
   が穿たれ下面にはサセプタへ差し込むための穴が
   周縁４を残して穿たれ、該穴の中央の平坦な裏板
   部３と周縁４底部とを結ぶ周面が上で狭く下で広
   くなるよう傾斜した内傾斜周面５となつているウ
   エハトレイ１と、平坦な上面部７と側周部の少な
   くとも上方の一部に形成され上で狭く下で広い外
   傾斜周面８とを有するサセプタ６とよりなり、ウ
   エハトレイ１がサセプタ６の上に置かれた時両者
   が内外傾斜周面５，８によつて接触するようにし
   た事を特徴とするウエハトレイ・サセプタの形状
   。 (2) 平坦な上面部１３、下面部１４と、取付柄
   部１６と、上面部１３と下面部１４を結ぶ周面で
   あつて上で狭く下で広くなるよう傾斜する外傾斜
   周面１５とを有するトレイ受台１２と、上面にウ
   エハを戴置すべきウエハ戴置部２が穿たれ下面に
   はトレイ受台１２へ差し込むための穴が周縁４を
   残して穿たれ、該穴の中央の平坦な裏板部３と周
   縁４底部とを結ぶ周面が上で狭く下で広くなるよ
   う傾斜した内傾斜周面５となつているウエハトレ
   イ１とよりなり、ウエハトレイ１をトレイ受台１
   ２の上へ戴置させる際、ウエハトレイ１が内外傾
   斜周面５，１５によつて案内され、ウエハトレイ
   １の周縁４の底がトレイ支持部３１と取付柄部１
   ６に接触するようにした事を特徴とするウエハト
   レイ・トレイ受台の形状。