JPH03105710A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH03105710A JPH03105710A JP24442389A JP24442389A JPH03105710A JP H03105710 A JPH03105710 A JP H03105710A JP 24442389 A JP24442389 A JP 24442389A JP 24442389 A JP24442389 A JP 24442389A JP H03105710 A JPH03105710 A JP H03105710A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ．発明の目的
〔産業上の利用分野〕
本発明は，垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄膜磁気ヘ
ッドに関する。
ッドに関する。
高密度磁気記録を行う場合、磁気記録媒体に、磁気ヘッ
ドとの相対的移行方向に沿って磁化する記録、いわゆる
長手記録方式よりも、磁気媒体の厚み方向に磁化するい
わゆる垂直磁気記録方式による磁気記録方式が有利であ
ることが知られている。これは長手記録方式では磁気記
録信号が短波長になるほど自己減磁作用が大きくなるの
に比べて、垂直記録方式では磁気記録層内の自己減磁作
用が小さくなり、高密度磁気記録を容易にする性質を持
つことに因る。
ドとの相対的移行方向に沿って磁化する記録、いわゆる
長手記録方式よりも、磁気媒体の厚み方向に磁化するい
わゆる垂直磁気記録方式による磁気記録方式が有利であ
ることが知られている。これは長手記録方式では磁気記
録信号が短波長になるほど自己減磁作用が大きくなるの
に比べて、垂直記録方式では磁気記録層内の自己減磁作
用が小さくなり、高密度磁気記録を容易にする性質を持
つことに因る。
この垂直記録方式に用いられる垂直磁気記録磁気ヘッド
としては主に二つのものが提案されている。即ち、ｌ）
垂直磁化膜つまり記録層のみからなる単相膜記録媒体と
組み合せて使用する長手記録方式と同様なリングタイプ
磁気ヘッド。
としては主に二つのものが提案されている。即ち、ｌ）
垂直磁化膜つまり記録層のみからなる単相膜記録媒体と
組み合せて使用する長手記録方式と同様なリングタイプ
磁気ヘッド。
２）垂直磁化膜の下層に高い比透磁率特性の磁性膜を有
する二層膜媒体と組み合せて使用し、補助磁極を有する
主磁極励磁型単磁極磁気ヘッドとがある。
する二層膜媒体と組み合せて使用し、補助磁極を有する
主磁極励磁型単磁極磁気ヘッドとがある。
しかしながら、前記１）項、及び２）項の磁気ヘッドを
用い、さらに高密度磁気記録を行う場合、記録媒体に対
する垂直磁界の急峻さの点から２》項に示す主磁極励磁
型単磁極磁気ヘッドの方が有利であるため、主に第５図
に示すようなバルクタイプの磁気ヘッド、または第６図
に示すような薄膜タイプの磁気ヘッドが検討されている
。
用い、さらに高密度磁気記録を行う場合、記録媒体に対
する垂直磁界の急峻さの点から２》項に示す主磁極励磁
型単磁極磁気ヘッドの方が有利であるため、主に第５図
に示すようなバルクタイプの磁気ヘッド、または第６図
に示すような薄膜タイプの磁気ヘッドが検討されている
。
前記第５図、第６図に示す垂直磁気記録用主磁極励磁型
単磁極の磁気ヘッドは、磁気記録媒体からの磁束が記録
再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が長いため磁束は減
衰してしまい、良好な感度が得られないという構造的な
問題があり、さらには２トラック化、またはそれ以上の
マルチトラック化を行う場合、記録再生用巻線の取付け
、または巻線の形成場所の都合から、磁気ヘッドとして
多トラック化に不利である等の構造的な問題があるため
、マルチトラックの主磁極励磁型単磁極の磁気ヘッドは
未だに提案されていない。
単磁極の磁気ヘッドは、磁気記録媒体からの磁束が記録
再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が長いため磁束は減
衰してしまい、良好な感度が得られないという構造的な
問題があり、さらには２トラック化、またはそれ以上の
マルチトラック化を行う場合、記録再生用巻線の取付け
、または巻線の形成場所の都合から、磁気ヘッドとして
多トラック化に不利である等の構造的な問題があるため
、マルチトラックの主磁極励磁型単磁極の磁気ヘッドは
未だに提案されていない。
本発明は上記欠点を解決するために磁気ヘッドとして再
生感度が良好で、更に一つの磁気記録面上で多トラック
の記録、再生構造を持つ垂直記録用主磁極励磁型単磁極
の薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
生感度が良好で、更に一つの磁気記録面上で多トラック
の記録、再生構造を持つ垂直記録用主磁極励磁型単磁極
の薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
ロ．発明の構成
〔課題を解決するための手段〕
本発明による多トラックの薄膜磁気ヘッドは、主磁極を
挟持したスライダ用セラミックス基板に主磁極を中心と
し、主磁極にほぼ直交する面上に記録電流を流しまた信
号を検出するための一回巻の導体回路を絶縁層を介して
多層化し螺旋状に形成した記録再生用薄膜巻線と、その
上に補助磁極として前記記録再生用薄膜巻線の上面を電
気絶縁して壷状の磁性薄膜の補助磁極を，前記主磁極と
磁気的に接合して垂直磁気記録用主磁極励磁型単磁極の
薄膜磁気ヘッド、及びトラック幅方向に同一構造を持つ
薄膜磁気ヘッドを主磁極を同一面上に形成し、更に隣接
する薄膜磁気ヘッドの補助磁極どうしは磁気的に絶縁し
た構造としたインラインマルチトラックの垂直記録用主
磁極励磁型単磁極の薄膜磁気ヘッドとするものである。
挟持したスライダ用セラミックス基板に主磁極を中心と
し、主磁極にほぼ直交する面上に記録電流を流しまた信
号を検出するための一回巻の導体回路を絶縁層を介して
多層化し螺旋状に形成した記録再生用薄膜巻線と、その
上に補助磁極として前記記録再生用薄膜巻線の上面を電
気絶縁して壷状の磁性薄膜の補助磁極を，前記主磁極と
磁気的に接合して垂直磁気記録用主磁極励磁型単磁極の
薄膜磁気ヘッド、及びトラック幅方向に同一構造を持つ
薄膜磁気ヘッドを主磁極を同一面上に形成し、更に隣接
する薄膜磁気ヘッドの補助磁極どうしは磁気的に絶縁し
た構造としたインラインマルチトラックの垂直記録用主
磁極励磁型単磁極の薄膜磁気ヘッドとするものである。
即ち本発明は、
ｌ．主磁極を挟持したスライダ用セラミックス基板に、
主磁極を中心として主磁極にほぼ直交する面上に一回巻
の回路を絶縁層を介在させて積層し、多層化しながら螺
旋状に形成した電気良導体からなる記録再生用薄膜巻線
と、該記録再生用薄膜巻線の上層に絶縁層を形成し、該
絶縁層の上面に壷状の磁性薄膜から成る補助磁極を、前
記主磁極と磁気的に接続するよう構成したことを特徴と
する垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄膜磁気ヘッドで
ある． ２．請求項１記載の垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄
膜磁気ヘッドの主磁極トラック幅方向に、前記薄膜磁気
ヘッドと同様な構造の磁気ヘッドを、主磁極面を同一記
録面として形成し、更に隣接す主磁極励磁型単磁極の薄
膜磁気ヘッドである。
主磁極を中心として主磁極にほぼ直交する面上に一回巻
の回路を絶縁層を介在させて積層し、多層化しながら螺
旋状に形成した電気良導体からなる記録再生用薄膜巻線
と、該記録再生用薄膜巻線の上層に絶縁層を形成し、該
絶縁層の上面に壷状の磁性薄膜から成る補助磁極を、前
記主磁極と磁気的に接続するよう構成したことを特徴と
する垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄膜磁気ヘッドで
ある． ２．請求項１記載の垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄
膜磁気ヘッドの主磁極トラック幅方向に、前記薄膜磁気
ヘッドと同様な構造の磁気ヘッドを、主磁極面を同一記
録面として形成し、更に隣接す主磁極励磁型単磁極の薄
膜磁気ヘッドである。
本発明による補助磁極を形成する磁性薄膜と、記録再生
の巻蒜を形成する薄膜導体を絶縁層を介して積層した構
造の薄膜磁気ヘッドは、磁気記録媒体からの磁束は記録
再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が短くなり、また記
録再生用の巻線を形成する空間が小さくなるため、主磁
極から補助磁極までの磁気回路の長さは短く磁気抵抗が
小さくなり、また形状も小型化され、従って多トラック
で構成された垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄膜磁気
ヘッドが可能となった。
の巻蒜を形成する薄膜導体を絶縁層を介して積層した構
造の薄膜磁気ヘッドは、磁気記録媒体からの磁束は記録
再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が短くなり、また記
録再生用の巻線を形成する空間が小さくなるため、主磁
極から補助磁極までの磁気回路の長さは短く磁気抵抗が
小さくなり、また形状も小型化され、従って多トラック
で構成された垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄膜磁気
ヘッドが可能となった。
以下、本発明の実施例としてインライン２トラックの垂
直記録用主磁極励磁型単磁極の薄膜磁気ヘッドについて
説明する。第１図に示すごとく鏡面加工されたジルコニ
ア・アルミナ系のスライダ用セラミックスブロック基板
１ａの鏡面部２０に、スパッタ、あるいは蒸着等の方法
で鉄（Ｆｅ）、シリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ
）、窒素（Ｎ）の組成を持つ磁性薄膜を所望の厚さ組成
を持つ、例えば０．３ミクロンに成膜し、所望トラック
幅、例えば６０ミクロンにイオンビーム、あるいはケミ
カルな方法等のエッチングを用るか、所望の間隔、例え
ば４０ミクロンに主磁極２ａ， ２ｂ ２ケを形成する
。その後前記主磁極を前記同一形状のジルコニア・アル
ミナ系のスライダ用セラミックスブロック基板１ｂの鏡
面に仕上げた面で挟持し、同時にガラス接着する。この
ようにして作られた複合ブロックを主磁極の挟持面に対
して垂直に所望の厚さで切断し、その切断面Ａ−Ｂに鏡
面加工Ｃを施し，記録再生用の巻線、及び補助磁極形成
用の複合基板３を形成する。
直記録用主磁極励磁型単磁極の薄膜磁気ヘッドについて
説明する。第１図に示すごとく鏡面加工されたジルコニ
ア・アルミナ系のスライダ用セラミックスブロック基板
１ａの鏡面部２０に、スパッタ、あるいは蒸着等の方法
で鉄（Ｆｅ）、シリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ
）、窒素（Ｎ）の組成を持つ磁性薄膜を所望の厚さ組成
を持つ、例えば０．３ミクロンに成膜し、所望トラック
幅、例えば６０ミクロンにイオンビーム、あるいはケミ
カルな方法等のエッチングを用るか、所望の間隔、例え
ば４０ミクロンに主磁極２ａ， ２ｂ ２ケを形成する
。その後前記主磁極を前記同一形状のジルコニア・アル
ミナ系のスライダ用セラミックスブロック基板１ｂの鏡
面に仕上げた面で挟持し、同時にガラス接着する。この
ようにして作られた複合ブロックを主磁極の挟持面に対
して垂直に所望の厚さで切断し、その切断面Ａ−Ｂに鏡
面加工Ｃを施し，記録再生用の巻線、及び補助磁極形成
用の複合基板３を形成する。
次に第２図に示すごとく複合基板上に厚さ１μ重ないし
２μ鵬の銅薄膜と、絶縁層としてＳｉＯ。膜を銅薄膜間
に形成して記録再生用巻線４ａ， ４ｂ、及び５Ｍｏ−
８０Ｎｉ−Ｆｅバーマロイの補助磁極５ａ， ５ｂを前
述した成膜方法、及びエッチング方法を繰り返し用いて
形成する。ここで、巻線は前記複合基板の主磁極の回り
に、所望の幅で例えば７ミクロンに、所望の厚さで例え
ば１ミクロンで一回巻きを行い、銅薄膜間には電気絶縁
層を介在させながら積層させてかつ螺旋状に連続して五
回巻線を形成する。
２μ鵬の銅薄膜と、絶縁層としてＳｉＯ。膜を銅薄膜間
に形成して記録再生用巻線４ａ， ４ｂ、及び５Ｍｏ−
８０Ｎｉ−Ｆｅバーマロイの補助磁極５ａ， ５ｂを前
述した成膜方法、及びエッチング方法を繰り返し用いて
形成する。ここで、巻線は前記複合基板の主磁極の回り
に、所望の幅で例えば７ミクロンに、所望の厚さで例え
ば１ミクロンで一回巻きを行い、銅薄膜間には電気絶縁
層を介在させながら積層させてかつ螺旋状に連続して五
回巻線を形成する。
更に第３図に示すごとく、前記補助磁極５ａ，５ｂは絶
縁層を介して、巻Ｍ４ａ，４ｂとｆｆｊＡ縁されながら
、巻線４ａ，４ｂを通して巻ｆｉｌ４ａ，４ｂの中心に
存在する主磁極と磁気的に接合させ、巻線の外側で巻線
を取り囲み複合基板と接合される。最後に第４図に示す
ごとく、チタン酸バリウムＢａＴｉＯ３からなる保護用
ブロック６を巻線４ａ， ４ｂ、及び補助磁極５ａ，
５ｂ上にガラス接着し、摺動面に球面加工を施す。
縁層を介して、巻Ｍ４ａ，４ｂとｆｆｊＡ縁されながら
、巻線４ａ，４ｂを通して巻ｆｉｌ４ａ，４ｂの中心に
存在する主磁極と磁気的に接合させ、巻線の外側で巻線
を取り囲み複合基板と接合される。最後に第４図に示す
ごとく、チタン酸バリウムＢａＴｉＯ３からなる保護用
ブロック６を巻線４ａ， ４ｂ、及び補助磁極５ａ，
５ｂ上にガラス接着し、摺動面に球面加工を施す。
上記のような構造の薄膜磁気ヘッドにすることにより、
磁気記録媒体からの磁束が記録再生用の巻線と鎖交する
磁路が短くなり、更に記録再生用の巻線を形成する空間
が小さくなるため、主磁極から補助磁極までの磁気回路
の磁路が短くなり、又同一記録面上で２トラックの垂直
記録用主磁極励磁型単磁極のＷｔｙｉ．磁気ヘッドが実
現出来た。
磁気記録媒体からの磁束が記録再生用の巻線と鎖交する
磁路が短くなり、更に記録再生用の巻線を形成する空間
が小さくなるため、主磁極から補助磁極までの磁気回路
の磁路が短くなり、又同一記録面上で２トラックの垂直
記録用主磁極励磁型単磁極のＷｔｙｉ．磁気ヘッドが実
現出来た。
尚、前記実施例に示すと同一手順により、更にトラック
幅方向に同様な構造の磁気ヘッドを所望の数の主磁極を
インラインとして形成すれば、所望のトラック数を有す
るインラインマルチトラックの垂直記録用主磁極励磁型
単磁極用の薄膜磁気ヘッドが得られる． ハ．発明の効果 〔発明の効果〕 以上に述べたように本発明による薄膜磁気ヘッドとする
ことにより、磁気記録媒体からの磁束が記録再生用の巻
線と鎖交するまでの磁気回路が短くなり、更に記録再生
用の巻線を形成する空間が小さくなるため主磁極から補
助磁極までの磁気回路が小型化し、従来に比べて再生感
度は向上する。
幅方向に同様な構造の磁気ヘッドを所望の数の主磁極を
インラインとして形成すれば、所望のトラック数を有す
るインラインマルチトラックの垂直記録用主磁極励磁型
単磁極用の薄膜磁気ヘッドが得られる． ハ．発明の効果 〔発明の効果〕 以上に述べたように本発明による薄膜磁気ヘッドとする
ことにより、磁気記録媒体からの磁束が記録再生用の巻
線と鎖交するまでの磁気回路が短くなり、更に記録再生
用の巻線を形成する空間が小さくなるため主磁極から補
助磁極までの磁気回路が小型化し、従来に比べて再生感
度は向上する。
又インライン上でのマルチトラックの垂直記録用主磁極
励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドの形成が可能となった． 以下余白
励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドの形成が可能となった． 以下余白
第ｌ図は、本発明の薄膜磁気ヘッドを構成する主磁極を
挟持したスライダ用セラミックス基板の斜視図． 第２図は、本発明によるスライダ用セラミックス基板上
に薄膜磁気ヘッドの巻線を形成した斜視図。 第３図は、本発明によるスライダ用セラミックス基板上
に薄膜磁気ヘッドの巻繍及び補助磁極を形成した後の斜
視図。 第４図は、本発明による２トラックの垂直記録用主磁極
励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドの斜視図。 第５図は、従来例によるバルクタイプの垂直記録用主磁
極励磁型単磁極ヘッドの斜視図。 第６図は、従来例による垂直記録用主磁極励磁型単磁極
薄膜ヘッドの斜視図。 ｌ・・・複合ブロック、ｌａ， ｌｂ・・・スライダ用
セラミックスブロック基板、２ａ， ２ｂ・・・主磁極
、３・・・複合基板、４， ４ａ， ４ｂ・・・巻線、
５ａ， ５ｂ・・・補助磁極、６・・・保護用ブロック
、７・・・接着用ガラス， １０ａ，１０ｂ・・・スラ
イダ、１ｌ・・・主磁極、１２ａ， １２ｂ・・・補強
用ガラス、１３ａ， １３ｂ・・・補助磁極、１４・・
・巻線、１５・・・スライダ兼薄膜形成用基板、１６・
・・主磁極、２０・・・鏡面部、Ａ−Ｂ・・・切断面、
Ｃ・・・鏡面部。
挟持したスライダ用セラミックス基板の斜視図． 第２図は、本発明によるスライダ用セラミックス基板上
に薄膜磁気ヘッドの巻線を形成した斜視図。 第３図は、本発明によるスライダ用セラミックス基板上
に薄膜磁気ヘッドの巻繍及び補助磁極を形成した後の斜
視図。 第４図は、本発明による２トラックの垂直記録用主磁極
励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドの斜視図。 第５図は、従来例によるバルクタイプの垂直記録用主磁
極励磁型単磁極ヘッドの斜視図。 第６図は、従来例による垂直記録用主磁極励磁型単磁極
薄膜ヘッドの斜視図。 ｌ・・・複合ブロック、ｌａ， ｌｂ・・・スライダ用
セラミックスブロック基板、２ａ， ２ｂ・・・主磁極
、３・・・複合基板、４， ４ａ， ４ｂ・・・巻線、
５ａ， ５ｂ・・・補助磁極、６・・・保護用ブロック
、７・・・接着用ガラス， １０ａ，１０ｂ・・・スラ
イダ、１ｌ・・・主磁極、１２ａ， １２ｂ・・・補強
用ガラス、１３ａ， １３ｂ・・・補助磁極、１４・・
・巻線、１５・・・スライダ兼薄膜形成用基板、１６・
・・主磁極、２０・・・鏡面部、Ａ−Ｂ・・・切断面、
Ｃ・・・鏡面部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、主磁極を挟持したスライダ用セラミックス基板に、
主磁極を中心として主磁極にほぼ直交する面上に一回巻
の回路を絶縁層を介在させて積層し、多層化しながら螺
旋状に形成した電気良導体からなる記録再生用薄膜巻線
と、該記録再生用薄膜巻線の上層に絶縁層を形成し、該
絶縁層の上面に壷状の磁性薄膜から成る補助磁極を、前
記主磁極と磁気的に接続するよう構成したことを特徴と
する垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄膜磁気ヘッド。 ２、請求項１記載の垂直記録用主磁極励磁型単磁極の薄
膜磁気ヘッドの主磁極トラック幅方向に、前記薄膜磁気
ヘッドと同様な構造の磁気ヘッドを、主磁極面を同一記
録面として形成し、更に隣接する薄膜磁気ヘッドの補助
磁極どうしは磁気的に絶縁した構造としたことを特徴と
する、インラインマルチトラックの垂直記録用主磁極励
磁型単磁極の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24442389A JPH03105710A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24442389A JPH03105710A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03105710A true JPH03105710A (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=17118436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24442389A Pending JPH03105710A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03105710A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0757419A (ja) * | 1993-08-20 | 1995-03-03 | Nec Corp | 浮動ヘッドスライダおよびその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5184618A (ja) * | 1975-01-22 | 1976-07-24 | Nippon Electric Co | Jikihetsudo |
| JPS63155410A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-28 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 垂直磁気記録再生用ヘツド |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP24442389A patent/JPH03105710A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5184618A (ja) * | 1975-01-22 | 1976-07-24 | Nippon Electric Co | Jikihetsudo |
| JPS63155410A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-28 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 垂直磁気記録再生用ヘツド |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0757419A (ja) * | 1993-08-20 | 1995-03-03 | Nec Corp | 浮動ヘッドスライダおよびその製造方法 |
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