JPH05242433A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH05242433A JPH05242433A JP4439092A JP4439092A JPH05242433A JP H05242433 A JPH05242433 A JP H05242433A JP 4439092 A JP4439092 A JP 4439092A JP 4439092 A JP4439092 A JP 4439092A JP H05242433 A JPH05242433 A JP H05242433A
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- magnetic head
- film
- magnetoresistive
- magnetoresistive effect
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Abstract
(57)【要約】
【構成】再生用磁気抵抗効果型磁気ヘッドのトラック幅
方向に磁気シールド膜１２を形成した。また、再生用磁
気ヘッドと記録用の誘導型磁気ヘッドを組み合わせた複
合型磁気ヘッドを作製した。再生用磁気抵抗効果型磁気
ヘッドにおける磁気抵抗効果材料として、磁性層と非磁
性層を積層した多層膜を用いることもできる。また、本
発明の磁気ヘッドを磁気ディスク装置に用いた。 【効果】トラック幅方向の磁界の影響の少ない磁気抵抗
効果型磁気ヘッドを得ることができた。また、磁気ヘッ
ドを用いることにより、高密度記録に適した磁気ディス
ク装置が得られた。
方向に磁気シールド膜１２を形成した。また、再生用磁
気ヘッドと記録用の誘導型磁気ヘッドを組み合わせた複
合型磁気ヘッドを作製した。再生用磁気抵抗効果型磁気
ヘッドにおける磁気抵抗効果材料として、磁性層と非磁
性層を積層した多層膜を用いることもできる。また、本
発明の磁気ヘッドを磁気ディスク装置に用いた。 【効果】トラック幅方向の磁界の影響の少ない磁気抵抗
効果型磁気ヘッドを得ることができた。また、磁気ヘッ
ドを用いることにより、高密度記録に適した磁気ディス
ク装置が得られた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体からの信
号磁界を磁気抵抗効果素子で検出する磁気抵抗効果型ヘ
ッドに係り、特に、狭トラック幅を有する磁気ディスク
用の磁気ヘッドに関する。
号磁界を磁気抵抗効果素子で検出する磁気抵抗効果型ヘ
ッドに係り、特に、狭トラック幅を有する磁気ディスク
用の磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッドに用いる一般的な磁気抵抗効
果素子では、磁気記録媒体からの信号磁界の再生感度を
高くするために、磁気ヘッドの進行方向に磁気シールド
を伴う場合が多い。
果素子では、磁気記録媒体からの信号磁界の再生感度を
高くするために、磁気ヘッドの進行方向に磁気シールド
を伴う場合が多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年の磁気記
録密度の増加に伴い、トラック幅が狭くなり、トラック
幅方向の磁界の影響を受けることによる感度低下が問題
になっている。
録密度の増加に伴い、トラック幅が狭くなり、トラック
幅方向の磁界の影響を受けることによる感度低下が問題
になっている。
【０００４】本発明の目的は、トラック幅方向の磁気シ
ールド効果の高い磁気シールド膜およびこれを用いた磁
気抵抗効果型磁気ヘッドを提供することにある。
ールド効果の高い磁気シールド膜およびこれを用いた磁
気抵抗効果型磁気ヘッドを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、種々の構
造を有する磁気シールド膜を用いた磁気ヘッドについて
鋭意研究を重ねた結果、トラック幅方向に磁気シールド
膜を形成することにより、トラック幅方向の磁界の影響
の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッドを得ることができる
ことを明らかにした。
造を有する磁気シールド膜を用いた磁気ヘッドについて
鋭意研究を重ねた結果、トラック幅方向に磁気シールド
膜を形成することにより、トラック幅方向の磁界の影響
の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッドを得ることができる
ことを明らかにした。
【０００６】また、本発明の磁気ヘッドを用いることに
より、高記録密度用の磁気記録再生装置が得られる。
より、高記録密度用の磁気記録再生装置が得られる。
【０００７】
【作用】上述のように、トラック幅方向に磁気シールド
膜を形成することにより、トラック幅方向の磁界の影響
の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッドを得ることができ
る。また、上述の磁気ヘッドを用いることにより、高記
録密度用の磁気ディスク装置が得られる。
膜を形成することにより、トラック幅方向の磁界の影響
の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッドを得ることができ
る。また、上述の磁気ヘッドを用いることにより、高記
録密度用の磁気ディスク装置が得られる。
【０００８】
〈実施例１〉本発明のトラック幅方向に磁気シールドを
もつ磁気ヘッドの作製工程を述べる。
もつ磁気ヘッドの作製工程を述べる。
【０００９】図１（ａ）のように、Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣを
主成分とする焼結体からなる非磁性基板１１の上に、磁
気シールド層１２を形成した。磁気シールド層１２には
スパッタリング法で形成した膜厚１μｍのＮｉ−Ｆｅ系
合金（パーマロイ）を用いた。また、磁気シールド層１
２の上に、スパッタリング法で、膜厚０.２μｍ のＡｌ
2Ｏ3からなる絶縁層１３を形成した。さらに、図１
（ｂ）のように、２枚のＮｉ−Ｚｎフェライト板１４，
ガラス１５からなるギャップ１６を有するヨーク板１７
を用意し、ヨーク板１７の厚さをトラック幅まで研磨す
る。図１（ｃ）のように、ヨーク板１７の上に、厚さ３
０ｎｍのＮｉ−Ｆｅ系合金からなる磁気抵抗効果膜１８
および、膜厚３０ｎｍのＴｉ膜からなるシャント膜１９
をスパッタリング法で形成し、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒという
多層構造のリード線２０を形成した。なお、シャント膜
１９は、Ｎｂを用いると、磁気ヘッド形成プロセスにお
ける耐熱性が向上してさらに好ましい。
主成分とする焼結体からなる非磁性基板１１の上に、磁
気シールド層１２を形成した。磁気シールド層１２には
スパッタリング法で形成した膜厚１μｍのＮｉ−Ｆｅ系
合金（パーマロイ）を用いた。また、磁気シールド層１
２の上に、スパッタリング法で、膜厚０.２μｍ のＡｌ
2Ｏ3からなる絶縁層１３を形成した。さらに、図１
（ｂ）のように、２枚のＮｉ−Ｚｎフェライト板１４，
ガラス１５からなるギャップ１６を有するヨーク板１７
を用意し、ヨーク板１７の厚さをトラック幅まで研磨す
る。図１（ｃ）のように、ヨーク板１７の上に、厚さ３
０ｎｍのＮｉ−Ｆｅ系合金からなる磁気抵抗効果膜１８
および、膜厚３０ｎｍのＴｉ膜からなるシャント膜１９
をスパッタリング法で形成し、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒという
多層構造のリード線２０を形成した。なお、シャント膜
１９は、Ｎｂを用いると、磁気ヘッド形成プロセスにお
ける耐熱性が向上してさらに好ましい。
【００１０】このようにして得られた磁気抵抗効果素子
２１を、図１（ｄ）のように、絶縁層１３の上に重ね
る。そして、さらに、図１（ｅ）のように、Ａｌ2Ｏ3か
らなる絶縁層２２を形成し、平坦化を行った後、膜厚１
μｍのＮｉ−Ｆｅ系合金からなる磁気シールド層２３を
形成し、磁気抵抗効果素子２４を得た。
２１を、図１（ｄ）のように、絶縁層１３の上に重ね
る。そして、さらに、図１（ｅ）のように、Ａｌ2Ｏ3か
らなる絶縁層２２を形成し、平坦化を行った後、膜厚１
μｍのＮｉ−Ｆｅ系合金からなる磁気シールド層２３を
形成し、磁気抵抗効果素子２４を得た。
【００１１】磁気抵抗効果素子２４は、トラック幅方向
２５にもシールド層を有する。磁気抵抗効果素子２４
と、磁気シールド層１２および２３を持たない他は同様
の構造を有する磁気抵抗効果素子の再生特性を測定した
ところ、本発明の磁気抵抗効果素子２４の方が、３ｄＢ
高いＳ／Ｎ比を得た。これは、従来のトラック幅方向に
磁気シールドを持たない磁気ヘッドでは、隣接するトラ
ックからの情報等を検出してしまうのに対し、本発明の
トラック幅方向に磁気シールドを持つ磁気ヘッドでは、
隣接トラックからの信号磁界の影響を受けにくいためと
考えられる。
２５にもシールド層を有する。磁気抵抗効果素子２４
と、磁気シールド層１２および２３を持たない他は同様
の構造を有する磁気抵抗効果素子の再生特性を測定した
ところ、本発明の磁気抵抗効果素子２４の方が、３ｄＢ
高いＳ／Ｎ比を得た。これは、従来のトラック幅方向に
磁気シールドを持たない磁気ヘッドでは、隣接するトラ
ックからの情報等を検出してしまうのに対し、本発明の
トラック幅方向に磁気シールドを持つ磁気ヘッドでは、
隣接トラックからの信号磁界の影響を受けにくいためと
考えられる。
【００１２】本実施例では、磁気抵抗効果膜に対するバ
イアス方式としてシャントバイアス方式を示したが、永
久磁石方式、ソフトバイアス方式などの他のバイアス方
式を用いることもできる。
イアス方式としてシャントバイアス方式を示したが、永
久磁石方式、ソフトバイアス方式などの他のバイアス方
式を用いることもできる。
【００１３】また、上記の磁気抵抗効果素子と記録用の
誘導型磁気ヘッドとを組み合わせることにより、高性能
の複合型磁気ヘッドを得ることができる。
誘導型磁気ヘッドとを組み合わせることにより、高性能
の複合型磁気ヘッドを得ることができる。
【００１４】また、磁気抵抗効果膜１８として、高い磁
気抵抗効果を有する多層膜材料を用いると、さらに高い
出力の磁気ヘッドを得ることができる。例えば、厚さ
１.５ｎｍのＮｉ−２０ａｔ％Ｆｅ合金層と、厚さ２ｎ
ｍのＣｕ層を１０周期積層した多層膜は、Ｎｉ−Ｆｅ系
合金単層膜よりも２倍以上高い、６.５％ の磁気抵抗変
化率を示すため、２倍程度の再生出力を示す磁気ヘッド
を得ることができる。
気抵抗効果を有する多層膜材料を用いると、さらに高い
出力の磁気ヘッドを得ることができる。例えば、厚さ
１.５ｎｍのＮｉ−２０ａｔ％Ｆｅ合金層と、厚さ２ｎ
ｍのＣｕ層を１０周期積層した多層膜は、Ｎｉ−Ｆｅ系
合金単層膜よりも２倍以上高い、６.５％ の磁気抵抗変
化率を示すため、２倍程度の再生出力を示す磁気ヘッド
を得ることができる。
【００１５】また、本発明の磁気ヘッドは、狭トラック
幅の記録・再生において高い性能を発揮するため、本発
明の磁気ヘッドを磁気ディスク装置に用いることによ
り、高い記録密度を有する高性能磁気ディスク装置を得
ることができる。
幅の記録・再生において高い性能を発揮するため、本発
明の磁気ヘッドを磁気ディスク装置に用いることによ
り、高い記録密度を有する高性能磁気ディスク装置を得
ることができる。
【００１６】〈実施例２〉本発明の磁気抵抗効果膜の周
囲を連続的に磁気シールドで囲んだ磁気ヘッドの作製工
程を以下に述べる。
囲を連続的に磁気シールドで囲んだ磁気ヘッドの作製工
程を以下に述べる。
【００１７】図２（ａ）のように、Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣを
主成分とする焼結体からなる非磁性基板３１の上に、磁
気シールド層３２を形成した。磁気シールド層３２には
スパッタリング法で形成した膜厚１μｍのＮｉ−Ｆｅ系
合金（パーマロイ）を用いた。また、磁気シールド層３
２の上に、部分的にＮｉ−Ｆｅ系合金からなる磁気シー
ルド層３３を形成した。これらの上に、Ａｌ2Ｏ3からな
る絶縁物を形成した後、膜厚３０ｎｍのＮｉ−Ｆｅ系合
金からなる磁気抵抗効果膜３４，膜厚３０ｎｍのＴｉ膜
からなるシャント膜３５，Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒという多層
構造を有するリード線３６を形成した。磁気抵抗効果膜
３４およびシャント膜３５のトラック幅方向の長さは３
μｍ、デプスは１μｍである。また、リード線３６の幅
は、１μｍである。
主成分とする焼結体からなる非磁性基板３１の上に、磁
気シールド層３２を形成した。磁気シールド層３２には
スパッタリング法で形成した膜厚１μｍのＮｉ−Ｆｅ系
合金（パーマロイ）を用いた。また、磁気シールド層３
２の上に、部分的にＮｉ−Ｆｅ系合金からなる磁気シー
ルド層３３を形成した。これらの上に、Ａｌ2Ｏ3からな
る絶縁物を形成した後、膜厚３０ｎｍのＮｉ−Ｆｅ系合
金からなる磁気抵抗効果膜３４，膜厚３０ｎｍのＴｉ膜
からなるシャント膜３５，Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒという多層
構造を有するリード線３６を形成した。磁気抵抗効果膜
３４およびシャント膜３５のトラック幅方向の長さは３
μｍ、デプスは１μｍである。また、リード線３６の幅
は、１μｍである。
【００１８】さらに、図２（ｂ）のように、Ａｌ2Ｏ3か
らなる絶縁物を重ね、研磨により、磁気シールド層３３
の上の、Ａｌ2Ｏ3を完全に除去した後、Ｎｉ−Ｆｅ系合
金からなる磁気シールド層３７を形成した。
らなる絶縁物を重ね、研磨により、磁気シールド層３３
の上の、Ａｌ2Ｏ3を完全に除去した後、Ｎｉ−Ｆｅ系合
金からなる磁気シールド層３７を形成した。
【００１９】磁気抵抗効果素子は、実施例１の磁気抵抗
効果素子と同様に、トラック幅方向にも磁気シールドを
もつため、高いＳ／Ｎ比を示す。これは、磁気抵抗効果
膜の周囲を連続的に磁気シールドで囲んだためと考えら
れる。
効果素子と同様に、トラック幅方向にも磁気シールドを
もつため、高いＳ／Ｎ比を示す。これは、磁気抵抗効果
膜の周囲を連続的に磁気シールドで囲んだためと考えら
れる。
【００２０】また、磁気抵抗効果素子と記録用の誘導型
磁気ヘッドを組み合わせることにより、高性能の複合型
磁気ヘッドを得ることができる。
磁気ヘッドを組み合わせることにより、高性能の複合型
磁気ヘッドを得ることができる。
【００２１】また、磁気抵抗効果膜１８として、高い磁
気抵抗効果を有する多層膜材料を用いると、さらに高い
出力を有する磁気ヘッドを得ることができる。例えば、
厚さ１.５ｎｍ のＮｉ−２０ａｔ％Ｆｅ合金層と、厚さ
２ｎｍのＣｕ層を１０周期積層した多層膜は、Ｎｉ−Ｆ
ｅ系合金単層膜よりも２倍以上高い、６.５％ の磁気抵
抗変化率を示すため、２倍程度の再生出力を示す磁気ヘ
ッドを得ることができる。
気抵抗効果を有する多層膜材料を用いると、さらに高い
出力を有する磁気ヘッドを得ることができる。例えば、
厚さ１.５ｎｍ のＮｉ−２０ａｔ％Ｆｅ合金層と、厚さ
２ｎｍのＣｕ層を１０周期積層した多層膜は、Ｎｉ−Ｆ
ｅ系合金単層膜よりも２倍以上高い、６.５％ の磁気抵
抗変化率を示すため、２倍程度の再生出力を示す磁気ヘ
ッドを得ることができる。
【００２２】また、本発明の磁気ヘッドは、狭トラック
幅の記録・再生において高い性能を発揮するため、本発
明の磁気ヘッドを磁気ディスク装置に用いることによ
り、高い記録密度を有する高性能磁気ディスク装置を得
ることができる。
幅の記録・再生において高い性能を発揮するため、本発
明の磁気ヘッドを磁気ディスク装置に用いることによ
り、高い記録密度を有する高性能磁気ディスク装置を得
ることができる。
【００２３】〈実施例３〉実施例１におけるヨーク型磁
気抵抗効果素子２１を薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子に
置き換えた。図３に薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子４１
の平面図を示す。薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子４１
は、スパッタリングにより、膜厚５０ｎｍのＮｉ−２０
ａｔ％Ｆｅ合金を形成し、フォトリソグラフィー工程を
利用して形成した。薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子４１
は、ギャップ４２，感磁部４３，電流端子４４を有す
る。ギャップは、絞り込んだイオンビームでＮｉ−２０
at％Ｆｅ合金膜をエッチングすることにより形成した。
薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子４１は、Ｎｉ−Ｆｅ系合
金膜の膜厚がトラック幅となるため、超狭トラック幅の
再生用磁気ヘッドとなる。
気抵抗効果素子２１を薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子に
置き換えた。図３に薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子４１
の平面図を示す。薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子４１
は、スパッタリングにより、膜厚５０ｎｍのＮｉ−２０
ａｔ％Ｆｅ合金を形成し、フォトリソグラフィー工程を
利用して形成した。薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子４１
は、ギャップ４２，感磁部４３，電流端子４４を有す
る。ギャップは、絞り込んだイオンビームでＮｉ−２０
at％Ｆｅ合金膜をエッチングすることにより形成した。
薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子４１は、Ｎｉ−Ｆｅ系合
金膜の膜厚がトラック幅となるため、超狭トラック幅の
再生用磁気ヘッドとなる。
【００２４】また、実施例１におけるヨーク型磁気抵抗
効果素子２１を、図４に示すような、薄膜ヨーク型磁気
抵抗効果素子５１に置き換えた。薄膜ヨーク型磁気抵抗
効果素子５１は、ギャップ５２，感磁部５３，電流端子
５４を有する。薄膜ヨークは、膜厚０.５μｍ のＣｏ−
Ｔａ−Ｚｒ系非晶質合金で構成した。また、感磁部５３
は、膜厚３０ｎｍのＮｉ−２０ａｔ％Ｆｅ合金であり、
電流端子５４は、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒという多層構造を有
する。図４の薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子５１は、薄
膜ヨーク部の膜厚により、トラック幅を自由に選択でき
る。また、トラック幅とは独立に、感磁部５３の材料、
膜厚を選択できる点で、図３の薄膜ヨーク型磁気抵抗効
果素子４１よりも優れている。
効果素子２１を、図４に示すような、薄膜ヨーク型磁気
抵抗効果素子５１に置き換えた。薄膜ヨーク型磁気抵抗
効果素子５１は、ギャップ５２，感磁部５３，電流端子
５４を有する。薄膜ヨークは、膜厚０.５μｍ のＣｏ−
Ｔａ−Ｚｒ系非晶質合金で構成した。また、感磁部５３
は、膜厚３０ｎｍのＮｉ−２０ａｔ％Ｆｅ合金であり、
電流端子５４は、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒという多層構造を有
する。図４の薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子５１は、薄
膜ヨーク部の膜厚により、トラック幅を自由に選択でき
る。また、トラック幅とは独立に、感磁部５３の材料、
膜厚を選択できる点で、図３の薄膜ヨーク型磁気抵抗効
果素子４１よりも優れている。
【００２５】図４の薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子５１
における感磁部５３の材料として、高い磁気抵抗効果を
有する多層膜材料を用いると、さらに高い出力を有する
磁気ヘッドを得ることができる。
における感磁部５３の材料として、高い磁気抵抗効果を
有する多層膜材料を用いると、さらに高い出力を有する
磁気ヘッドを得ることができる。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、トラック幅方向に磁気
シールド膜を形成することにより、トラック幅方向の磁
界の影響の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッドを得ること
ができる。また、上記の磁気ヘッドを用いることによ
り、高記録密度用の磁気ディスク装置が得られる。
シールド膜を形成することにより、トラック幅方向の磁
界の影響の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッドを得ること
ができる。また、上記の磁気ヘッドを用いることによ
り、高記録密度用の磁気ディスク装置が得られる。
【図１】本発明のトラック幅方向に磁気シールドをもつ
磁気ヘッドの作製工程を示す斜視図。
磁気ヘッドの作製工程を示す斜視図。
【図２】本発明の磁気抵抗効果膜の周囲を磁気シールド
で囲んだ磁気ヘッドの作製工程を示す斜視図。
で囲んだ磁気ヘッドの作製工程を示す斜視図。
【図３】本発明の薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子の一実
施例の平面図。
施例の平面図。
【図４】本発明の薄膜ヨーク型磁気抵抗効果素子の他の
実施例の平面図。
実施例の平面図。
１１…非磁性基板、１２，２３…磁気シールド層、１
３，２２…絶縁層、１４…Ｎｉ−Ｚｎフェライト板、１
５…ガラス、１６…ギャップ、１７…ヨーク板、１８…
磁気抵抗効果膜、１９…シャント膜、２０…リード線、
２１…ヨーク型磁気抵抗効果素子、２４…磁気抵抗効果
素子、２５…トラック幅方向。
３，２２…絶縁層、１４…Ｎｉ−Ｚｎフェライト板、１
５…ガラス、１６…ギャップ、１７…ヨーク板、１８…
磁気抵抗効果膜、１９…シャント膜、２０…リード線、
２１…ヨーク型磁気抵抗効果素子、２４…磁気抵抗効果
素子、２５…トラック幅方向。
Claims (7)
- 【請求項１】磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドにお
いて、トラック幅方向に磁気シールドを有することを特
徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】請求項１において、前記磁気ヘッドがヨー
ク型の磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッド。 - 【請求項３】請求項２において、前記ヨーク型の磁気抵
抗効果素子が、薄膜のヨークを有する磁気ヘッド。 - 【請求項４】請求項１において、磁気抵抗効果膜の周囲
を磁気シールドが連続的に取り囲んでいる磁気ヘッド。 - 【請求項５】請求項１，２，３または４において、前記
磁気ヘッドと誘導型磁気ヘッドとを積層した磁気ヘッ
ド。 - 【請求項６】請求項１，２，３または４において、前記
磁気抵抗効果膜に磁性層と非磁性層を積層した多層構造
を有する磁気抵抗効果材料を用いた磁気ヘッド。 - 【請求項７】請求請求項１ないし６のいずれか記載の磁
気ヘッドを用いた磁気記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4439092A JPH05242433A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4439092A JPH05242433A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05242433A true JPH05242433A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12690186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4439092A Pending JPH05242433A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05242433A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6256171B1 (en) | 1996-09-30 | 2001-07-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Thin film magnetic head having an improved heat dispersion and magnetic recording apparatus using the same |
| US6369992B1 (en) * | 1994-09-16 | 2002-04-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Yoke-type head with magneto-resistance effect film recessed from medium facing surface and extending across magnetic gap |
-
1992
- 1992-03-02 JP JP4439092A patent/JPH05242433A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6369992B1 (en) * | 1994-09-16 | 2002-04-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Yoke-type head with magneto-resistance effect film recessed from medium facing surface and extending across magnetic gap |
| US6256171B1 (en) | 1996-09-30 | 2001-07-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Thin film magnetic head having an improved heat dispersion and magnetic recording apparatus using the same |
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