JPH03198210A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH03198210A JPH03198210A JP33935689A JP33935689A JPH03198210A JP H03198210 A JPH03198210 A JP H03198210A JP 33935689 A JP33935689 A JP 33935689A JP 33935689 A JP33935689 A JP 33935689A JP H03198210 A JPH03198210 A JP H03198210A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pole
- magnetic
- main
- recording
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 39
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 19
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018605 Ni—Zn Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910001199 N alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ１発明の目的
〔産業上の利用分野〕
本発明は垂直記録用薄膜磁気へツ
する。
ドの構造に関
以下余白
〔従来の技術〕
高密度磁気記録を行う場合、磁気媒体に磁気ヘッドとの
相対的移行方向に沿って磁化する記録方式、いわゆる長
手記録方式と、磁気媒体の厚み方向に磁化する記録方式
、いわゆる垂直記録方式が行われているが、高密度記録
を行う場合垂直記録方式による方が有利であることが知
られている。
相対的移行方向に沿って磁化する記録方式、いわゆる長
手記録方式と、磁気媒体の厚み方向に磁化する記録方式
、いわゆる垂直記録方式が行われているが、高密度記録
を行う場合垂直記録方式による方が有利であることが知
られている。
これは長手記録方式では記録信号が短波長になるほど自
己減磁界が大きくなるのに比べて、垂直記録方式では磁
性層内の自己減磁界を小さく出来る性質に因る。
己減磁界が大きくなるのに比べて、垂直記録方式では磁
性層内の自己減磁界を小さく出来る性質に因る。
この垂直記録方式に用いられる垂直磁気ヘッドとしては
、従来主に次の二つのものが提案されている。
、従来主に次の二つのものが提案されている。
１、垂直磁化膜、即ち記録層のみからなる単層膜媒体と
組み合せて使用する長手記録方式と同様なリングタイプ
磁気ヘッド。
組み合せて使用する長手記録方式と同様なリングタイプ
磁気ヘッド。
２、垂直磁化膜の下に高透磁率膜を有する二層膜媒体と
組み合せて使用する補助磁極を有した主磁極励磁型の単
磁極磁気ヘッド。
組み合せて使用する補助磁極を有した主磁極励磁型の単
磁極磁気ヘッド。
尚、上述の１項及び２項の磁気ヘッドで、更に高い高密
度記録を行おうとする場合、媒体に対する垂直磁界の急
峻さの点から２項の主磁極励磁型の単磁極磁気ヘッドの
方が有利である。従来は第１３図に示すようなスライダ
ー２０、主磁極２１、補強用ガラス２２、補助磁極２３
、巻線２４等で構成されるバルクタイプのもの、又は第
１４図に示すようなスライダー兼薄膜形成用基板２５、
主磁極２６、補助磁極２７、巻線２８等で構成される薄
膜タイプのものが検討されている。
度記録を行おうとする場合、媒体に対する垂直磁界の急
峻さの点から２項の主磁極励磁型の単磁極磁気ヘッドの
方が有利である。従来は第１３図に示すようなスライダ
ー２０、主磁極２１、補強用ガラス２２、補助磁極２３
、巻線２４等で構成されるバルクタイプのもの、又は第
１４図に示すようなスライダー兼薄膜形成用基板２５、
主磁極２６、補助磁極２７、巻線２８等で構成される薄
膜タイプのものが検討されている。
前述の第１３図、第１４図に示すような従来の垂直記録
用主磁極励磁型単磁極磁気ヘッドは、媒体からの磁束が
記録再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が長いため磁束
は減衰してしまい良好な感度を得にくいという構造的な
問題があり、さらには２トラツク化、又はそれ以上のマ
ルチトラック化を行う場合、記録再生用巻線の取付け、
又は形成スペースの都合から磁気ヘッドとしての高トラ
ツク密度化に不利である等の構造的な問題があり、マル
チトラックの主磁極励磁型単磁極磁気ヘッドは未だに提
案されていない。
用主磁極励磁型単磁極磁気ヘッドは、媒体からの磁束が
記録再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が長いため磁束
は減衰してしまい良好な感度を得にくいという構造的な
問題があり、さらには２トラツク化、又はそれ以上のマ
ルチトラック化を行う場合、記録再生用巻線の取付け、
又は形成スペースの都合から磁気ヘッドとしての高トラ
ツク密度化に不利である等の構造的な問題があり、マル
チトラックの主磁極励磁型単磁極磁気ヘッドは未だに提
案されていない。
本発明は上記欠点を解決した、ヘッド感度が良好で、か
つインラインマルチトラック構造を持つ垂直記録用主磁
極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドを提供しようとするもの
である。
つインラインマルチトラック構造を持つ垂直記録用主磁
極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドを提供しようとするもの
である。
口１発明の構成
〔課題を解決するための手段〕
本発明は前述の課題を解決するため、スライダー用セラ
ミックス板と軟磁性の補助磁極用ブロックを接合した複
合コアブロック２個で、スライダー用セラミックス側か
ら軟磁性の補助磁極用ブロックにかけて挾持した主磁極
を厚さ方向幅方向に挟んでスライダー側から溝を形成し
、前記溝中に主磁極を中心として、絶縁層を介在させて
多層化しながら、螺旋状に記録再生用薄膜巻線を形成し
、その上に溝を埋める保護膜を形成した後スライダー面
を球面に加工して成る構成の垂直記録用主磁極励磁型単
磁極薄膜磁気ヘッド、及びトラック幅方向に同様な構造
のヘッドを主磁極をインラインに形成し、インラインマ
ルチトラックが可能な垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄
膜磁気ヘッド、及び予め複合コアブロックの片側に導電
体で、それぞれの薄膜巻線の取出口を形成し、主磁極を
中心として、螺旋状に形成した記録再生用薄膜巻線の端
子を前記取出口と電気的に接合し、記録再生用巻線の端
子を磁気ヘッド背面から取り出す様構成した垂直記録用
主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドである。
ミックス板と軟磁性の補助磁極用ブロックを接合した複
合コアブロック２個で、スライダー用セラミックス側か
ら軟磁性の補助磁極用ブロックにかけて挾持した主磁極
を厚さ方向幅方向に挟んでスライダー側から溝を形成し
、前記溝中に主磁極を中心として、絶縁層を介在させて
多層化しながら、螺旋状に記録再生用薄膜巻線を形成し
、その上に溝を埋める保護膜を形成した後スライダー面
を球面に加工して成る構成の垂直記録用主磁極励磁型単
磁極薄膜磁気ヘッド、及びトラック幅方向に同様な構造
のヘッドを主磁極をインラインに形成し、インラインマ
ルチトラックが可能な垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄
膜磁気ヘッド、及び予め複合コアブロックの片側に導電
体で、それぞれの薄膜巻線の取出口を形成し、主磁極を
中心として、螺旋状に形成した記録再生用薄膜巻線の端
子を前記取出口と電気的に接合し、記録再生用巻線の端
子を磁気ヘッド背面から取り出す様構成した垂直記録用
主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドである。
即ち、本発明は、スライダー用セラミックス板と補助磁
極用軟磁性体ブロックを接合した複合コアブロック２個
で、主磁極をスライダー用セラミックス側から補助磁極
用軟磁性体ブロックにかけて挾持した後、主磁極を厚さ
方向幅方向に挟んでスライダーに溝を形成し、前記溝中
に、補助磁極と絶縁し、主磁極を中心として、一回巻き
のパターンで絶縁層を介在させて多層化しながら、螺旋
状に記録再生用薄膜巻線を形成し、その上に溝を埋める
保護膜を形成した後スライダー面を球面に加工したこと
を特徴とした垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘ
ッド、及び前記の磁気ヘッドにおいて、トラック幅方向
に同様な構造のヘッドを、主磁極が同一線上となるよう
に形成し、さらに隣接するヘッドの補助磁極どうしは磁
気的に絶縁したことを特徴としたインラインマルチトラ
ックの垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッド、
及び前記の磁気ヘッドにおいて、予め複合コアブロック
の片側に導電体で、それぞれの薄膜巻線の取出口を形成
し、主磁極を中心として、一回巻きのパターンで絶縁層
を介在させて多層化しながら、螺旋状に形成した記録再
生用薄膜巻線の端子を前記取出口と電気的に接合し、記
録再生用巻線の端子を磁気ヘッド背面から取り出すこと
を特徴とした垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘ
ッドを提供するものである。
極用軟磁性体ブロックを接合した複合コアブロック２個
で、主磁極をスライダー用セラミックス側から補助磁極
用軟磁性体ブロックにかけて挾持した後、主磁極を厚さ
方向幅方向に挟んでスライダーに溝を形成し、前記溝中
に、補助磁極と絶縁し、主磁極を中心として、一回巻き
のパターンで絶縁層を介在させて多層化しながら、螺旋
状に記録再生用薄膜巻線を形成し、その上に溝を埋める
保護膜を形成した後スライダー面を球面に加工したこと
を特徴とした垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘ
ッド、及び前記の磁気ヘッドにおいて、トラック幅方向
に同様な構造のヘッドを、主磁極が同一線上となるよう
に形成し、さらに隣接するヘッドの補助磁極どうしは磁
気的に絶縁したことを特徴としたインラインマルチトラ
ックの垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッド、
及び前記の磁気ヘッドにおいて、予め複合コアブロック
の片側に導電体で、それぞれの薄膜巻線の取出口を形成
し、主磁極を中心として、一回巻きのパターンで絶縁層
を介在させて多層化しながら、螺旋状に形成した記録再
生用薄膜巻線の端子を前記取出口と電気的に接合し、記
録再生用巻線の端子を磁気ヘッド背面から取り出すこと
を特徴とした垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘ
ッドを提供するものである。
本発明による薄膜磁気ヘッドの構造を使用した薄膜磁気
ヘッドは、媒体からの磁束が記録再生用の巻線と鎖交す
るまでの磁路が短くなり、更に記録再生用の巻線形成ス
ペースが小さくなるため、主磁極から補助磁極までの磁
気回路が小型化され、またインラインマルチトラックの
垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドが可能と
なり、巻線の端子もヘッド背面から簡単に取り出せる。
ヘッドは、媒体からの磁束が記録再生用の巻線と鎖交す
るまでの磁路が短くなり、更に記録再生用の巻線形成ス
ペースが小さくなるため、主磁極から補助磁極までの磁
気回路が小型化され、またインラインマルチトラックの
垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドが可能と
なり、巻線の端子もヘッド背面から簡単に取り出せる。
以下、本発明の実施例としてインライン２トラツク型の
垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドについて
説明する。第２図に示すごとく厚さＩＩＩＩＩＩの軟磁
性の補助磁極用軟磁性のＮｉ−Ｚｎフェライトブロック
１と厚さ４０ミクロンの非磁性の結晶化ガラス板２とを
所定の枚数を交互に積層して８５０℃で熱処理を行い一
次接合コアブロック４１とする。
垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドについて
説明する。第２図に示すごとく厚さＩＩＩＩＩＩの軟磁
性の補助磁極用軟磁性のＮｉ−Ｚｎフェライトブロック
１と厚さ４０ミクロンの非磁性の結晶化ガラス板２とを
所定の枚数を交互に積層して８５０℃で熱処理を行い一
次接合コアブロック４１とする。
次に第３図（ａ）に示すごとく前記の一次接合コアブロ
ック４１とスライダーとなるジルコニア−アルミナ系の
セラミックス板３を８３０℃でガラス接着した二次接合
コアブロック４２のセラミックス板のガラス接合面及び
結晶化ガラス板２の双方に直角に切断し、切断されたス
ライダー用ジルコニア−アルミナ系のセラミックス板３
、結晶化ガラス板２、Ｎｉ−Ｚｎフェライト１からなる
第３図（ｂ）の複合コアブロックＡ４３の切断面４７を
鏡面研磨する。次に第４図に示すごとく、鏡面加工され
た複合コアブロックの端面にスパッタ、あるいは蒸着等
の方法でＦｅ−３ｉ−ＡＩ−Ｎ合金を所望の厚さ（例え
ば０．３ミクロン）に成膜し、所望トラック幅（例えば
６０ミクロン）にイオンビーム方式、あるいはケミカル
方式等のエツチング方法を用いて、結晶化ガラス２を挟
んで４０ミクロンの間隔で主磁極５を２個一組として１
．０４ｍｍピッチで形成する。次に第５図に示すごとく
、他の何も加工していない複合コアブロックＡ４３の鏡
面仕上げされた切断面４７に、スパッタあるいは蒸着等
の方法でＳｉＯ２からなる絶縁層６を所望の厚さ（例え
ば１ミクロン）で成膜した後、Ｃｕ等からなる導電体膜
７を蒸着等の方法で所望の厚さ（例えば２０ミクロン）
で成膜し、複合コアブロックＣ４５（第５図）を作成し
、その後第６図の巻線の取り出し用端子部７１、７２．
７３．７４となる端子加工をケミカルエツチング方法を
用いて第６図のごとく所望の形状に加工する。第７図に
示すごとくジルコニア−アルミナ系セラミックスからな
る保護用ブロック９を樹脂層８で端子部のモールドを兼
ねて接着し複合コアブロックＤ４６を作成する。次に第
８図に示すごとく複合コアブロックＢ及び複合コアブロ
ックＤの２個により、複合コアブロックＢに加工された
主磁極５を挾持する様樹脂で接着して複合コアブロック
Ｅ４８を作成する。次に第９図に示すごとく、複合コア
ブロックＥ４８の主磁極から所望の距離で、主磁極を厚
さ方向（例えば３０ミクロン）、幅方向（０ミクロン）
に挟んでスライダー側からダイシングマシーンを用いて
深さ５０ミクロン、幅４０ミクロンの溝を形成する。次
に第１０図及び第１１図に示すごとく前記溝中に、スパ
ッタ法で５ｉ０２等の絶縁層１０を形成し、記録再生用
巻線１２を前述した成膜方法及びエツチング方法を繰り
返しながらそれぞれの主磁極５の回りに所望の幅（例え
ば１５ミクロン）、所望の厚さ（例えば３ミクロン）で
一回転させ、これを絶縁層を介在させながら積層させな
がら螺旋状に連続に形成し、記録再生用コイル１２を形
成する（本例では１０回巻線を形成した）。次に第１２
図に示すごとく記録再生用巻線１２を薄膜で形成したそ
の上にスパッタ法でスライダーと同じ材質のジルコニア
−アルミナ系セラミックスの保護膜１１を形成し、更に
前述のコイル作成用溝１３が埋没するまで保護膜１１を
加工した後ダイシングマシーンでコアチップに切断する
。最後に第１図に示すごとくテープ研磨装置を用いて摺
動面となるスライダー面１４を球面に研磨加工を施し、
主磁極５を摺動面に露出させ２トラツクの垂直記録用主
磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドが完成する。
ック４１とスライダーとなるジルコニア−アルミナ系の
セラミックス板３を８３０℃でガラス接着した二次接合
コアブロック４２のセラミックス板のガラス接合面及び
結晶化ガラス板２の双方に直角に切断し、切断されたス
ライダー用ジルコニア−アルミナ系のセラミックス板３
、結晶化ガラス板２、Ｎｉ−Ｚｎフェライト１からなる
第３図（ｂ）の複合コアブロックＡ４３の切断面４７を
鏡面研磨する。次に第４図に示すごとく、鏡面加工され
た複合コアブロックの端面にスパッタ、あるいは蒸着等
の方法でＦｅ−３ｉ−ＡＩ−Ｎ合金を所望の厚さ（例え
ば０．３ミクロン）に成膜し、所望トラック幅（例えば
６０ミクロン）にイオンビーム方式、あるいはケミカル
方式等のエツチング方法を用いて、結晶化ガラス２を挟
んで４０ミクロンの間隔で主磁極５を２個一組として１
．０４ｍｍピッチで形成する。次に第５図に示すごとく
、他の何も加工していない複合コアブロックＡ４３の鏡
面仕上げされた切断面４７に、スパッタあるいは蒸着等
の方法でＳｉＯ２からなる絶縁層６を所望の厚さ（例え
ば１ミクロン）で成膜した後、Ｃｕ等からなる導電体膜
７を蒸着等の方法で所望の厚さ（例えば２０ミクロン）
で成膜し、複合コアブロックＣ４５（第５図）を作成し
、その後第６図の巻線の取り出し用端子部７１、７２．
７３．７４となる端子加工をケミカルエツチング方法を
用いて第６図のごとく所望の形状に加工する。第７図に
示すごとくジルコニア−アルミナ系セラミックスからな
る保護用ブロック９を樹脂層８で端子部のモールドを兼
ねて接着し複合コアブロックＤ４６を作成する。次に第
８図に示すごとく複合コアブロックＢ及び複合コアブロ
ックＤの２個により、複合コアブロックＢに加工された
主磁極５を挾持する様樹脂で接着して複合コアブロック
Ｅ４８を作成する。次に第９図に示すごとく、複合コア
ブロックＥ４８の主磁極から所望の距離で、主磁極を厚
さ方向（例えば３０ミクロン）、幅方向（０ミクロン）
に挟んでスライダー側からダイシングマシーンを用いて
深さ５０ミクロン、幅４０ミクロンの溝を形成する。次
に第１０図及び第１１図に示すごとく前記溝中に、スパ
ッタ法で５ｉ０２等の絶縁層１０を形成し、記録再生用
巻線１２を前述した成膜方法及びエツチング方法を繰り
返しながらそれぞれの主磁極５の回りに所望の幅（例え
ば１５ミクロン）、所望の厚さ（例えば３ミクロン）で
一回転させ、これを絶縁層を介在させながら積層させな
がら螺旋状に連続に形成し、記録再生用コイル１２を形
成する（本例では１０回巻線を形成した）。次に第１２
図に示すごとく記録再生用巻線１２を薄膜で形成したそ
の上にスパッタ法でスライダーと同じ材質のジルコニア
−アルミナ系セラミックスの保護膜１１を形成し、更に
前述のコイル作成用溝１３が埋没するまで保護膜１１を
加工した後ダイシングマシーンでコアチップに切断する
。最後に第１図に示すごとくテープ研磨装置を用いて摺
動面となるスライダー面１４を球面に研磨加工を施し、
主磁極５を摺動面に露出させ２トラツクの垂直記録用主
磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドが完成する。
上記のような構成の薄膜磁気ヘッドにすれば、媒体から
の磁束が記録再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が短く
なり、更に記録再生用の巻線形成スペースが小さくなる
ため、主磁極から補助磁極までの磁気回路が小型化され
、インライン上での２トラツクの垂直記録用主磁極励磁
型単磁極薄膜磁気ヘッドが実現できた。
の磁束が記録再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が短く
なり、更に記録再生用の巻線形成スペースが小さくなる
ため、主磁極から補助磁極までの磁気回路が小型化され
、インライン上での２トラツクの垂直記録用主磁極励磁
型単磁極薄膜磁気ヘッドが実現できた。
尚、上記実施例に対して、更にトラック幅方向に同様な
構造の磁気ヘッドを所望の数並べて作成することにより
、主磁極をインラインとして形成した、所望のトラック
数を有するインラインマルチトラックの垂直記録用主磁
極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドが得られることは言うま
でもない。
構造の磁気ヘッドを所望の数並べて作成することにより
、主磁極をインラインとして形成した、所望のトラック
数を有するインラインマルチトラックの垂直記録用主磁
極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドが得られることは言うま
でもない。
ハ１発明の効果
〔発明の効果〕
以上述べたように本考案によれば、媒体からの磁束が記
録再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が短くなり、更に
記録再生用の巻線形成スペースが小さくなるため主磁極
から補助磁極までの磁気回路が小型化し、高感度で、ま
たインライン上でのマルチトラックも可能な、小型高感
度垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドの提供
が可能となった。
録再生用の巻線と鎖交するまでの磁路が短くなり、更に
記録再生用の巻線形成スペースが小さくなるため主磁極
から補助磁極までの磁気回路が小型化し、高感度で、ま
たインライン上でのマルチトラックも可能な、小型高感
度垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドの提供
が可能となった。
第１図は本発明の一実施例の２トラツクの垂直記録用主
磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドの外観斜視図を示す。 第２図は第１図に示す実施例に用いる結晶化ガラスと軟
磁性ブロックを積層して接着した一次接合コアブロック
の外観斜視図を示す。 第３図は第２図の一次接合コアブロックとスライダー用
セラミックス板を接着した二次接合コアブロック、及び
該ブロックを切断した複合コアブロックＡの外観斜視図
を示す。第３図（ａ）は二次接合コアブロックを、第３
図（ｂ）は複合コアブロックＡを示す外観斜視図である
。 第４図は第３図の複合コアブロックＡに主磁極を形成し
た状態の複合コアブロックＢの外観斜視図を示す。 第５図は第３図の複合コアブロックＡの主磁極を形成し
ていない他の複合コアブロックに、絶縁層及び端子形成
用の導電体膜を形成した状態の複合コアブロックＣの外
観斜視図を示す。 第６図は第５図の複合コアブロックＣに巻線取り出し用
端子部を形成した状態の複合コアブロックＣの外観斜視
図を示す。 第７図は第６図の複合コアブロックＣに保護用ブロック
を接着した複合コアブロックＤの外観斜視図を示す。 第８図は第４図の複合コアブロックＢと第７図の複合ブ
ロックＤを接着した複合コアブロックＥの外観斜視図を
示す。 第９図は第８図の複合コアブロックＥのスライダー面に
巻線用の溝を形成した複合コアブロックＥの外観斜視図
を示す。 第１０図は第９図の複合コアブロックＥのスライダー面
の主磁極の回りの溝に巻線を形成した複合コアブロック
Ｅの斜視図を示す。 第１１図は第１０図の複合コアブロックＥの巻線部を拡
大した外観斜視図を示す。 第１２図は第１１図の複合コアブロックＥの摺動面及び
巻線部に保護膜を形成した後切断したコアチップの外観
斜視図を示す。 第１３図は従来例によるバルクタイプの垂直記録用主磁
極励磁型単磁極ヘッドの外観斜視図を示す。 第１４図は従来例による垂直記録用主磁極励磁型単磁極
薄膜ヘッドの外観斜視図を示す。 １・・・Ｎｉ−Ｚｎフェライトブロック、２・・・結晶
化ガラス板、３・・・（スライダー用）セラミックス板
、４１・・・−次接合コアブロック、４２・・・二次接
合コアブロック、４３・・・複合コアブロックＡ、４４
・・・複合コアブロックＢ、４５・・・複合コアブロッ
クＣ１４６・・・複合コアブロックＤ、４７・・・切断
面、４８・・・複合コアブロックＥ、５・・・主磁極、
６・・・絶縁層、７・・・導電体膜、７１．７２．７３
．７４・・・端子部、８・・・樹脂層、９・・・保護用
ブロック、１０・・・絶縁層、１１・・・保護膜、１２
・・・記録再生用巻線、１３・・・溝、１４・・・スラ
イダー面、２０・・・スライダー、２１・・・主磁極、
２２・・・補強用ガラス、２３・・・補助磁極、２４・
・・巻線、２５・・・スライダー兼薄膜形成用基板、２
６・・・主磁極、２７・・・補助磁極、２８・・・巻線
。
磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッドの外観斜視図を示す。 第２図は第１図に示す実施例に用いる結晶化ガラスと軟
磁性ブロックを積層して接着した一次接合コアブロック
の外観斜視図を示す。 第３図は第２図の一次接合コアブロックとスライダー用
セラミックス板を接着した二次接合コアブロック、及び
該ブロックを切断した複合コアブロックＡの外観斜視図
を示す。第３図（ａ）は二次接合コアブロックを、第３
図（ｂ）は複合コアブロックＡを示す外観斜視図である
。 第４図は第３図の複合コアブロックＡに主磁極を形成し
た状態の複合コアブロックＢの外観斜視図を示す。 第５図は第３図の複合コアブロックＡの主磁極を形成し
ていない他の複合コアブロックに、絶縁層及び端子形成
用の導電体膜を形成した状態の複合コアブロックＣの外
観斜視図を示す。 第６図は第５図の複合コアブロックＣに巻線取り出し用
端子部を形成した状態の複合コアブロックＣの外観斜視
図を示す。 第７図は第６図の複合コアブロックＣに保護用ブロック
を接着した複合コアブロックＤの外観斜視図を示す。 第８図は第４図の複合コアブロックＢと第７図の複合ブ
ロックＤを接着した複合コアブロックＥの外観斜視図を
示す。 第９図は第８図の複合コアブロックＥのスライダー面に
巻線用の溝を形成した複合コアブロックＥの外観斜視図
を示す。 第１０図は第９図の複合コアブロックＥのスライダー面
の主磁極の回りの溝に巻線を形成した複合コアブロック
Ｅの斜視図を示す。 第１１図は第１０図の複合コアブロックＥの巻線部を拡
大した外観斜視図を示す。 第１２図は第１１図の複合コアブロックＥの摺動面及び
巻線部に保護膜を形成した後切断したコアチップの外観
斜視図を示す。 第１３図は従来例によるバルクタイプの垂直記録用主磁
極励磁型単磁極ヘッドの外観斜視図を示す。 第１４図は従来例による垂直記録用主磁極励磁型単磁極
薄膜ヘッドの外観斜視図を示す。 １・・・Ｎｉ−Ｚｎフェライトブロック、２・・・結晶
化ガラス板、３・・・（スライダー用）セラミックス板
、４１・・・−次接合コアブロック、４２・・・二次接
合コアブロック、４３・・・複合コアブロックＡ、４４
・・・複合コアブロックＢ、４５・・・複合コアブロッ
クＣ１４６・・・複合コアブロックＤ、４７・・・切断
面、４８・・・複合コアブロックＥ、５・・・主磁極、
６・・・絶縁層、７・・・導電体膜、７１．７２．７３
．７４・・・端子部、８・・・樹脂層、９・・・保護用
ブロック、１０・・・絶縁層、１１・・・保護膜、１２
・・・記録再生用巻線、１３・・・溝、１４・・・スラ
イダー面、２０・・・スライダー、２１・・・主磁極、
２２・・・補強用ガラス、２３・・・補助磁極、２４・
・・巻線、２５・・・スライダー兼薄膜形成用基板、２
６・・・主磁極、２７・・・補助磁極、２８・・・巻線
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、スライダー用セラミックス板と補助磁極用軟磁性体
ブロックを接合した複合コアブロック２個で、主磁極を
スライダー用セラミックス側から補助磁極用軟磁性体ブ
ロックにかけて挾持した後、主磁極を厚さ方向幅方向に
挟んでスライダーに溝を形成し、前記溝中に、補助磁極
と絶縁し、主磁極を中心として、一回巻きのパターンで
絶縁層を介在させて多層化しながら、螺旋状に記録再生
用薄膜巻線を形成し、その上に溝を埋める保護膜を形成
した後スライダー面を球面に加工したことを特徴とした
垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘッド。 ２、請求項第１項記載の磁気ヘッドにおいて、トラック
幅方向に同様な構造のヘッドを、主磁極が同一線上とな
るように形成し、さらに隣接するヘッドの補助磁極どう
しは磁気的に絶縁したことを特徴としたインラインマル
チトラックの垂直記録用主磁極励磁型単磁極薄膜磁気ヘ
ッド。 ３、請求項第１項記載の磁気ヘッドにおいて、予め複合
コアブロックの片側に導電体で、それぞれの薄膜巻線の
取出口を形成し、主磁極を中心として、一回巻きのパタ
ーンで絶縁層を介在させて多層化しながら、螺旋状に形
成した記録再生用薄膜巻線の端子を前記取出口と電気的
に接合し、記録再生用巻線の端子を磁気ヘッド背面から
取り出すことを特徴とした垂直記録用主磁極励磁型単磁
極薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33935689A JPH03198210A (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33935689A JPH03198210A (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03198210A true JPH03198210A (ja) | 1991-08-29 |
Family
ID=18326689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33935689A Pending JPH03198210A (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03198210A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6989960B2 (en) * | 1999-12-30 | 2006-01-24 | Advanced Research Corporation | Wear pads for timing-based surface film servo heads |
-
1989
- 1989-12-26 JP JP33935689A patent/JPH03198210A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6989960B2 (en) * | 1999-12-30 | 2006-01-24 | Advanced Research Corporation | Wear pads for timing-based surface film servo heads |
| US7701665B2 (en) | 1999-12-30 | 2010-04-20 | Advanced Research Corporation | Wear pads for timing-based surface film servo heads |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100202347B1 (ko) | 다중 트랙 헤드 및 그 제조방법 | |
| JPS6050611A (ja) | 多素子薄膜磁気ヘツド | |
| EP0062739B1 (en) | Multielement magnetic head assembly and method of making such assembly | |
| US5267392A (en) | Method of manufacturing a laminated high frequency magnetic transducer | |
| JPS60175208A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH03198210A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0833977B2 (ja) | 垂直磁化用磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| KR930000067B1 (ko) | 자기헤드 | |
| JPS60231903A (ja) | 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| KR960005113B1 (ko) | 박막자기헤드 | |
| JP3011846B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| KR100265209B1 (ko) | 자기변환기 및 그의 제조방법 | |
| JPH03130912A (ja) | 複合型浮動磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS595412A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JPH01159816A (ja) | 磁気ヘツド | |
| KR960012996B1 (ko) | 자기헤드 구조 | |
| JPS62183012A (ja) | 磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JP2549150B2 (ja) | 垂直記録用磁気ヘツド | |
| JPH03105710A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS6280808A (ja) | 磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPS59203210A (ja) | 磁気コアおよびその製造方法 | |
| JPH04298804A (ja) | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド並びにその製造方法 | |
| JPH0636242B2 (ja) | 垂直磁気記録再生用ヘツド及びその製造方法 | |
| JPH04117606A (ja) | 磁気ヘッド装置 | |
| JPS63266606A (ja) | 磁気ギヤツプの形成方法 |