JPH03106766U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03106766U JPH03106766U JP1629490U JP1629490U JPH03106766U JP H03106766 U JPH03106766 U JP H03106766U JP 1629490 U JP1629490 U JP 1629490U JP 1629490 U JP1629490 U JP 1629490U JP H03106766 U JPH03106766 U JP H03106766U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser oscillator
- magnetic fluid
- fluid seal
- outlet
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は第２図に示した磁性流体シールカツプ
ラーを用いたエキシマレーザ装置の構成図、第２
図は本考案のレーザ装置に用いた磁性流体シール
カツプラーの一実施例を示す一部断面図を含む側
面図、第３図は従来の磁性流体シールカツプラー
の一例を示す一部断面図を含む側面図である。 １……排出口、２……ベアリング、３……磁石
、４……ポールピース、５……シヤフト、６……
磁性流体、７……ケース、８……蓋、９……空隙
、１０……磁性流体シールカツプラー、１１……
レーザ発振器、１２……ガス再生器。
ラーを用いたエキシマレーザ装置の構成図、第２
図は本考案のレーザ装置に用いた磁性流体シール
カツプラーの一実施例を示す一部断面図を含む側
面図、第３図は従来の磁性流体シールカツプラー
の一例を示す一部断面図を含む側面図である。 １……排出口、２……ベアリング、３……磁石
、４……ポールピース、５……シヤフト、６……
磁性流体、７……ケース、８……蓋、９……空隙
、１０……磁性流体シールカツプラー、１１……
レーザ発振器、１２……ガス再生器。
Claims (1)
- レーザ発振を行うレーザ発振器と、前記ガスレ
ーザ発振器と接続されガス中の不純物を除去して
必要量のガスをガスレーザ発振器に供給するガス
再生器と、前記ガスレーザ発振器の端部に接続さ
れてレーザ発振器の気密を保持しながら前記ガス
レーザ発振器の外部から前記ガスレーザ発振器の
内部に回転動力を伝達する磁性流体シールカツプ
ラーとから少なくとも構成され、前記磁性流体シ
ールカツプラーとして前記ガスレーザ発振器側の
端部にガスを排出する排出口を持つ磁性流体シー
ルカツプラーを用い、前記排出口を前記ガス再生
器に接続したことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1629490U JPH03106766U (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1629490U JPH03106766U (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106766U true JPH03106766U (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=31519567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1629490U Pending JPH03106766U (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03106766U (ja) |
-
1990
- 1990-02-20 JP JP1629490U patent/JPH03106766U/ja active Pending