JPH03112170U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の第１実施例の一部断面図、
第２図はこの考案の第２実施例の一部断面図、第
３図はこの考案の第３実施例の一部断面図、第４
図はこの考案の第４実施例の一部断面図、第５図
は従来の直線導入機の一部断面図、第６図は従来
のベローズを用いた直線導入機の一部断面図であ
る。 １……フランジ、３……シヤフト、４……ベロ
ーズ、４ａ……基端縁、４ｂ……先端縁、６……
弾性封止材、７，１３……連通孔、８……接続管
、９，１２……遮断弁、１１……分岐管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ フランジを貫通してシヤフトが設けられ、フ
   ランジの真空室側に基端縁を固着したベローズの
   先端縁がシヤフトの先端側に固着されてなる直線
   導入機において、前記シヤフトのフランジ貫通部
   分が、摺動可能に軸封止してあると共に、前記ベ
   ローズの内側空間に対して排気手段が設けてある
   ことを特徴とした直線導入機。 ２ 排気手段は、フランジ又はシヤフトに設けた
   連通孔と排気ポンプを接続管で接続して構成した
   請求項１記載の直線導入機。 ３ 排気手段は、ベローズの内側空間と真空室を
   接続管で接続して構成した請求項１記載の直線導
   入機。 ４ 排気手段は、接続管に遮断弁を介設してある
   請求項２又は３に記載の直線導入機。 ５ 排気手段は、ベローズの内側空間に対するガ
   ス導入路を有している請求項１乃至４の何れかに
   記載の直線導入機。