JPH03113101A - サーボアクチュエータ - Google Patents

サーボアクチュエータ

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Publication number
JPH03113101A
JPH03113101A JP25099989A JP25099989A JPH03113101A JP H03113101 A JPH03113101 A JP H03113101A JP 25099989 A JP25099989 A JP 25099989A JP 25099989 A JP25099989 A JP 25099989A JP H03113101 A JPH03113101 A JP H03113101A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rod
cylinder
actuator
rod member
piston
Prior art date
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Pending
Application number
JP25099989A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Kamimura
敏夫 神村
Takashi Koizumi
隆 小泉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nabtesco Corp
Original Assignee
Teijin Seiki Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Teijin Seiki Co Ltd filed Critical Teijin Seiki Co Ltd
Priority to JP25099989A priority Critical patent/JPH03113101A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、油圧機械回路に用いる剛性調整機能を有する
電油サーボアクチュエータに関する。
〔従来の技術〕
従来用いられる重油サーボアクチュエータにおいては、
電気信号を油圧信号に変換する重油変換手段、該重油変
換手段により作動されるアクチュエータ、該アクチュエ
ータの出力部材の位置を検出し位置電気信号を発信する
位置検出器、該位置検出器からの位置信号と指令信号と
を比較して偏差信号を発信する加算器、該加算器からの
偏差信号を増幅して前記電池変・換手段へ入力する増幅
器からなる・電油サーボアクチュエータからなっている
〔発明が解決しようとする課題〕
このようなサーボアクチュエータを複数個用いて同一の
制御対象を駆動するときに、制御のバラツキにより、ア
クチュエータ間で力のケン力(フォースファイト)が生
じ制御対象に好ましくない応力を与えることになる。
また、電油サーボアクチュエータを、例えば、ロボット
の腕や部品のチャッキング制御等に用い、比較的柔かな
物体を掴むような場合には、制御のバラツキにより過大
荷重が出て、相手物品を損傷しないようにするため、剛
性を弱める必要がある。
逆に、位置制御による外力による定常偏差を減少させる
ために、剛性を高める必要がある場合もある。
しかしながら、従来の電油サーボアクチュエータにおい
ては、増幅器ゲイン、位置検出器ゲイン、バルブ圧力ゲ
インにより剛性が一義的に決まっている。このため、増
幅器ゲイン、位置検出器ゲイン、バルブ圧力ゲインと無
関係に、剛性を簡単に設定できる電油サーボアクチュエ
ータが望まれている。
本発明は上述した問題点に鑑み、複数のサーボアクチュ
エータを同時に用いてもフォースファイトが生じず、ま
た適宜剛性調整機能を有する重油サーボアクチュエータ
を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明においては、シリンダ、該シリンダ内に摺動可能
に装着されシリンダ内を2つのシリンダ室に区画するピ
ストンロッドおよび該ピストンロッドに連結された位置
検出器からなるサーボアクチュエータにおいて、前記ピ
ストン口・ソドが互いに密封状に摺動可能な一対のロッ
ド部材により構成されており、該一対のロッド部材間に
スプリングが装着されており、該ロッド部材の一方は前
記2つのシリンダ室の少なくとも一方の油圧を受けると
ともに前記位置検出器に連結されていることを特徴とす
るサーボアクチュエータにより、上記目的を達成する。
〔作 用〕
本発明においては、ピストンロッドを互いに摺動可能な
一対のロッド部材により構成し、該ロッド部材の一方は
位置検出器に連結されているとともに一方のシリンダ室
の油圧または両方のシリンダ3内ル アクチュエータ内の油圧を検出して位置検出器へ印加さ
れる力を補正することができ、これによりアクチュエー
タの剛性機能が調整され、また複数のアクチュエータを
1つの制御対象に連結してもフォースファイトが生じる
ことが防止できる。
〔実施例〕
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
第1図は、本発明の第1実施例の断面図である。
シリンダ型アクチュエータは、円筒状をしたシリンダ3
と、シリンダ3内に摺動可能に装着されたピストンロッ
ド8からなり、ピストンロッド8の端部は制御対象(図
示せず)に連結可能である。
電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段1は、シリ
ンダ型アクチュエータ4のシリンダ室4a、4bに連結
している。アクチュエータロッド8のピストン11がシ
リンダ3に摺動可能に密封状に嵌合され、シリンダ室4
a、4bが形成されており、アクチュエータ8のピスト
ン11の両側にシリンダ室4 a % 4 bの作動油
圧が作用する。
12.13はシールである。
アクチュエータロッド8は一対のロッド部材8a、gb
から構成されており、両ロッド部材8 a %8bは密
封状に且つ互いに長手方向に摺動可能に0リング9を介
して嵌合している。すなわち、ロッド部材8aは円筒状
をしており、外径がAの軸部3asと、外径がAより大
きい外径Bの先端ヘッド部8ahからなり、軸部8as
と先端ヘッド部sah間には肩部8Cが形成されている
ロッド部材8bの先端部8bfは制御対象(図示せず)
に連結され、後端部8bsにピストン11を具備してい
る。ピストン11を形成した部位の内側にロッド部材8
aの先端ヘッド部8ahを摺動自在に受入れる凹部8d
が形成されている。
該凹部8dはロッド部材8aの先端ヘッド部8ahの外
径とほぼ等しい部分8daおよび該部分に肩部8gを介
して連結した細径部8dbからなっており、細径部8d
bにはロッド部材8aを押圧するスプリング12が装着
されている。
ロッド部材8aの先端ヘッド部3.ahには小孔8eが
穿たれている。
ロッド部材8bの後端部8bsにナツト13を螺合して
おりロッド部材8aがロッド部材8bに形成された四部
8dのうち、先端ヘッド部8ahの外径と等しい部分S
da内で移動可能である。
ピストンロッド8aの先端ヘッド部8ahは、連結棒1
0を介してLVDT (線形可変差動変圧器)5に連結
している。LVDT5は、復調器6に接続しており、復
調器6は、加算器16に接続している。加算器16はサ
ーボ指令信号を受け、そのサーボ指令信号と復調器6か
らの信号の差の偏差を出力し、増幅器7に人力する。増
幅器7は、偏差を増幅して重油変換手段1へ入力する。
上記構成により、バイアス指令信号を受けると、増幅器
7により増幅された信号が重油変換手段1に入力され、
アクチュエータロッド8を移動させる。
ロッド部材8aにはB−Aの半径差のドーナツ状の面積
部分、すなわち、肩部8C部分、にシリンダ室4aの油
圧を受ける。
スプリング12は、この油圧による力に対抗するよう配
置され、ロッド部材8aはシリンダ室4aの圧力基準圧
力(具体的には、後述する中間値)よりか低いときには
左側に、高くなると右側に移動する。
良く知られているように通常の重油サーボ弁等の電油変
換手段は、その中立時では双方のシリンダ人力圧力はほ
ぼ同一で、また、供給圧力と戻り圧力のほぼ中間値であ
る。
第1図に示す実施例においては、この特性を利用して一
方のシリンダ室4aの圧力を利用し、特に電油変換手段
1の中立位置付近(すなわち、加算器16に入力される
指令信号が略零のとき)におけるサーボアクチュエータ
の剛性機能を弱くするよう調整している。このため、L
VDT5に入力される位置信号は実際のアクチュエータ
ロブ18位置ではなく、これにシリンダ室4aの圧力と
上記基準圧力との差圧によるバイアスが乗ったものにな
り、アクチュエータの剛性が弱められる。
この第1図に示したサーボアクチュエータを複数個、1
つの制御対象に連結した場合にもアクチュエータの剛性
機能が弱められており、フォースファイトを防止できる
第2図に示す実施例では、ロッド部材8aの先端ヘッド
部8ahの外径Bを後端の軸部8asの外径Aより小さ
くして、第1図に示す実施例とは逆にサーボアクチュエ
ータの剛性機能を高めたタイプであり、このためLVD
T5には、第1図に示した実施例と逆にアクチュエータ
ロッド8の位置信号にシリンダ室4aの圧力と上記基準
圧力との差圧に基づくバイアス信号が加算されて加えら
れる。
なお、第2図の実施例では、スプリング12の装着方法
が第1図の実施例と若干相違するが作用は同じである。
他の構造は第1図と同様であるので、同一部品に同一番
号を付し、その詳細な説明は省略する。
第3図に示す実施例においては第1図に示す実施例と同
様にシリンダ室4aの圧力をB−Aの半径差のドーナツ
状の面積部分、すなわち、肩部8C部分、に作用させて
いる。更にシリンダ室4bの圧力をロッド部材8aに作
用させるため、ロッド部材8aの先端ヘッド部8ahか
ら更に外径Cの円柱部8aCを突出させるとともに、ロ
ッド部材8bには小孔8fが穿たれている。従って、ロ
ッド部材8aの先端部はシリンダ室4bの圧力を外径C
の円柱部で受ける。ここにB−Aのドーナツ状部の面積
と外径Cの円形部の■積はほぼ同一にしている。
前述の如く、通常の電油サーボ弁等の重油変換手段は、
その中立時では双方のシリンダ入力圧力はほぼ同一で、
また、供給圧力と戻り圧力のほぼ中間値である。
従って、双方のシリンダ室4a、4bの圧力差によりス
プリング12に対抗してロッド部材8aが左または右に
移動し、ロッド部材8aと結合しているLVDT5によ
り電気信号に変換されて出力される。
〔発明の効果〕
第1図および第3図に示す実施例では、剛性を弱めるこ
とができる。
これは、外力に応じてサーボの定常偏差を大きくしたい
制御に有効である。例えば、ロボットや部品のチャッキ
ング制御において、比較的柔らかい物体を掴むときに、
制御のバラツキにより過大荷重が出ないようにすること
ができる。
また、複数のサーボアクチュエータで同一の制御対象を
駆動するときに、制御のバラツキにより、アクチュエー
タ間で力のケン力(フォースファイト)が生じ制御対象
に好ましくない応力を与えることになるが、ここにおい
ても第1実施例および第3実施例によれば、力のケン力
を軽減することが可能である。
第2図に示す実施例では、剛性を高めることができる。
これは、位置制御において外力による定常偏差を減少さ
せるのに有効である。
例えば、サーボループに使用する電油バルブの圧力ゲイ
ンが低すぎて外力による定常偏差が問題になる場合、こ
れを軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例の断面図、第2図は第2実
施例の断面図、第3図は本発明の第3実施例の断面図で
ある。 1・・・電油変換手段、 2・・バイアスピストン、3
・・・スプリング、 4・・・シリンダ型アクチュエータ、 5・・・LVDT、    6・・・復調器、7・・・
増幅器、 8・・・アクチュエータロッド、 6・・・加算器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、シリンダ、該シリンダ内に摺動可能に装着されシリ
    ンダ内を2つのシリンダ室に区画するピストンロッドお
    よび該ピストンロッドに連結された位置検出器からなる
    サーボアクチュエータにおいて、前記ピストンロッドが
    互いに密封状に摺動可能な一対のロッド部材により構成
    されており、該一対のロッド部材間にスプリングが装着
    されており、該ロッド部材の一方は前記2つのシリンダ
    室の少なくとも一方の油圧を受けるとともに前記位置検
    出器に連結されていることを特徴とするサーボアクチュ
    エータ。
JP25099989A 1989-09-27 1989-09-27 サーボアクチュエータ Pending JPH03113101A (ja)

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JP25099989A JPH03113101A (ja) 1989-09-27 1989-09-27 サーボアクチュエータ

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JP25099989A JPH03113101A (ja) 1989-09-27 1989-09-27 サーボアクチュエータ

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JPH03113101A true JPH03113101A (ja) 1991-05-14

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