JPH01247802A - 剛性調整機能を有する電油サーボアクチュエータ - Google Patents
剛性調整機能を有する電油サーボアクチュエータInfo
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- JPH01247802A JPH01247802A JP63073831A JP7383188A JPH01247802A JP H01247802 A JPH01247802 A JP H01247802A JP 63073831 A JP63073831 A JP 63073831A JP 7383188 A JP7383188 A JP 7383188A JP H01247802 A JPH01247802 A JP H01247802A
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- hydraulic
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B9/00—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member
- F15B9/02—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type
- F15B9/03—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type with electrical control means
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- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、油圧機械回路に用いる剛性調整機能を有する
電油サーボアクチュエータに関する。
電油サーボアクチュエータに関する。
従来用いられる電油サーボアクチュエータにおいては、
電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段、該電油変
換手段により作動されるアクチュエータ、該アクチュエ
ータの出力部材の位置を検出し位置電気信号を発信する
位置検出器、該位置検出器からの位置信号と指令信号と
を比較して偏差信号を発信する加算器、該加算器からの
偏差信号を増幅して前記電油変換手段へ入力する増幅器
からなる電油サーボアクチュエータからなっている。
電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段、該電油変
換手段により作動されるアクチュエータ、該アクチュエ
ータの出力部材の位置を検出し位置電気信号を発信する
位置検出器、該位置検出器からの位置信号と指令信号と
を比較して偏差信号を発信する加算器、該加算器からの
偏差信号を増幅して前記電油変換手段へ入力する増幅器
からなる電油サーボアクチュエータからなっている。
このような従来の電油サーボアクチュエータが外力Ｆｏ
を受けて静止している定常状態におけるサーボエラーと
出力Ｆの関係を第５図に示す。
を受けて静止している定常状態におけるサーボエラーと
出力Ｆの関係を第５図に示す。
外力の影響によりサーボ目標値と実際のアクチュエータ
ロッドの位置は差があり、この差を△Ｘとする。位置検
出器のゲインをに２とすると、偏差信号ｅは、 ｅ ＝ Ｋ ２ ・△Ｘである。
ロッドの位置は差があり、この差を△Ｘとする。位置検
出器のゲインをに２とすると、偏差信号ｅは、 ｅ ＝ Ｋ ２ ・△Ｘである。
アクチュエータは外力Ｆｏに対抗する反作用Ｆを出力し
、力が釣り合い、静止しているから、Ｆ＝Ｆｏ 。
、力が釣り合い、静止しているから、Ｆ＝Ｆｏ 。
また、増幅器のゲインかに１であり、バルブ圧力ゲイン
に３は線形であり飽和していないとすると、アクチュエ
ータの有効面積をＡとして、出力Ｆは、 Ｆ＝ｅ−に１ ・Ｋ３ ・Ａ サーボアクチュエータの定常偏差（定常状態のサーボ目
標値とアクチュエータロッドの位置の差）と外力Ｆとの
比をアクチュエータの剛性にと呼ぶ。
に３は線形であり飽和していないとすると、アクチュエ
ータの有効面積をＡとして、出力Ｆは、 Ｆ＝ｅ−に１ ・Ｋ３ ・Ａ サーボアクチュエータの定常偏差（定常状態のサーボ目
標値とアクチュエータロッドの位置の差）と外力Ｆとの
比をアクチュエータの剛性にと呼ぶ。
すなわち、
Ｋ＝Ｆｏ／△Ｘ
＝に＋ ・ Ｋ２ ・ Ｋ３ ・ Ａ・・・ （１）
で表わされる。
で表わされる。
（発明が解決しようとする課題〕
電油サーボアクチュエータを、例えば、ロボットの腕や
部品のチャッキング制御等に用い、比較的柔かな物体を
掴むような場合には、制御のバラツキにより過大荷重が
出て、相手物品を損傷しないようにするため、剛性を弱
める必要がある。
部品のチャッキング制御等に用い、比較的柔かな物体を
掴むような場合には、制御のバラツキにより過大荷重が
出て、相手物品を損傷しないようにするため、剛性を弱
める必要がある。
逆に、位置制御による外力による定常偏差を減少させる
ために、剛性を高める必要がある。
ために、剛性を高める必要がある。
しかしながら、従来の電油サーボアクチュエータにおい
ては、上述した（１）式で示すように、増幅器ゲインに
＋ 、位置検出器ゲインに２．バルブ圧力ゲインに３に
より剛性が一義的に決まっている。このため、増幅器ゲ
インに＋、位置検出器ゲインに２、バルブ圧力ゲインに
３と無関係に、剛性を簡単に設定できる電油サーボアク
チュエータが望まれている。
ては、上述した（１）式で示すように、増幅器ゲインに
＋ 、位置検出器ゲインに２．バルブ圧力ゲインに３に
より剛性が一義的に決まっている。このため、増幅器ゲ
インに＋、位置検出器ゲインに２、バルブ圧力ゲインに
３と無関係に、剛性を簡単に設定できる電油サーボアク
チュエータが望まれている。
本発明は上述した問題点に鑑み、剛性調整機能を有する
電油サーボアクチュエータを提供することを目的とする
。
電油サーボアクチュエータを提供することを目的とする
。
本発明においては、電気信号を油圧信号に変換する電油
変換手段、該電油変換手段により作動されるアクチュエ
ータ、該アクチュエータの出力部材の位置を検出し位置
電気信号を発信する位置検出器、該位置検出器からの位
置信号と指令信号とを比較して偏差信号を発信する加算
器、該加算器からの偏差信号を前記電油変換手段へ入力
する電油サーボアクチュエータにおいて、前記アクチュ
エータ内の油圧を検出し前記位置検出器から加算器の間
で印加して電気信号に変換する油電変換手段を設けた剛
性調整機能を有する電油サーボアクチュエータにより、
上記目的を達成する。
変換手段、該電油変換手段により作動されるアクチュエ
ータ、該アクチュエータの出力部材の位置を検出し位置
電気信号を発信する位置検出器、該位置検出器からの位
置信号と指令信号とを比較して偏差信号を発信する加算
器、該加算器からの偏差信号を前記電油変換手段へ入力
する電油サーボアクチュエータにおいて、前記アクチュ
エータ内の油圧を検出し前記位置検出器から加算器の間
で印加して電気信号に変換する油電変換手段を設けた剛
性調整機能を有する電油サーボアクチュエータにより、
上記目的を達成する。
特に、本発明の実施に際しては、前記アクチュエータを
シリンダ型アクチュエータとし、前記油電変換手段が該
シリンダ型アクチュエータのアクチュエータロッド内に
設けられシリンダ内の差圧に応じて浮動するバイアスピ
ストンとし、該ピストンを前記位置検出器に連結した剛
性調整機能を有する電油サーボアクチュエータとするこ
とが好ましい。
シリンダ型アクチュエータとし、前記油電変換手段が該
シリンダ型アクチュエータのアクチュエータロッド内に
設けられシリンダ内の差圧に応じて浮動するバイアスピ
ストンとし、該ピストンを前記位置検出器に連結した剛
性調整機能を有する電油サーボアクチュエータとするこ
とが好ましい。
本発明においては、油電変換手段を設けて、アクチュエ
ータ内の油圧を検出し電気信号に変換して位置検出器か
ら加算器の間で印加している。
ータ内の油圧を検出し電気信号に変換して位置検出器か
ら加算器の間で印加している。
すなわち、アクチュエータ内の差圧をバイアスピストン
のスライディング】に変換するゲインをに４として、静
止状態のブロックダイアグラムを描くと第３図のように
なる。
のスライディング】に変換するゲインをに４として、静
止状態のブロックダイアグラムを描くと第３図のように
なる。
第３図のブロックダイアグラムは第４図のブロックダイ
アグラムと等価である。
アグラムと等価である。
従って、本発明のアクチュエータの剛性には、Ｋ＝に＋
・Ｋ２ ・Ｋ３・Ａ ／（１＋に＋ ・Ｋ２・Ｋ３ ・Ｋ４ ）・・・（２
）となり（１）式と比較すると １／（１＋に＋ ・Ｋ２ ・Ｋ３ ・Ｋ４ ）倍にな
っている。Ｋ４が正である場合には、剛性は弱められる
。また、バイアスの極性を逆にすると、剛性を強くする
ことができる。
・Ｋ２ ・Ｋ３・Ａ ／（１＋に＋ ・Ｋ２・Ｋ３ ・Ｋ４ ）・・・（２
）となり（１）式と比較すると １／（１＋に＋ ・Ｋ２ ・Ｋ３ ・Ｋ４ ）倍にな
っている。Ｋ４が正である場合には、剛性は弱められる
。また、バイアスの極性を逆にすると、剛性を強くする
ことができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明の第１実施例の断面図である。
電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段１は、シリ
ンダ型アクチュエータ４のシリンダ室４Ｃ１４ｄに連結
している。シリンダ室４ｃ、４ｄには、アクチュエータ
ロッド８のピストン１１が摺動可能に密封状に嵌合され
ており、アクチュエータ８のピストン１１の両側に作動
油圧が作用する。１２．１３はシールである。
ンダ型アクチュエータ４のシリンダ室４Ｃ１４ｄに連結
している。シリンダ室４ｃ、４ｄには、アクチュエータ
ロッド８のピストン１１が摺動可能に密封状に嵌合され
ており、アクチュエータ８のピストン１１の両側に作動
油圧が作用する。１２．１３はシールである。
アクチュエータロッドの内部には、更にバイアスシリン
ダ室８ｃ、８ｄが形成され、アクチュエータのシリンダ
１１４ｃ、４ｄと小孔８ａ１８ｂにより連通している。
ダ室８ｃ、８ｄが形成され、アクチュエータのシリンダ
１１４ｃ、４ｄと小孔８ａ１８ｂにより連通している。
アクチュエータロッド８内のバイアスシリンダ室８Ｃ１
８ｄ内にはバイアスピストン２が摺動可能に密封嵌合さ
れている。バイアスピストン２は、ピストン２ａと左右
両端に突出したロッド２ｂ、２Ｃからなっている。
８ｄ内にはバイアスピストン２が摺動可能に密封嵌合さ
れている。バイアスピストン２は、ピストン２ａと左右
両端に突出したロッド２ｂ、２Ｃからなっている。
ピストン２ａの両側にはスプリング３が装着され、定常
状態においてバイアスピストン２を中立位置とするよう
になっている。
状態においてバイアスピストン２を中立位置とするよう
になっている。
Ｏラド２ｂは、連結棒１０を介してＬＶＤＴ（線形可変
差動変成器）５に連結している。ＬＶＤＴ５は、復調器
６に接続しており、復調器６は、加算器１６に接続して
いる。加算器１６はサーボ指令信号を受け、そのサーボ
指令信号と復ＩＩ！１６からの信号の差の偏差を出力し
、増幅器７に入力する。増幅器７は、偏差を増幅して電
油変換手段１へ入力する。
差動変成器）５に連結している。ＬＶＤＴ５は、復調器
６に接続しており、復調器６は、加算器１６に接続して
いる。加算器１６はサーボ指令信号を受け、そのサーボ
指令信号と復ＩＩ！１６からの信号の差の偏差を出力し
、増幅器７に入力する。増幅器７は、偏差を増幅して電
油変換手段１へ入力する。
上記構成により、バイアス指令信号を受けると、増幅器
７により増幅された信号が電油変換手段１に入力され、
アクチュエータロッド８を移動させる。
７により増幅された信号が電油変換手段１に入力され、
アクチュエータロッド８を移動させる。
アクチュエータロッド８はバイアスピストン２を内蔵し
、バイアスピストン２の両端にアチュエータシリンダ苗
４ｃ、４ｄ内の差圧が導入されるようにアクチュエータ
ロッド８には小孔８ａ１８ｂが開けられている。
、バイアスピストン２の両端にアチュエータシリンダ苗
４ｃ、４ｄ内の差圧が導入されるようにアクチュエータ
ロッド８には小孔８ａ１８ｂが開けられている。
バイアスピストン２はスプリング３によりバックアップ
されており、差圧に応じてスライドするようになってい
る。これに位置検出器であるＬＶＤＴ５のコアの先端が
結合されている。このため、ＬＶＤＴに入力される位置
信号は実際のアクチュエータロッド８位置ではなく、こ
れに差圧によるバイアスが乗ったものになる。
されており、差圧に応じてスライドするようになってい
る。これに位置検出器であるＬＶＤＴ５のコアの先端が
結合されている。このため、ＬＶＤＴに入力される位置
信号は実際のアクチュエータロッド８位置ではなく、こ
れに差圧によるバイアスが乗ったものになる。
他の実施例を第２図に示す。
この実施例においては、シリンダ型アクチュエータのシ
リンダ室４Ｃ１４ｄとバイアスピストンのシリンダ室８
ｃ１８ｄとを、小孔８ａ、８ｂを交差して連通させてい
る。
リンダ室４Ｃ１４ｄとバイアスピストンのシリンダ室８
ｃ１８ｄとを、小孔８ａ、８ｂを交差して連通させてい
る。
このためＬＶＤＴ５には、第１図に示した実施例と逆に
アクチュエータロッド８の位置信号にシリンダ型アクチ
ュエータの差圧に基づくバイアス信号が加算されて加え
られる。
アクチュエータロッド８の位置信号にシリンダ型アクチ
ュエータの差圧に基づくバイアス信号が加算されて加え
られる。
（発明の効果〕
第１図に示す実施例では、剛性を弱めることができる。
これは、外力に応じてサーボの定常偏差を大きくしたい
制御に有効である。例えば、ロボットや部品のチャッキ
ング制御において、比較的柔らかい物体を掴むときに、
制御のバラツキにより過大荷重が出ないようにすること
ができる。
制御に有効である。例えば、ロボットや部品のチャッキ
ング制御において、比較的柔らかい物体を掴むときに、
制御のバラツキにより過大荷重が出ないようにすること
ができる。
また、複数のサーボアクチュエータで同一の制御対象を
駆動するときに、制御のバラツキにより、アクチュエー
タ間で力のケン力（フォースファイト）が生じ制御対象
に好ましくない応力を与えることになるが、ここにおい
ても第１実施例によれば、力のケン力を軽減することが
可能である。
駆動するときに、制御のバラツキにより、アクチュエー
タ間で力のケン力（フォースファイト）が生じ制御対象
に好ましくない応力を与えることになるが、ここにおい
ても第１実施例によれば、力のケン力を軽減することが
可能である。
第２図に示す実施例では、剛性を高めることができる。
これは、位置制御において外力による定常偏差を減少さ
せるのに有効である。
せるのに有効である。
例えば、サーボループに使用する電油バルブの圧力ゲイ
ンが低すぎて外力による定常偏差が問題になる場合、こ
れを軽減することができる。
ンが低すぎて外力による定常偏差が問題になる場合、こ
れを軽減することができる。
第１図は本発明の第１実施例の断面図、第２図は第２実
施例の断面図、第３図は本発明のブロックダイアグラム
、第４図は第３図に等価なプロツクダイアグラム、第５
図は従来のサーボアクチュエータのダイアグラムである
。 １・・・電油変換手段、 ２・・・バイアスピストン、
３・・・スプリング、 ４・・・シリンダ型アクチュエータ、 ５・・・ＬＶＤＴ、 ６・・・復調器、７・・・増
幅器、 ８・・・アクチュエータロッド、 １６・・・加算器。
施例の断面図、第３図は本発明のブロックダイアグラム
、第４図は第３図に等価なプロツクダイアグラム、第５
図は従来のサーボアクチュエータのダイアグラムである
。 １・・・電油変換手段、 ２・・・バイアスピストン、
３・・・スプリング、 ４・・・シリンダ型アクチュエータ、 ５・・・ＬＶＤＴ、 ６・・・復調器、７・・・増
幅器、 ８・・・アクチュエータロッド、 １６・・・加算器。
Claims (2)
- １． 電気信号を油圧信号に変換する電油変換手段、該
電油変換手段により作動されるアクチュエータ、該アク
チュエータの出力部材の位置を検出し位置電気信号を発
信する位置検出器、該位置検出器からの位置信号と指令
信号とを比較して偏差信号を発信する加算器、該加算器
からの偏差信号を前記電油変換手段へ入力する電油サー
ボアクチュエータにおいて、前記アクチュエータ内の油
圧を検出し前記位置検出器から加算器の間で印加して電
気信号に変換する油電変換手段を設けたことを特徴とす
る剛性調整機能を有する電油サーボアクチュエータ。 - ２． 前記アクチュエータがシリンダ型アクチュエータ
であり、前記油電変換手段が該シリンダ型アクチュエー
タのアクチュエータロッド内に設けられシリンダ内の差
圧に応じて浮動するバイアスピストンであり、該ピスト
ンが前記位置検出器に連結されていることを特徴とする
請求項１記載の剛性調整機能を有する電油サーボアクチ
ュエータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63073831A JPH01247802A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 剛性調整機能を有する電油サーボアクチュエータ |
| US07/283,309 US4947732A (en) | 1988-03-28 | 1988-12-12 | Electro-hydraulic servo actuator with function for adjusting rigidity |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63073831A JPH01247802A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 剛性調整機能を有する電油サーボアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01247802A true JPH01247802A (ja) | 1989-10-03 |
Family
ID=13529480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63073831A Pending JPH01247802A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 剛性調整機能を有する電油サーボアクチュエータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4947732A (ja) |
| JP (1) | JPH01247802A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019111626A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 国立大学法人信州大学 | 油圧ロボット、ロボット制御装置、及びプログラム |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2840671B2 (ja) * | 1987-02-28 | 1998-12-24 | 株式会社島津製作所 | 走行車両用液圧式伝導装置 |
| JPH03186601A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-14 | Teijin Seiki Co Ltd | 電気油圧サーボ機構 |
| US20010037689A1 (en) * | 2000-03-08 | 2001-11-08 | Krouth Terrance F. | Hydraulic actuator piston measurement apparatus and method |
| WO2001066954A2 (en) * | 2000-03-08 | 2001-09-13 | Rosemount Inc. | Piston position measuring device |
| US8245967B2 (en) | 2008-11-25 | 2012-08-21 | The Boeing Company | Actuator force equalization controller |
| US9494168B2 (en) * | 2014-08-26 | 2016-11-15 | Ut-Battelle, Llc | Energy efficient fluid powered linear actuator with variable area and concentric chambers |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3487750A (en) * | 1967-12-01 | 1970-01-06 | Bell Aerospace Corp | Positioning system having input signal integrator and load pressure feedback |
| SU826102A1 (ru) * | 1979-08-08 | 1981-04-30 | Предприятие П/Я В-8670 | Электрогидравлическа система |
| US4537547A (en) * | 1981-10-23 | 1985-08-27 | The United Kingdom Atomic Energy Authority | Manipulator |
| AT384899B (de) * | 1984-09-17 | 1988-01-25 | Hoerbiger Ventilwerke Ag | Regelungsverfahren fuer einen fluidzylinder |
| US4712570A (en) * | 1986-03-11 | 1987-12-15 | Sebastian Caccioppo | Combination brush/roller hair-grooming tool |
| US4817498A (en) * | 1986-12-06 | 1989-04-04 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Dynamic characteristic compensating device for electrical hydraulic servo actuator |
| JPH07901A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-06 | Yabuuchi Shokai:Kk | ビス等の頭面塗装装置 |
-
1988
- 1988-03-28 JP JP63073831A patent/JPH01247802A/ja active Pending
- 1988-12-12 US US07/283,309 patent/US4947732A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019111626A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 国立大学法人信州大学 | 油圧ロボット、ロボット制御装置、及びプログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4947732A (en) | 1990-08-14 |
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