JPH0311558U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例の概略説明図、第
２図及び第３図は本考案の定盤上研磨位置へのブ
ロツクの位置決め修正機構の詳細縦断面図であり
、それぞれ修正前、修正後の状態を示した図、第
４図は本考案の第１実施例のブロツク受台の詳細
縦断面図、第５図は本考案の第２実施例の概略説
明図、第６図は従来例の位置決め機構を示す定盤
部の平面図を示す。 １……研磨装置、２……定盤、３……ブラケツ
ト、４……ブラケツト検出センサー、５……イン
バータ、６……加圧ヘツド、７……ガイド、８…
…盤送アーム、９……ブロツク受台、１０……制
御盤、１１……ウエーハ保持ブロツク、１２……
ロツド、１３……受け部、１４……フリーベアリ
ング、１５……受け部ガイド、１６……スプリン
グ、１７……センタリング機構、１８……搬送ア
ーム、１９……吸着ハンド、２０……ブロツク収
納カセツト、２１……ブロツク収納カセツト昇降
装置、２２……ブロツク搬送コンベア、２３……
ブロツクローダ、２４……リニアブツシユ、２５
……スプリング、２６ａ……サイドガイドローラ
（位置決め時）、２６ｂ……サイドガイドローラ
（待機時）、２７ａ……センターガイドローラ（
位置決め時）、２７ｂ……センターガイドローラ
（待機時）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 加圧ヘツドとロツドとガイドを有し、該加圧ヘ
   ツドは底面と垂直な方向に可動であり、かつ該底
   面に垂直な貫通孔が周面に沿つて複数個形成され
   、前記ロツドは前記加圧ヘツドの貫通孔を突き抜
   ける長さを有して該貫通孔内を上下動自在であり
   、かつ上部に前記加圧ヘツドに支持される支持部
   が設けられ、前記ガイドは前記ロツドの軸方向に
   対して傾斜した方向に移動可能に前記加圧ヘツド
   に支持され、上部が前記ロツドの上部と滑動可能
   に当接し、下部が前記加圧ヘツドの底面よりも下
   方に延びていることを特徴とする載置物体の位置
   決め装置。