JPH03115835U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03115835U JPH03115835U JP2647990U JP2647990U JPH03115835U JP H03115835 U JPH03115835 U JP H03115835U JP 2647990 U JP2647990 U JP 2647990U JP 2647990 U JP2647990 U JP 2647990U JP H03115835 U JPH03115835 U JP H03115835U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- beam scanner
- jitter
- scanner motor
- set table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
第１図は本考案に係るレーザビームスキヤナモ
ータのジツター計測に於けるワーク固定装置の実
施例説明図、第２図、第３図はそれぞれ従来例の
平面図及び側面図である。 １……レーザビームスキヤナモータ、２……ポ
リゴンミラー、３……ジツター計測用センサ、４
……センサ箱、５……スタンド、６……ワークセ
ツト台、７……凹所、８……真空チヤンバ、９…
…３ポート真空バルブ。
ータのジツター計測に於けるワーク固定装置の実
施例説明図、第２図、第３図はそれぞれ従来例の
平面図及び側面図である。 １……レーザビームスキヤナモータ、２……ポ
リゴンミラー、３……ジツター計測用センサ、４
……センサ箱、５……スタンド、６……ワークセ
ツト台、７……凹所、８……真空チヤンバ、９…
…３ポート真空バルブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被試験体であるレーザビームスキヤナモータを
載置するワークセツト台と、 該ワークセツト台に載置されたレーザビームス
キヤナモータのポリゴンミラーにレーザビームを
照射するレーザ発振器と、 該レーザ発振器から出力されポリゴンミラー表
面で反射したレーザビームを受光することにより
電気的信号を発生するジツター計測用センサと、 該ジツター計測用センサの出力信号に基づいて
レーザビームスキヤナモータのジツター値を算出
するジツターアナライザと、 よりなるレーザビームスキヤナモータのジツター
計測装置において、 前記ワークセツト台の上面にレーザビームスキ
ヤナモータ載置用の凹所を設け、前記ワークセツ
ト台内部には真空チヤンバを前記凹所に連接し、
該真空チヤンバが３ポート真空バルブを介して真
空源に接続されてなることを特徴とするレーザビ
ームスキヤナモータのジツター計測に於けるワー
ク固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2647990U JPH03115835U (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2647990U JPH03115835U (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03115835U true JPH03115835U (ja) | 1991-12-02 |
Family
ID=31529367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2647990U Pending JPH03115835U (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03115835U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009259222A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Hon Hai Precision Industry Co Ltd | メモリ装置 |
| KR20150110423A (ko) * | 2014-03-24 | 2015-10-02 | 타이코 일렉트로닉스 (상하이) 컴퍼니 리미티드 | 카드 커넥터 |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP2647990U patent/JPH03115835U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009259222A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Hon Hai Precision Industry Co Ltd | メモリ装置 |
| KR20150110423A (ko) * | 2014-03-24 | 2015-10-02 | 타이코 일렉트로닉스 (상하이) 컴퍼니 리미티드 | 카드 커넥터 |
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