JPS6281005U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6281005U JPS6281005U JP17208885U JP17208885U JPS6281005U JP S6281005 U JPS6281005 U JP S6281005U JP 17208885 U JP17208885 U JP 17208885U JP 17208885 U JP17208885 U JP 17208885U JP S6281005 U JPS6281005 U JP S6281005U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- inclination
- moving table
- interferometer
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
は概略的平面図、第２図は同じく概略的側面図、
第３図は説明図である。 １……移動テーブル（ステージ）、６……被載
置体（描画基板）、１０……位置測定装置、１１
……位置検出系、１３……レーザ発振器、１４…
…位置検出用レーザミラー、１８ａ，１８ｂ……
干渉計、１９ａ，１９ｂ……レーザレシーバ、ａ
……電子ビーム、ｂ０〜ｂ２……レーザビーム。
は概略的平面図、第２図は同じく概略的側面図、
第３図は説明図である。 １……移動テーブル（ステージ）、６……被載
置体（描画基板）、１０……位置測定装置、１１
……位置検出系、１３……レーザ発振器、１４…
…位置検出用レーザミラー、１８ａ，１８ｂ……
干渉計、１９ａ，１９ｂ……レーザレシーバ、ａ
……電子ビーム、ｂ０〜ｂ２……レーザビーム。
Claims (1)
- 被載置体がセツトされる移動テーブルに基準と
なるレーザミラーを取付けるとともに、このレー
ザミラーに干渉計を通過したレーザを導いて反射
させて、その反射レーザを上記干渉計を介してレ
ーザレシーバに導き、レーザ干渉により移動テー
ブルの位置測定を行なうようにした移動テーブル
の位置測定装置であつて、上記干渉計を２台上記
移動テーブルのテーブル面と垂直な方向にずらし
た状態でかつ上記テーブル面より低い位置に配置
して移動テーブルの傾きΘを測定し、この移動テ
ーブルの傾きΘおよび上記被載置体上の被加工面
と一方のレーザ光軸との距離Ｈによりテーブルの
傾きによる加工誤差を補正可能な構成としたこと
を特徴とする移動テーブルの位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17208885U JPS6281005U (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17208885U JPS6281005U (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6281005U true JPS6281005U (ja) | 1987-05-23 |
Family
ID=31108313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17208885U Pending JPS6281005U (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6281005U (ja) |
-
1985
- 1985-11-08 JP JP17208885U patent/JPS6281005U/ja active Pending
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