JPH0311655B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0311655B2 JPH0311655B2 JP59157849A JP15784984A JPH0311655B2 JP H0311655 B2 JPH0311655 B2 JP H0311655B2 JP 59157849 A JP59157849 A JP 59157849A JP 15784984 A JP15784984 A JP 15784984A JP H0311655 B2 JPH0311655 B2 JP H0311655B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- infrared
- conductive adhesive
- connection
- support base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はリード接続の簡単な赤外線検出素子に
関する。
関する。
従来例の構成とその問題点
赤外線検出素子のリード接続は通常、直接ボン
デイングで行なわれている。しかし直接ボンデイ
ングは素子が小さくなると、素子の破損等が生じ
てくる。特に、素子を多数個列状に配列したリニ
アアレイ素子の如く多素子になると素子から直接
ボンデイング等でリードをとるのは非常に難かし
くなつてくる。そこで第１図に示すように支持台
２の上に接続電極２１，２２を設け、その電極か
ら接続線４をとる方法が行なわれている。図にお
いて、１は両面に赤外吸収電極１１および裏面電
極１２が形成された焦電素子で、焦電素子１の一
端は焦電素子１上の電極１３を通して導電性接着
剤３で支持台２の接続電極２１に接着し、他端は
裏面電極１２と接続電極２２が電気的に接続する
ように導電性接着剤３で接着される。４はリード
線、５は裏面電極１２と接続電極２１との電気的
接触を防ぎ、焦電素子１と支持台２とを接着する
ための絶縁性接着剤である。この方法において
は、接続電極２１，２２，１３は導電性接着剤３
とオーミツク接触がとれていなければならず、こ
れらに例えばAlを用いると良い結果が得られな
い。Auを用いれば接触としては良好であるが、
小さな素子に蒸着でつけられたAu電極は接着強
度が弱く、はがれやすい。接着強度を増すために
下地にCr等を蒸着したり、スパツタ等形成方法
をかえても十分な強度が得られず、機械的な力が
加わると上記同様にはがれやすい。
デイングで行なわれている。しかし直接ボンデイ
ングは素子が小さくなると、素子の破損等が生じ
てくる。特に、素子を多数個列状に配列したリニ
アアレイ素子の如く多素子になると素子から直接
ボンデイング等でリードをとるのは非常に難かし
くなつてくる。そこで第１図に示すように支持台
２の上に接続電極２１，２２を設け、その電極か
ら接続線４をとる方法が行なわれている。図にお
いて、１は両面に赤外吸収電極１１および裏面電
極１２が形成された焦電素子で、焦電素子１の一
端は焦電素子１上の電極１３を通して導電性接着
剤３で支持台２の接続電極２１に接着し、他端は
裏面電極１２と接続電極２２が電気的に接続する
ように導電性接着剤３で接着される。４はリード
線、５は裏面電極１２と接続電極２１との電気的
接触を防ぎ、焦電素子１と支持台２とを接着する
ための絶縁性接着剤である。この方法において
は、接続電極２１，２２，１３は導電性接着剤３
とオーミツク接触がとれていなければならず、こ
れらに例えばAlを用いると良い結果が得られな
い。Auを用いれば接触としては良好であるが、
小さな素子に蒸着でつけられたAu電極は接着強
度が弱く、はがれやすい。接着強度を増すために
下地にCr等を蒸着したり、スパツタ等形成方法
をかえても十分な強度が得られず、機械的な力が
加わると上記同様にはがれやすい。
発明の目的
本発明は以上のような欠点を解消するもので、
接続電極と導電性接着剤がオーミツク接触をも
ち、かつ焦電素子上面の赤外吸収電極ともオーミ
ツク接触を持ち、新たに設けられた赤外反射電極
上にまで及ぶように導電性接着剤を設けることに
より接着強度も強くボンデイングの可能な赤外線
検出素子を提供することを目的としたものであ
る。
接続電極と導電性接着剤がオーミツク接触をも
ち、かつ焦電素子上面の赤外吸収電極ともオーミ
ツク接触を持ち、新たに設けられた赤外反射電極
上にまで及ぶように導電性接着剤を設けることに
より接着強度も強くボンデイングの可能な赤外線
検出素子を提供することを目的としたものであ
る。
発明の構成
本発明においては焦電素子の表面に赤外吸収電
極を設け、その上に素子端面から少し離して赤外
反射電極をつけ、この赤外反射電極より素子端面
側の赤外吸収電極と支持台上の接続電極とを赤外
反射電極にまで及ぶように導電性接着剤で接続さ
せるようにしたものである。
極を設け、その上に素子端面から少し離して赤外
反射電極をつけ、この赤外反射電極より素子端面
側の赤外吸収電極と支持台上の接続電極とを赤外
反射電極にまで及ぶように導電性接着剤で接続さ
せるようにしたものである。
実施例の説明
以下本発明の実施例について図面とともに詳細
に説明する。
に説明する。
第２図において赤外線検出素子１にPbTiO3セ
ラミツク等の焦電材料を用いる。赤外吸収電極１
１にはNiCrを蒸着し、裏面の電極１２は赤外線
が透過しない様にNiCrを厚く蒸着する。表面の
赤外吸収電極１１上には素子端面より少しはなし
て細長い赤外反射電極１４としてAlを蒸着する。
Alは接着強度は強く、ボンデイング電極として
は良いが導電性接着剤との接着性はよくない。焦
電素子１の両端は絶縁層をもつたSiで作られた支
持台２に導電性接着剤３及び絶縁性接着剤５によ
つてそれぞれはりつけられる。その後焦電素子上
面との赤外吸収電極１１の端部と、支持台２上の
接続電極２１との間を赤外反射電極１４に達する
ように導電性接着剤３で接続する。リニアアレイ
素子にする場合はこの素子をダイシング等で支持
台に切りこみを入れる位に切つてやれば良い。
ラミツク等の焦電材料を用いる。赤外吸収電極１
１にはNiCrを蒸着し、裏面の電極１２は赤外線
が透過しない様にNiCrを厚く蒸着する。表面の
赤外吸収電極１１上には素子端面より少しはなし
て細長い赤外反射電極１４としてAlを蒸着する。
Alは接着強度は強く、ボンデイング電極として
は良いが導電性接着剤との接着性はよくない。焦
電素子１の両端は絶縁層をもつたSiで作られた支
持台２に導電性接着剤３及び絶縁性接着剤５によ
つてそれぞれはりつけられる。その後焦電素子上
面との赤外吸収電極１１の端部と、支持台２上の
接続電極２１との間を赤外反射電極１４に達する
ように導電性接着剤３で接続する。リニアアレイ
素子にする場合はこの素子をダイシング等で支持
台に切りこみを入れる位に切つてやれば良い。
この構成においては、赤外吸収電極１１は
NiCrであるので導電性接着剤３とオーミツク接
触は良好であり、また、赤外反射電極１４はAl
なので接着強度は高い。この場合、赤外反射電極
１４は焦電素子１の赤外受光面を規制する役割を
果している。このようにして作製された赤外検出
素子は接続電極２１，２２がSi支持台２上にある
ため他と結線するにも半導体なみに扱うことがで
きるので非常に都合が良い。なおこのSi上の接続
電極２１，２２はボンデイング可能にするため
Cr−Pb−Auの３層蒸着を行なつているが、これ
でも強度的に不十分な場合は、一部をオーバーラ
ツプさせるようにしてこのCr−Pd−Au−Alを蒸
着でつけても良い。
NiCrであるので導電性接着剤３とオーミツク接
触は良好であり、また、赤外反射電極１４はAl
なので接着強度は高い。この場合、赤外反射電極
１４は焦電素子１の赤外受光面を規制する役割を
果している。このようにして作製された赤外検出
素子は接続電極２１，２２がSi支持台２上にある
ため他と結線するにも半導体なみに扱うことがで
きるので非常に都合が良い。なおこのSi上の接続
電極２１，２２はボンデイング可能にするため
Cr−Pb−Auの３層蒸着を行なつているが、これ
でも強度的に不十分な場合は、一部をオーバーラ
ツプさせるようにしてこのCr−Pd−Au−Alを蒸
着でつけても良い。
発明の効果
以上のように、本発明は赤外検出素子の表面に
形成した赤外吸収電極上に端面および中央部に余
白をとつて赤外反射電極を設け、赤外吸収電極の
端面余白部と、支持台上に形成した接続電極とを
上記赤外反射電極に達するように導電性接着剤で
接続した赤外線検出素子で、リニアアレイのよう
に多素子の赤外検出素子において、結線の歩留
り、信頼性が向上し、使用に耐えるものが作製で
きるようになる。
形成した赤外吸収電極上に端面および中央部に余
白をとつて赤外反射電極を設け、赤外吸収電極の
端面余白部と、支持台上に形成した接続電極とを
上記赤外反射電極に達するように導電性接着剤で
接続した赤外線検出素子で、リニアアレイのよう
に多素子の赤外検出素子において、結線の歩留
り、信頼性が向上し、使用に耐えるものが作製で
きるようになる。
第１図は従来の赤外線検出素子の一例における
断面図、第２図は本発明における赤外線検出素子
の実施例を示す断面図である。 １……焦電材料、１１……赤外吸収電極、１２
……裏面電極、１３……素子接続電極、１４……
赤外反射電極、２……支持台、２１，２２……支
持台接続電極、３……導電性接着剤、４……リー
ド線、５……絶縁性接着剤。
断面図、第２図は本発明における赤外線検出素子
の実施例を示す断面図である。 １……焦電材料、１１……赤外吸収電極、１２
……裏面電極、１３……素子接続電極、１４……
赤外反射電極、２……支持台、２１，２２……支
持台接続電極、３……導電性接着剤、４……リー
ド線、５……絶縁性接着剤。
Claims (1)
- １ 焦電素子の表面に赤外吸収電極を設け、この
赤外吸収電極上の中央部および端部を除いた領域
に赤外反射電極を形成し、導電性接着剤の一方が
支持台上の接続電極の少なくとも一部と接触し、
他方が上記赤外吸収電極の端部を覆い赤外反射電
極の一部にまで延伸して設けられたことを特徴と
する赤外線検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59157849A JPS6069524A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 赤外線検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59157849A JPS6069524A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 赤外線検出素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6069524A JPS6069524A (ja) | 1985-04-20 |
| JPH0311655B2 true JPH0311655B2 (ja) | 1991-02-18 |
Family
ID=15658704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59157849A Granted JPS6069524A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 赤外線検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6069524A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2572864Y2 (ja) * | 1991-07-31 | 1998-05-25 | ティーディーケイ株式会社 | 焦電形赤外線検出器 |
| JP2753905B2 (ja) * | 1991-09-24 | 1998-05-20 | 能美防災株式会社 | 焦電素子 |
| US5625188A (en) * | 1993-10-29 | 1997-04-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pyroelectric infrared array sensor |
| US6175114B1 (en) | 1993-10-29 | 2001-01-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pyroelectric infrared array sensor |
-
1984
- 1984-07-27 JP JP59157849A patent/JPS6069524A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6069524A (ja) | 1985-04-20 |
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