JPS6069524A - 赤外線検出素子 - Google Patents
赤外線検出素子Info
- Publication number
- JPS6069524A JPS6069524A JP59157849A JP15784984A JPS6069524A JP S6069524 A JPS6069524 A JP S6069524A JP 59157849 A JP59157849 A JP 59157849A JP 15784984 A JP15784984 A JP 15784984A JP S6069524 A JPS6069524 A JP S6069524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- infrared
- detection element
- infrared detection
- conductive adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はリード接続の簡単な赤外線検出素子に関する。
従来例の構成とその問題点
赤外線検出素子のリード接続は通常、直接ボンディング
で行なわれている。しかし直接ボンディングは素子が小
さくなると、素子の破損等が生じてくる。特に、素子を
多数個列状に配列したりニアアレイ素子の如く多素子に
なると素子から直接ボンディング等でリードをとるのは
非常に難かしくなってくる。そこで第１図に示すように
支持台２の上に接続電極２１．２２を設け、その電極か
ら接続線４をとる方法が行なわれている。図において、
１は両面に赤外吸収電極１１および裏面電極１２が形成
された焦電素子で、焦電素子１の一端は焦電素子１上の
電極１３を通して導電性接着剤３で支持台２の接続電極
２１に接着し、他端は裏面電極１２と接続電極２２が電
気的に接続するように導電性接着剤３で接着される。４
はリード線、６は裏面電極１２と接続電接２１との電気
的接触を防ぎ、焦電素子１と支持台２とを接着するだめ
の絶縁性接着剤である。この方法においては、接続電極
２１，２２．１３は導電性接着剤１３とオーミック接触
がとれていなければならず、これらに例えばＡｔを用い
ると良い結果が得られない。
で行なわれている。しかし直接ボンディングは素子が小
さくなると、素子の破損等が生じてくる。特に、素子を
多数個列状に配列したりニアアレイ素子の如く多素子に
なると素子から直接ボンディング等でリードをとるのは
非常に難かしくなってくる。そこで第１図に示すように
支持台２の上に接続電極２１．２２を設け、その電極か
ら接続線４をとる方法が行なわれている。図において、
１は両面に赤外吸収電極１１および裏面電極１２が形成
された焦電素子で、焦電素子１の一端は焦電素子１上の
電極１３を通して導電性接着剤３で支持台２の接続電極
２１に接着し、他端は裏面電極１２と接続電極２２が電
気的に接続するように導電性接着剤３で接着される。４
はリード線、６は裏面電極１２と接続電接２１との電気
的接触を防ぎ、焦電素子１と支持台２とを接着するだめ
の絶縁性接着剤である。この方法においては、接続電極
２１，２２．１３は導電性接着剤１３とオーミック接触
がとれていなければならず、これらに例えばＡｔを用い
ると良い結果が得られない。
Ａｕを用いれば接触としては良好であるが、小さな素子
に蒸着でつけられたＡｕ電極（ｄ接着強度が弱く、はが
れやすい。接着強度を増すために下地にＣｒ等を蒸着し
たり、スパッタ等形成方法をかえても十分な強度が得ら
れず、機械的な力が加わると上記同様にはがれやすい。
に蒸着でつけられたＡｕ電極（ｄ接着強度が弱く、はが
れやすい。接着強度を増すために下地にＣｒ等を蒸着し
たり、スパッタ等形成方法をかえても十分な強度が得ら
れず、機械的な力が加わると上記同様にはがれやすい。
発明の目的
本発明は以上のような欠点を解消するもので、接続電極
と導電性接着剤がオーミック接触をもち、かつ焦電素子
との接着強度も強くボンディングの可能な赤外線検出素
子を提供することを目的としたものである。
と導電性接着剤がオーミック接触をもち、かつ焦電素子
との接着強度も強くボンディングの可能な赤外線検出素
子を提供することを目的としたものである。
発明の構成
本発明においては焦電素子の表面に赤外吸収電極を設け
、その上に素子端”面から少し離して赤外反射電極をつ
け、この赤外反射電極より素子端面側の赤外吸収電極と
支持台上の接続電極とを導電性接着剤で接続させるよう
にしたものである。
、その上に素子端”面から少し離して赤外反射電極をつ
け、この赤外反射電極より素子端面側の赤外吸収電極と
支持台上の接続電極とを導電性接着剤で接続させるよう
にしたものである。
実施例の説明
以下本発明の実施例について図面とともに詳細に説明す
る。
る。
第２図において赤外線検出素子１にＰｉ）Ｔｉ○３セラ
ミック等の焦電材料を用いる。赤外吸収電極１１にはｌ
”Ｊ ｉ Ｃｒを蒸着し、裏面の電極１２は赤外線が透
過しない様にＮ ｉ Ｃｒを厚く蒸着する。表面の赤外
吸収電極１１上には素子端面より少しはなして細長い赤
外反射電極１４としてＡｔを蒸着する。Ａｔは接着強度
は強く、ボンディング電極としては良いが導電性接着剤
との接着性はよくない。
ミック等の焦電材料を用いる。赤外吸収電極１１にはｌ
”Ｊ ｉ Ｃｒを蒸着し、裏面の電極１２は赤外線が透
過しない様にＮ ｉ Ｃｒを厚く蒸着する。表面の赤外
吸収電極１１上には素子端面より少しはなして細長い赤
外反射電極１４としてＡｔを蒸着する。Ａｔは接着強度
は強く、ボンディング電極としては良いが導電性接着剤
との接着性はよくない。
焦電素子１０両端は絶縁層をもったＳｉ で作られた支
持台２に導電性接着剤３及び絶縁性接着剤５によってそ
れぞれはりつけられる。その後焦電素子上面と支持台２
上の接続電極２１との間を導電性接着剤３で接続する。
持台２に導電性接着剤３及び絶縁性接着剤５によってそ
れぞれはりつけられる。その後焦電素子上面と支持台２
上の接続電極２１との間を導電性接着剤３で接続する。
リニアアレイ素子にする場合はこの素子をダイシング等
で支持台に切りこみを入れる位に切ってやれば良い。
で支持台に切りこみを入れる位に切ってやれば良い。
この構成においては、赤外吸収電極１１はＮｉＣｒであ
るので導電性接着剤３とオーミック接触は良好であり、
また、赤外反射電極１４はＡｔなので接着強度は高い。
るので導電性接着剤３とオーミック接触は良好であり、
また、赤外反射電極１４はＡｔなので接着強度は高い。
この場合、赤外吸収電極１４は焦電素子１の赤外受光面
を規制する役割を果している。このようにして作製され
た赤外検出素子は接続電極２１．２２が８１支持台２上
にあるため他と結線するにも半導体なみに扱うことがで
きるので非常に都合が良い。なおこのＳｉ上の接続電極
２１．２２はポンディング可能にするためＣｒ −Ｐ
ｂ−Ａｕの３層蒸着を行なっているが、これでも強度的
に不十分な場合は、一部をオーバーラツプさせるように
してこのＣｒ−Ｐｄ−Ａｕ−Ａｌを蒸着でつけても良い
。
を規制する役割を果している。このようにして作製され
た赤外検出素子は接続電極２１．２２が８１支持台２上
にあるため他と結線するにも半導体なみに扱うことがで
きるので非常に都合が良い。なおこのＳｉ上の接続電極
２１．２２はポンディング可能にするためＣｒ −Ｐ
ｂ−Ａｕの３層蒸着を行なっているが、これでも強度的
に不十分な場合は、一部をオーバーラツプさせるように
してこのＣｒ−Ｐｄ−Ａｕ−Ａｌを蒸着でつけても良い
。
発明の効果
以上のように、本発明は赤外検出素子の表面に形成した
赤外吸収電極上に端面および中央部に余白をとって赤外
反射電極を設け、赤外吸収電極の端面余白部と、支持台
上に形成した接続電極とを導電性接着剤で接続した赤外
線検出素子で、リニアアレイのように多素子の赤外検出
素子において、結線の歩留り、信頼性が向上し、使用に
耐えるものが作製できるようになる。
赤外吸収電極上に端面および中央部に余白をとって赤外
反射電極を設け、赤外吸収電極の端面余白部と、支持台
上に形成した接続電極とを導電性接着剤で接続した赤外
線検出素子で、リニアアレイのように多素子の赤外検出
素子において、結線の歩留り、信頼性が向上し、使用に
耐えるものが作製できるようになる。
第１図は従来の赤外線検出素子の一例における断面図、
第２図は本、発明における赤外検出素子覧 の実施例を示す断面図である。 １・・・・・焦電材料、１１・・・・・・赤外吸収電極
、１２・・・・・・裏面電極、１３・・・・・素子接続
電極、１４・・・・・・赤外反射電液、２・・・・・・
支持台、２１．．２２・・・・支持台接続電極、３・・
・・・・導電性接着剤、４・・・・ｌ／ −ド線、５・
・・・・・絶縁性接着剤。
第２図は本、発明における赤外検出素子覧 の実施例を示す断面図である。 １・・・・・焦電材料、１１・・・・・・赤外吸収電極
、１２・・・・・・裏面電極、１３・・・・・素子接続
電極、１４・・・・・・赤外反射電液、２・・・・・・
支持台、２１．．２２・・・・支持台接続電極、３・・
・・・・導電性接着剤、４・・・・ｌ／ −ド線、５・
・・・・・絶縁性接着剤。
Claims (1)
- 焦電素子の表面に赤外吸収電極を設け、この赤外吸収電
極上の中央部および端部を除いた領域に赤外反射電極を
形成し、支持台上の接続電極と上記赤外吸収電極の端部
とを導電性接着剤で接続したことを特徴とする赤外線検
出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59157849A JPS6069524A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 赤外線検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59157849A JPS6069524A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 赤外線検出素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6069524A true JPS6069524A (ja) | 1985-04-20 |
| JPH0311655B2 JPH0311655B2 (ja) | 1991-02-18 |
Family
ID=15658704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59157849A Granted JPS6069524A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 赤外線検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6069524A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0514860U (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-26 | テイーデイーケイ株式会社 | 焦電形赤外線検出器 |
| JPH0579908A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-03-30 | Nohmi Bosai Ltd | 焦電素子 |
| US5625188A (en) * | 1993-10-29 | 1997-04-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pyroelectric infrared array sensor |
| US6175114B1 (en) | 1993-10-29 | 2001-01-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pyroelectric infrared array sensor |
-
1984
- 1984-07-27 JP JP59157849A patent/JPS6069524A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0514860U (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-26 | テイーデイーケイ株式会社 | 焦電形赤外線検出器 |
| JPH0579908A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-03-30 | Nohmi Bosai Ltd | 焦電素子 |
| US5625188A (en) * | 1993-10-29 | 1997-04-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pyroelectric infrared array sensor |
| US6175114B1 (en) | 1993-10-29 | 2001-01-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pyroelectric infrared array sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0311655B2 (ja) | 1991-02-18 |
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