JPH03120034U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03120034U JPH03120034U JP2831690U JP2831690U JPH03120034U JP H03120034 U JPH03120034 U JP H03120034U JP 2831690 U JP2831690 U JP 2831690U JP 2831690 U JP2831690 U JP 2831690U JP H03120034 U JPH03120034 U JP H03120034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- substrate
- processed
- frame
- spin dryer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に被処理基板を収納
した状態の断面図、第２図は第１図の枠体の斜視
図、第３図は従来のスピン乾燥機の斜視図、第４
図は従来のスピン乾燥機に係る基板収納治具の斜
視図、第５図は洗浄用トレーの斜視図、第６図は
洗浄用トレーを用いた従来のスピン乾燥機の断面
図である。 １……ターンテーブル、２……モーター、３…
…枠体、４……治具、５……洗浄用トレー、６…
…仕切り板、７……支持軸、８……ガイドレール
、９，９′……被処理基板。
した状態の断面図、第２図は第１図の枠体の斜視
図、第３図は従来のスピン乾燥機の斜視図、第４
図は従来のスピン乾燥機に係る基板収納治具の斜
視図、第５図は洗浄用トレーの斜視図、第６図は
洗浄用トレーを用いた従来のスピン乾燥機の断面
図である。 １……ターンテーブル、２……モーター、３…
…枠体、４……治具、５……洗浄用トレー、６…
…仕切り板、７……支持軸、８……ガイドレール
、９，９′……被処理基板。
Claims (1)
- ターンテーブル上に複数個の枠体を配置し、こ
の枠体に被処理基板を収納した洗浄用トレーをセ
ツトし、前記ターンテーブルを水平回転させて前
記被処理基板の水切りを行うスピン乾燥機におい
て、前記洗浄用トレーは前記ターンテーブルの回
転面に対し１０°〜８０°範囲内の一定角度をも
つて前記枠体にセツトされていることを特徴とす
るスピン乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2831690U JPH03120034U (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2831690U JPH03120034U (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120034U true JPH03120034U (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=31531124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2831690U Pending JPH03120034U (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03120034U (ja) |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP2831690U patent/JPH03120034U/ja active Pending
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