JPH0472623U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0472623U JPH0472623U JP11631890U JP11631890U JPH0472623U JP H0472623 U JPH0472623 U JP H0472623U JP 11631890 U JP11631890 U JP 11631890U JP 11631890 U JP11631890 U JP 11631890U JP H0472623 U JPH0472623 U JP H0472623U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spin dryer
- turntable
- processed
- substrate
- tray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の縦断面図、第２図
は一実施例に用いる枠体の斜視図、第３図は従来
のスピン乾燥機の一例を示す斜視図、第４図は従
来の乾燥機に用いる治具の斜視図、第５図は洗浄
トレーの斜視図、第６図は従来のスピン乾燥機の
他の例を示す縦断面図である。 １……ターンテーブル、２……枠体、３……被
処理基板、４……モータ、５……治具、６……洗
浄トレー、７……仕切り板、８……回転中心軸、
９……ガイドレール。
は一実施例に用いる枠体の斜視図、第３図は従来
のスピン乾燥機の一例を示す斜視図、第４図は従
来の乾燥機に用いる治具の斜視図、第５図は洗浄
トレーの斜視図、第６図は従来のスピン乾燥機の
他の例を示す縦断面図である。 １……ターンテーブル、２……枠体、３……被
処理基板、４……モータ、５……治具、６……洗
浄トレー、７……仕切り板、８……回転中心軸、
９……ガイドレール。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ターンテーブル上に枠体を円周等配に複数個
設け、この枠体に被処理基板を収納したトレーあ
るいは治具をセツトして前記被処理基板をその面
方向に水平回転させることにより水切りを行うス
ピン乾燥機において、前記枠体に前記被処理基板
を収納する洗浄トレーをターンテーブルの回転方
向に対し傾斜させてセツトするためのガイドレー
ルを設けたことを特徴とするスピン乾燥機。 ２ ガイドレールは洗浄トレーが所定の傾斜角度
になるように左右の高さを違えて取り付けられて
いる請求項１記載のスピン乾燥機。 ３ 枠体は洗浄トレーをセツトするために揺動可
能にターンテーブルに取付けられている請求項１
記載のスピン乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11631890U JPH0472623U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11631890U JPH0472623U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472623U true JPH0472623U (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=31864135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11631890U Pending JPH0472623U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0472623U (ja) |
-
1990
- 1990-11-06 JP JP11631890U patent/JPH0472623U/ja active Pending