JPH03123207A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH03123207A JPH03123207A JP1261667A JP26166789A JPH03123207A JP H03123207 A JPH03123207 A JP H03123207A JP 1261667 A JP1261667 A JP 1261667A JP 26166789 A JP26166789 A JP 26166789A JP H03123207 A JPH03123207 A JP H03123207A
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Landscapes
- Amplifiers (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光データリンクや光CATVシステムなどにお
ける光受信回路部等に使用される半導体装置に関し、特
に浮遊容量の低減化に関するものである。
ける光受信回路部等に使用される半導体装置に関し、特
に浮遊容量の低減化に関するものである。
従来、この種の光受信回路としては第3図に示されるブ
ートストラップ型の回路がある。抵抗Rqによって電源
に吊り上げられた受光素子1に光信号が受信され、この
受信信号は抵抗Rt、によって電圧信号に変換される。
ートストラップ型の回路がある。抵抗Rqによって電源
に吊り上げられた受光素子1に光信号が受信され、この
受信信号は抵抗Rt、によって電圧信号に変換される。
電圧信号に変換された受信信号はコンデンサCcによっ
てその直流分が除去され、利得が1であるバッファアン
プ2に与えられる。バッファアンプ2の出力はコンデン
サCqを介して受光素子1に帰還される。これと共に、
アンプ3に与えられて増幅されて復調される。これら抵
抗R、R、コンデンサCc 。
てその直流分が除去され、利得が1であるバッファアン
プ2に与えられる。バッファアンプ2の出力はコンデン
サCqを介して受光素子1に帰還される。これと共に、
アンプ3に与えられて増幅されて復調される。これら抵
抗R、R、コンデンサCc 。
Q
Cqおよびアンプ2,3は1つの集積回路(IC)チッ
プ4に内蔵されて形成されており、受光素子1はキャリ
アチップ5の形状に形成されている。
プ4に内蔵されて形成されており、受光素子1はキャリ
アチップ5の形状に形成されている。
一般的に、抵抗R0は数百Ω〜IOKΩ程度。
直流分遮断コンデンサC6は数pF〜数百pFである。
また、受光素子1のPN接合間には約0.5pFの接合
容量CPDが生じ、また、受光素子1を回路基板上に実
装した場合には、受光素子1のカソード−大地間および
アノ−ドル大地間には対地容量CおよびC2が生じる。
容量CPDが生じ、また、受光素子1を回路基板上に実
装した場合には、受光素子1のカソード−大地間および
アノ−ドル大地間には対地容量CおよびC2が生じる。
■
第4図はこの対地容量C、Cの値をバラタ2
−タとする受信信号の周波数特性を表し、横軸は周波数
[Hz]、縦軸は受信信号の減衰量[dB]を表す。な
お、この特性はシミュレーション結果である。曲線6,
7,8.9はそれぞれ対地容量C1−C2がOpF、0
.05pF、0,1pF。
[Hz]、縦軸は受信信号の減衰量[dB]を表す。な
お、この特性はシミュレーション結果である。曲線6,
7,8.9はそれぞれ対地容量C1−C2がOpF、0
.05pF、0,1pF。
0.2+)Fの時の周波数特性である。曲線6から理解
されるように、対地容量がOpFの時には極めて広い周
波数帯域にわたって信号が受信可能である。しかし、曲
線7や8に示される50fFや100fF程度の微少な
対地容量が受光素子1に発生しても、受信帯域幅は著し
く狭まってしまう。
されるように、対地容量がOpFの時には極めて広い周
波数帯域にわたって信号が受信可能である。しかし、曲
線7や8に示される50fFや100fF程度の微少な
対地容量が受光素子1に発生しても、受信帯域幅は著し
く狭まってしまう。
このため、高速で広帯域の光受信回路にあっては、対地
容量C、Cを低減するために受光素2 子1にキャンタイプのパッケージは使用されず、第5図
に示されるチップキャリアタイプのパッケージが使用さ
れる。このタイプの受光素子は、金属がメタライズされ
て形成された端子11.12がセラミック基体10上に
設けられ、基体中央部に位置する端子11上に受光部1
3が形成されて構成されている。端子11はカソード、
端子12はアノードに相当する。セラミック基体10の
面10aは回路基板への実装面であり、このパッケージ
の寸法は通常2 mm X 2 mm X 4 mm程
度である。
容量C、Cを低減するために受光素2 子1にキャンタイプのパッケージは使用されず、第5図
に示されるチップキャリアタイプのパッケージが使用さ
れる。このタイプの受光素子は、金属がメタライズされ
て形成された端子11.12がセラミック基体10上に
設けられ、基体中央部に位置する端子11上に受光部1
3が形成されて構成されている。端子11はカソード、
端子12はアノードに相当する。セラミック基体10の
面10aは回路基板への実装面であり、このパッケージ
の寸法は通常2 mm X 2 mm X 4 mm程
度である。
この種のチップキャリアタイプの受光素子における対地
容量は、キャンタイプパッケージの受光素子に比較して
0.5pF以上小さい。
容量は、キャンタイプパッケージの受光素子に比較して
0.5pF以上小さい。
しかしながら、この種のチップキャリアタイプの受光素
子にあっても、以下に詳述するように対地容量C、C2
は十分に低減されていない。
子にあっても、以下に詳述するように対地容量C、C2
は十分に低減されていない。
第6図は、第5図に示されたキャリアチップ5を用いて
構成される光受信回路基板15のパターンの一部である
。この回路基板15には図示しないプリアンプやメイン
アンプ等が実装され、その裏面には実装される回路の基
準電位に設定されるグランドパターンが形成されている
。キャリアチップ5の面10aは回路基板15の表面に
当接され、各端子11.12が配線パターン16.17
に電気的に接続されるようにボンディングされる。
構成される光受信回路基板15のパターンの一部である
。この回路基板15には図示しないプリアンプやメイン
アンプ等が実装され、その裏面には実装される回路の基
準電位に設定されるグランドパターンが形成されている
。キャリアチップ5の面10aは回路基板15の表面に
当接され、各端子11.12が配線パターン16.17
に電気的に接続されるようにボンディングされる。
配線パターン16.17はプリアンプ回路へ導かれるも
のであり、その面積は端子11.12の面積よりもやや
大きく形成されている。これはキャリアチップ5を回路
基板15にボンディングする際、位置合わせの余裕分と
して必要になるからである。
のであり、その面積は端子11.12の面積よりもやや
大きく形成されている。これはキャリアチップ5を回路
基板15にボンディングする際、位置合わせの余裕分と
して必要になるからである。
つまり、面10aにある各端子11.12の大きさは0
.5mmX2mm程度であり、各配線パターン16,1
7は、各端子11.12の周囲よりも100μm大きく
形成される。すなわち、各配線パターン16.17は0
、7 mm X 2 、 2 mmの太きさに形成さ
れ、その面積は1.54mm2になる。
.5mmX2mm程度であり、各配線パターン16,1
7は、各端子11.12の周囲よりも100μm大きく
形成される。すなわち、各配線パターン16.17は0
、7 mm X 2 、 2 mmの太きさに形成さ
れ、その面積は1.54mm2になる。
また、各配線パターン16.17は、回路基板15の裏
面に形成されたグランドパターンとの間に対地容量C、
C2を生じる。ここで、回路基■ 板15に通常よく使用される厚さ635μmのセラミッ
ク基板を使用すると、対地容量C、C2■ は次のように計算される。
面に形成されたグランドパターンとの間に対地容量C、
C2を生じる。ここで、回路基■ 板15に通常よく使用される厚さ635μmのセラミッ
ク基板を使用すると、対地容量C、C2■ は次のように計算される。
12
C−C−8,854xlOx9x
2
6
(1,54X10 /6.35X10−6)−1,9
3X10−13 12 なお、8.854X10 は真空の誘電率、9はセ
ラミックの比誘電率である。このようにチップキャリア
タイプの受光素子を使用しても、約200fFの対地容
量C、Cが生じる。この1ま ため、光受信回路の周波数特性は第4図の曲線9に示さ
れる特性になり、受信帯域は狭まったままである。
3X10−13 12 なお、8.854X10 は真空の誘電率、9はセ
ラミックの比誘電率である。このようにチップキャリア
タイプの受光素子を使用しても、約200fFの対地容
量C、Cが生じる。この1ま ため、光受信回路の周波数特性は第4図の曲線9に示さ
れる特性になり、受信帯域は狭まったままである。
本発明はこのような課題を解消するために為されたもの
であり、受光素子に生じる対地容量を軽減し、受信感度
が高く、かつ、受信帯域の広い半導体装置を提供するこ
とを目的とする。
であり、受光素子に生じる対地容量を軽減し、受信感度
が高く、かつ、受信帯域の広い半導体装置を提供するこ
とを目的とする。
本発明は、受信回路の基準電位に設定される第1の配線
パターンおよびこの第1の配線パターンから電気的に分
離され受信信号電圧が与えられる第2の配線パターンが
裏面に形成された回路基板と、第2の配線パターン上に
位置する回路基板の表面に実装され受信回路に伝達され
る信号を受信する回路素子とを備えたものである。
パターンおよびこの第1の配線パターンから電気的に分
離され受信信号電圧が与えられる第2の配線パターンが
裏面に形成された回路基板と、第2の配線パターン上に
位置する回路基板の表面に実装され受信回路に伝達され
る信号を受信する回路素子とを備えたものである。
回路素子に生じる電圧の変化は、回路素子の裏面に形成
された第2の配線パターンの電圧変化にほぼ等しくなる
。
された第2の配線パターンの電圧変化にほぼ等しくなる
。
第1図は本発明の一実施例の構成を示し、同図(a)は
側面図、同図(b)は裏面図を表す。
側面図、同図(b)は裏面図を表す。
セラミック基板21はアルミナ(AN 20a )等の
電気的絶縁性を有する材質から成り、この基板21の裏
面には金パラジウムや銀パラジウム等がメタライズされ
ることにより、広い面積でグランドパターン22が形成
されている。このグランドパターン22は基板21上に
実装される光受信回路の各半導体回路チップの基準電位
に設定される。また、エツチング技術によりメタライズ
された金属がパターンニングされることにより、島状の
孤立パターン23がグランドパターン22から電気的に
分離して形成されている。この孤立パターン23上に位
置する基板21の表面には、ホトダイオードが形成され
たキャリアチップ24がダイボンディングされている。
電気的絶縁性を有する材質から成り、この基板21の裏
面には金パラジウムや銀パラジウム等がメタライズされ
ることにより、広い面積でグランドパターン22が形成
されている。このグランドパターン22は基板21上に
実装される光受信回路の各半導体回路チップの基準電位
に設定される。また、エツチング技術によりメタライズ
された金属がパターンニングされることにより、島状の
孤立パターン23がグランドパターン22から電気的に
分離して形成されている。この孤立パターン23上に位
置する基板21の表面には、ホトダイオードが形成され
たキャリアチップ24がダイボンディングされている。
また、キャリアチップ24と間隔をおいた基板21表面
上には、復調回路が形成されたICチップ25がダイボ
ンディングされている。
上には、復調回路が形成されたICチップ25がダイボ
ンディングされている。
第2図はキャリアチップ24およびICチップ25によ
って構成される光受信回路の回路図を示す。
って構成される光受信回路の回路図を示す。
ICチップ25の外部端子25a、bは、基板21の表
面に形成された図示しない配線パターンによってキャリ
アチップ24の外部端子24a。
面に形成された図示しない配線パターンによってキャリ
アチップ24の外部端子24a。
bに接続されている。この配線パターンにより、キャリ
アチップ24に形成されたホトダイオード26のカソー
ドおよびアノードは、ICチップ25に形成された抵抗
Rおよび抵抗Rt、の各−端に接続されている。これら
抵抗RQおよび抵抗Rの各一端は同時にコンデンサCQ
およびコンデンサCの各一端に接続され、抵抗Rqおよ
び抵抗Rt、の各他端は電源電位および接地電位に接続
されている。
アチップ24に形成されたホトダイオード26のカソー
ドおよびアノードは、ICチップ25に形成された抵抗
Rおよび抵抗Rt、の各−端に接続されている。これら
抵抗RQおよび抵抗Rの各一端は同時にコンデンサCQ
およびコンデンサCの各一端に接続され、抵抗Rqおよ
び抵抗Rt、の各他端は電源電位および接地電位に接続
されている。
コンデンサC6は受信信号に含まれる直流分を除去する
ためのものであり、この他端はバッファアンプ27の入
力に接続されている。コンデンサCQの他端はこのバッ
ファアンプ27の出力に接続されており、バッファアン
プ27の出力をホトダイオード26のカソードに帰還す
る。バッファアンプ27は増幅率が1の正転アンプであ
り、ソースフォロア回路等によって構成される。この出
力はこれと共にアンプ28の入力に接続され、アンプ2
8の出力は外部端子29に接続されている。
ためのものであり、この他端はバッファアンプ27の入
力に接続されている。コンデンサCQの他端はこのバッ
ファアンプ27の出力に接続されており、バッファアン
プ27の出力をホトダイオード26のカソードに帰還す
る。バッファアンプ27は増幅率が1の正転アンプであ
り、ソースフォロア回路等によって構成される。この出
力はこれと共にアンプ28の入力に接続され、アンプ2
8の出力は外部端子29に接続されている。
また、バッファアンプ27の出力はさらに外部端子30
に接続されており、この外部端子30は回路基板21の
表面に形成された図示しない配線パターンによって孤立
パターン23に接続されている。この接続はVIAホー
ル31を介して行われている。
に接続されており、この外部端子30は回路基板21の
表面に形成された図示しない配線パターンによって孤立
パターン23に接続されている。この接続はVIAホー
ル31を介して行われている。
このような構成において、ホトダイオード26に光信号
が受信されると、光信号は光出力電流に変換される。こ
の光出力電流は抵抗Rt、により電圧信号に変換され、
さらに、この電圧信号はコンデンサC6によりその直流
分が除去される。直流分が除去された受信信号はバッフ
ァアンプ27を経てアンプ28により増幅されて復調さ
れ、外部端子29を介して所定の受信機器に供される。
が受信されると、光信号は光出力電流に変換される。こ
の光出力電流は抵抗Rt、により電圧信号に変換され、
さらに、この電圧信号はコンデンサC6によりその直流
分が除去される。直流分が除去された受信信号はバッフ
ァアンプ27を経てアンプ28により増幅されて復調さ
れ、外部端子29を介して所定の受信機器に供される。
また、バッファアンプ27から出力された受信信号電圧
は、外部端子30を介して孤立パターン23に与えられ
る。
は、外部端子30を介して孤立パターン23に与えられ
る。
従って、コンデンサCcを介するホトダイオード26の
アノードの電圧変化、およびコンデンサCQを介するホ
トダイオード26のカソードの電圧変化は、孤立パター
ン23の受信信号電圧変化にほぼ等しくなる。つまり、
ホトダイオード26のアノードおよびカソード並びに孤
立パターン23の各部における交流電圧の振幅はほぼ等
しくなり、その位相は等しくなる。ここで、ホトダイオ
ード26の大地(孤立パターン23)に対する容量c、
c は、キャリアチップ24のカッ−2 ド端子、アノード端子(第5図の端子11.12に相当
する)と孤立パターン23との間で形成される寄生的な
ものであり、各容量の電極間に蓄積される電荷の変化Δ
Qの両電極間の電圧変化ΔVに対する割合である。従っ
て、各部の交流電圧変化はほぼ等しいことから、対地容
ic、Cは2 はとんど生じなくなる。
アノードの電圧変化、およびコンデンサCQを介するホ
トダイオード26のカソードの電圧変化は、孤立パター
ン23の受信信号電圧変化にほぼ等しくなる。つまり、
ホトダイオード26のアノードおよびカソード並びに孤
立パターン23の各部における交流電圧の振幅はほぼ等
しくなり、その位相は等しくなる。ここで、ホトダイオ
ード26の大地(孤立パターン23)に対する容量c、
c は、キャリアチップ24のカッ−2 ド端子、アノード端子(第5図の端子11.12に相当
する)と孤立パターン23との間で形成される寄生的な
ものであり、各容量の電極間に蓄積される電荷の変化Δ
Qの両電極間の電圧変化ΔVに対する割合である。従っ
て、各部の交流電圧変化はほぼ等しいことから、対地容
ic、Cは2 はとんど生じなくなる。
以上説明したように本発明によれば、回路素子に生じる
電圧の変化は、回路素子の裏面に形成された第2の配線
パターンの電圧変化に等しくなる。
電圧の変化は、回路素子の裏面に形成された第2の配線
パターンの電圧変化に等しくなる。
このため、従来、回路素子に生じた対地容量はほとんど
生じなくなり、受信感度が高く、かつ、受信帯域の広い
半導体装置が提供されるという効果を有する。
生じなくなり、受信感度が高く、かつ、受信帯域の広い
半導体装置が提供されるという効果を有する。
従って、本発明は高速・広帯域の通信システムに適用さ
れることにより、特にその効果が発揮される。
れることにより、特にその効果が発揮される。
装置の側面図、第1図(b)はこの半導体装置の裏面図
、第2図は第1図に示された半導体装置に形成される光
受信回路図、第3図は従来の半導体装置に形成される光
受信回路図、第4図は受光素子に生じる対地容量をパラ
メータとする光受信回路の周波数特性を示すグラフ、第
5図はチップキャリアタイプの受光素子を示す斜視図、
第6図は第5図に示された受光素子が実装される回路基
板の配線パターン図である。
、第2図は第1図に示された半導体装置に形成される光
受信回路図、第3図は従来の半導体装置に形成される光
受信回路図、第4図は受光素子に生じる対地容量をパラ
メータとする光受信回路の周波数特性を示すグラフ、第
5図はチップキャリアタイプの受光素子を示す斜視図、
第6図は第5図に示された受光素子が実装される回路基
板の配線パターン図である。
21・・・セラミック基板、22・・・グランドパター
ン、23・・・孤立パターン、24・・・キャリアチッ
プ、25・・・ICチップ、26・・・ホトダイオード
、27・・・バッファアンプ、28・・・アンプ、3o
・・・外部端子、31・・・VIAホール、C、c ・
・・直流Q 分遮断コンデンサ、R、RQ・・・抵抗。
ン、23・・・孤立パターン、24・・・キャリアチッ
プ、25・・・ICチップ、26・・・ホトダイオード
、27・・・バッファアンプ、28・・・アンプ、3o
・・・外部端子、31・・・VIAホール、C、c ・
・・直流Q 分遮断コンデンサ、R、RQ・・・抵抗。
Claims (1)
- 受信回路の基準電位に設定される第1の配線パターンお
よびこの第1の配線パターンから電気的に分離され前記
受信回路の受信信号電圧が与えられる第2の配線パター
ンが裏面に形成された回路基板と、前記第2の配線パタ
ーン上に位置する前記回路基板の表面に実装され前記受
信回路に伝達される信号を受信する回路素子とを備えて
構成された半導体装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1261667A JPH03123207A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 半導体装置 |
| US07/588,943 US5097315A (en) | 1989-10-05 | 1990-09-27 | Integrated capacitor disposed over damaged crystal area |
| CA002026928A CA2026928A1 (en) | 1989-10-05 | 1990-10-04 | Semiconductor device |
| EP19900119005 EP0421404A3 (en) | 1989-10-05 | 1990-10-04 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1261667A JPH03123207A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03123207A true JPH03123207A (ja) | 1991-05-27 |
Family
ID=17365076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1261667A Pending JPH03123207A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-06 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03123207A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008507943A (ja) * | 2004-08-12 | 2008-03-13 | フィニサー コーポレイション | フィルタ処理を一体化して寄生静電容量が低減されたトランスインピーダンス増幅器 |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP1261667A patent/JPH03123207A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008507943A (ja) * | 2004-08-12 | 2008-03-13 | フィニサー コーポレイション | フィルタ処理を一体化して寄生静電容量が低減されたトランスインピーダンス増幅器 |
| JP4917537B2 (ja) * | 2004-08-12 | 2012-04-18 | フィニサー コーポレイション | フィルタ処理を一体化して寄生静電容量が低減されたトランスインピーダンス増幅器 |
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