JPH03123814A - 静電容量式変位センサ - Google Patents
静電容量式変位センサInfo
- Publication number
- JPH03123814A JPH03123814A JP26223489A JP26223489A JPH03123814A JP H03123814 A JPH03123814 A JP H03123814A JP 26223489 A JP26223489 A JP 26223489A JP 26223489 A JP26223489 A JP 26223489A JP H03123814 A JPH03123814 A JP H03123814A
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- JP
- Japan
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- electrode
- displacement sensor
- movable electrode
- fixed electrode
- movable
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は直線上の位置変化を検出する静電容量式変位セ
ンサに関するものである。
ンサに関するものである。
［従来の技術］
従来の静電容量式変位センサの一例を第８図に示し、そ
の側面図を第９図に示す。
の側面図を第９図に示す。
第８図及び第９図を参照して、従来の静電容量式変位セ
ンサは、平板の固定導体１′と、この固定導体１′上を
ギャップ長ｄをおいて形成される平板の可動導体２′と
を有しており、固定導体１と可動導体２′は、相対移動
可能に対向配置されていて、固定導体１′と可動導体２
′のオーバーラツプ面積が測定位置に対応して変化する
ことにより移動距離を静電容量の変化に変換する。上記
の原理について以下、第８図及び第９図に基づいて説明
する。
ンサは、平板の固定導体１′と、この固定導体１′上を
ギャップ長ｄをおいて形成される平板の可動導体２′と
を有しており、固定導体１と可動導体２′は、相対移動
可能に対向配置されていて、固定導体１′と可動導体２
′のオーバーラツプ面積が測定位置に対応して変化する
ことにより移動距離を静電容量の変化に変換する。上記
の原理について以下、第８図及び第９図に基づいて説明
する。
可動導体２′が固定導体１′を完全にオーバーラツプし
ている場合、この時の両電極間の静電容量は誘電率をε
、オーバーラツプ電極面積をｇ１ｗ’（可動導体２′の
幅ｗ′、固定導体１′の長さｇ、）として、電極間隔を
ｄとすれば移動前の静電容量Ｃは、 となり、また上記可動導体２′が６ｇ１移動し、オーバ
ーラツプ面積がΔΩ１Ｗ’変化した時の静電容量の変化
量△Ｃは、 となり移動後の静電容量Ｃ′は、 Ｃ’ −Ｃ−八〇 となり移動距離に比例した静電容量が得られる。
ている場合、この時の両電極間の静電容量は誘電率をε
、オーバーラツプ電極面積をｇ１ｗ’（可動導体２′の
幅ｗ′、固定導体１′の長さｇ、）として、電極間隔を
ｄとすれば移動前の静電容量Ｃは、 となり、また上記可動導体２′が６ｇ１移動し、オーバ
ーラツプ面積がΔΩ１Ｗ’変化した時の静電容量の変化
量△Ｃは、 となり移動後の静電容量Ｃ′は、 Ｃ’ −Ｃ−八〇 となり移動距離に比例した静電容量が得られる。
よってこの静電容量の変化より移動距離を検出する。
［発明が解決しようとする課題］
次に、従来の静電容量式変位センサの問題点を以下に示
す。
す。
■固定導体１′と可動導体２′とはギャップ長ｄを有し
た空気を誘導体としているため検出する静電容量の値が
小さく通常１０９Ｆ以下となり浮遊容量の影響を受けや
すい。
た空気を誘導体としているため検出する静電容量の値が
小さく通常１０９Ｆ以下となり浮遊容量の影響を受けや
すい。
（面積５００ｍｍ２、ギャップ長ｄ ： ０．５ ＋＋
＋＋ｓの場合、容量Ｃ： ｇ、８５ｐＰ） ■空壁を用いた構造のためその空壁内に湿度、水滴、ご
みなどが侵入しやすくそのため静電容量を変化させる方
向に働き、誤動作の原因となる。
＋＋ｓの場合、容量Ｃ： ｇ、８５ｐＰ） ■空壁を用いた構造のためその空壁内に湿度、水滴、ご
みなどが侵入しやすくそのため静電容量を変化させる方
向に働き、誤動作の原因となる。
■固定導体１′と可動導体２′は平行に保つために高精
度の加工、組み立てが必要でありコストがかかるという
欠点を持っている。
度の加工、組み立てが必要でありコストがかかるという
欠点を持っている。
それ故に、本発明の課題は、従来よりも浮遊容量の影響
が小さく、また、誤動作が生じることがなく、更に低コ
ストな静電容量式変位センサを提供することにある。
が小さく、また、誤動作が生じることがなく、更に低コ
ストな静電容量式変位センサを提供することにある。
［課題を解決すための手段］
本発明によれば、固定電極と、該固定電極に対して平行
移動可能に対向配置された可動電極とを含む静電容量式
変位センサにおいて、強誘電体板を備え、上記固定電極
は、上記強誘電体板の一面に形成され、上記可動電極は
、上記強誘電体板の他面上に摺接可能に配置されている
ことを特徴とする静電容量式変位センサが得られる。
移動可能に対向配置された可動電極とを含む静電容量式
変位センサにおいて、強誘電体板を備え、上記固定電極
は、上記強誘電体板の一面に形成され、上記可動電極は
、上記強誘電体板の他面上に摺接可能に配置されている
ことを特徴とする静電容量式変位センサが得られる。
し作用］
本発明の静電容量式変位センサの場合、固定電極と可動
電極の間に強誘電体板が有るため、従来の場合と同一厚
さ（ギャップ長）、同一面積として比較すると、強誘電
体板の誘電率倍の静電容量を検出することが可能である
。
電極の間に強誘電体板が有るため、従来の場合と同一厚
さ（ギャップ長）、同一面積として比較すると、強誘電
体板の誘電率倍の静電容量を検出することが可能である
。
本発明の静電容量式変位センサの場合、可動電極が強誘
電体板の他面上に摺動可能に配置されている為、空壁が
生じることが無く、この為、湿度、水滴、ごみ等の影響
を受けず、誤作動が生じない。
電体板の他面上に摺動可能に配置されている為、空壁が
生じることが無く、この為、湿度、水滴、ごみ等の影響
を受けず、誤作動が生じない。
本発明の静電容量式変位センサの場合、可動電極が強誘
電体板の他面上に摺動可能に配置されているので、従来
のように可動導体を固定導体に対して平行に保つために
高精度の加工、組み立てを必要とせず、コストが低減さ
れる。
電体板の他面上に摺動可能に配置されているので、従来
のように可動導体を固定導体に対して平行に保つために
高精度の加工、組み立てを必要とせず、コストが低減さ
れる。
［実施例］
第１図は本発明の第１の実施例による静電容量式変位セ
ンサの構成略図、第２図は本発明の第２の実施例による
静電容量式変位センサの構成略図、第３図は本発明の第
３の実施例による静電容量式変位センサの構成略図、第
４図は本発明の第４の実施例による静電容量式変位セン
サの構成略図、第５図は本発明の第５の実施例による静
電容量式変位センサの構成略図、第６図（ａ）、（ｂ）
は本発明の第６の実施例による静電容量式変位センサの
構成略図、第７図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）は本発明の第
７の実施例による静電容量式変位センサの構成略図であ
る。
ンサの構成略図、第２図は本発明の第２の実施例による
静電容量式変位センサの構成略図、第３図は本発明の第
３の実施例による静電容量式変位センサの構成略図、第
４図は本発明の第４の実施例による静電容量式変位セン
サの構成略図、第５図は本発明の第５の実施例による静
電容量式変位センサの構成略図、第６図（ａ）、（ｂ）
は本発明の第６の実施例による静電容量式変位センサの
構成略図、第７図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）は本発明の第
７の実施例による静電容量式変位センサの構成略図であ
る。
第１図に示す第１の実施例の場合、厚さｔの強誘電体板
１の下面には、その全面に固定電極３が形成されていて
、この固定電極３は出力端子４１；接続されている。固
定電極３は、蒸着、スパッタ、印刷又は塗布により形成
され、同時に出力端子４との接続を行うことが可能であ
る。強誘電体板１の上面は凹凸、うねりのない鏡面研磨
が施してあり、同様に接触面に凹凸、うねりのない鏡面
研磨を施した可動電極２が強誘電体板１の上面と密着し
ている。この可動電極２は、固定電極３と二方向平行を
保ったまま、−直線方向に強誘電体板１上を密着移動可
能である。また、可動電極２の長さは、少なくとも最大
検出距離以上にしなくてはならない。可動電極２には出
力端子５が設けられている。そして、固定電極３側の出
力端子４と可動電極２側の出力端子５はそれぞれ静電容
量を検出する検出器（図示せず）に接続され測定子に連
動して可動電極２が強誘電体板１上を相対移動すること
より可動電極２と固定電極３のオーバーラツプ面積の変
化から静電容量の変化が検出される。
１の下面には、その全面に固定電極３が形成されていて
、この固定電極３は出力端子４１；接続されている。固
定電極３は、蒸着、スパッタ、印刷又は塗布により形成
され、同時に出力端子４との接続を行うことが可能であ
る。強誘電体板１の上面は凹凸、うねりのない鏡面研磨
が施してあり、同様に接触面に凹凸、うねりのない鏡面
研磨を施した可動電極２が強誘電体板１の上面と密着し
ている。この可動電極２は、固定電極３と二方向平行を
保ったまま、−直線方向に強誘電体板１上を密着移動可
能である。また、可動電極２の長さは、少なくとも最大
検出距離以上にしなくてはならない。可動電極２には出
力端子５が設けられている。そして、固定電極３側の出
力端子４と可動電極２側の出力端子５はそれぞれ静電容
量を検出する検出器（図示せず）に接続され測定子に連
動して可動電極２が強誘電体板１上を相対移動すること
より可動電極２と固定電極３のオーバーラツプ面積の変
化から静電容量の変化が検出される。
第２図に示す第２の実施例においては、第１の実施例と
同様に強誘電体板１の下面に固定電極３が形成されてい
る。ただし第１の実施例とは異なり、強誘電体板１の長
手方向の中間点までは、固定電極３の幅は、ａｌであり
その後の固定電極３の幅は２ａ１である。また、強誘電
体板１は誘電体ガイド７に実装されている。強誘電体板
１の上面には、第１の実施例と同様に可動電極２が強誘
電体板１と密着している。この可動電極２は固定電極３
と２方向の平行を保ったまま移動させるため、口型形状
のヘッドガイド６の内側面に実装されている。また可動
電極２の長さは第１の実施例の場合と異なり、固定電極
３の形状を上述のように変えることにより最大検出距離
（強誘電体板１の長さ）の１／２とすることができる。
同様に強誘電体板１の下面に固定電極３が形成されてい
る。ただし第１の実施例とは異なり、強誘電体板１の長
手方向の中間点までは、固定電極３の幅は、ａｌであり
その後の固定電極３の幅は２ａ１である。また、強誘電
体板１は誘電体ガイド７に実装されている。強誘電体板
１の上面には、第１の実施例と同様に可動電極２が強誘
電体板１と密着している。この可動電極２は固定電極３
と２方向の平行を保ったまま移動させるため、口型形状
のヘッドガイド６の内側面に実装されている。また可動
電極２の長さは第１の実施例の場合と異なり、固定電極
３の形状を上述のように変えることにより最大検出距離
（強誘電体板１の長さ）の１／２とすることができる。
また可動電極２の幅は強誘電体板１の幅と略等しい。上
述の点以外、第２の実施例は、第１の実施例と同様であ
る。
述の点以外、第２の実施例は、第１の実施例と同様であ
る。
第３図に示す第３の実施例においては、第２の実施例の
場合の固定電極３の形状を、等幅ａ２、等長さｇの階段
状に形成したものである。このように固定電極３の形状
を、等幅、等長さの階段状にすることにより可動電極２
の長さを階段の長さｇとすることができ、小スペース化
が可能である。
場合の固定電極３の形状を、等幅ａ２、等長さｇの階段
状に形成したものである。このように固定電極３の形状
を、等幅、等長さの階段状にすることにより可動電極２
の長さを階段の長さｇとすることができ、小スペース化
が可能である。
上述の点以外、第３の実施例は、第２の実施例と同様で
ある。
ある。
第４図に示す第４の実施例においては、第３の実施例と
同様に、第２の実施例の場合の固定電極３の形状を三角
形状に形成したものである。このように固定電極３の形
状を、三角形にすることにより可動電極２の長さを任意
に設定することが可能である。上述の点以外、第３の実
施例は、第２の実施例と同様である。
同様に、第２の実施例の場合の固定電極３の形状を三角
形状に形成したものである。このように固定電極３の形
状を、三角形にすることにより可動電極２の長さを任意
に設定することが可能である。上述の点以外、第３の実
施例は、第２の実施例と同様である。
第５図に示す第５実施例においては、第４の実施例の場
合のように、誘電体ガイド７に強誘電体板１を実装した
段階で、誘電体ガイド７が凹形状と成るようにし、強誘
電体板１と幅の略等しい可動電極２が強誘電体板１と接
触している。この可動電極２は誘導体ガイド７と密着す
るヘッドガイド６に実装され、この状態でこれらは凸形
状となっており、上述の誘電体ガイド７の凹形状に適合
するようになっている。以上のような構造にすることに
より第４の実施例の場合よりも小スペース化が可能であ
る。上述の点以外、第５の実施例は、第４の実施例と同
様である。
合のように、誘電体ガイド７に強誘電体板１を実装した
段階で、誘電体ガイド７が凹形状と成るようにし、強誘
電体板１と幅の略等しい可動電極２が強誘電体板１と接
触している。この可動電極２は誘導体ガイド７と密着す
るヘッドガイド６に実装され、この状態でこれらは凸形
状となっており、上述の誘電体ガイド７の凹形状に適合
するようになっている。以上のような構造にすることに
より第４の実施例の場合よりも小スペース化が可能であ
る。上述の点以外、第５の実施例は、第４の実施例と同
様である。
第６図に示す第６の実施例においては、第１の実施例の
場合の強誘電体板１．２枚が強誘電体板１と同等の幅の
可動電極２を挟んで対向配置されていて、２枚の強誘電
体板１の固定電極３が形成されている面と反対側の面と
、可動電極２は密着している。この２枚の強誘電体板１
と可動電極２は口形状の誘電体ガイド７に実装されてい
て、可動電極２は２枚の強誘電体板１と密着しながら一
直線方向への移動が可能である。このような構造とする
ことにより検出容量が増え、浮遊容量の影響を減少させ
ることが可能である。上述の点以外、第１の実施例の場
合と同様である。
場合の強誘電体板１．２枚が強誘電体板１と同等の幅の
可動電極２を挟んで対向配置されていて、２枚の強誘電
体板１の固定電極３が形成されている面と反対側の面と
、可動電極２は密着している。この２枚の強誘電体板１
と可動電極２は口形状の誘電体ガイド７に実装されてい
て、可動電極２は２枚の強誘電体板１と密着しながら一
直線方向への移動が可能である。このような構造とする
ことにより検出容量が増え、浮遊容量の影響を減少させ
ることが可能である。上述の点以外、第１の実施例の場
合と同様である。
第７図に示す第７の実施例においては、第６の実施例の
場合の２枚の強誘電体板１の固定電極３の形状を第４の
実施例及び第５の実施例と同様に三角形状に形成したも
のである。このような構造とすることにより、第４の実
施例及び第５の実施例の場合の２倍の検出容量が得られ
、第４の実施例及び第５の実施例の場合よりも浮遊容量
の影響を減少させることが可能である。
場合の２枚の強誘電体板１の固定電極３の形状を第４の
実施例及び第５の実施例と同様に三角形状に形成したも
のである。このような構造とすることにより、第４の実
施例及び第５の実施例の場合の２倍の検出容量が得られ
、第４の実施例及び第５の実施例の場合よりも浮遊容量
の影響を減少させることが可能である。
［発明の効果］
本発明の静電容量式変位センサは、従来よりも検出容量
値を増加させることができる。
値を増加させることができる。
また、本発明の静電容量式変位センサは、誤作動が少な
く、高分解能を発揮させることができる。
く、高分解能を発揮させることができる。
更に、本発明の静電容量式変位センサは、コストを低減
させることが可能である。
させることが可能である。
すの構成略図、第８図は従来の静電容量式変位センサの
一例の構成略図、第９図は同従来例の要部の側面図であ
る。
一例の構成略図、第９図は同従来例の要部の側面図であ
る。
１・・・強誘電体板、２・・・可動電極、３・・・固定
電極、４．５・・・出力端子、６・・・ヘッドガイド、
７・・・誘電体ガイド。
電極、４．５・・・出力端子、６・・・ヘッドガイド、
７・・・誘電体ガイド。
第１図は本発明の第１の実施例による静電容量式変位セ
ンサの構成略図、第２図は本発明の第２の実施例による
静電容量式変位センサの構成略図、第３図は本発明の第
３の実施例による静電容量式変位センサの構成略図、第
４図は本発明の第４の実施例による静電容量式変位セン
サの構成略図、第５図は本発明の第５の実施例による静
電容量式変位センサの構成略図、第６図（ａ）、（ｂ）
は本発明の第６の実施例による静電容量式変位センサの
構成略図、第７図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）は本発明の第
７の実施例による静電容量式変位セン第１図 第２図 第３図 第４図 第６図（ｂ） 漉６図（（１） 第７図（（１）
ンサの構成略図、第２図は本発明の第２の実施例による
静電容量式変位センサの構成略図、第３図は本発明の第
３の実施例による静電容量式変位センサの構成略図、第
４図は本発明の第４の実施例による静電容量式変位セン
サの構成略図、第５図は本発明の第５の実施例による静
電容量式変位センサの構成略図、第６図（ａ）、（ｂ）
は本発明の第６の実施例による静電容量式変位センサの
構成略図、第７図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）は本発明の第
７の実施例による静電容量式変位セン第１図 第２図 第３図 第４図 第６図（ｂ） 漉６図（（１） 第７図（（１）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、固定電極と、該固定電極に対して相対的に平行移動
可能に対向配置された可動電極とを含む静電容量式変位
センサにおいて、強誘電体板を備え、上記固定電極は、
上記強誘電体板の一面に形成され、上記可動電極は、上
記強誘電体板の他面上に摺接可能に配置されていること
を特徴とする静電容量式変位センサ。 ２、上記固定電極の形状が、平面形状である請求項１記
載の静電容量式変位センサ。 ３、上記固定電極の形状が、Ｌ字型形状である請求項１
記載の静電容量式変位センサ。 ４、上記固定電極の形状が、階段形状である請求項１記
載の静電容量式変位センサ。 ５、上記固定電極の形状が、三角形状である請求項１記
載の静電容量式変位センサ。 ６、上記固定電極の形状が、上記強誘電体板の一面の全
体にわたって単一平面に形成されており、上記可動電極
の幅が、上記固定電極の幅よりも小に設定されており、
上記可動電極の長さが、上記固定電極の長さと略等しく
設定されている請求項１記載の静電容量式変位センサ。 ７、上記可動電極の上記強誘電体板側面に鏡面研磨が施
されている請求項１乃至請求項６記載の静電容量式変位
センサ。 ８、上記強誘電体板の上記可動電極側面に鏡面研磨が施
されている請求項１乃至請求項７記載の静電容量式変位
センサ。 ９、凹部を有する誘電体ガイドと、口形状のヘッドガイ
ドとを備え、上記固定電極を下にして上記強誘電体板を
上記誘電体ガイドの凹部内に備え、上記可動電極を上記
ヘッドガイド内に備え、該可動電極を備えたヘッドガイ
ドを上記強誘電体板を備えた誘電体ガイドに摺動可能に
装着して上記可動電極を上記固定電極に対して相対的に
平行移動可能とした請求項１乃至請求項８記載の静電容
量式変位センサ。 １０、凹部を有する誘電体ガイドと、板状のヘッドガイ
ドとを備え、上記固定電極を下にして上記強誘電体板を
上記誘電体ガイドの凹部内に備え、上記可動電極を上記
ヘッドガイドに備え、該可動電極を備えたヘッドガイド
を上記強誘電体板を備えた誘電体ガイド上に摺動可能に
配置して上記可動電極を上記固定電極に対して相対的に
平行移動可能とした請求項１乃至請求項８記載の静電容
量式変位センサ。 １１、一面に上記固定電極を形成した上記強誘電体板を
２枚備え、これらの強誘電体板の他面側で上記可動電極
を摺動可能に挟持して上記可動電極を上記固定電極に対
して相対的に平行移動可能とした請求項１乃至請求項８
記載の静電容量式変位センサ。 １２、上記２枚の強誘電体板、及び上記２枚の強誘電体
板の間に配置された可動電極に口形状の誘電体ガイドを
摺動可能に装着して上記可動電極を上記固定電極に対し
て相対的に平行移動可能とした請求項１１記載の静電容
量式変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26223489A JPH03123814A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 静電容量式変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26223489A JPH03123814A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 静電容量式変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03123814A true JPH03123814A (ja) | 1991-05-27 |
Family
ID=17372942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26223489A Pending JPH03123814A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 静電容量式変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03123814A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05209708A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-08-20 | Mitsutoyo Corp | 直線測定装置 |
| JPH06201491A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-19 | Nitta Ind Corp | 静電容量式力センサー |
| JP2002257655A (ja) * | 2002-03-06 | 2002-09-11 | Nitta Ind Corp | 静電容量式力センサー |
| JP2005134221A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2008290728A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Fp Corp | 包装用容器 |
| EP2124014A1 (en) * | 2008-05-23 | 2009-11-25 | Postech Academy-Industry Foundation | Capacitive displacement sensor having a mechanical guide |
| JP2010216986A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Olympus Corp | 慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法、慣性駆動アクチュエータ装置及び移動体の位置算出方法 |
| JP2015070874A (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-16 | 京楽産業．株式会社 | 遊技機 |
| KR20190059082A (ko) * | 2017-11-22 | 2019-05-30 | 한국생산기술연구원 | 인코더 및 그 인코더의 오차를 보상하기 위한 방법 |
| JP2021175256A (ja) * | 2020-04-23 | 2021-11-01 | 株式会社デンソー | 無線給電装置 |
| JP2022118534A (ja) * | 2021-02-02 | 2022-08-15 | オムロン株式会社 | トリガスイッチ |
-
1989
- 1989-10-09 JP JP26223489A patent/JPH03123814A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05209708A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-08-20 | Mitsutoyo Corp | 直線測定装置 |
| JPH06201491A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-19 | Nitta Ind Corp | 静電容量式力センサー |
| JP2002257655A (ja) * | 2002-03-06 | 2002-09-11 | Nitta Ind Corp | 静電容量式力センサー |
| JP2005134221A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2008290728A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Fp Corp | 包装用容器 |
| JP2009282031A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Postech Academy-Industry Foundation | 機械的ガイドを有する面積変化型静電容量式センサ |
| EP2124014A1 (en) * | 2008-05-23 | 2009-11-25 | Postech Academy-Industry Foundation | Capacitive displacement sensor having a mechanical guide |
| US8242791B2 (en) | 2008-05-23 | 2012-08-14 | Postech Academy-Industry Foundation | Area-variable type capacitive displacement sensor having mechanical guide |
| JP2010216986A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Olympus Corp | 慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法、慣性駆動アクチュエータ装置及び移動体の位置算出方法 |
| JP2015070874A (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-16 | 京楽産業．株式会社 | 遊技機 |
| KR20190059082A (ko) * | 2017-11-22 | 2019-05-30 | 한국생산기술연구원 | 인코더 및 그 인코더의 오차를 보상하기 위한 방법 |
| JP2021175256A (ja) * | 2020-04-23 | 2021-11-01 | 株式会社デンソー | 無線給電装置 |
| JP2022118534A (ja) * | 2021-02-02 | 2022-08-15 | オムロン株式会社 | トリガスイッチ |
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