JPH0312506A - 走査型トンネル顕微鏡の走査像出力方式 - Google Patents
走査型トンネル顕微鏡の走査像出力方式Info
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- JPH0312506A JPH0312506A JP14747389A JP14747389A JPH0312506A JP H0312506 A JPH0312506 A JP H0312506A JP 14747389 A JP14747389 A JP 14747389A JP 14747389 A JP14747389 A JP 14747389A JP H0312506 A JPH0312506 A JP H0312506A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、試料の表面凹凸像についての評価を可能にし
た走査型トンネル顕微鏡の走査像出力方式に関する。
た走査型トンネル顕微鏡の走査像出力方式に関する。
探針先端の原子と試料の原子の電子雲とが重なり合うｎ
ｍオーダまで探針の先端を試料表面に近づけ、この状態
で探針と試料との間に電圧をかけるとトンネル電流が流
れる。このトンネル電流は、特に、探針と試料との間の
距離（探針の高さ）に敏感であるため、トンネル電流の
大きさを測定することにより試料と探針との間の距離を
超精密測定することができる。
ｍオーダまで探針の先端を試料表面に近づけ、この状態
で探針と試料との間に電圧をかけるとトンネル電流が流
れる。このトンネル電流は、特に、探針と試料との間の
距離（探針の高さ）に敏感であるため、トンネル電流の
大きさを測定することにより試料と探針との間の距離を
超精密測定することができる。
走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）は、上北トンネル電流
が一定になるように探針の高さを制御しながら、探針を
水平方向に走査した時の探針の高さ軌跡により試料表面
の凹凸形状を観察するものであり、表面原子配列を解析
する上で注目されている装置である。
が一定になるように探針の高さを制御しながら、探針を
水平方向に走査した時の探針の高さ軌跡により試料表面
の凹凸形状を観察するものであり、表面原子配列を解析
する上で注目されている装置である。
第３図は走査型トンネル顕微鏡の探針駆動用の３次元Ｐ
ＺＴスキャナーの構成例を示す図、第４図は走査型トン
ネル顕微鏡の信号処理系の構成概要を示す図であり、７
は試料、８は探針、９ａ。
ＺＴスキャナーの構成例を示す図、第４図は走査型トン
ネル顕微鏡の信号処理系の構成概要を示す図であり、７
は試料、８は探針、９ａ。
９ｂ、１０ａ、ｌｏｂ、１１．ａ、ｌｌｂは圧電素子、
１２はスキャンジェネレータ、１３ａ〜１３Ｃは圧電素
子高圧駆動回路、１５は３次元ＰＺＴスキャナー、１６
はｔ／Ｖアンプ、１７はログアンプ、１８はコンパレー
タ、１９はインテグレータ、２０はＣＰＵモニタを示す
。
１２はスキャンジェネレータ、１３ａ〜１３Ｃは圧電素
子高圧駆動回路、１５は３次元ＰＺＴスキャナー、１６
はｔ／Ｖアンプ、１７はログアンプ、１８はコンパレー
タ、１９はインテグレータ、２０はＣＰＵモニタを示す
。
走査型トンネル顕微鏡は、通常、圧電素子を用いてＸ輪
、Ｙ軸、Ｚ軸からなる３次元ＰＺＴスキャナーに探針を
取り付けて、試料表面を走査するように構成され、その
構成例を示したのが第３図である。同図（ａ）は試料を
ＰＺＴスキャナーに平行に、同図（ｂ）は試料をＰＺＴ
スキャナーに垂直に置くようにしたものである。例えば
圧電素子１０ａ。
、Ｙ軸、Ｚ軸からなる３次元ＰＺＴスキャナーに探針を
取り付けて、試料表面を走査するように構成され、その
構成例を示したのが第３図である。同図（ａ）は試料を
ＰＺＴスキャナーに平行に、同図（ｂ）は試料をＰＺＴ
スキャナーに垂直に置くようにしたものである。例えば
圧電素子１０ａ。
１０ｂがＸ軸走査用、圧電素子１ｆａ、ｌｌｂがＹ軸走
盗用、圧電素子９ａ、９ｂがＺ軸の制御用であり、その
ため、圧電素子９ａ、１０ｂ、Ｉ Ｌａ、Ｉｌｂには剪
断変形（シェアー）モード、圧電素子９ｂ、１０ａには
伸縮モードを使用している。
盗用、圧電素子９ａ、９ｂがＺ軸の制御用であり、その
ため、圧電素子９ａ、１０ｂ、Ｉ Ｌａ、Ｉｌｂには剪
断変形（シェアー）モード、圧電素子９ｂ、１０ａには
伸縮モードを使用している。
このような３次元ＰＺＴスキャナーを有する走査型トン
ネル顕微鏡の信号処理系の構成概要を示したのが第４図
である。
ネル顕微鏡の信号処理系の構成概要を示したのが第４図
である。
第４図において、３次元ＰＺＴスキャナー１５は、第３
図に示すようにそれぞれＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を駆動する圧
電素子からなるものであり、圧電素子駆動高圧回路１３
ａ〜１３ｂは、スキャンジェネレータ１２で発生した走
査信号により３次元ＰＺＴスキャナー１５のＸ軸、Ｙ軸
圧電素子を駆動して試料面を走査し、圧電素子駆動高圧
回路１３ｃは、インテグレータ１９の出力により３次元
ＰＺＴスキャナー１５のＺ軸圧型素子を駆動して探針８
の高さ調整するものである。スキャンジェネレータ１２
は、探針８及びＣＰＵモニタ２０の走査信号を発生する
ものである。試料７に接続された初段のＩ／Ｖアンプ１
６は、トンネル電流■、を電圧に変換しさらに増幅する
ものであり、その次の段に接続されたログアンプ１７は
、ｌ／Ｖアンプ１６の出力信号が探針の高さと線形に対
応するように信号変換（線形化）を行うものである。
図に示すようにそれぞれＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を駆動する圧
電素子からなるものであり、圧電素子駆動高圧回路１３
ａ〜１３ｂは、スキャンジェネレータ１２で発生した走
査信号により３次元ＰＺＴスキャナー１５のＸ軸、Ｙ軸
圧電素子を駆動して試料面を走査し、圧電素子駆動高圧
回路１３ｃは、インテグレータ１９の出力により３次元
ＰＺＴスキャナー１５のＺ軸圧型素子を駆動して探針８
の高さ調整するものである。スキャンジェネレータ１２
は、探針８及びＣＰＵモニタ２０の走査信号を発生する
ものである。試料７に接続された初段のＩ／Ｖアンプ１
６は、トンネル電流■、を電圧に変換しさらに増幅する
ものであり、その次の段に接続されたログアンプ１７は
、ｌ／Ｖアンプ１６の出力信号が探針の高さと線形に対
応するように信号変換（線形化）を行うものである。
コンパレータ１８は、ログアンプ１７の出力値をトンネ
ル電流の設定値に対応する基準値と比較するものであり
、インテグレータ１９は、コンパレータ１８の出力を積
分し、この出力を３次元ＰＺＴスキャナー１５のＺ軸圧
型素子に対する制御値にすると共に、ＣＰＵモニタ２０
の試料表面凹凸像の信号とするものである。このように
Ｉ／Ｖアンプ１６、ログアンプ１７、コンパレータ１８
、インテグレータ１９を通してトンネル電流ＩｔをＺ軸
圧力素子駆動高圧回路１３ｃヘフィードバックして３次
元ＰＺＴスキャナー１５のＺ軸圧型素子を制御すること
によって、トンネル電流Ｉｔを一定にしている。そして
、ＣＰＵモニタ２０は、３次元ＰＺＴスキャナー１５の
Ｚ軸圧型素子を制御する信号、すなわち、探針の高さの
制御情報に対応する信号をビデオ信号として表示するこ
とにより試料７の表面凹凸像を表示するものであり、図
示しないが例えばフレームメモリにこのビデオ信号をス
トアしてからスキャンジェネレータ１２で発生した走査
信号にしたがって読み出し画面に出力する。
ル電流の設定値に対応する基準値と比較するものであり
、インテグレータ１９は、コンパレータ１８の出力を積
分し、この出力を３次元ＰＺＴスキャナー１５のＺ軸圧
型素子に対する制御値にすると共に、ＣＰＵモニタ２０
の試料表面凹凸像の信号とするものである。このように
Ｉ／Ｖアンプ１６、ログアンプ１７、コンパレータ１８
、インテグレータ１９を通してトンネル電流ＩｔをＺ軸
圧力素子駆動高圧回路１３ｃヘフィードバックして３次
元ＰＺＴスキャナー１５のＺ軸圧型素子を制御すること
によって、トンネル電流Ｉｔを一定にしている。そして
、ＣＰＵモニタ２０は、３次元ＰＺＴスキャナー１５の
Ｚ軸圧型素子を制御する信号、すなわち、探針の高さの
制御情報に対応する信号をビデオ信号として表示するこ
とにより試料７の表面凹凸像を表示するものであり、図
示しないが例えばフレームメモリにこのビデオ信号をス
トアしてからスキャンジェネレータ１２で発生した走査
信号にしたがって読み出し画面に出力する。
試料７の表面凹凸像を得るためには、先端を説くした探
針８を試料７に１〜２ｎｍ程度に近づけて、試料７と探
針８との間に数ｍＶ〜数Ｖの電圧を印加することによっ
て１〜１０ｎＡ程度のトンネル電流■、を得、３次元Ｐ
ＺＴスキャナー１５に対してこのトンネル電流１．が一
定になるように圧電素子９ａ、９ｂに印加する電圧を制
御しながら、圧電素子１０ａ、ｔｏｂ及び圧電素子１１
ａ、ｌｌｂを掃引して試料表面と平行なＸ軸及びＹ軸方
向に探針８を走査する。このようにしてＺ軸を駆動する
圧電素子９ａ、９ｂの印加電圧により試料７０表面凹凸
像を表示する。
針８を試料７に１〜２ｎｍ程度に近づけて、試料７と探
針８との間に数ｍＶ〜数Ｖの電圧を印加することによっ
て１〜１０ｎＡ程度のトンネル電流■、を得、３次元Ｐ
ＺＴスキャナー１５に対してこのトンネル電流１．が一
定になるように圧電素子９ａ、９ｂに印加する電圧を制
御しながら、圧電素子１０ａ、ｔｏｂ及び圧電素子１１
ａ、ｌｌｂを掃引して試料表面と平行なＸ軸及びＹ軸方
向に探針８を走査する。このようにしてＺ軸を駆動する
圧電素子９ａ、９ｂの印加電圧により試料７０表面凹凸
像を表示する。
ところで、上記のようにして表示された試料の表面凹凸
像であっても、走査型トンネル顕微鏡においてその評価
が難しいのは、その現在表示されている走査像が試料表
面の凹凸に対応する真実の像であるか、又は、ノイズに
より形成されたものであるかの判断である。表面に付着
物がある場合において、その形状が特異な場合には特に
その判断が困難である。
像であっても、走査型トンネル顕微鏡においてその評価
が難しいのは、その現在表示されている走査像が試料表
面の凹凸に対応する真実の像であるか、又は、ノイズに
より形成されたものであるかの判断である。表面に付着
物がある場合において、その形状が特異な場合には特に
その判断が困難である。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、走査型
トンネル顕微鏡により得られた試料の表面凹凸像が真実
の像かノイズによる像かを容易に評価できる走査型トン
ネル顕微鏡の試料像評価方式を提供することを目的とす
るものである。
トンネル顕微鏡により得られた試料の表面凹凸像が真実
の像かノイズによる像かを容易に評価できる走査型トン
ネル顕微鏡の試料像評価方式を提供することを目的とす
るものである。
そのために本発明は、試料に探針を近づけてトンネル電
流を検出し試料表面の走査像を出力する走査型トンネル
顕微鏡において、走査信号を所定の角度回転させる走査
信号回転手段を備え、咳走査信号回転手段を通して探針
の走査を所定角度回転させた試料表面の走査像を出力可
能にしたことを特徴とするものである。
流を検出し試料表面の走査像を出力する走査型トンネル
顕微鏡において、走査信号を所定の角度回転させる走査
信号回転手段を備え、咳走査信号回転手段を通して探針
の走査を所定角度回転させた試料表面の走査像を出力可
能にしたことを特徴とするものである。
本発明の走査型トンネル顕微鏡の走査像出力方式では、
走査信号回転手段を通して探針の走査を所定角度回転さ
せた試料表面の走査像を出力可能にしたので、スキャン
ローテーションした角度の異なる２つの走査像を照合す
ることができる。このことにより、回転角ずれた位置で
同じ像を観察できれば試料表面の情報に基づく真実の像
として評価することができ、また、回転角ずれた位置で
同じ像が観察できない場合には、ノイズに基づく虚像と
判断することができる。
走査信号回転手段を通して探針の走査を所定角度回転さ
せた試料表面の走査像を出力可能にしたので、スキャン
ローテーションした角度の異なる２つの走査像を照合す
ることができる。このことにより、回転角ずれた位置で
同じ像を観察できれば試料表面の情報に基づく真実の像
として評価することができ、また、回転角ずれた位置で
同じ像が観察できない場合には、ノイズに基づく虚像と
判断することができる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る走査型トンネル顕微鏡の走査像出
力方式に使用されるスキャンローテーション回路の１実
施例を示す図、第２図は走査像の回転を説明するための
図である。
力方式に使用されるスキャンローテーション回路の１実
施例を示す図、第２図は走査像の回転を説明するための
図である。
第１図において、１と２は信号回転処理回路、３と４は
前処理回路、５と６はアンプを示す。
前処理回路、５と６はアンプを示す。
第１図において、信号回転処理回路１は、Ｘ軸方向の走
査信号の生成処理を行う回路であり、予め設定された角
度にしたがって所定の角度だけ回転した走査（スキャン
ローテーション）を行うように人力走査信号ｘ１とＹ、
を演算処理し、実際にＸ軸方向の圧電素子を駆動するた
めの走査信号Ｘ２を生成するものである。また、信号回
転回路２は、Ｙ軸方向の走査信号の生成処理を行う回路
であり、信号回転処理回路１と同様にしてＹ軸方向の圧
電素子を駆動するだめの走査信号Ｙ、を生成するもので
ある。そのため、信号回転回路１．２には、予め設定さ
れた回転角度にしたがって連動して演算内容が設定され
る。なお、入力走査信号Ｘ、、Ｙ、は、スキャンジェネ
レータにより発生される信号であり、走査信号Ｘ、 、
Ｙ２は、図示しないが例えば駆動アンプ等を通して圧電
素子駆動高圧回路の人力信号となるものである。したが
って、先に説明した第４図の構成では、スキャンジェネ
レータ１２と圧電素子駆動高圧回路１３ａ、１３ｂとの
間に挿入接続されるが、スキャンジェネレータ１２の中
に含めて構成してもよいことは勿論である。また、前処
理回路３．４は、信号回転回路２で走査信号Ｙ２を生成
するた袷に人力走査信号Ｘ、とＹｌに対して前処理を行
う回路であり、信号回転回路２に含めてもよいことは勿
論である。
査信号の生成処理を行う回路であり、予め設定された角
度にしたがって所定の角度だけ回転した走査（スキャン
ローテーション）を行うように人力走査信号ｘ１とＹ、
を演算処理し、実際にＸ軸方向の圧電素子を駆動するた
めの走査信号Ｘ２を生成するものである。また、信号回
転回路２は、Ｙ軸方向の走査信号の生成処理を行う回路
であり、信号回転処理回路１と同様にしてＹ軸方向の圧
電素子を駆動するだめの走査信号Ｙ、を生成するもので
ある。そのため、信号回転回路１．２には、予め設定さ
れた回転角度にしたがって連動して演算内容が設定され
る。なお、入力走査信号Ｘ、、Ｙ、は、スキャンジェネ
レータにより発生される信号であり、走査信号Ｘ、 、
Ｙ２は、図示しないが例えば駆動アンプ等を通して圧電
素子駆動高圧回路の人力信号となるものである。したが
って、先に説明した第４図の構成では、スキャンジェネ
レータ１２と圧電素子駆動高圧回路１３ａ、１３ｂとの
間に挿入接続されるが、スキャンジェネレータ１２の中
に含めて構成してもよいことは勿論である。また、前処
理回路３．４は、信号回転回路２で走査信号Ｙ２を生成
するた袷に人力走査信号Ｘ、とＹｌに対して前処理を行
う回路であり、信号回転回路２に含めてもよいことは勿
論である。
次に、演算例を説明する。
例えば第２図Ａのようにスキャンジェネレータにおいて
発生される人力走査信号Ｘ、がＸＩ、・・・・・・、ｘ
ｔ ｓ−’・ＸＴＩ ＳＹ＋が３’ ＋ 、”””、ｙ
４、・・・・・・ｙ、の走査範囲に設定されたものを、
第２図Ａ′のように走査角度を４５°回転させた領域で
探針を走査するものとすると、信号回転処理回路ｌでは
、 ＜１／２）Ｘ、、＋ （ＸＩ ３／Ｊ ）／ ／２
の演算をし、前処理回路３．４及び信号回転処理回路２
では、 （ｙ、１ ＋ＸＬ ） ／ ／２ − （１−／２） ｙ、／２ の演算をする。したがって、このような演算を行って走
査信号ｘ２、Ｙ２を生成し、３次元ＰＺＴスキャナーの
Ｘ軸方向及びＹ軸方向の圧電素子を駆動し、探針を走査
すると、モニタには４５°回転した走査像が出力される
。したがって、この回転した走査像を回転前の走査像と
比較すると、真実の像の場合には４５°回転した位置に
同じ像を認識することができるが、ノイズによる像の場
合には、このような対応はみられない。
発生される人力走査信号Ｘ、がＸＩ、・・・・・・、ｘ
ｔ ｓ−’・ＸＴＩ ＳＹ＋が３’ ＋ 、”””、ｙ
４、・・・・・・ｙ、の走査範囲に設定されたものを、
第２図Ａ′のように走査角度を４５°回転させた領域で
探針を走査するものとすると、信号回転処理回路ｌでは
、 ＜１／２）Ｘ、、＋ （ＸＩ ３／Ｊ ）／ ／２
の演算をし、前処理回路３．４及び信号回転処理回路２
では、 （ｙ、１ ＋ＸＬ ） ／ ／２ − （１−／２） ｙ、／２ の演算をする。したがって、このような演算を行って走
査信号ｘ２、Ｙ２を生成し、３次元ＰＺＴスキャナーの
Ｘ軸方向及びＹ軸方向の圧電素子を駆動し、探針を走査
すると、モニタには４５°回転した走査像が出力される
。したがって、この回転した走査像を回転前の走査像と
比較すると、真実の像の場合には４５°回転した位置に
同じ像を認識することができるが、ノイズによる像の場
合には、このような対応はみられない。
本発明は、上記のように試料上にふける探針のＸ、Ｙ走
査方向を所定の角度回転させて、所謂スキャンローテー
ションした走査像を得ることにより、スキャンローテー
ション前の走査像と照合を行い、試料表面の情報に基づ
く真実の像であるか、探針の状態や信号処理回路その他
の要因で発生するノイズに基づく虚偉であるかを評価で
きるようにするものである。
査方向を所定の角度回転させて、所謂スキャンローテー
ションした走査像を得ることにより、スキャンローテー
ション前の走査像と照合を行い、試料表面の情報に基づ
く真実の像であるか、探針の状態や信号処理回路その他
の要因で発生するノイズに基づく虚偉であるかを評価で
きるようにするものである。
なお、本発明は、上言己の実施例に限定されるものでは
なく、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例は
、４５°のスキャンローテーションで説明したが、０゛
と４５゛との組み合わせだけでなく、異なる回転角の走
査像であれば他の角度の組み合わせも採用できることは
勿論である。また、スキャンローテーションによる走査
信号の生成は、上記の実施例による式でなく、他の演算
処理により生成してもよいことはいうまでもない。
なく、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例は
、４５°のスキャンローテーションで説明したが、０゛
と４５゛との組み合わせだけでなく、異なる回転角の走
査像であれば他の角度の組み合わせも採用できることは
勿論である。また、スキャンローテーションによる走査
信号の生成は、上記の実施例による式でなく、他の演算
処理により生成してもよいことはいうまでもない。
さらには、スキャンローテーションにより得られた走査
像をローテーション前の走査像と照合することにより真
実の像か否かを判断するというちのであったが、双方の
走査（象を回転角補正をして重ね合わせ、論理積処理を
行って出力するように走査像データの論理演算回路を付
加してもよい。このようにすると、ノイズによる像のよ
うに一致しない像を消去し、いずれの走査像とも一致す
る真実の像のみを抽出して出力することができる。この
出力態様は、表示だけでなく、プリントアウト出力でも
よいことはいうまでもない。
像をローテーション前の走査像と照合することにより真
実の像か否かを判断するというちのであったが、双方の
走査（象を回転角補正をして重ね合わせ、論理積処理を
行って出力するように走査像データの論理演算回路を付
加してもよい。このようにすると、ノイズによる像のよ
うに一致しない像を消去し、いずれの走査像とも一致す
る真実の像のみを抽出して出力することができる。この
出力態様は、表示だけでなく、プリントアウト出力でも
よいことはいうまでもない。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ＳＴ
Ｍの圧電素子駆動回路にスキャンローテーション機能を
付加し、異なる角度での走査像を照合するので、試料表
面の情報を示す真実の像とノイズによる像とを簡単に識
別することができる。
Ｍの圧電素子駆動回路にスキャンローテーション機能を
付加し、異なる角度での走査像を照合するので、試料表
面の情報を示す真実の像とノイズによる像とを簡単に識
別することができる。
そのため、ＳＴＭ像の評価が容易になり、試料表面の処
理、探針の状態を容易に把遅でき、装置の信頼性の向上
を図ることができる。
理、探針の状態を容易に把遅でき、装置の信頼性の向上
を図ることができる。
第１図は本発明に係る走査型トンネル顕微鏡の走査像出
力方式に使用されるスキャンローテーション回路の１実
施例を示す図、第２１！！は走査像の回転を説明するた
めの図、第３図は走査型トンネル顕微鏡の探針駆動用の
３次元ＰＺＴスキャナーの構成例を示す図、第４図は走
査型トンネル顕微鏡の信号処理系の構成概要を示す図で
ある。 １と２・・・信号回転処理回路、３と４・・・前処理回
路、５と６・・・アンプ。 第１図 出 願 人 日本電子株式会社
力方式に使用されるスキャンローテーション回路の１実
施例を示す図、第２１！！は走査像の回転を説明するた
めの図、第３図は走査型トンネル顕微鏡の探針駆動用の
３次元ＰＺＴスキャナーの構成例を示す図、第４図は走
査型トンネル顕微鏡の信号処理系の構成概要を示す図で
ある。 １と２・・・信号回転処理回路、３と４・・・前処理回
路、５と６・・・アンプ。 第１図 出 願 人 日本電子株式会社
Claims (2)
- （１）試料に探針を近づけてトンネル電流を検出し試料
表面の走査像を出力する走査型トンネル顕微鏡において
、走査信号を所定の角度回転させる走査信号回転処理手
段を備え、該走査信号回転処理手段を通して探針の走査
を所定角度回転させた試料表面の走査像を出力可能にし
たことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡の走査像出力
方式。 - （２）異なる回転角度の走査像を角度補正の上重ね合わ
せ、一致する像のみを出力することを特徴とする請求項
１記載の走査型トンネル顕微鏡の走査像出力方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1147473A JP2575880B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 走査型トンネル顕微鏡による走査像判別方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1147473A JP2575880B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 走査型トンネル顕微鏡による走査像判別方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312506A true JPH0312506A (ja) | 1991-01-21 |
| JP2575880B2 JP2575880B2 (ja) | 1997-01-29 |
Family
ID=15431186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1147473A Expired - Fee Related JP2575880B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 走査型トンネル顕微鏡による走査像判別方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2575880B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6251651U (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-31 | ||
| JPS64401A (en) * | 1987-05-29 | 1989-01-05 | Agency Of Ind Science & Technol | Mechanism for attaching and detaching fine adjustment element for stm |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP1147473A patent/JP2575880B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6251651U (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-31 | ||
| JPS64401A (en) * | 1987-05-29 | 1989-01-05 | Agency Of Ind Science & Technol | Mechanism for attaching and detaching fine adjustment element for stm |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2575880B2 (ja) | 1997-01-29 |
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