JPH03125077U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03125077U JPH03125077U JP1990034874U JP3487490U JPH03125077U JP H03125077 U JPH03125077 U JP H03125077U JP 1990034874 U JP1990034874 U JP 1990034874U JP 3487490 U JP3487490 U JP 3487490U JP H03125077 U JPH03125077 U JP H03125077U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- crystal column
- diameter
- line sensor
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案を実施した直径測定装置の一例
についてその構成を示すブロツク図、第２図はそ
の機能を示すフローチヤート、第３図は直径測定
の概略図、第４図はピークレベルの変化を示すグ
ラフ、第５図は直径測定の原理を示す模式図であ
る。 １０……ラインセンサー、１２……絞り、２０
……モータ、５０……ＣＰＵ、６０……モータ制
御器。
についてその構成を示すブロツク図、第２図はそ
の機能を示すフローチヤート、第３図は直径測定
の概略図、第４図はピークレベルの変化を示すグ
ラフ、第５図は直径測定の原理を示す模式図であ
る。 １０……ラインセンサー、１２……絞り、２０
……モータ、５０……ＣＰＵ、６０……モータ制
御器。
Claims (1)
- 融液から引き上げられる単結晶柱近傍のメニス
カスに生じるフエージヨンリングをラインセンサ
ーにて直径方向に走査し、その走査方向における
センサー出力のピーク位置より単結晶柱の直径を
測定する単結晶柱の直径測定装置であつて、ライ
ンセンサーにモーターによつて開度調節される絞
りを設け、ラインセンサーの出力ピークレベルが
一定範囲内に維持されるように、前記モータに制
御指令を送るモータ制御手段を具備せしめたこと
を特徴とする単結晶柱の直径測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990034874U JP2518144Y2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 単結晶柱の直径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990034874U JP2518144Y2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 単結晶柱の直径測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03125077U true JPH03125077U (ja) | 1991-12-18 |
| JP2518144Y2 JP2518144Y2 (ja) | 1996-11-20 |
Family
ID=31539730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990034874U Expired - Lifetime JP2518144Y2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 単結晶柱の直径測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2518144Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008050734A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Sedaa Japan Kk | 帽子 |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP1990034874U patent/JP2518144Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008050734A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Sedaa Japan Kk | 帽子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2518144Y2 (ja) | 1996-11-20 |