JPH0312582A - Ｘ線分光検出器の窓部結露防止装置 - Google Patents
Ｘ線分光検出器の窓部結露防止装置Info
- Publication number
- JPH0312582A JPH0312582A JP14747889A JP14747889A JPH0312582A JP H0312582 A JPH0312582 A JP H0312582A JP 14747889 A JP14747889 A JP 14747889A JP 14747889 A JP14747889 A JP 14747889A JP H0312582 A JPH0312582 A JP H0312582A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- ray
- conductive
- dewing
- spectrodetector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は試料に電子ビームを照射したときに発生する特
性Ｘ線を検出するＸ線分光検出器の窓部結露防止装置に
関するものである。
性Ｘ線を検出するＸ線分光検出器の窓部結露防止装置に
関するものである。
第５図はＸ線分光測定装置の一例としてのＥＤＳ（エネ
ルギ分散型ＸＩｌ分光装置）の検出器概略構成を示す図
である。
ルギ分散型ＸＩｌ分光装置）の検出器概略構成を示す図
である。
真空状態に維持されたＥＤＳ検出器の外管１の先端部に
はＸ線取り込みのためにＸ線の吸収の少ない軽元素々材
、例えばべＩＪ ＩＪウム（Ｂｅ）や高分子材料からな
るＸ線検出用窓２が設けられ、これに対向して検出素子
３が配置されている。検出素子３は検出緒特性を維持さ
せるために常時パイプ４を通して容＠５の液体窒素によ
り伝導冷却され、窓を通して入射してくるＸＩｌをカウ
ントする。
はＸ線取り込みのためにＸ線の吸収の少ない軽元素々材
、例えばべＩＪ ＩＪウム（Ｂｅ）や高分子材料からな
るＸ線検出用窓２が設けられ、これに対向して検出素子
３が配置されている。検出素子３は検出緒特性を維持さ
せるために常時パイプ４を通して容＠５の液体窒素によ
り伝導冷却され、窓を通して入射してくるＸＩｌをカウ
ントする。
このような構成により、電子顕微鏡試料室内の試料（図
示せず）から発生する特性Ｘｓを検出することができる
。
示せず）から発生する特性Ｘｓを検出することができる
。
ところで、ｘｉｓ検出素子を液体窒素で冷却すると窓も
間接的に冷却され、このため電子顕微鏡試料室内にある
わずかな水蒸気、油等が窓部で凝集してミストを生じて
しまう。このミストは特に軽元素のＸ線を吸収してしま
い分析上不都合となる。
間接的に冷却され、このため電子顕微鏡試料室内にある
わずかな水蒸気、油等が窓部で凝集してミストを生じて
しまう。このミストは特に軽元素のＸ線を吸収してしま
い分析上不都合となる。
従来、このような結露を除くために電熱線ヒータを外管
に又は外管内部に取り付けているが、性能的に充分でな
く、またスペースの余裕のない部分に別途ヒータを設け
るのは構造的に無理があり効果が十分でなかった。
に又は外管内部に取り付けているが、性能的に充分でな
く、またスペースの余裕のない部分に別途ヒータを設け
るのは構造的に無理があり効果が十分でなかった。
また、電球による照射光で窓を加熱する方法もあるが、
Ｘ線検出素子、２次電子検出器は光に関しても感度を有
しているので測定の妨げになってしまうという問題があ
った。
Ｘ線検出素子、２次電子検出器は光に関しても感度を有
しているので測定の妨げになってしまうという問題があ
った。
本発明は上記諜顕を解決するためのもので、簡単な構成
でＸ線分光検出器の窓部の結露を防止でき、精度のよい
検出が可能となる窓部結露防止装置を提供することを目
的とする。
でＸ線分光検出器の窓部の結露を防止でき、精度のよい
検出が可能となる窓部結露防止装置を提供することを目
的とする。
そのために本発明は、真空状態の管内に密閉配置され、
常時冷却されているＸ線検出素子により、試料から発生
してＸ線検出用窓を透過してくる特性Ｘ線を検出するＸ
線分光検出器において、Ｘ線検出用窓の一部または全部
を導電材で構成し、通電加熱するようにしたことを特徴
とする。
常時冷却されているＸ線検出素子により、試料から発生
してＸ線検出用窓を透過してくる特性Ｘ線を検出するＸ
線分光検出器において、Ｘ線検出用窓の一部または全部
を導電材で構成し、通電加熱するようにしたことを特徴
とする。
本発明は、Ｘ線分光検出器の窓材に導電性をもたせ、窓
材に通電することにより窓そのものを発熱又は加熱させ
て結露を防止することができ、精度のよい検出が可能と
なる。
材に通電することにより窓そのものを発熱又は加熱させ
て結露を防止することができ、精度のよい検出が可能と
なる。
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例であるＥＤＳ検出器の窓部結
露防止装置を示す図であり、図中、第５図と同一番号は
同一内容を示している。なお、１１は電極である。
露防止装置を示す図であり、図中、第５図と同一番号は
同一内容を示している。なお、１１は電極である。
本実施例は窓２の材質として、通常、最も多用されてい
るＢｅを使用するもので、この窓２に図示のように電極
１１．１１を設けて通電する。Ｂｅは導電性であり５μ
厚、１０１１１１１で約２０の電気抵抗があるため電極
を通して通電することにより窓自体を発熱させることが
でき、容易にかつ完全に結露を無くすことができる。
るＢｅを使用するもので、この窓２に図示のように電極
１１．１１を設けて通電する。Ｂｅは導電性であり５μ
厚、１０１１１１１で約２０の電気抵抗があるため電極
を通して通電することにより窓自体を発熱させることが
でき、容易にかつ完全に結露を無くすことができる。
第２図、第３図、第４図は窓材が高分子膜等の絶縁材で
ある本発明の他の実施例を示す図である。
ある本発明の他の実施例を示す図である。
第２図においては、軽元素であるためＸ線の吸収が殆ど
起こらないＡｆｌ、Ｃ等の導電性物質を蒸着等の方法に
より窓２に付着させて導電部１２を形成し、この導電部
１２に電極１１．１１を設けて通電する。本実施例にお
いも導電部の発熱により結露を防止することができ、ま
た導電部におけるＸ線の吸収は殆ど起こらないので測定
上支障はない。
起こらないＡｆｌ、Ｃ等の導電性物質を蒸着等の方法に
より窓２に付着させて導電部１２を形成し、この導電部
１２に電極１１．１１を設けて通電する。本実施例にお
いも導電部の発熱により結露を防止することができ、ま
た導電部におけるＸ線の吸収は殆ど起こらないので測定
上支障はない。
第３図においてはＸ線通路にあたる窓の中心部について
はＸ線吸収を避けるためにＡ１、Ｃ等の導電部を形成し
ないようにしたものであり、他は第２図と同様である。
はＸ線吸収を避けるためにＡ１、Ｃ等の導電部を形成し
ないようにしたものであり、他は第２図と同様である。
第４図は導電部を導電性メツシュ１４で構成したもので
ある。第３図の実施例では中心部だけが吸収を生じない
ようにしていたが、本実施例ではメツシュ部全域でＸ線
吸収を避けることができる。
ある。第３図の実施例では中心部だけが吸収を生じない
ようにしていたが、本実施例ではメツシュ部全域でＸ線
吸収を避けることができる。
なあ、導電性窓部電橋の一方は電子線によるチャージア
ップを防ぐ目的で電子顕微鏡の接地電位に接続するよう
にする。
ップを防ぐ目的で電子顕微鏡の接地電位に接続するよう
にする。
以上のように本発明によれば、ｘＩＩ分光検出器のｘｍ
検出用窓を直接発熱又は加熱することにより、窓部以外
に別途加熱装置を設けずに水分や油等のミスト凝集の発
生を効率よく防止することが可能となる。
検出用窓を直接発熱又は加熱することにより、窓部以外
に別途加熱装置を設けずに水分や油等のミスト凝集の発
生を効率よく防止することが可能となる。
第１図は本発明の窓部結露防止装置の一実施例を示す図
、第２図、第３図、第４図は窓材が絶縁材である本発明
の他の実施例を示す図、第５図はＥＤＳ検出器の概略を
説明するたｔの図である。 ■・・・外管、２・・・窓、３・・・検出素子、１１・
・・電極、１２・・・導電部、１３・・・ドーナツ状導
電部、１４・・・メツシュ状導電部 出 願 人
、第２図、第３図、第４図は窓材が絶縁材である本発明
の他の実施例を示す図、第５図はＥＤＳ検出器の概略を
説明するたｔの図である。 ■・・・外管、２・・・窓、３・・・検出素子、１１・
・・電極、１２・・・導電部、１３・・・ドーナツ状導
電部、１４・・・メツシュ状導電部 出 願 人
Claims (1)
- （１）真空状態の管内に密閉配置され、常時冷却されて
いるＸ線検出素子により、試料から発生してＸ線検出用
窓を透過してくる特性Ｘ線を検出するＸ線分光検出器に
おいて、Ｘ線検出用窓の一部または全部を導電材で構成
し、通電加熱するようにしたことを特徴とするＸ線分光
検出器の窓部結露防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14747889A JPH0312582A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Ｘ線分光検出器の窓部結露防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14747889A JPH0312582A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Ｘ線分光検出器の窓部結露防止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312582A true JPH0312582A (ja) | 1991-01-21 |
Family
ID=15431301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14747889A Pending JPH0312582A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Ｘ線分光検出器の窓部結露防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312582A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5512740A (en) * | 1993-05-10 | 1996-04-30 | Psc Inc. | Bar code scanner with field replaceable window |
| US5729003A (en) * | 1995-12-27 | 1998-03-17 | Intermec Corporation | Apparatus for preventing formation of condensation on an electrooptical scanner window |
| US5850078A (en) * | 1996-01-16 | 1998-12-15 | Symbol Technologies, Inc. | Simplified assembly and automatic testing of components in electro-optical systems for reading coded indicia |
| JP2011502262A (ja) * | 2007-10-30 | 2011-01-20 | リガク イノベイティブ テクノロジーズ インコーポレイテッド | Ｘ線ウィンドウおよび抵抗ヒータ |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP14747889A patent/JPH0312582A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5512740A (en) * | 1993-05-10 | 1996-04-30 | Psc Inc. | Bar code scanner with field replaceable window |
| US5663551A (en) * | 1993-05-10 | 1997-09-02 | Psc Inc. | Boot with replaceable optical element for a bar code scanner |
| US5729003A (en) * | 1995-12-27 | 1998-03-17 | Intermec Corporation | Apparatus for preventing formation of condensation on an electrooptical scanner window |
| US5850078A (en) * | 1996-01-16 | 1998-12-15 | Symbol Technologies, Inc. | Simplified assembly and automatic testing of components in electro-optical systems for reading coded indicia |
| JP2011502262A (ja) * | 2007-10-30 | 2011-01-20 | リガク イノベイティブ テクノロジーズ インコーポレイテッド | Ｘ線ウィンドウおよび抵抗ヒータ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3612859A (en) | Method for measuring and controlling the density of a metallic vapor | |
| US20160086761A1 (en) | X-ray generating tube, x-ray generating apparatus and x-ray imaging system using the same | |
| GB1576474A (en) | Ion detection electrode arrangement | |
| GB2088582A (en) | Atomic absorption spectroscopy | |
| US20040109536A1 (en) | X-ray detector for feedback stabilization of an X-ray tube | |
| JP3086230B2 (ja) | 真空チャンバー内ガス分析センサ | |
| JPH01255143A (ja) | 電子顕微鏡におけるｘ線分析装置 | |
| US4131794A (en) | Fluorescent X-ray spectrometer | |
| JPH0660874B2 (ja) | 陰極ルミネセンス分析用検知装置 | |
| US4692630A (en) | Wavelength specific detection system for measuring the partial pressure of a gas excited by an electron beam | |
| JPS6118994B2 (ja) | ||
| GB2173635A (en) | Photoemissive electron source | |
| GB2100058A (en) | Pyroelectric detector | |
| US5874314A (en) | Method for detecting organic vapors and aerosols | |
| US6338779B1 (en) | Arc monitoring | |
| SE420139B (sv) | Rontgenfluorescensanalysapparat forsedd med ett rontgenror som har ett utgangsfonster for ojemn rontgenstraltransmission | |
| US4960608A (en) | Manufacturing process of a photocathode for an image intensifier tube | |
| JP7615305B2 (ja) | メタサーフェス素子、電子管、及び電子管の製造方法 | |
| US2562770A (en) | Thermal receiver and method for producing same | |
| JPS6236546A (ja) | 分析装置 | |
| RU98111353A (ru) | Пироэлектрический электронно-оптический преобразователь (варианты) | |
| US3641353A (en) | Electron beam bolometer | |
| US4837441A (en) | Ionization detectors for gas chromatography | |
| US3563655A (en) | Electron discharge device including hollow cathode element for combined emission of spectral radiation and resonance detection | |
| Black et al. | Atomic fluorescence spectrometry with continuous nebulization into a platinum furnace |