JPH01255143A - 電子顕微鏡におけるｘ線分析装置 - Google Patents

電子顕微鏡におけるｘ線分析装置

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JPH01255143A
JPH01255143A JP63081009A JP8100988A JPH01255143A JP H01255143 A JPH01255143 A JP H01255143A JP 63081009 A JP63081009 A JP 63081009A JP 8100988 A JP8100988 A JP 8100988A JP H01255143 A JPH01255143 A JP H01255143A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子顕微鏡において電子線の照射により試料
から発生するＸ線を検出し、試料の分析を行うＸ線分析
装置の改良に関する。
［従来の技術］ この種装置としては、試料からのＸ線を分光結晶により
各波長ごとに分散して分析する分散型分析装置と分光結
晶を用いずに試料からのＸ線を直接半導体Ｘ線検出素子
で検出し、電気的に各波長ごとに分析する非分散型分析
装置がある。
第３図及び第４図はかかる非分散型Ｘ線分析装置を備え
た電子顕微鏡の従来例を示す図であり、１は電子顕微鏡
の鏡体、２．３は対物レンズの上磁極片及び下磁極片、
４はその両者間に置かれた試料、５はこの試料に図示外
の電子銃からの電子線が光軸Ｚに沿って照射されること
により発生する特性Ｘ線Ｘを検出するための半導体から
なるＸ線検出素子で、このＸ線検出素子は熱伝導棒６の
先端部に取り付けられている。前記熱伝導棒６の軸心は
Ｘ線発生点Ｏを中心にして光軸Ｚと交差する軸Ｓ上に配
置されており、また、熱伝導棒６の他端は前記鏡体１を
貫通して大気中に取り出され内部に例えば液体窒素７を
満した冷却槽８に固定される。これにより熱伝導棒を介
してＸ線検出素子４が液体窒素温度まで冷却される。９
はこの熱伝導棒６の外周を隙間を保って包囲するように
設けられた筒体で、この筒体の他端は熱伝導棒６と同様
に鏡体１を貫通して大気中に取り出され、冷却槽８の外
周を包囲した外筒１０に接続されている。また、この筒
体のＸ線検出素子４と対向する端部にはＸ線を通過させ
る窓１１が設けてあり、この窓には例えばベリリウムの
ようなＸ線透過可能な薄膜が張り付けである。この薄膜
を張り付けることにより筒体９内は密閉され、それによ
ってこの筒体９及び外筒１０の内部は真空に保たれる。
［発明が解決しようとする課題］ ところで、試料４からの特性Ｘ線ＸをＸ線検出器で検出
する場合において、感度の向上を図るには第４図で示す
Ｘ線発生点０からＸ線検出素子５の受光面を見込む角（
以下見込角と称す）αをできるだけ大きくして単位時間
あたりのＸ線検出量を多くしなければならない。つまり
、Ｘ線検出素子の受光面の表面積をできるだけ広くする
必要がある。
しかしながら、従来装置においては第４図で示すように
光軸Ｚと交差する軸Ｓ上に配置した熱伝導棒６の先端に
Ｘ線検出素子５を取り付けているため、感度向上のため
にＸ線検出素子の受光面を大きくすると、それに伴って
伝熱伝導棒（筒体９−）の径を大きくしなければならな
い。従って構造の大型化を避けることができない。また
、筒体９が大きくなれば、上磁極片２及び下磁極片３と
の接触を避けるためにこの筒体を遠ざけなければならず
、結果として、見込角が小さくなってしまう。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、熱伝導棒（筒体）を大きくすることなくＸ線検出量を
多くすることのできるＸ線分析装置を提供するものであ
る。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明のＸ線分析装置は、対
物レンズ中に置かれた試料に電子線を照射することによ
り発生するＸ線を検出するＸ線検出素子と、該Ｘ線検出
素子を冷却するための熱伝導棒と、該熱伝導棒の外周に
沿って隙間を保って配置された筒体とを備え、前記熱伝
導棒を電子線光軸から離れた位置に電子線光軸と略直交
するように配置し、試料と対向する前記筒体外周の部分
にＸ線通過用窓を形成すると共に、該窓を通して入射す
るＸ線を検出できるように前記Ｘ線検出素子を熱伝導棒
に取り付けたことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示す要部断面図、第２図は
そのＢＢ断面図であり、第３図及び第４図と同一符号の
ものは同一構成要素を示す。
本実施例においては、熱伝導棒６（筒体９）の軸心を光
軸Ｚと略直交しかつ光軸２から距離ρだけ離れた軸Ｌ１
上に設置する。また、筒体９を有底状に形成すると共に
、その外周面の試料４と対向する部分に薄膜を張り付け
たＸ線通過用窓１１を形成する。さらに、この窓と対向
する熱伝導棒６の外周部分に切欠部１２を形成してＸ線
検出素子５を取り付ける。
このように構成すれば、Ｘ線検出素子５は熱伝導棒６（
筒体９）の軸心方向に沿って取り付けられるため、Ｘ線
検出素子５の長さを長くするだけで、見込角αを大きく
することができ、感度の向上が図られ、また構造の小形
化が図られる。また、筒体９のシール面の径も小さくて
すむため、真空漏れによる試料汚染を防止することもで
きる。さらに、筒体を上磁極片２と下磁極片３間に配置
してＸ線検出素子５をできるだけ試料４に接近させるこ
とが可能となる。さらに、また、筒体９部分が小形であ
るため、Ｘ線検出素子を使用しない場合にこのＸ線検出
素子を各磁極片外に移動させるための移動機構も簡略化
できると共に、移動をスムーズに行わせることができる
。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあっては
幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例ではＸ線通
過用窓に薄膜を張り付けたが、これに限定されることな
く、窓部分に移動可能な板体を設け、この板体に薄膜を
張付けた開口と薄膜を張付けない開口を形成し、分析目
的に応じて両開口を任意に切り換えるように構成しても
良い。
［効果コ 以上詳述したように本発明によれば、Ｘ線検出素子を熱
伝導棒の外周の軸方向に沿って取り付けるようになして
いるため、従来装置のように筒体を大きくすることなく
、Ｘ線検出素子の受光面の表面積を広くすることができ
る。そのため構造の大型化を伴うことなく感度の向上を
図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す要部断面図、第２図は
第１図のＢＢ断面図、第３図は従来例を説明するための
断面図、第４図は第３図のＡＡ矢視図である。 １：ｔｆ！体　　　　　　　２：上磁極片３：下磁極片
　　　　　４：試料 ５：Ｘ線検出素子　　　６：熱伝導棒 ９：筒体　　　　　　　１１：窓

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 対物レンズ中に置かれた試料に電子線を照射することに
    より発生するＸ線を検出するＸ線検出素子と、該Ｘ線検
    出素子を冷却するための熱伝導棒と、該熱伝導棒の外周
    に沿って隙間を保って配置された筒体とを備え、前記熱
    伝導棒を電子線光軸から離れた位置に電子線光軸と略直
    交するように配置し、試料と対向する前記筒体外周の部
    分にＸ線通過用窓を形成すると共に、該窓を通して入射
    するＸ線を検出できるように前記Ｘ線検出素子を熱伝導
    棒に取り付けたことを特徴とする電子顕微鏡におけるＸ
    線分析装置。
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