JPH03125957U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03125957U JPH03125957U JP3573290U JP3573290U JPH03125957U JP H03125957 U JPH03125957 U JP H03125957U JP 3573290 U JP3573290 U JP 3573290U JP 3573290 U JP3573290 U JP 3573290U JP H03125957 U JPH03125957 U JP H03125957U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- blocks
- gas distribution
- valve
- purity gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示すフローパターン
図、第２図および第３図は同例の切欠正面図およ
び切欠側面図、第４図および第５図は第１の従来
例を示す通常の単弁および集積弁をそれぞれ例示
する配管図、第６図は第４図および第５図に示す
２つの例の特性を比較して示す線図、第７図およ
び第８図は第２の従来例を示す回路図および側面
図、第９図および第１０図は補足説明用フローパ
ターン図および切欠側面図、第１１図は同例の側
面図である。 １……本体、３，４……ブロツク、５，６……
開閉弁、７，８，１１，１２……流路（内部流路
）、１３，１４……連通孔（連通流路）。
図、第２図および第３図は同例の切欠正面図およ
び切欠側面図、第４図および第５図は第１の従来
例を示す通常の単弁および集積弁をそれぞれ例示
する配管図、第６図は第４図および第５図に示す
２つの例の特性を比較して示す線図、第７図およ
び第８図は第２の従来例を示す回路図および側面
図、第９図および第１０図は補足説明用フローパ
ターン図および切欠側面図、第１１図は同例の側
面図である。 １……本体、３，４……ブロツク、５，６……
開閉弁、７，８，１１，１２……流路（内部流路
）、１３，１４……連通孔（連通流路）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 高純度ガス流通用内部流路との連携態様を選択
的に設定可能な複数の弁が組付けられた本体を有
する集積弁において、 上記本体は相互に連結される複数のブロツクに
よつて形成するとともに、これらブロツク相互間
の連通流路は隣接するブロツクの相互対向部から
上記内部流路に至る区間のみに開設したことを特
徴とする高純度ガス流通系用集積弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3573290U JPH03125957U (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3573290U JPH03125957U (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03125957U true JPH03125957U (ja) | 1991-12-19 |
Family
ID=31541341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3573290U Pending JPH03125957U (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03125957U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034334U (ja) * | 1973-07-18 | 1975-04-12 |
-
1990
- 1990-04-04 JP JP3573290U patent/JPH03125957U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034334U (ja) * | 1973-07-18 | 1975-04-12 |
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