JPH0312944A - インキング装置およびインキング方法 - Google Patents
インキング装置およびインキング方法Info
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- JPH0312944A JPH0312944A JP1148765A JP14876589A JPH0312944A JP H0312944 A JPH0312944 A JP H0312944A JP 1148765 A JP1148765 A JP 1148765A JP 14876589 A JP14876589 A JP 14876589A JP H0312944 A JPH0312944 A JP H0312944A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- core
- dotting
- inking
- ink reservoir
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- Pending
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- Pens And Brushes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「発明の１」的］
（産業上の利用分野）
本発明は、インキング装置とそれを用いたインキング方
法に関する。
法に関する。
（従来の技術）
例えばプローブ装置においては、半導体ウェハ上に多数
形成された半導体チップの試験測定後に、不良と判断さ
れた半導体チップにマーキングを行うインキング装置が
設けられている。
形成された半導体チップの試験測定後に、不良と判断さ
れた半導体チップにマーキングを行うインキング装置が
設けられている。
第３図は、従来のインキング装置の要部の構成を示す断
面図である。マーキンク用のインク１か収容されている
インク収容部２内には、駆動機構３によって進退自在と
された打点用中芯４が配置されている。また、インク収
容部２の下方には、打点用中芯４のガイド部となると共
に、打点用中芯４先端へのインク供給部となる円筒状の
インク溜部５が接続されている。このインク溜部５の内
径は、打点用中芯４の外面との間隙が毛管現象を引起こ
すように設定されており、この毛管現象によって打点用
中芯４の先端に所定量のインク］ａが溜るよう構成され
ている。
面図である。マーキンク用のインク１か収容されている
インク収容部２内には、駆動機構３によって進退自在と
された打点用中芯４が配置されている。また、インク収
容部２の下方には、打点用中芯４のガイド部となると共
に、打点用中芯４先端へのインク供給部となる円筒状の
インク溜部５が接続されている。このインク溜部５の内
径は、打点用中芯４の外面との間隙が毛管現象を引起こ
すように設定されており、この毛管現象によって打点用
中芯４の先端に所定量のインク］ａが溜るよう構成され
ている。
そして打点用中芯４を被処理物６側に突出させ、その先
端に溜っているインク１ａを被処理物６上に転写するこ
とによってマーキングが行われる。
端に溜っているインク１ａを被処理物６上に転写するこ
とによってマーキングが行われる。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、上述したインキング装置においては、インク
溜部５の内面と打点用中芯４の外面との間隙を毛管状態
とすることによって、マーキングを行う時以外は、イン
ク１の表面張力によってインク溜部５からインク１が被
処理物６側に流出することを防止している。
溜部５の内面と打点用中芯４の外面との間隙を毛管状態
とすることによって、マーキングを行う時以外は、イン
ク１の表面張力によってインク溜部５からインク１が被
処理物６側に流出することを防止している。
しかしなから、実際にはインク収容部２内のインク１の
収容量や、打点用中芯４のインク溜部５内での停止時間
、またインク粘度の変化等によって、打点用中芯４先端
に溜るインク量か増加したり、さらには打点時以外にイ
ンク１か被処理物６側に垂れる等の問題か発生している
。
収容量や、打点用中芯４のインク溜部５内での停止時間
、またインク粘度の変化等によって、打点用中芯４先端
に溜るインク量か増加したり、さらには打点時以外にイ
ンク１か被処理物６側に垂れる等の問題か発生している
。
そして、例えばプローブ装置におけるマーキングは、不
良品と判定された微小面積の半導体チップ内のみに確実
に行わなければならない。しかし、打点用中芯４の先端
に溜るインク量の増加は、不良品に隣接した良品までイ
ンク１の転写を招き、また、打点時以外のインク１の垂
れは、良品まで誤って廃除しやすくなる等、検査精度の
低下を招いている。
良品と判定された微小面積の半導体チップ内のみに確実
に行わなければならない。しかし、打点用中芯４の先端
に溜るインク量の増加は、不良品に隣接した良品までイ
ンク１の転写を招き、また、打点時以外のインク１の垂
れは、良品まで誤って廃除しやすくなる等、検査精度の
低下を招いている。
本発明は、このような課題に対処するためになされたも
ので、打点時の設定インク量の増減を防止し、かつ打点
時以外のインクの垂れを防止したインキング装置および
それを用いたインキング方法を提供することを目的とし
ている。
ので、打点時の設定インク量の増減を防止し、かつ打点
時以外のインクの垂れを防止したインキング装置および
それを用いたインキング方法を提供することを目的とし
ている。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
すなわち本発明のインキング装置は、インクが収容され
打点用中芯が進退自在に配置されたインク収容部と、前
記打点用中芯の移動経路に沿って前記インク収容部の下
方に設けられ、前記打点用中芯の外面との間隙に毛管現
象を利用したインク供給路が形成されるインク溜部とを
具備するインキング装置において、前記インク溜部の先
端に、その内面が前記打点用中芯の外面と摺動可能な密
着状態を形成するインク垂れ防止部を設けたことを特徴
としている。
打点用中芯が進退自在に配置されたインク収容部と、前
記打点用中芯の移動経路に沿って前記インク収容部の下
方に設けられ、前記打点用中芯の外面との間隙に毛管現
象を利用したインク供給路が形成されるインク溜部とを
具備するインキング装置において、前記インク溜部の先
端に、その内面が前記打点用中芯の外面と摺動可能な密
着状態を形成するインク垂れ防止部を設けたことを特徴
としている。
また、本発明のインキング方法は、打点用中芯外面と摺
動可能な密着状態を形成するインク垂れ防止部内で該打
点用中芯を待機させる工程と、前記インク垂れ防止部上
方に配置され毛管現象を利用したインク溜部内まで前記
打点用中芯を上昇させ、該打点用中芯の先端に所定量の
インクを供給する工程と、前記打点用中芯を下降させ・
てインキングを行う工程と、前記打点用中芯を前記待機
位置まで上昇させる工程とを具備し、前記各工程をイン
キング動作に応じて繰返し行うことを特徴としている。
動可能な密着状態を形成するインク垂れ防止部内で該打
点用中芯を待機させる工程と、前記インク垂れ防止部上
方に配置され毛管現象を利用したインク溜部内まで前記
打点用中芯を上昇させ、該打点用中芯の先端に所定量の
インクを供給する工程と、前記打点用中芯を下降させ・
てインキングを行う工程と、前記打点用中芯を前記待機
位置まで上昇させる工程とを具備し、前記各工程をイン
キング動作に応じて繰返し行うことを特徴としている。
（作 用）
本発明においては、毛管現象を利用したインク溜部の下
方にインク垂れ防止部を設けているため、このインク垂
れ防止部内を打点用中芯の待機位置とすることによって
、打点動作時以外のインクの垂れが防止される。
方にインク垂れ防止部を設けているため、このインク垂
れ防止部内を打点用中芯の待機位置とすることによって
、打点動作時以外のインクの垂れが防止される。
また、上記待機位置からその上方に位置するインク溜部
内まで、−旦打点用中芯を上昇させることによってイン
クを供給しているので、１回のインキングのために供給
するインク量も安定する。
内まで、−旦打点用中芯を上昇させることによってイン
クを供給しているので、１回のインキングのために供給
するインク量も安定する。
（実施例）
以下、本発明のインキング装置およびそれを用いたイン
キング方法の実施例を図面を参照して説明する。
キング方法の実施例を図面を参照して説明する。
マーキング用のインク１］は、例えば円筒容器状のイン
ク収容部１２内に収容されており、このインク収容部］
２内には、駆動機構１３例えばバネと電磁石との組合せ
による駆動によって進退自在とされた打点用中芯］４が
配置されている。
ク収容部１２内に収容されており、このインク収容部］
２内には、駆動機構１３例えばバネと電磁石との組合せ
による駆動によって進退自在とされた打点用中芯］４が
配置されている。
また、インク収容部１２の下方には、打点用中芯１４の
移動経路に沿って設けられガイド部となると共に、打点
用中芯１４の先端１４ａへのインク供給部となる円筒状
のインク溜部１５が接続されている。このインク溜部１
５の内面と打点用中芯１４の外面との間隙１６は、毛管
現象によるインク供給路を形成するように、例えば１ｍ
ｍ以下程度に設定されている。
移動経路に沿って設けられガイド部となると共に、打点
用中芯１４の先端１４ａへのインク供給部となる円筒状
のインク溜部１５が接続されている。このインク溜部１
５の内面と打点用中芯１４の外面との間隙１６は、毛管
現象によるインク供給路を形成するように、例えば１ｍ
ｍ以下程度に設定されている。
上記インク溜部１５の下端には、このインク溜部１５に
連設してインク垂れ防止部１７が設けられている。この
インク垂れ防止部１７は、打点用中芯１４の外面と摺動
可能な範囲で密着状態が形成されるように、内径が設定
された例えば円筒状部材によって形成されている。
連設してインク垂れ防止部１７が設けられている。この
インク垂れ防止部１７は、打点用中芯１４の外面と摺動
可能な範囲で密着状態が形成されるように、内径が設定
された例えば円筒状部材によって形成されている。
そして、打点用中芯１４がインク溜部１５内およびイン
ク垂れ防止部１７内を上下動することによって、打点用
中芯１４の先端１４ａに溜ったインクを図示を省略した
被処理物上にインキングするよう構成されている。
ク垂れ防止部１７内を上下動することによって、打点用
中芯１４の先端１４ａに溜ったインクを図示を省略した
被処理物上にインキングするよう構成されている。
上記構成のこの実施例のインキング装置の動作を、第２
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
まず、打点用中芯１４の先端１４ａは、インク垂れ防止
部１７内で、その内面と密着状態を形成する位置に待機
している（同図−ａ）。この状態が、この実施例のイン
キング装置の初期状態となると共に、後述するように打
点動作時以外の待機状態となる。
部１７内で、その内面と密着状態を形成する位置に待機
している（同図−ａ）。この状態が、この実施例のイン
キング装置の初期状態となると共に、後述するように打
点動作時以外の待機状態となる。
次に、打点情報が人力されると、打点用中芯１４は、−
１，インク溜部］５内にその先端１４ａが位置する状態
まで」１昇しく同図−ｂ）、打点用中芯］４はこの位置
に停止する。この状態での停止により、インク溜部１５
の内面と打点用中芯］４の外面との間隙］６の毛管現象
によって、１回分のインキング量のインク］、 １ ａ
が打点用中芯１４の先端１４ａに溜る。
１，インク溜部］５内にその先端１４ａが位置する状態
まで」１昇しく同図−ｂ）、打点用中芯］４はこの位置
に停止する。この状態での停止により、インク溜部１５
の内面と打点用中芯］４の外面との間隙］６の毛管現象
によって、１回分のインキング量のインク］、 １ ａ
が打点用中芯１４の先端１４ａに溜る。
次いで打点用中芯１４は、その先端１４ａが図示を省略
した被処理物の表面近傍に到達するまで下降しく同図−
〇）、先端１４ａに溜っている１回分のインキング量の
インク１］−ａを転写し、インキングが行われる。
した被処理物の表面近傍に到達するまで下降しく同図−
〇）、先端１４ａに溜っている１回分のインキング量の
インク１］−ａを転写し、インキングが行われる。
この後、打点用中芯１４は第２図（ａ）に示した初期位
置まで上昇し、この状態で次回の打点情報が入力される
まで待機する。
置まで上昇し、この状態で次回の打点情報が入力される
まで待機する。
そして、これらの動作を打点情報に応じて繰返し行うこ
とにより、順次インキングか行われる。
とにより、順次インキングか行われる。
すなわち、この実施例のインキング装置では、まずイン
ク溜部］５の下端に、打点用中芯１４の外面と摺動可能
な密着状態が形成されるインク垂れ防止部］７を設けて
いるため、このインク垂れ防止部］７内に打点用中芯１
４の先端１４ ａが位置する状態を待機位置とすること
によって、打点用中芯１４の外面とインク垂れ防止部１
７の内面との間隙からはインク１１が流出することがな
い。
ク溜部］５の下端に、打点用中芯１４の外面と摺動可能
な密着状態が形成されるインク垂れ防止部］７を設けて
いるため、このインク垂れ防止部］７内に打点用中芯１
４の先端１４ ａが位置する状態を待機位置とすること
によって、打点用中芯１４の外面とインク垂れ防止部１
７の内面との間隙からはインク１１が流出することがな
い。
よって、打点時以外は被処理物側にインク１１が垂れる
ことが防止される。
ことが防止される。
また、上記待機状態にある打点用中芯］４の先端１４ａ
には、インク］−１が存在していないため、この状態か
ら打点用中芯１４をインク溜部１５側に上昇させること
によって、たえず一定量のインり１ ］、 ａを打点用
中芯１４の先端１４ａに溜めることが可能となる。よっ
て、インク量の増加によるインキング不良（設定範囲外
へのインキング等）が解消される。
には、インク］−１が存在していないため、この状態か
ら打点用中芯１４をインク溜部１５側に上昇させること
によって、たえず一定量のインり１ ］、 ａを打点用
中芯１４の先端１４ａに溜めることが可能となる。よっ
て、インク量の増加によるインキング不良（設定範囲外
へのインキング等）が解消される。
このように、この実施例のインキング装置においては、
打点時以外のインクの垂れが防止でき、また打点時にお
けるインク量も安定する。よって、半導体ウェハ」二に
多数形成された半導体チップの検査を行うプローブ装置
等において、微小面積の各半導体チップ上に確実にマー
キングを行うことが可能となり、マーキング不良による
検査精度の低下等か防止でき、非常に有効である。
打点時以外のインクの垂れが防止でき、また打点時にお
けるインク量も安定する。よって、半導体ウェハ」二に
多数形成された半導体チップの検査を行うプローブ装置
等において、微小面積の各半導体チップ上に確実にマー
キングを行うことが可能となり、マーキング不良による
検査精度の低下等か防止でき、非常に有効である。
なお、本発明のインキング装置およびそれを用いたイン
キング方法は、プローブ装置におけるマキングに限らず
、例えばパッケージングしてＩＣ製品となったものの背
面等にマーキングを行う装置等、各種のインキングに適
用することが可能である。
キング方法は、プローブ装置におけるマキングに限らず
、例えばパッケージングしてＩＣ製品となったものの背
面等にマーキングを行う装置等、各種のインキングに適
用することが可能である。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、打点時］０
以外のインクの流出か防１にでき、かつインキング１回
当りのインク量を正確に設定することができる。よって
、例えば正確にマーキングを行うことが可能となる等、
インキング動作の精度が大幅に向上する。
当りのインク量を正確に設定することができる。よって
、例えば正確にマーキングを行うことが可能となる等、
インキング動作の精度が大幅に向上する。
第１図は本発明の一実施例のインキング装置のの要部の
構成を示す断面図、第２図（ａ）〜（ｃ）は第１図のイ
ンキング装置の動作を説明するための図、第３図は従来
のインキング１回当の要部の構成を示す断面図である。 １１・・・・・・インク、１２・・・・・・インク収容
部、１４・・・・・・打点用中芯、１−５・・・・・・
インク溜部、１６・・・・・・毛管現象によるインク供
給路を形成する間隙、１７・・・・・・インク垂れ防止
部。
構成を示す断面図、第２図（ａ）〜（ｃ）は第１図のイ
ンキング装置の動作を説明するための図、第３図は従来
のインキング１回当の要部の構成を示す断面図である。 １１・・・・・・インク、１２・・・・・・インク収容
部、１４・・・・・・打点用中芯、１−５・・・・・・
インク溜部、１６・・・・・・毛管現象によるインク供
給路を形成する間隙、１７・・・・・・インク垂れ防止
部。
Claims (2)
- （１）インクが収容され打点用中芯が進退自在に配置さ
れたインク収容部と、 前記打点用中芯の移動経路に沿って前記インク収容部の
下方に設けられ、前記打点用中芯の外面との間隙に毛管
現象を利用したインク供給路が形成されるインク溜部と を具備するインキング装置において、 前記インク溜部の先端に、その内面が前記打点用中芯の
外面と摺動可能な密着状態を形成するインク垂れ防止部
を設けたことを特徴とするインキング装置。 - （２）打点用中芯外面と摺動可能な密着状態を形成する
インク垂れ防止部内で該打点用中芯を待機させる工程と
、 前記インク垂れ防止部上方に配置され毛管現象を利用し
たインク溜部内まで前記打点用中芯を上昇させ、該打点
用中芯の先端に所定量のインクを供給する工程と、 前記打点用中芯を下降させてインキングを行う工程と、 前記打点用中芯を前記待機位置まで上昇させる工程とを
具備し、 前記各工程をインキング動作に応じて繰返し行うことを
特徴とするインキング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1148765A JPH0312944A (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | インキング装置およびインキング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1148765A JPH0312944A (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | インキング装置およびインキング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312944A true JPH0312944A (ja) | 1991-01-21 |
Family
ID=15460149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1148765A Pending JPH0312944A (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | インキング装置およびインキング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312944A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1002570A1 (en) * | 1998-11-20 | 2000-05-24 | Corning Incorporated | Capillary transfer device for high density arrays |
| JP2010219321A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | マーキング装置及びマーキング方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021819A (ja) * | 1973-06-30 | 1975-03-08 | ||
| JPS57157767A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-29 | Ricoh Co Ltd | Printer |
| JPS60126844A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子用マ−キングインク |
-
1989
- 1989-06-12 JP JP1148765A patent/JPH0312944A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021819A (ja) * | 1973-06-30 | 1975-03-08 | ||
| JPS57157767A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-29 | Ricoh Co Ltd | Printer |
| JPS60126844A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子用マ−キングインク |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1002570A1 (en) * | 1998-11-20 | 2000-05-24 | Corning Incorporated | Capillary transfer device for high density arrays |
| JP2010219321A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | マーキング装置及びマーキング方法 |
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