JPH03130355U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第８図は本考案の第１実施例を示して
おり、第１図は移動プラテン式研磨装置の正面図
、第２図は同じく側面図、第３図は同じく平面図
、第４図は第１図−線断面図、第５図は第３
図−線断面図、第６図は第３図−線断面
図、第７図は研磨開始時の研磨ヘツドの模式図、
第８図は研磨終了時の研磨ヘツドの模式図、第９
図および第１０図は従来例を示しており、第９図
は弾性材コンタクトローラによる研磨の模式図、
第１０図ａ，ｂは固定プラテンによる研磨を示す
模式図である。 Ｗ……ワーク、Ｆ……研磨フイルム、１０……
移動プラテン式研磨装置、２０……ベースフレー
ム、２１……上向面部、２２……継手、２３……
クランク軸、２４……連結ロツド、Ｍ１……振動
駆動用のモータ、３０……研磨ヘツド部、３１…
…本体ブロツク、３２……移動プラテン、３４ａ
，３４ｂ……案内ローラ、３５……レールブロツ
ク、３８……コイルばね、４０……供給部、４１
……供給側リール、４３……ブレーキ、５０……
繰込部、５１……巻取側リール、５３……摩擦カ
ツプリング、６０……与張送り部、６１……送り
駆動ローラ、６５……加圧補助ローラ、Ｍ２……
送り用モータ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 研磨フイルムを研磨ヘツド部の移動プラテンに
   巻き掛け、該研磨ヘツド部を振動させながら研磨
   フイルムにワークを接触させて研磨するようにし
   た移動プラテン式研磨装置であつて、 引張力を与えて研磨フイルムを保持しながら繰
   り出す供給部と、前記研磨ヘツド部を経た研磨フ
   イルムを低速度で引き込む繰込部とを設け、 前記研磨ヘツド部に、研磨フイルムの背面に当
   接してワークに圧接させる移動プラテンを設け、
   研磨フイルムの送り方向に沿つて移動可能に該移
   動プラテンを支持するとともに、研磨フイルムの
   送りの逆方向に位置するよう付勢保持したことを
   特徴とする移動プラテン式研磨装置。