JPH031308A - 狭トラック磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
狭トラック磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH031308A JPH031308A JP13683389A JP13683389A JPH031308A JP H031308 A JPH031308 A JP H031308A JP 13683389 A JP13683389 A JP 13683389A JP 13683389 A JP13683389 A JP 13683389A JP H031308 A JPH031308 A JP H031308A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業」Ｊｌ引１分■−
この発明は、ＶＴＲ，フロッピーディスクドライブ、ハ
ードディスクドライブ等に使用される磁気ヘッドで特に
、非磁性基板上に軟磁性コアを接着させて作る磁気ヘッ
ドの製造方法に関するものである。
ードディスクドライブ等に使用される磁気ヘッドで特に
、非磁性基板上に軟磁性コアを接着させて作る磁気ヘッ
ドの製造方法に関するものである。
従来悲皮直
近年、磁気ディスク、磁気テープ等の磁気記録媒体の高
密度化に伴い、上記磁気記録媒体の情報の記録及びその
磁気記録媒体からの情報の再生を行う磁気ヘッドは、狭
トラック幅になってきている。
密度化に伴い、上記磁気記録媒体の情報の記録及びその
磁気記録媒体からの情報の再生を行う磁気ヘッドは、狭
トラック幅になってきている。
特に、トラック幅が１０μｍ以下になるとダイシングソ
ー等機械加工でトラック幅を出すことは困難である。狭
トラック幅を実現する磁気ヘッドとして例えば、薄膜積
層形磁気ヘッド等が具体化されている。
ー等機械加工でトラック幅を出すことは困難である。狭
トラック幅を実現する磁気ヘッドとして例えば、薄膜積
層形磁気ヘッド等が具体化されている。
この薄膜積層形磁気ヘッドの具体例を第３図に示し説明
する。第３図において、１はバルク形コアチップで、一
対のコア２ａ、２ｂを非磁性体接着材９例えばガラス３
で接合一体化したものである。このコアチップ１の頂端
面は、磁気テープ等の磁気記録媒体を円滑に摺接させる
ために、所定の曲率を持つ円弧状曲面に形成され、かつ
、両コア２ａ、２ｂの接合面上部に５ｉＯｚ等の非磁性
体薄膜４を介在させて所定のトラック幅Ｔｗの磁気ギャ
ップｇが形成される。また、上記コアチップ１には、コ
ア２ ａ ｙ ２ ｂの外側面に形成した巻線係止溝５
ａ、５ｂと、コア２ａの内側面に凹溝を形成してコア２
ａ、２ｂの接合一体化により形成された巻線挿通穴６を
利用して絶縁被覆処理の線材７をコア２ ａ ＋ ２
ｂに所定ターン数巻回してコイルを形成する。尚、上記
コア２ ａ ＋ ２ ｂは、セラミック、ガラス等の
非磁性体基板２′、２”間に、磁気ギャップｇの所定の
トラック幅Ｔｗと同一厚みのセンダスト、パーマロイ等
からなる軟磁性膜２″を介在したものである。
する。第３図において、１はバルク形コアチップで、一
対のコア２ａ、２ｂを非磁性体接着材９例えばガラス３
で接合一体化したものである。このコアチップ１の頂端
面は、磁気テープ等の磁気記録媒体を円滑に摺接させる
ために、所定の曲率を持つ円弧状曲面に形成され、かつ
、両コア２ａ、２ｂの接合面上部に５ｉＯｚ等の非磁性
体薄膜４を介在させて所定のトラック幅Ｔｗの磁気ギャ
ップｇが形成される。また、上記コアチップ１には、コ
ア２ ａ ｙ ２ ｂの外側面に形成した巻線係止溝５
ａ、５ｂと、コア２ａの内側面に凹溝を形成してコア２
ａ、２ｂの接合一体化により形成された巻線挿通穴６を
利用して絶縁被覆処理の線材７をコア２ ａ ＋ ２
ｂに所定ターン数巻回してコイルを形成する。尚、上記
コア２ ａ ＋ ２ ｂは、セラミック、ガラス等の
非磁性体基板２′、２”間に、磁気ギャップｇの所定の
トラック幅Ｔｗと同一厚みのセンダスト、パーマロイ等
からなる軟磁性膜２″を介在したものである。
次に、上記磁気ヘッドの製造方法の従来例を第４図ａ−
ｅに基づいて説明する。
ｅに基づいて説明する。
まず、第４図ａに示すように、直方体形状で、セラミッ
ク、ガラス等の非磁性体基板８ａを用意し、その上にセ
ンダストやパーマロイ等の軟磁性膜８″を膜厚がトラッ
ク幅寸法Ｔｗとなるまで、スパッタリングして成膜させ
る。つぎに、第４図すに示すように、成膜済み非磁性体
基板８ａを所望のコア枚数準備して、接着材や接着ガラ
スなどにより積層ブロック体９ａを形成する。その後、
第４図Ｃのとおり、巻線係止溝１０ａ９巻線挿通兼磁路
形成用中溝１１ａを切削加工して形成する。ここで同様
にして、中溝１１ａ以外は同一構造なので図示省略する
が、他方の積層ブロック体９ｂも形成しておく。それか
ら、積層ブロック体の磁気ギャップ形成突き合わせ面の
少な（とも−方に、磁気ギャップ長に等しいギャップス
ペーサ膜を成膜させて後、第４図ｄのとおり積層ブロッ
ク体９ａ、９ｂを突き合わせ、例えば９ｂ側に設けた埋
め込み接着ガラス１２にて、ガラス溶着させ一体化する
。そして磁気ギヤツブｇ形成上面。
ク、ガラス等の非磁性体基板８ａを用意し、その上にセ
ンダストやパーマロイ等の軟磁性膜８″を膜厚がトラッ
ク幅寸法Ｔｗとなるまで、スパッタリングして成膜させ
る。つぎに、第４図すに示すように、成膜済み非磁性体
基板８ａを所望のコア枚数準備して、接着材や接着ガラ
スなどにより積層ブロック体９ａを形成する。その後、
第４図Ｃのとおり、巻線係止溝１０ａ９巻線挿通兼磁路
形成用中溝１１ａを切削加工して形成する。ここで同様
にして、中溝１１ａ以外は同一構造なので図示省略する
が、他方の積層ブロック体９ｂも形成しておく。それか
ら、積層ブロック体の磁気ギャップ形成突き合わせ面の
少な（とも−方に、磁気ギャップ長に等しいギャップス
ペーサ膜を成膜させて後、第４図ｄのとおり積層ブロッ
ク体９ａ、９ｂを突き合わせ、例えば９ｂ側に設けた埋
め込み接着ガラス１２にて、ガラス溶着させ一体化する
。そして磁気ギヤツブｇ形成上面。
つまり媒体対応面を一点鎖線１３のように曲面研磨し、
さらに細線１４，１４．・・・の方向に平行にスライス
してやると、第３図に示した狭トラック幅の磁気ヘッド
用コアが得られる。それからコイル巻作業を経て、第３
図のとおりの磁気ヘッドを得る。
さらに細線１４，１４．・・・の方向に平行にスライス
してやると、第３図に示した狭トラック幅の磁気ヘッド
用コアが得られる。それからコイル巻作業を経て、第３
図のとおりの磁気ヘッドを得る。
よ”
ところで上述した磁気ヘッドの製造方法において、トラ
ック幅はスパッタ等による膜厚に依存する。ところが膜
厚のばらつき、又突き合わせの目合わせのばらつきによ
りトラック幅を精度良く作ることが難しく、磁気ヘッド
の品質が低下し、信頼性に欠けるといった問題があった
。
ック幅はスパッタ等による膜厚に依存する。ところが膜
厚のばらつき、又突き合わせの目合わせのばらつきによ
りトラック幅を精度良く作ることが難しく、磁気ヘッド
の品質が低下し、信頼性に欠けるといった問題があった
。
１ 、めの
この発明は、上記課題に鑑みて提案されたもので、非磁
性基板上に軟磁性コアを接着一体化する。
性基板上に軟磁性コアを接着一体化する。
この軟磁性コアを所定のトラック幅まで研磨することに
よって得る磁気ヘッドで、予め上記軟磁性コアを所定の
トラック幅以上に作製しておき、研磨する。
よって得る磁気ヘッドで、予め上記軟磁性コアを所定の
トラック幅以上に作製しておき、研磨する。
１且
上記技術的手段によれば、トラック幅は研磨精度で決ま
り、膜厚のばらつき、目合わせ精度のばらつきは関係な
くなり、精度の良いトラック幅を得ることができる。又
、トラックずれ等がないため、トラック端部で生じる磁
束の乱れ、すなわちフリンジング効果が小さく、ガート
バンド幅を小さくしてトラック密度を上げることができ
る。
り、膜厚のばらつき、目合わせ精度のばらつきは関係な
くなり、精度の良いトラック幅を得ることができる。又
、トラックずれ等がないため、トラック端部で生じる磁
束の乱れ、すなわちフリンジング効果が小さく、ガート
バンド幅を小さくしてトラック密度を上げることができ
る。
尖凰桝
この発明に係る磁気ヘッドの一実施例を第１図及び第２
図を参照しながら説明する。
図を参照しながら説明する。
まず説明の前に、この発明の特徴を一言すれば、軟磁性
コアを予めトラック幅よりも厚めに形成しておき、その
コアを非磁性基板へ貼着して、軟磁性コアをトラック幅
まで研削することである。
コアを予めトラック幅よりも厚めに形成しておき、その
コアを非磁性基板へ貼着して、軟磁性コアをトラック幅
まで研削することである。
さて、この実施例では、はじめに、第２図ａに示すよう
に、一対の軟磁性体１例えばフェライト、センダスト、
アモルファス等でできたコアブロッｌｌａ、ｌｂを用意
し、片方のブロック１ａに内側の巻線溝加工を行う。こ
の一対のコアブロック１ａ、１ｂのギャップ形成面１ｃ
を高精度に研磨し、鏡面仕上げにする。その後、この接
合面にギャップ長に等しい膜厚のＳｉＯ２等非磁性体膜
を被着形成した後、両コアブロックＩａ、ｌｂの接合面
同士を第２図すに示すように、接着ガラス３，３′を埋
め込みしておき、突き合わせる。
に、一対の軟磁性体１例えばフェライト、センダスト、
アモルファス等でできたコアブロッｌｌａ、ｌｂを用意
し、片方のブロック１ａに内側の巻線溝加工を行う。こ
の一対のコアブロック１ａ、１ｂのギャップ形成面１ｃ
を高精度に研磨し、鏡面仕上げにする。その後、この接
合面にギャップ長に等しい膜厚のＳｉＯ２等非磁性体膜
を被着形成した後、両コアブロックＩａ、ｌｂの接合面
同士を第２図すに示すように、接着ガラス３，３′を埋
め込みしておき、突き合わせる。
突き合わせたコアブロックを治具等で圧着し、炉中で内
側巻線溝上部ガラス３．下部ガラス３°を熱接着する。
側巻線溝上部ガラス３．下部ガラス３°を熱接着する。
このブロックをトラック幅Ｔｗ以上のＴｗ’とすべく破
線４のようにこのスライスしたコアチップ１の片面１ａ
を予備研磨する。この研磨面１ｄにガラス、有機接着剤
等の非磁性接着剤を塗布、スパッタ等で被着し、ガラス
であれば治具で圧接し、炉中で非磁性体基板２とコアチ
ップ１を熱溶着により貼着させる。この接合した磁気へ
ラドコアチップ接合面の反対側、つまり露出表面をコア
チップの厚みがトラック幅Ｔｗになるように研磨加工す
る。又、必要であれば、このコアチップ研磨面に非磁性
体基板をガラス、有機接着剤で接着する。この磁気ヘッ
ド項端面をテープラップ加工し、巻線作業を経て第３図
と同様な狭トラック幅磁気ヘッドを得る。非磁性体基板
は、−板の基板にエツチング、レーザー加工、放電加工
等で、内側巻線溝をあけても良い。
線４のようにこのスライスしたコアチップ１の片面１ａ
を予備研磨する。この研磨面１ｄにガラス、有機接着剤
等の非磁性接着剤を塗布、スパッタ等で被着し、ガラス
であれば治具で圧接し、炉中で非磁性体基板２とコアチ
ップ１を熱溶着により貼着させる。この接合した磁気へ
ラドコアチップ接合面の反対側、つまり露出表面をコア
チップの厚みがトラック幅Ｔｗになるように研磨加工す
る。又、必要であれば、このコアチップ研磨面に非磁性
体基板をガラス、有機接着剤で接着する。この磁気ヘッ
ド項端面をテープラップ加工し、巻線作業を経て第３図
と同様な狭トラック幅磁気ヘッドを得る。非磁性体基板
は、−板の基板にエツチング、レーザー加工、放電加工
等で、内側巻線溝をあけても良い。
欠肌旦肱聚
この発明によれば、磁気ギャップ部のトラック幅Ｔｗは
、研磨ラップ精度で加工できるため、精度良くトラック
幅を設定し得ることができる。
、研磨ラップ精度で加工できるため、精度良くトラック
幅を設定し得ることができる。
さらに一対のコアチップのトラックずれが原理的に存在
しないため、ＦＤＤ、ＨＤＤ等ガートバンドトラックの
存在する記録方式の場合、フリンジング効果の小さい、
良品質で信顆性の高い磁気ヘッドを提供することができ
る。
しないため、ＦＤＤ、ＨＤＤ等ガートバンドトラックの
存在する記録方式の場合、フリンジング効果の小さい、
良品質で信顆性の高い磁気ヘッドを提供することができ
る。
第１図はこの発明に係る磁気へラドコアの斜視図、第２
図ａｌ ｂｌ ｃはこの発明に係る磁気ヘッドの製
造方法を示すコア斜視図、第３図は薄膜積層形磁気ヘッ
ドの従来例を示す斜視図、第４図ａ〜ｄは従来の磁気ヘ
ッドの製造方法を示すコア斜視図である。 １・・・・・・軟磁性コア、 ２・・・・・・非磁性体基板、 Ｔｗ・・・・・・トラック幅、 Ｔｗ’・・・・・・トラック幅以上の厚み。
図ａｌ ｂｌ ｃはこの発明に係る磁気ヘッドの製
造方法を示すコア斜視図、第３図は薄膜積層形磁気ヘッ
ドの従来例を示す斜視図、第４図ａ〜ｄは従来の磁気ヘ
ッドの製造方法を示すコア斜視図である。 １・・・・・・軟磁性コア、 ２・・・・・・非磁性体基板、 Ｔｗ・・・・・・トラック幅、 Ｔｗ’・・・・・・トラック幅以上の厚み。
Claims (1)
- 非磁性体基板上に、予め所定のトラック幅以上の厚みの
軟磁性コアを貼着し、その後上記軟磁性コアをトラック
幅までコア厚みを研磨することを特徴とする狭トラック
磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1136833A JP2887204B2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 狭トラック磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1136833A JP2887204B2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 狭トラック磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031308A true JPH031308A (ja) | 1991-01-08 |
| JP2887204B2 JP2887204B2 (ja) | 1999-04-26 |
Family
ID=15184573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1136833A Expired - Lifetime JP2887204B2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 狭トラック磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2887204B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58171708A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-08 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ヘツド及びその製造方法 |
| JPS592224A (ja) * | 1982-06-25 | 1984-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 複合形磁気ヘツドの製造方法 |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP1136833A patent/JP2887204B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58171708A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-08 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ヘツド及びその製造方法 |
| JPS592224A (ja) * | 1982-06-25 | 1984-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 複合形磁気ヘツドの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2887204B2 (ja) | 1999-04-26 |
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