JPH03132011A - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents
固体電解コンデンサの製造方法Info
- Publication number
- JPH03132011A JPH03132011A JP27078489A JP27078489A JPH03132011A JP H03132011 A JPH03132011 A JP H03132011A JP 27078489 A JP27078489 A JP 27078489A JP 27078489 A JP27078489 A JP 27078489A JP H03132011 A JPH03132011 A JP H03132011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polythiophene
- precursor
- solid electrolytic
- electrolytic capacitor
- oxide film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 claims abstract description 36
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 6
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 abstract description 8
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 abstract description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 abstract description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002841 Lewis acid Substances 0.000 abstract description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 2
- 150000007517 lewis acids Chemical class 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 2
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical group Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000699670 Mus sp. Species 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 1
- JCMGUODNZMETBM-UHFFFAOYSA-N arsenic trifluoride Chemical compound F[As](F)F JCMGUODNZMETBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTEGARKTQYYJKE-UHFFFAOYSA-N chloric acid Chemical compound OCl(=O)=O XTEGARKTQYYJKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940005991 chloric acid Drugs 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MIVBAHRSNUNMPP-UHFFFAOYSA-N manganese(2+);dinitrate Chemical group [Mn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O MIVBAHRSNUNMPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-M perchlorate Inorganic materials [O-]Cl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は、高周波性能の良好な固体電解コンデンサの製
造方法に関する。
造方法に関する。
[従来の技術]
固体電解コンデンサは表面に誘電体酸イヒ皮膜層をイア
するアルミニウム、タンタル、ニオブ等の弁作用金属に
半導体層が付着した構造を有している。又、弁作用金属
の形状は表面積を太き(するために複雑に入り(んだ形
状をとっている。
するアルミニウム、タンタル、ニオブ等の弁作用金属に
半導体層が付着した構造を有している。又、弁作用金属
の形状は表面積を太き(するために複雑に入り(んだ形
状をとっている。
従来、この種の固体電解コンデンサの半導体層には、主
に硝酸マンガンの熱分解により形成される二酸化マンガ
ンが用いられている。しかし、この熱分解の際に必要な
高熱と発生するNO□ガスの酸化作用等によって誘電体
であるアルミニウム。
に硝酸マンガンの熱分解により形成される二酸化マンガ
ンが用いられている。しかし、この熱分解の際に必要な
高熱と発生するNO□ガスの酸化作用等によって誘電体
であるアルミニウム。
タンタルなどの誘電体酸化皮膀の損傷が起こり、そのた
め耐電圧は低下し、漏れ電流が大きくなり、誘電特性を
劣化させる等大きな欠点がある。
め耐電圧は低下し、漏れ電流が大きくなり、誘電特性を
劣化させる等大きな欠点がある。
また再化成という工程も数回必要になる。
これらの欠点を補うために高熱を付与せずに半導体層を
形成する方法、つまり高電導性の高分子半導体材料を半
導体層とする方法が試みられている。その例としては下
記の一般式で表わされる千ツマ−を重合して得られる高
分子化合物にドーパントをドープして得られる電導性高
分子化合物を゛1モ導体層とする固体電解コンデンサが
知られている。
形成する方法、つまり高電導性の高分子半導体材料を半
導体層とする方法が試みられている。その例としては下
記の一般式で表わされる千ツマ−を重合して得られる高
分子化合物にドーパントをドープして得られる電導性高
分子化合物を゛1モ導体層とする固体電解コンデンサが
知られている。
又、この種の″:ri導性高分子化合物を半導体層とす
る固体電解コンデンサの″!A遣方法として、一般式(
1)で表わされるモノマーを溶解した溶液中で電解重合
することによって半導体層を形成する方法、一般式(1
)で表わされる七ツマ−と別に用意した酸化剤を使用し
て誘電体酸化皮膜層上で反応させ半導体層を形成する方
法、等が知られている。
る固体電解コンデンサの″!A遣方法として、一般式(
1)で表わされるモノマーを溶解した溶液中で電解重合
することによって半導体層を形成する方法、一般式(1
)で表わされる七ツマ−と別に用意した酸化剤を使用し
て誘電体酸化皮膜層上で反応させ半導体層を形成する方
法、等が知られている。
[発明が解決しようとする課題1
しかしながら、上述した電解重合による方法では、半導
体層を形成する時間が長くかかるばかりでなく、極端に
入りくんだ形状を有する弁作用金属の場合(即ち、単位
面積あたりの容量が大きい弁作用金属)には、充分容量
を引き出せないという欠点がある。又、誘電体酸化皮膜
層上でモノマーを反応させる方法では、モノマーがポリ
マーになるために酸化剤で脱水素を行う必要があるが、
前述した極端に入りくんだ形状を有する弁作用金属の場
合、充分、脱水素が進まず、その結果、作製した固体電
解コンデンサの高周波性能が今一つ不充分であるという
問題点があった。
体層を形成する時間が長くかかるばかりでなく、極端に
入りくんだ形状を有する弁作用金属の場合(即ち、単位
面積あたりの容量が大きい弁作用金属)には、充分容量
を引き出せないという欠点がある。又、誘電体酸化皮膜
層上でモノマーを反応させる方法では、モノマーがポリ
マーになるために酸化剤で脱水素を行う必要があるが、
前述した極端に入りくんだ形状を有する弁作用金属の場
合、充分、脱水素が進まず、その結果、作製した固体電
解コンデンサの高周波性能が今一つ不充分であるという
問題点があった。
【課題を解決するための手段1
本発明は、−F述した問題点を解決するためになされた
もので、弁作用を有する金属の表面に、順次、誘電体酸
化皮膜層、ポリチオフェンを1成分とする電導性品分子
からなる半導体層及び導電体層を形成した固体電解コン
デンサの″!A遣方法において、この二F導体層を、ポ
リチオフェン前駆体を融解して前記誘電体酸化皮膜層−
Lに付着させる工程とこのポリチオフェン前駆体を酸化
剤で酸化重合してポリチオフェンを主成分とする電導性
高分子にする工程によって形成する固体電解コンデンサ
の製造方法にある。
もので、弁作用を有する金属の表面に、順次、誘電体酸
化皮膜層、ポリチオフェンを1成分とする電導性品分子
からなる半導体層及び導電体層を形成した固体電解コン
デンサの″!A遣方法において、この二F導体層を、ポ
リチオフェン前駆体を融解して前記誘電体酸化皮膜層−
Lに付着させる工程とこのポリチオフェン前駆体を酸化
剤で酸化重合してポリチオフェンを主成分とする電導性
高分子にする工程によって形成する固体電解コンデンサ
の製造方法にある。
以下1本発明について詳細に説明する。
本発明において固体電解コンデンサの陽極として用いら
れる弁作用金属としては、例えばアルミニウム、タンタ
ル、ニオブ、チタン及びこれらを基質とする合金等、弁
作用を有する金属がいずれも使用できる。
れる弁作用金属としては、例えばアルミニウム、タンタ
ル、ニオブ、チタン及びこれらを基質とする合金等、弁
作用を有する金属がいずれも使用できる。
弁作用金属の表面に設ける誘電体酸化皮膜は、弁作用金
属の表面部分に設けられた弁作用金属自体の酸化物層で
あってもよ(、あるいは、弁作用金属の表面。Lに設け
られた他の誘電体酸化物の層であってもよいが、特に弁
作用金属自体の酸化物からなる層であることが好ましい
。いずれの場合にも酸化物層を設ける方法としては、電
解液を用いた陽極化成法など従来公知の方法を用いるこ
とができる。
属の表面部分に設けられた弁作用金属自体の酸化物層で
あってもよ(、あるいは、弁作用金属の表面。Lに設け
られた他の誘電体酸化物の層であってもよいが、特に弁
作用金属自体の酸化物からなる層であることが好ましい
。いずれの場合にも酸化物層を設ける方法としては、電
解液を用いた陽極化成法など従来公知の方法を用いるこ
とができる。
本発明による半導体層は、上述した誘電体酸化皮膜層−
Eに、(l)ポリチオフェン前駆体を融解して前記誘電
体酸化皮膜層上に付着する工程と(2)このポリチオフ
ェン前駆体を酸化剤で酸化重合してポリチオフェンを主
成分とする電導性高分子にする工程、によって形成する
ことが肝要である。
Eに、(l)ポリチオフェン前駆体を融解して前記誘電
体酸化皮膜層上に付着する工程と(2)このポリチオフ
ェン前駆体を酸化剤で酸化重合してポリチオフェンを主
成分とする電導性高分子にする工程、によって形成する
ことが肝要である。
本発明におけるポリチオフェン前駆体とは、チオフェン
のオリゴマーで骨格の一部に非共役部分が存在するもの
であり、融点が240〜280℃の範囲に入る。このよ
うなポリチオフェン前駆体の作製方法は1例えばチオフ
ェンをAlCl1、CuC1□等のルイス酸で処理して
得ることができる。
のオリゴマーで骨格の一部に非共役部分が存在するもの
であり、融点が240〜280℃の範囲に入る。このよ
うなポリチオフェン前駆体の作製方法は1例えばチオフ
ェンをAlCl1、CuC1□等のルイス酸で処理して
得ることができる。
前述したポリチオフェン前駆体を誘電体酸化皮19層上
に付着させるには、このポリチオフェン前駆体を融解さ
せこの融解液に弁作用金属を浸漬し引きFげることによ
って形成される。
に付着させるには、このポリチオフェン前駆体を融解さ
せこの融解液に弁作用金属を浸漬し引きFげることによ
って形成される。
さらに本発明において、後述する酸化剤を前記ポリチオ
フェン前駆体に導入し酸化重合することによってポリチ
オフェンを主成分とする電導性高分子を形成して半導体
に変化させる。
フェン前駆体に導入し酸化重合することによってポリチ
オフェンを主成分とする電導性高分子を形成して半導体
に変化させる。
酸化剤としては、)ecla、AsF s、Pl:5、
S03、FNIl、l 2S20.、 N21zS2
0e、 に2S20−1 KklnO,、lI □0
2、塩素酸1ム、次亜塩素酸1ム、過塩素酸塩、SbF
5.11F3、[1C13BBr、F2520S、1I
NO3等従来公知の酸化剤を挙げることができ、各酸化
剤を一種以上使用してもよい。前記したポリチオフェン
前駆体に該酸化剤を導入するには、適当な溶媒に溶解し
た酸化剤溶液を付着させるか、又はガス状の酸化剤の場
合には、気相で接触することによって導入することがで
きる。又、本発明においては先に酸化剤を誘電体酸化皮
膜層上に付着させておき、次いでポリチオフェン前駆体
を融解させて誘電体酸化皮膜層上に付着と同時に酸化重
合させポリチオフェンを主成分とする電導性高分子から
なる半導体層を形成してもよい。
S03、FNIl、l 2S20.、 N21zS2
0e、 に2S20−1 KklnO,、lI □0
2、塩素酸1ム、次亜塩素酸1ム、過塩素酸塩、SbF
5.11F3、[1C13BBr、F2520S、1I
NO3等従来公知の酸化剤を挙げることができ、各酸化
剤を一種以上使用してもよい。前記したポリチオフェン
前駆体に該酸化剤を導入するには、適当な溶媒に溶解し
た酸化剤溶液を付着させるか、又はガス状の酸化剤の場
合には、気相で接触することによって導入することがで
きる。又、本発明においては先に酸化剤を誘電体酸化皮
膜層上に付着させておき、次いでポリチオフェン前駆体
を融解させて誘電体酸化皮膜層上に付着と同時に酸化重
合させポリチオフェンを主成分とする電導性高分子から
なる半導体層を形成してもよい。
本発明において使用する酸化剤は、それ自身、酸化重合
で形成されたポリチオフェンのドルパントとなり電導性
を付与する物質であるが、さらに形成されたポリチオフ
ェンの電導性を高めるためには、酸化剤を接触させる前
後又は酸化剤と共に、従来公知の酸化剤以外のドーパン
トをドープしてもよい。
で形成されたポリチオフェンのドルパントとなり電導性
を付与する物質であるが、さらに形成されたポリチオフ
ェンの電導性を高めるためには、酸化剤を接触させる前
後又は酸化剤と共に、従来公知の酸化剤以外のドーパン
トをドープしてもよい。
このようなドーパントとして、例えば、ヨウ素、Hフッ
化ヒ素、硫酸、AsFa−など特開昭58−54553
号公報、特開昭58−54554号公報に記載のドーパ
ントを挙げることができる。
化ヒ素、硫酸、AsFa−など特開昭58−54553
号公報、特開昭58−54554号公報に記載のドーパ
ントを挙げることができる。
又、このようなドーパントは化学的手法や電気化学手法
を用いてドープすることができる。
を用いてドープすることができる。
本発明に用いる半導体は電導度がlO°〜to2s・c
m−’オーダーのものが得られ、電導度が高い程、作製
した固体電解コンデンサの高周波特性が良好なものとな
る。
m−’オーダーのものが得られ、電導度が高い程、作製
した固体電解コンデンサの高周波特性が良好なものとな
る。
本発明の方法による固体電解コンデンサは、上述した半
導体層の上にカーボンペースト又は/及び銀ペースト等
で陰極層を取り出し、重に樹脂やケース等、従来公知の
方法で封目して製品とされる。
導体層の上にカーボンペースト又は/及び銀ペースト等
で陰極層を取り出し、重に樹脂やケース等、従来公知の
方法で封目して製品とされる。
[作用1
ポリチオフェン前駆体を融解して誘電体酸化皮膜層上に
付着させ、酸化剤で酸化重合することによってポリチオ
フェンを主成分とする電導性高分子からなる半導体層を
形成すると、ポリチオフェン前駆体が既に一部酸化重合
した物質であるため、チオフェンモノマーから酸化重合
してポリチオフェンにするよりも酸化重合せねばならな
い鼠が少なくて良い。その結果、目的とする電導性をイ
1する高分子になるまでの脱水素が少な(て良い。又、
電解型合法に比較して、酸化重合は短時間で終了するば
かりでなく、ポリチオフェン前駆体を融解して誘電体酸
化皮膜層上に付着させるため、充分な容量を引き出すこ
とができる。
付着させ、酸化剤で酸化重合することによってポリチオ
フェンを主成分とする電導性高分子からなる半導体層を
形成すると、ポリチオフェン前駆体が既に一部酸化重合
した物質であるため、チオフェンモノマーから酸化重合
してポリチオフェンにするよりも酸化重合せねばならな
い鼠が少なくて良い。その結果、目的とする電導性をイ
1する高分子になるまでの脱水素が少な(て良い。又、
電解型合法に比較して、酸化重合は短時間で終了するば
かりでなく、ポリチオフェン前駆体を融解して誘電体酸
化皮膜層上に付着させるため、充分な容量を引き出すこ
とができる。
〔実施例j
以下、実施例及び比較例を示して説明する。
実施例1
ポリチオフェン111駆体は、チオフェンモノマに塩化
アルミを投入し、0℃で2時間反応し充分洗浄して塩酸
残が無いことを6i1酸銀テストで確認してi′)だ。
アルミを投入し、0℃で2時間反応し充分洗浄して塩酸
残が無いことを6i1酸銀テストで確認してi′)だ。
濃黄色で融点240〜280℃であった。
一方、別に用意したTaペレット(3mmx2mrrI
、厚さ0.5mm、 CV 2万/g)をりん酸水溶液
中で化成して表面にTa 2 (] 5の誘電体酸化皮
膜層を7℃g成した。このような素子を30点用へし、
前述したポリチオフェン前駆体の融解物に浸漬し引き上
げたさらに20%過硫酸アンモニウム水溶液に浸漬した
。その後、Taペレットを水で洗浄した後、乾燥した。
、厚さ0.5mm、 CV 2万/g)をりん酸水溶液
中で化成して表面にTa 2 (] 5の誘電体酸化皮
膜層を7℃g成した。このような素子を30点用へし、
前述したポリチオフェン前駆体の融解物に浸漬し引き上
げたさらに20%過硫酸アンモニウム水溶液に浸漬した
。その後、Taペレットを水で洗浄した後、乾燥した。
このようにして形成されたポリチオフェンを主成分とす
る電導性高分子からなる゛ト導体層上に、カーボンペー
スト及び銀ペストを順に付着させ導電体層を形成した。
る電導性高分子からなる゛ト導体層上に、カーボンペー
スト及び銀ペストを順に付着させ導電体層を形成した。
次いで樹脂封口して固体電解コンデンサを作製した。
実施例2
実施例1の20%過硫酸アンモニウム水溶液の代わりに
5%過マンガン酸カリ水溶液を用いた以外は実施例1と
同様にして固体電解コンデンサを作製した。
5%過マンガン酸カリ水溶液を用いた以外は実施例1と
同様にして固体電解コンデンサを作製した。
実施例3
実施例1の20%過硫酸アンモニウム水溶液の代わりに
lO%塩化鉄アルコール溶液を用い、アルコールで洗浄
した以外は実施例1と同様にして固体電解コンデンサを
作製した。
lO%塩化鉄アルコール溶液を用い、アルコールで洗浄
した以外は実施例1と同様にして固体電解コンデンサを
作製した。
比較例1
実施例1で使用したものと同様なTaペレットを陽極に
、別に用意したTa箔を陰極とし、電解液としてチオフ
ェン0.1モル、BunN旺、0.1モル溶解させたC
Il、CN溶液を使用して2時間電解重合し、ボチリオ
フエンにBF、アニオンがドープした電導性高分子を半
導体層とする素子を得た。さらに実施例1と同様にして
導電体層を形成し、封口して固体電解コンデンサを作製
した。
、別に用意したTa箔を陰極とし、電解液としてチオフ
ェン0.1モル、BunN旺、0.1モル溶解させたC
Il、CN溶液を使用して2時間電解重合し、ボチリオ
フエンにBF、アニオンがドープした電導性高分子を半
導体層とする素子を得た。さらに実施例1と同様にして
導電体層を形成し、封口して固体電解コンデンサを作製
した。
比較例2
実施例1でポリチオフェン前駆体の代わりにチオフェン
モノマーをTaベレットの誘電体酸化皮膜層上に付着し
た以外は、実施例1と同様にして固体電解コンデンサを
作製した。
モノマーをTaベレットの誘電体酸化皮膜層上に付着し
た以外は、実施例1と同様にして固体電解コンデンサを
作製した。
以−ト、各側で作製した固体電解コンデンサの性能をま
とめて第1表に示す。
とめて第1表に示す。
(以下余白)
第1表
傘 12011zでの値
参申 10KIIzでのイ直
〔発明の効果J
本発明によれば、ポリチオフェン前駆体を融解して誘電
体酸化皮膜層上に付着させ、さらに酸化剤で酸化重合し
てポリチオフェンを主成分とする電導性高分子からなる
半導体層を形成しているので、(11られた固体電解コ
ンデンサは、充分な古川を引き出し、さらに高周波の性
能が良好である。
体酸化皮膜層上に付着させ、さらに酸化剤で酸化重合し
てポリチオフェンを主成分とする電導性高分子からなる
半導体層を形成しているので、(11られた固体電解コ
ンデンサは、充分な古川を引き出し、さらに高周波の性
能が良好である。
Claims (1)
- 1.弁作用を有する金属の表面に、順次、誘電体酸化皮
膜層、ポリチオフェンを主成分とする電導性高分子から
なる半導体層及び導電体層を形成した固体電解コンデン
サの製造方法において、前記半導体層を、ポリチオフェ
ン前駆体を融解して前記誘電体酸化皮膜層上に付着させ
る工程とこのポリチオフェン前駆体を酸化剤で酸化重合
してポリチオフェンを主成分とする電導性高分子にする
工程によって形成することを特徴とする固体電解コンデ
ンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27078489A JP2901285B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27078489A JP2901285B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03132011A true JPH03132011A (ja) | 1991-06-05 |
| JP2901285B2 JP2901285B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=17490951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27078489A Expired - Lifetime JP2901285B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2901285B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7038903B2 (en) | 2003-03-28 | 2006-05-02 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof |
| JP2008088231A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Tsurumi Soda Co Ltd | 導電性高分子用エッチング液および導電性高分子をパターニングする方法 |
-
1989
- 1989-10-18 JP JP27078489A patent/JP2901285B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7038903B2 (en) | 2003-03-28 | 2006-05-02 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof |
| JP2008088231A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Tsurumi Soda Co Ltd | 導電性高分子用エッチング液および導電性高分子をパターニングする方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2901285B2 (ja) | 1999-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07135126A (ja) | 固体電解コンデンサ及びその製造方法 | |
| JPS63173313A (ja) | 固体電解コンデンサ | |
| JPH1197296A (ja) | 固体電解コンデンサおよびその製造方法 | |
| JPH0365887B2 (ja) | ||
| JP2792469B2 (ja) | 固体電解コンデンサ及びその製造方法 | |
| JP2725553B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JPH0650710B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JPH0682592B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JPH03132011A (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JP3026817B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JPH02238613A (ja) | 固体電解コンデンサ | |
| JP2945100B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JPH0650711B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| US5672377A (en) | Method of forming a solid electrolytic capacitor | |
| JPH0583167B2 (ja) | ||
| JP2922521B2 (ja) | 固体電解コンデンサ | |
| JPH0346214A (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JPH0677093A (ja) | 固体電解コンデンサおよびその製造方法 | |
| JPH10303080A (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JP2898443B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JP2632944B2 (ja) | 固体電解コンデンサ | |
| JP2904453B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JP2765437B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JP2810100B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JP2001267185A (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080319 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090319 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100319 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100319 Year of fee payment: 11 |