JPH03134600A - 電子線照射装置のターミナル - Google Patents
電子線照射装置のターミナルInfo
- Publication number
- JPH03134600A JPH03134600A JP1271512A JP27151289A JPH03134600A JP H03134600 A JPH03134600 A JP H03134600A JP 1271512 A JP1271512 A JP 1271512A JP 27151289 A JP27151289 A JP 27151289A JP H03134600 A JPH03134600 A JP H03134600A
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- JP
- Japan
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- electron beam
- terminal
- grid
- electron
- irradiation device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、被処理物に電子線を照射して、架橋・硬化等
の処理をおこなう電子線照射装置のターミナルに関する
ものである。
の処理をおこなう電子線照射装置のターミナルに関する
ものである。
第６図は従来の電子線照射装置における電子線発生部の
概略断面図である。電子線発生部１０は、電子線を発生
する円筒状のターミナル１と、ターミナル１によって発
生した電子線を加速する電子加速管２と、電子線を被処
理物に照射する照射窓３とを含むものである。
概略断面図である。電子線発生部１０は、電子線を発生
する円筒状のターミナル１と、ターミナル１によって発
生した電子線を加速する電子加速管２と、電子線を被処
理物に照射する照射窓３とを含むものである。
ターミナルｌは、電子源であるフィラメント（たとえば
、線状陰極）１１と、フィラメント１１を支持するガン
構造体１２と、フィラメント１１を支持したガン構造体
１２を収納する円筒状のケース１３と、ケース１３の側
面に設けられた綱目状のグリッド５４と力）らなる。
、線状陰極）１１と、フィラメント１１を支持するガン
構造体１２と、フィラメント１１を支持したガン構造体
１２を収納する円筒状のケース１３と、ケース１３の側
面に設けられた綱目状のグリッド５４と力）らなる。
図示しない電源装置により、フィラメント１１とガン構
造体１２及びグリッド５４との間にグリッド電圧が印加
され、ガン構造体１２と照射窓３との間に加速用電圧が
印加されると、フィラメント１１によって発生した電子
線１５は、電子加速管２の加速空間４で加速され、照射
窓３の金属箔３ａを介して被処理物に照射される。
造体１２及びグリッド５４との間にグリッド電圧が印加
され、ガン構造体１２と照射窓３との間に加速用電圧が
印加されると、フィラメント１１によって発生した電子
線１５は、電子加速管２の加速空間４で加速され、照射
窓３の金属箔３ａを介して被処理物に照射される。
電子線照射袋１置においては、電子加速管２及びターミ
ナルｌの径（ケース１３の径）は、加速用電圧の値に応
じて大きくなる。第６図は加速用電圧が低い場合を示す
図であるが、加速用電圧が高い場合には、第７図に示す
ようにターミナル１や電子加速管２の径が大きくなると
共に、被処理物に照射する電子線の幅が大きくなるので
、それに伴い照射窓３の開口部３ｂの幅Ｃも大きくなる
。
ナルｌの径（ケース１３の径）は、加速用電圧の値に応
じて大きくなる。第６図は加速用電圧が低い場合を示す
図であるが、加速用電圧が高い場合には、第７図に示す
ようにターミナル１や電子加速管２の径が大きくなると
共に、被処理物に照射する電子線の幅が大きくなるので
、それに伴い照射窓３の開口部３ｂの幅Ｃも大きくなる
。
また、ターミナル１と電子加速管２との径の比であるｂ
Ｈ／ ａ １及びす、／ａｘは加速用電圧に依存して
決まり、一般に電子加速管２の径が大きくなると、ター
ミナル１の径も大きくなる。
Ｈ／ ａ １及びす、／ａｘは加速用電圧に依存して
決まり、一般に電子加速管２の径が大きくなると、ター
ミナル１の径も大きくなる。
フィラメント１１が発した電子は熱電子として浮遊し、
グリッド電圧によって、四方人力に引き寄せられ、その
うち下方に配置した綱目状のグリッド５４を通過したも
のだけが電子線として有効に取り出される。このため電
子線として利用できる電子は、フィラメント１１を遊離
した全電子のうちｄ ＋ ／ ３６０度分だけに止まる
。第７図に示すように加速用電圧が高く、電子加速管２
及びターミナル１が大きい場合にも、第６図に示す中Ｉ
Ｃ・角ｄ１と同じ中心角を持った電子を通過させるため
には、必然的にグリッド５４部分の幅及び照射窓３の開
口部３ｂの幅を大きくしなければならない、ところで、
電子が照射窓３の開口部３ｂに設けられた金属箔３ａを
貫通すると、これにより金属箔３ａの温度が上昇するの
で、金属箔３ａを取着するための取着部材には、金属箔
３ａの昇温を防止するため、たとえば空気や水等による
冷却装置が設けられている。しかしながら、照射窓３の
開口部３ｂの幅Ｃ２が大きくなると、冷却装置によって
金属箔３ａの昇温を防止するのが難しくなり、またその
昇温を防止するには製造コストが嵩むという問題がある
。
グリッド電圧によって、四方人力に引き寄せられ、その
うち下方に配置した綱目状のグリッド５４を通過したも
のだけが電子線として有効に取り出される。このため電
子線として利用できる電子は、フィラメント１１を遊離
した全電子のうちｄ ＋ ／ ３６０度分だけに止まる
。第７図に示すように加速用電圧が高く、電子加速管２
及びターミナル１が大きい場合にも、第６図に示す中Ｉ
Ｃ・角ｄ１と同じ中心角を持った電子を通過させるため
には、必然的にグリッド５４部分の幅及び照射窓３の開
口部３ｂの幅を大きくしなければならない、ところで、
電子が照射窓３の開口部３ｂに設けられた金属箔３ａを
貫通すると、これにより金属箔３ａの温度が上昇するの
で、金属箔３ａを取着するための取着部材には、金属箔
３ａの昇温を防止するため、たとえば空気や水等による
冷却装置が設けられている。しかしながら、照射窓３の
開口部３ｂの幅Ｃ２が大きくなると、冷却装置によって
金属箔３ａの昇温を防止するのが難しくなり、またその
昇温を防止するには製造コストが嵩むという問題がある
。
また、照射する電子線の中心角ｄ、を維持したままで、
かつ照射窓３の開口部３ｂの幅Ｃ３を広げないで、加速
用電圧を高くするには、第８図に示すように電子加速管
２の径のみを大きくして、ターミナル１の径を大きくし
なければよいのであるが、この方法では印加する加速用
電圧に対するｂ ／ ａの一般的な比率が崩れることに
なり、異常放電を誘発するおそれがある。
かつ照射窓３の開口部３ｂの幅Ｃ３を広げないで、加速
用電圧を高くするには、第８図に示すように電子加速管
２の径のみを大きくして、ターミナル１の径を大きくし
なければよいのであるが、この方法では印加する加速用
電圧に対するｂ ／ ａの一般的な比率が崩れることに
なり、異常放電を誘発するおそれがある。
本発明は上記事情に基づいてなされたものであり、加速
用電圧による異常放電を誘発することなく、照射窓の開
口部の幅を小さくすることができる電子線照射装置のタ
ーミナルを提供することを目的とするものである。
用電圧による異常放電を誘発することなく、照射窓の開
口部の幅を小さくすることができる電子線照射装置のタ
ーミナルを提供することを目的とするものである。
上記の目的を達成するための本発明は、電子源であるフ
ィラメントを支持するガン構造体と、該ガン構造体を収
納するケースと、前記フィラメントから電子を取り出す
ために前記ケースの側面に設けられた綱目状のグリッド
とを有する電子線照射装置のターミナルにおいて、前記
グリッドは前記ケースの内側に凹んだ状態で設けられて
むすることを特徴とするものである。
ィラメントを支持するガン構造体と、該ガン構造体を収
納するケースと、前記フィラメントから電子を取り出す
ために前記ケースの側面に設けられた綱目状のグリッド
とを有する電子線照射装置のターミナルにおいて、前記
グリッドは前記ケースの内側に凹んだ状態で設けられて
むすることを特徴とするものである。
本発明は前記の構成によって、本来同心円上に発生する
等電位曲線がグリ・ノドの真下におむ１てフィラメント
方向に食い込んだ形状になるため、等電位曲線に対して
垂直に進もうとする電子は、電子線の照射中心方向に集
束するようになる。これにより、照射窓の開口部の幅を
従来のものよりも、小さくすることができる。
等電位曲線がグリ・ノドの真下におむ１てフィラメント
方向に食い込んだ形状になるため、等電位曲線に対して
垂直に進もうとする電子は、電子線の照射中心方向に集
束するようになる。これにより、照射窓の開口部の幅を
従来のものよりも、小さくすることができる。
以下に本発明の一実施例を第１図乃至第５図を参照して
説明する。第１図は本発明の一実施例である電子線照射
装置の電子線発生部の概略断面図、第２図は本発明の一
実施例である電子線照射装置の概略断面図である。電子
線照射装置はカーテン状の電子線を発生する電子線発生
部ｌＯと、被処理物に電子線を照射する照射空間を存す
る搬送路２０と、電子加速管２の加速空間と搬送路２０
内の処理雲囲気とを仕切る金属箔３ａを有する照射窓３
とを備える。尚、電子加速管２や搬送路２０の側壁等に
はＸ線が外部へ漏出するのを防ぐために、鉛等の金属ｐ
ｂによりＸ線遮蔽が施されている。
説明する。第１図は本発明の一実施例である電子線照射
装置の電子線発生部の概略断面図、第２図は本発明の一
実施例である電子線照射装置の概略断面図である。電子
線照射装置はカーテン状の電子線を発生する電子線発生
部ｌＯと、被処理物に電子線を照射する照射空間を存す
る搬送路２０と、電子加速管２の加速空間と搬送路２０
内の処理雲囲気とを仕切る金属箔３ａを有する照射窓３
とを備える。尚、電子加速管２や搬送路２０の側壁等に
はＸ線が外部へ漏出するのを防ぐために、鉛等の金属ｐ
ｂによりＸ線遮蔽が施されている。
第３図は円筒状のターミナル１の拡大断面図であり、第
４図はその底面図である。第３図に示すように本実施例
のターミナル１は、綱目状のグリッド１４の断面形状が
円弧状に形成され、円筒状のケース１３の内側に凹んだ
状態で設けられている。また、第７図に示す従来の電子
線照射装置と同じ加速用電圧を必要とする場合には、照
射角りが同図に示す照射角ｄ２と同し若しくはそれ以上
の値となるように、グリッド１４の幅Ｅを形成する。尚
、図示しないが、照射窓３の近傍は電子線が貫通する際
の金属Ｆ！３ａの昇温を防止するために水冷されている
。また、本実施例において、従来のものと同一の機能を
有するものには、同一の符号を付することにより、その
詳細な説明を省略する。
４図はその底面図である。第３図に示すように本実施例
のターミナル１は、綱目状のグリッド１４の断面形状が
円弧状に形成され、円筒状のケース１３の内側に凹んだ
状態で設けられている。また、第７図に示す従来の電子
線照射装置と同じ加速用電圧を必要とする場合には、照
射角りが同図に示す照射角ｄ２と同し若しくはそれ以上
の値となるように、グリッド１４の幅Ｅを形成する。尚
、図示しないが、照射窓３の近傍は電子線が貫通する際
の金属Ｆ！３ａの昇温を防止するために水冷されている
。また、本実施例において、従来のものと同一の機能を
有するものには、同一の符号を付することにより、その
詳細な説明を省略する。
図示しない電源装置により、フィラメント１１とガン構
造体１２及びグリッド１４との間にグリッド電圧が印加
され、ガン構造体１２と照射窓３との間に加速用電圧が
印加されると、フィラメント１１によって発生した電子
線１５は、電子加速管２の加速空間４で加速され、照射
窓３の金属箔３ａを介して被処理物へに照射される。
造体１２及びグリッド１４との間にグリッド電圧が印加
され、ガン構造体１２と照射窓３との間に加速用電圧が
印加されると、フィラメント１１によって発生した電子
線１５は、電子加速管２の加速空間４で加速され、照射
窓３の金属箔３ａを介して被処理物へに照射される。
ところで、従来の電子線照射装置のグリッド５４はその
断面が平面状に形成されていたが、本実施例のグリッド
１４はその断面が円弧状に形成され、ケース１３の内側
に凹んだ状態で設けられている。このため、本来、フィ
ラメント１１を中心にして同心円状に発生する等電位曲
線が、第１図に示すようにグリッド１４の真下に於いて
フィラメント１１方向に食い込むような形となる。この
ため、等電位曲線に対して垂直に進もうとする電子は、
第１図の点線で示すように電子線の照射中心方向に集束
するようにして進行する。したがって、加速用電圧が同
しである場合には、従来の電子線照射装置に比べて、タ
ーミナル１からの電子属箔３ａの昇温を防止するための
水等を用いた冷却装置の構造が簡易なものになる。
断面が平面状に形成されていたが、本実施例のグリッド
１４はその断面が円弧状に形成され、ケース１３の内側
に凹んだ状態で設けられている。このため、本来、フィ
ラメント１１を中心にして同心円状に発生する等電位曲
線が、第１図に示すようにグリッド１４の真下に於いて
フィラメント１１方向に食い込むような形となる。この
ため、等電位曲線に対して垂直に進もうとする電子は、
第１図の点線で示すように電子線の照射中心方向に集束
するようにして進行する。したがって、加速用電圧が同
しである場合には、従来の電子線照射装置に比べて、タ
ーミナル１からの電子属箔３ａの昇温を防止するための
水等を用いた冷却装置の構造が簡易なものになる。
上記の実施例によれば、加速用電圧が同じである場合に
は、従来の電子線照射装置に比べて、照射窓３の開口部
３ｂの幅Ｃを狭く形成することができるので、従来の電
子線照射装置に比べて照射窓３の金属箔３ａを取着する
ための取着部材の冷却装置が簡易な構造でよく、かつ装
置を廉価なものとすることができる。
は、従来の電子線照射装置に比べて、照射窓３の開口部
３ｂの幅Ｃを狭く形成することができるので、従来の電
子線照射装置に比べて照射窓３の金属箔３ａを取着する
ための取着部材の冷却装置が簡易な構造でよく、かつ装
置を廉価なものとすることができる。
尚、上記の実施例では、グリッド１４の断面形状が円弧
状に形成されている場合について説明したが、これは複
数の平面を組み合わせることにより略円弧状になるよう
に形成してもよい。
状に形成されている場合について説明したが、これは複
数の平面を組み合わせることにより略円弧状になるよう
に形成してもよい。
第５図は上記実施例の変形例を示す電子線発生部の概略
断面図である。第５閏に示す本変形例のターミナルが第
１図に示す電子線発生部のターミナルと異なる点は、本
変形例のターミナルでは、断面形状が平面状に形成され
たグリッド２４がケース１３の中心方向に凹んだ状態で
設けられてい装置のターミナルと同様の作用・効果を奏
する。
断面図である。第５閏に示す本変形例のターミナルが第
１図に示す電子線発生部のターミナルと異なる点は、本
変形例のターミナルでは、断面形状が平面状に形成され
たグリッド２４がケース１３の中心方向に凹んだ状態で
設けられてい装置のターミナルと同様の作用・効果を奏
する。
したがって、本変形例でも、たとえば第７図に示す加速
用電圧と同等の加速用電圧を必要とする場合に、異常放
電を防止するためにターミナル１の径（ケースの径）と
電子加速管２の径との比は同図に示す従来の電子線照射
装置と同しに形成するが、照射窓３の開口部３ｂの幅Ｃ
は同図に示す照射窓３の開口部３ｂの幅ｃ２よりも、小
さくすることができる。
用電圧と同等の加速用電圧を必要とする場合に、異常放
電を防止するためにターミナル１の径（ケースの径）と
電子加速管２の径との比は同図に示す従来の電子線照射
装置と同しに形成するが、照射窓３の開口部３ｂの幅Ｃ
は同図に示す照射窓３の開口部３ｂの幅ｃ２よりも、小
さくすることができる。
尚、ターミナル１のケース１３とグリッド１４又はグリ
ッド２４との接合部分は、異常放電を防止するために、
急激な折り曲げをせずに穏やかな曲面状に形成すること
が好ましい。
ッド２４との接合部分は、異常放電を防止するために、
急激な折り曲げをせずに穏やかな曲面状に形成すること
が好ましい。
以上説明したように本発明によれば、グリッドることな
く、照射窓の開口部の幅を小さくすることができる電子
線照射装置のターミナルを提供することができる。
く、照射窓の開口部の幅を小さくすることができる電子
線照射装置のターミナルを提供することができる。
第１図は本発明の一実施例である電子線照射装置の電子
線発生部の概略断面図、第２図は本発明の一実施例であ
る電子線照射装置の概略断面図、第３図はターミナルの
拡大断面図であり、第４図はその底面図、第５図は上記
実施例の変形例を示す電子線発生部の概略断面図、第６
図乃至第８図は従来の電子線照射装置における電子線発
生部の概略断面図である。 １・・・ターミナル、２・・・電子加速管、３・・・照
射窓、３ａ・・・金属箔、３ｂ・・・開口源４・・・照
射空間、１０・・・電子線発生部、１１・・・フィラメ
ント、１２・・・ガン構造体、１３・・・ケース、１４
．２４・・・グリッド、２０・・・搬送路、Ａ・・・被
処理物。
線発生部の概略断面図、第２図は本発明の一実施例であ
る電子線照射装置の概略断面図、第３図はターミナルの
拡大断面図であり、第４図はその底面図、第５図は上記
実施例の変形例を示す電子線発生部の概略断面図、第６
図乃至第８図は従来の電子線照射装置における電子線発
生部の概略断面図である。 １・・・ターミナル、２・・・電子加速管、３・・・照
射窓、３ａ・・・金属箔、３ｂ・・・開口源４・・・照
射空間、１０・・・電子線発生部、１１・・・フィラメ
ント、１２・・・ガン構造体、１３・・・ケース、１４
．２４・・・グリッド、２０・・・搬送路、Ａ・・・被
処理物。
Claims (1)
- 電子源であるフィラメントを支持するガン構造体と、該
ガン構造体を収納するケースと、前記フィラメントから
電子を取り出すために前記ケースの側面に設けられた綱
目状のグリッドとを有する電子線照射装置のターミナル
において、前記グリッドは前記ケースの内側に凹んだ状
態で設けられていることを特徴とする電子線照射装置の
ターミナル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1271512A JPH03134600A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 電子線照射装置のターミナル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1271512A JPH03134600A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 電子線照射装置のターミナル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03134600A true JPH03134600A (ja) | 1991-06-07 |
Family
ID=17501105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1271512A Pending JPH03134600A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 電子線照射装置のターミナル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03134600A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006201046A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Nhv Corporation | 電子線照射装置 |
| JP2014526037A (ja) * | 2011-07-04 | 2014-10-02 | テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニム | 電子ビーム装置および電子ビーム装置を製造する方法 |
-
1989
- 1989-10-20 JP JP1271512A patent/JPH03134600A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006201046A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Nhv Corporation | 電子線照射装置 |
| JP2014526037A (ja) * | 2011-07-04 | 2014-10-02 | テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニム | 電子ビーム装置および電子ビーム装置を製造する方法 |
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