JPH03135703A - 基板へ被着物を被着する方法および測光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、特許請求の範囲第１項の上位概念に記載の基
板に被着物を仮着する方法２、特許請求の範囲第６項の
上位概念に記載の側光装置に関する。

この形式の対象物は殊に、ドイツ連邦共和国荷肝公開第
２６２７７５３号公報によって公知でるる。こ２’Ｌ　
ｔで公知の方法では測定乃至評価は、装置の光字的おＬ
び／ｌたは電気的な側において、所祠基単光線における
連続的！ｆｃは断続的な比較に基づいて行なわｎた。例
えば測定光ＭＡの一部が、部分透過性の腕に工うて分Ｉ
ｌｌちれかつ轡別な基単元受イと器に供ｆＩｊ１１Ｇる
。このようにして測定九諒の輝度変動が大輪に袖慣括れ
た（ドイツ連邦共和国籍許公開第２６２７７５３号公報
）。しかしこの場合２つの元５２伯器の時性において異
なりｆｃ臀性凹巌乃主＾なった動作点が生じることによ
る影臀が残る。

更に、分割さｎｆｃ基革元＋１１！−、複畝回転向させ
かつｖＬ糸に反射名＜九後、本来の飼定元巌と同じ光受
信話に供給することが公知でめる０こ扛は、チョッパ操
作に基づいて父互に行なわれるので、元受便器の出力側
において相応に読出して絆１曲回路に工つて、この工う
に＃−賊さｎる、別個のパル／クリを所望の禰慣効釆ｔ
オ慮して評価することかでさる。その際２つのパルス列
に対して同じＮ幅器を使用して、２つの別個の増幅器だ
と異なった増幅特性乃至特性曲線を有するという欠点を
排除することも公知である。

しかしこｒＬまで公知のすべての方法は、所謂相対測定
結果、即ち所定の基準値との比較においてのみ表わすこ
とができる結果しか出せない点で共通している。例えは
測定対象物の反射および／または透過のスペクトル分亜
が検出されると、理想の特性が仮想さｎているパターン
との比較によりのみ、測定対象物のパターンとのずれに
関する基準、即ちパターンに対する相対的な差＾が形成
さｎる。

操作者にとって比較対象物（パターン）なしには検出し
得ないことだが、スペクトル内の個別測定により絶対測
定値を得ることが出来たとじても、このことは測定光の
別の波長における測定乃至選択さｎた所定のスペクトル
範囲を越えた測定に対しては必ずしも当吠らない。この
ことの理由は、一方においては最初多色の測定光の個々
の波長において５！１度分布が柚々＾なることで必り、
かつ他方においてこの測定目的のためにこれまで使用さ
れた増幅器の特性曲線の直線性が不十分であることにも
める。

従って本発明の課題は、任意の層厚に被着された対象物
の透過特性に対する絶対値の測定および指示が可能であ
ｐｌしかも例えば対象物のスペクトル特性を絶対値’を
有する曲線の形式において表示できるように、使用の測
定光の個々の波長に対しても一違択的に一所足のスペク
トルに対しても可能で少るようにした、冒頭に述べた形
式の方法および装置を提供することで套る。

この課題は、冒頭に述べた形式の方法において本発明に
より、特許請求の範囲第１項の特徴部分に記載の構成お
よび冒頭に述べた形式の装置において特許請求の範囲第
３．ＬＪ（の特徴部分に記載の構成によりて解決さする
。

この場合、増ｍ度Ｇに対するｔＶｔ性曲嶽０直線性が極
めてム喪でりジ、その除轡性凹臘は最高２％、Ｍ判には
１％の偏差で少なくとも１０”にわたってリニヤでなけ
ればならない。この徳の増幅器は、例えば短絡作動にお
いて動作するシリコン−ホトセルお工び水蟲で安定化さ
ｎたロック−イン−増幅器の使用によって形成すること
ができる。

この形式のＮ−装置によって、１％（絶対パーセント）
より小さな誤差しか有しない１０′にわたる測光装置の
［ｌｓ性を可能にすることができる。この形式の増幅器
の使用は決してめりさたりでなく、籍に従来適用されて
！ｋｆｃ相対測定方法においてはこの形式の強い必要性
は存在せず、認識されてもいなかった。

増幅器の選択は、相互に者しい、即ち可能な成人の間隔
を有するａｇｌの比較値工、および第２の比較値工。の
形成と因果関係がめる。Ｐｆｒ絹比較値は、光受偏器に
当たる測定光縁部分の漠度値でめり、その際この部分は
、後で史に説明するように、０％と１００％の間′ｆ：
変動する。

上記の比較値は、測定過程、即′ｃ）装置の目盛較正に
対して貞要でるる。装置は２Ｆ８．−目盛較正によって
調整される。その際透過測定の場合、工りに対する第１
の目盛較正点（ｉ−検出するために、光路に検量ガラス
が配置さｎない。即ち測定光線は減衰されず、そのエネ
ルギーは光受信器において札＝ｉｏｏ％でるるか、或い
は光路に被着さ扛ていない検査ガラスが挿入もｎる。

使用の検量ガラスの周知の屈折率によって、所定の透過
率、例えは屈折率ｎ＝１．５に対して工、＝９２チが生
じる。

ｗＪ２の比較値工。は同様、光受信器に到来する強度に
関するものだが、その際強直は極めて低くかつ最％有利
な場合にはＯでｂる。第２の比較値ＩＯ得るために、透
過測定に２いては増幅器入力側がアースに接続さｎるか
または所鯖完全遮光板が光路に挿入される。１児全遮光
板”とは、光を透過せずおよび／ｌたは反射する不透明
体でおる。最も藺単な場合には、屍消し０表面を有する
移動可乾に文系さｎた黒板でろる。

反射の残りをすべて抑圧するために、熱板は有利にｒｊ
、文に、少なくとも１つの表面が光路に対して角度をな
して延在するよりに楔形に形成される。

上述の説明から、比較値工、およびＩＯが相互に着しい
間隔を有することになる。この間隔は更に、被着されて
いない検査ガラスに関連付けられた、増幅器の増幅度Ｇ
を、第１の比較値工りが実質的に最大になるまで誦める
（ＧＬ）ことによって拡大されかつ測定値が出来るだげ
正確な指示が行なわれるよりに評価される。この仁とは
、増幅器が飽和領域に達することなく、第１の比較値工
りを出来るだけ大さくしたいことを意味する。

本発明は、２つの点によって直租が確足場ｎるという考
えに基づいている。第１の比較値と第２の比較値との間
隔に基ついて必要な直線性が、上記の特性を有する増幅
器を用いさえすれば得られる。

所属の波長＆′Ｃ従って、場合によっては波長にも依存
して、値ＧＬ、工、およびＩＯ曲線表示として記憶する
ことによって、当該の値は如例なる場合も駐算ユニット
によって続出されかつマイクロプロセッサの＃算操作に
よって、ｎ層さｎたまたは被着過程にるる対象物の測定
値Ｉｍと数字的に関係付けられる。装置の目Ｉ＆較正に
ついては既に説明したが、次に峡終的な測定値の形成に
関して詳述ｌする。目Ｉ＆較正後−波長に依存して一工
ＬｒＣ対する値（その都度の可能な敢大値）および工。

に対する（ｉが、４＆涜ぢれていない検査ガラスに対す
るＮ＠度ＧＬに対する値同様に記憶さｎている。増Ｉｌ
！ｌ装置に自明のことながらスペクトル全体にわたって
一定でない。増＠直はむしろ、測定光線の可視光線のス
ペクトル領域の中央にお匹て丁度最小値Ｔ、／Ｆｆする
。というのに、卸ち測定光線のスペクトル装置がこの個
所において蛾大値をＮ−ｊるかうでるる。さてｔｆ１１
１ｉ１回路の針具ユニットによって自助的に行なわｎる
ことだが、′ｉ４１の比軟値工、が厳大の可能値にセッ
トされると、実質的に工りに対する不変の値が生じるが
、九に対しては生じない。このことは丈に恢に、ダイヤ
グラムに基づいて詳細に説明する。

さて、ＧＬに対して記憶ちれていた値がＵＳユニットに
よって続出され、かつ次の式に基づいてりｗヤな領域に
おいて変化する増幅度Ｇが形成される。即ち Ｇ＝ｅ−・ＴＬ 引続いて測定値工ｍとその都度の増鴨度Ｇとから成る積
がその都度の成長に対応させて形成される。

工、および工。に対して記憶されている値並びに工に対
する値が針具ユニットによって読出される。

絶対透過値Ｔに対して （０と１との間のディメンションのない数字として） この場合、 工＝光受信器において測定され九億工ｍを増輌度Ｇによ
って９Ｉ７！鼻した、被潰さｎた対象物の測定値、 ＴＬ工Ｍｉｉされ１いないｍ食ガラスの透過１直、また
は検査ガラスが設けらｎていない場合は１．０である さて、この礪合ｌ！ｌＩ像スクリーンを用いてグラフィ
ックの形式でまたはプリンクまたはデジタル指示表ｒｉ
ｔを用いて数値として表示することができる絶対透過値
Ｔでるる。当職の値およびＨ線は−それ自体で既に一当
区の対象物の光学特性を完全に表示しておりかつパター
ンとの比較測定を必要としない。

このことは、−既述のように一瑠Ｉｌｌ！器の使用によ
って、光受傷器の出力側における１ｆ！ｉ号お工び増鴨
度が、１００何乗ρ為にわ九って直組的な関係にめる工
うにしたときにのみ可能でめる。

光受信器において測定される、増幅度によりて乗算さｎ
た被着ちれている対象物の測定値工を同様メモリに記憶
することは必ずしも必要でない。装置の目ｉ較正後直ち
に、−り定値工金上記の打算操作によりて変洪しかり指
示することができる。しかし測足値工を同様メモリに記
憶し、種々異なった針′Ｘ操作に対してまたは後の時点
においても絖出すことがでさるようにすると特に有利で
ある。

本発明の別の有利な実施例および殊に測光装置の有利な
個々の実施例は、脣許請求の範囲の実施態様項から明ら
かである。

次に不発明を図示の実施例を用いて計測に説明する。

第１図には、Ｊｃ窒需庸裟直鷹たは陽極スパッタリング
装置として構成することができるＸｇ！−被着装置ｌｌ
が図示さｎている。板層材料の発生源（蒸発器ｌ九はス
パッタリング陽極）は、図示されていない。りｌシこル
らは公知でりる０＾窒−被着装置に、＾全血２が所属す
る。真窒嵐は、透光性の窓３お工び４に備えている。真
臣昆２には、最初葦だ被着さルていな１ｖ−ｈ検査ガラ
ス５が配直さｎている。測定対象物と見做される検査ガ
ラスは、具ｇ！、ヱ２において同時にまたは順次に被着
することができる複数の対象物を代表して図示ざｎてい
る。層に対する支持体は基板とも称１ｎ１かり測定を基
板で行なうことも、特別な検査ガラスで行な９こともで
きる。

被着方法は実際には大抵検量ガラスを用いて監視される
ので、この場合は検査ガラスと関連付けて説明する。通
例は検量ガラスの執域に設げらｎる基板保持体も、図示
さｎていない。

臭空室２の外側に、光源６が配置さルており、光源から
測定光線１の束が窓３および４の方向において延びてい
る。測定光線１に、光路８を規定する。光Ｔｌ６８には
まず４５°の角度において一方の側が透明な鋺９が配置
さｎて−る。光路８にはその他に集束レンズ１０が設け
られている。この場合、反射測定に対して窓３が、そこ
から出る反射光が光路８に反射することがないように斜
めに組込まれていることがＩＬ貴でろる。

窓３の後方において測定元庫Ｔは検量ガラス５に当たり
、その際（最初）測定光の極めて僅かな部分が反ＪｊＲ
劇定先組７ａとして部分透光性の鏡９１で反射される。

この−合は反射測定でるる。このために検査ガラス５は
平らな前面５ａｔ−Ｖするが、前面５＆で反射された尤
のみが鋺９に戻るふうに、粗面化された面、即ち散乱す
る皿面５ｂを有する。

鏡９において、残っている測定先組１ａが９０°の角度
で反射されかつそれから調節可能なモノクロメータ１１
に当たる。モノクロメータ１１を介して、モノクロメー
タにおいてセットさｎている波長ｔ−Ｗする測定元機部
分のみが、光受信器１２の方向に２いて透過ちれる。こ
の場合はシリコン光受信器でめり、その出力１ｕｌｌは
図示さｎていない評価回路を介して指示装置１３に接続
されている。

図示の装置においては、測定光線１が検査ガラス５に絶
対的に垂直に当たることがム貴でりる。というのは垂直
からずれる度に、反射特性に関して制御できない状Ｍｔ
−来たすからでめる。

光源６から見て急４の後方に、モノクロメータ１１と同
じｍ能を有する別のモノクロメータ１４が配濾烙几てい
る。モノクロメータとして、干渉フィルタ、干渉グラブ
ユニライドフィルタまたは格子モノクロメータが使用嘔
れる。干渉グラブユニライドフィルタ並びに格子モノク
ロメータの透過波量は、ステップモータを用いて変える
ことができるが、藺単にするためステップモータはここ
では図示されていない。

検査ガラス５の後方に残る測定光線は、破紛７ｂによっ
て図示さｎている。この場合はｉ′ｊ′ｒ鯖透過測定で
める。即ち検量ガラス５′５を透過した、也ＩＪ定九部
分は、モノクロメータｒ介して所定の波長嶽の光として
光受信器１５に達する。この光受信器は、光受信器１２
と同じ軸性全Ｍする。

この光受信器の出力側は、同じく図示石れていない評価
回路を介して指示表直に徽枕名ｎている。

ｍ食ガラス５ｒＸ、透過測定に対しては、２つの平坦な
、即ち平滑な表面を有する。検査ガラスは、旨頴に述べ
た実施例に工れば、透過測定において目！ｉ＆較正の間
取除くこともでき、その結果数パーセントだけ大きな元
部分が光受ｇＩ器１５に達する。

第１図には更に、２りの完全遮光板１７＆および１７ｂ
が図示されている。しかし測定のためにはその都度こｎ
らのうち一方のみが心安でるる。−測定を回避するため
に、斜めに組込まれた窓３を使用する場合にはこの完全
遮光板は完全遮光板１７ａとして、即ちＶンズ１０と窓
３との間に挿入されなければならないか或いは完全遮光
板は完全遮光板１７１）として検査ガラ２ｓ０厘削に、
即ちｇ４と検査ガラス５との間に配置されなければなら
ない。完全遮光板は上記の位置において必要でろる。と
ｉうのは反射は検査ガラス乃至測定対［ｗにおいてのみ
行なわれるのではなく、斜めに使用することができない
レンズでも行なわｔしるからでるる。

帛２の比較値工。の測定の除２りの完全遮光板１７ａ１
７′ｃは１７ｂのシち一方が、図示の矢印の方向におい
て光路８に挿入され、その結果測定光線の大部分の吸収
が行なわｎる。既述のように完全遮光板は有利には、光
の吸収を最大に行なう喫形の艷消し黒板からなる〇 第２図において、第１図と同じ部分には同じ奇号が付げ
らｎている。２つの光受信器１２および１５の出力側は
、切換スイッチ１８に接続筋れている。図示の切換位置
においては透過測定が行なわれ、別の位置への切侯後元
受ｇＩ器１５を用いた反射測定全実施することができる
。

切換スイッチ１８から線１９が制御可能な増幅器２０に
４かれている。この増ｌ１ｆｉｌ器は、上記の荷性七有
する。所定のｐＩＩ暢度ＧＬを設定するために、増幅器
２０に線２１金介して発生番２２がＡｉｌ置装続さｎて
いる。免生器の出力側は巌２３ｔ−弁して増幅度ＧＬ金
記憶するためのメモリ２４に接続さｎている。その際増
ｌ１ｌｉ！腿は仮着δｔ′していない横置ガラスにおい
て（または検査ガラスが設けられていない除に）既述し
たよシｖｃ第１の比較値工りを最大化したとぎに不めら
ｎたものでるる。

珈暢器ｌυの出刃物から線２５が切換スイッチ２６に通
じている。切換スイッチの出力１１１ｒｊ。

！２７．２８および２９を介してメモリ３０゜３１およ
び３２に接続されている。メモリ３０に、最大可能な増
幅において増幅器が飽和領域ｒｃ陥入ることなしに求め
らｉＬ九第１の比較値工。

に対する記憶の九めに用いられる。メモリ３１は、完全
遮光板を用いて（ま−ｆｃは、相応に、増幅器入力側の
接地によって）得られかつ第１の比較値工、と同じ増幅
度ＧＬによりてＮｉ暢さ匹た′１ＰＩ２の比較１１工。

全記憶するために用いらルる。

メモリ３２は、被着された対象物が光受信器において測
定さｎたその本来の（１１１定値工ｔ−記憶するために
用いられる。

全部のメモリ２４，３０．３１および３２は、相応のＩ
ｗｆｔ介して絆価回ｗ＆３３に接続６ｒしている。評価
回路には、既述の訂３！を行なうｉ！′を其ユニットが
図示されてはいないが設けらｎている。

評価回路３３から、制＃巌３４が２りのモノクロメータ
１１および１４に、これらが所定の波長に設定されるか
または所定の狭長スペクトル金カバーするために市１」
御ちｎるように、導ρ為ｎている。帰還路３５が、増幅
度発生器２２に導か八ている。このようにして、評価回
路３３によって増Ｉｉ＠ｉ１度がまさに第１の比較値几
が増−器２０が飽和狽域に移行する前に肝容値に達する
程度に萬く選択ちｎるようにできる。

評価回路３３は、線３６を介して指示装置１３に接続さ
扛ている。指示装置はＩ［ｌｌ像スクリーンとして図示
されているが、力えは所定の波長において咄−の測定１
区の；９−を指示ることがｉ女でるるときは、座標−６
己録装置、プリンタまたはデジタル指示装置を代わりに
使用するこもできる。

第６図では、＠座惺が波長全示し、−刀帳座標には第１
の比較値および第２の比較値並びに増幅度ＧＬが経過に
応じて図示δｎでいる。測定原理のみを明らかにすｎは
よいので、測定単位は省略嘔ｎている。第１の比較値工
、に対する曲線３６は、相応の増幅による保持により殆
んど水平方向に延びていることがわかる。大体類似の経
過を、第２の比較値工。に対する曲線３Ｔも有する。こ
ｎに対して全く別の経過を有するのは工、に対する可能
な最大値ｔ−得るために設定さｎなけｎばならない必要
な増幅度を懺わす、増幅度ＧＬに対する曲［３８でｂる
。この曲線は、囲者な最小値を有する。

ｍ４図において横座握はここでも波長を表わし、一方縦
座標は、被着避ｎている検量ガラスにおいて測光装置出
力側で測定式する測定値工の経過並びに絶対透過Ｔ乃並
反射値Ｒを示す。

曲線３９は、反射乃至透過のスペクトル依存性ｔ−表わ
す測定値工のスペクトル経過を示すが、その際被着方法
の結果の基本的な判断のみを可能にする相対値でしかな
い。しかし既述のｌｉ′ｉ％プロセスに基ついてａａ巌
４Ｏとして、透過乃至反射値Ｔ、Ｈのスペクトル依存度
が絶対値として示される。曲線４０は曲線３９に類似し
ているが、変化する増幅度（第６図のｈ線３８）に基づ
いて相応に校正されており、μｐち曲［３９は絶対曲＃
ＪＩ４０に比べると１歪んでいる”

【図面の簡単な説明】

第１図は、Ａ窒−破着装置に接続さ２″している本発明
の測光装置の実施例の概略金示す図でめり、第２図は評
価回路および指示表直に接続さｎている第１図の装置の
１賛な部分を示す図および所属の回路のグロック図でる
り、第６図に、被着された対象物における第１の比較値
および第２の比較値並びに増幅度の間の関係が、波長に
関連して図示さｎている曲巌図でりり、第４図ｑ工、光
受信器において測定さｎ九、被着さｎた対象物の測定値
と、１−示表はにぶって表示される、絶対透過乃至反射
値とのｇ＠％が、第６図と同じく波長に関して図示塾１
でいる日−図でめる。 １・・・真壁−蒸層装置、ｌ・・・真壁室、５．５＆。 ５ｂ・・・検量ガラス、γ、７ａ、７ｂ・・・測定元−
１１１，１４・・・モノクロメータ、１２．１５・・・
元受ｉｇｉ、１３　、１６−指示装置、１７ａ、１７ｋ
）・・・逃九板、１８．２６・・・切換スイッチ、２０
・・・増幅器、２２・・・増幅度発生器、２４，３Ｌｌ
。 ３１．３２・・・メモリ、３３・・・絆１１１１１に！
２１路、３４・・・１ｅｕｅｔ＋線、３５・・・帰Ｒ路
、Ｇ１・・・増幅度、工、・・・第１の比較値、工。・
・・第２の比較値、工、・・・測定イば、工・・・増幅
ちれた測定値

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、測定光線、前以つて決められた測定光−波長の選択
   に対するモノクロメータ、光受信器、調節可能な増幅器
   および評価回路を使用して、第１の比較値Ｉ＿Ｌ、第２
   の比較値Ｉ＿Ｏおよび被着された対象物の透過特性に対
   する少なくとも１つの測定値を検出することによつて、
   それぞれの測定値を前以つて決められた測定光−波長に
   対応して真空−被着装置において被着される光学的に作
   用する層をその形成期間連続的に厚さ測定しかつ制御す
   る、基板に被着物を被着する方法において、 １．１最高２％の偏差で少なくとも１０＾２にわたつて
   リニヤな特性曲線を有する増幅度 Ｇの調節可能な増幅器を使用し、 １．２　前記増幅度Ｇを対応ける波長において、前記第
   １の比較値Ｉ＿Ｌが前記増幅器のリニヤな領域において
   最大値に達するまで高め、 かつ該最大値およびこのように求められた 所属の増幅度Ｇ＿Ｌをメモリに記憶し、 １．３前記第２の比較値Ｉ＿Ｏ透過形測定において、増
   幅器入力側を遮断するかまたは 測定光線中に完全遮光板を挿入することに よつて形成し、かつ 該第２の比較値Ｉ＿Ｏを、第１の比較値Ｉ＿Ｌと同じ増
   幅度で増幅して別のメモリに記憶 し、その結果その後量Ｇ＿Ｌ、Ｉ＿ＬおよびＩ＿Ｏが所
   属の波長に応じて記憶されているよう にし、かつそれぞれの波長における測定目 的のために １．４Ｇ＿Ｌに対して記憶されている値を計算ユニツト
   によつて脱出しかつリニヤな領域 において変化する増幅度Ｇを次の式 Ｇ＝Ｇ＿Ｌ・Ｔ＿Ｌ に従つて求めかつ引続いてその都度の波長 に対応する、測定値Ｉ＿Ｍとその都度の増幅度Ｇとから
   成る積Ｉを形成しかつＩ＿ＬおよびＩ＿Ｏに対して記憶
   されている値並びにＩに対する値を計算ユニットによつ
   て読出し、その際 絶対透過値Ｔを次の式 Ｔ＝Ｉ−Ｉ＿Ｏ・Ｔ＿Ｌ／Ｉ＿Ｌ−Ｉ＿Ｏ に従つて求め、その際 Ｉ＿Ｍは、光受信器における被着された対象物の測定値
   であり、 Ｉは、被着された対象物の測定値Ｉ＿Ｍに増幅度Ｇを乗
   算した値であり、 Ｔ＿Ｌは、被着されていない検査ガラスの透過値または
   検査ガラスの設けられていない 場合の透過値である、 ことを特徴とする基板の被着方法。 ２、測定値Ｉを同じくメモリに記憶しかつ１．４に に記載。計算操作のため計算ユニットによ りて読出す特許請求の範囲第１項記載の基板に被着物を
   被着する方法。 ３、測定光線を放射するための光源、モノクロメータ、
   光受信器、増幅器および指示装置に対する出力側を有す
   る評価回路および／または調整回路が設けられている、
   基板に被着物を被着する方法を実施する際の層厚測定用
   測光装置において、 ３．１増幅器（２０）はその増幅度に関して、最高２％
   の偏差で少なくとも１０＾２にわたつてリニヤである特
   性曲線を有し、 ６．２光受信器（１５）によりて受信される測定光の強
   度に関する第１の比較値Ｉ＿Ｌを形成するために、光路
   （８）に挿入可能な被着されていない検量ガラス（５）
   が設けられており、３．３同じ光受信器によつて受信さ
   れた測定光の強度に対する第２の比較値Ｉ＿Ｏを形成す
   るために、光路（８）に挿入可能な完全遮光板（１７ｂ
   ）が設けられており、該遮光板は光受信器（１５）に当
   たる測定光を実際に完全に吸収する作用をし、 ３．４第１の比較値Ｉ＿Ｌに対するメモリ（３０）およ
   び第２の比較値Ｉ＿Ｏに対するメモリ（３１）並びに増
   幅度に比例する信号に対するメモリ（２４）が設けられ
   ており、その際２つの比較値に対するメモリ（３０、３
   １）は増幅器（２０）に装置接続されており、および増
   幅度に対するメモリ（２４）は、増幅度発生器（２２）
   に装置接続されており、 ３．５２つの比較値に対するメモリ（３０、３１）およ
   び増幅度に対するメモリ（２４）は、評価回路（３３）
   に所属する計算ユニットに接続されており、 ３、６計算ユニツトは、増幅度がＩ＿Ｌに対する可能な
   最大値に相応して設定可能であるように、増幅度発生器
   （２２）への帰還路（３５）を有し、 ３．７計算ユニットは、メモリ（３０、３１）に存在す
   る第１の比較値および第２の比較値に対する信号並びに
   測定値Ｉから、その都度同じ増幅度に対する絶対透過値
   が検出可能でありかつメモリ（２４）に存在する、増幅
   度Ｇ＿Ｌに対する信号から、第１の比較値に対する透過
   値を考慮して、透過値Ｔ＿Ｌと増幅度Ｇ＿Ｌとの乗算に
   よつて絶対透過値が検出可能であるように構成されてい
   ることを特徴とする測光装置。 ４、増幅器（２０）と計算ユニット（３３）との間に、
   測定値Ｉ＿Ｍに増幅度Ｇを乗算した値Ｉに対する別のメ
   モリ（３２）が設けられている特許請求の範囲第３項記
   載の測光装置。 ５、評価回路（３３）は制御線（３４）を介して、選択
   的に測定光線の所定の波長を設定可能であるかまたは選
   択されたスペクトルをカバー可能でるるように、モノク
   ロメータ（１４）に接続されている特許請求の範囲第３
   項記載の装置。