JPH03138957A - ウエハーの位置決め装置 - Google Patents
ウエハーの位置決め装置Info
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- JPH03138957A JPH03138957A JP1276438A JP27643889A JPH03138957A JP H03138957 A JPH03138957 A JP H03138957A JP 1276438 A JP1276438 A JP 1276438A JP 27643889 A JP27643889 A JP 27643889A JP H03138957 A JPH03138957 A JP H03138957A
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- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、半導体ウェハーの加工処理工程等で使用され
、ウェハーの一部に形成された切欠き部（オリエンテー
ションフラットやノツチ）を基準にして、ウェハーの位
置決めを行うウェハーの位置決め装置に関する。
、ウェハーの一部に形成された切欠き部（オリエンテー
ションフラットやノツチ）を基準にして、ウェハーの位
置決めを行うウェハーの位置決め装置に関する。
〈従来の技術〉
半導体ウェハーを加工或は測定処理する場合、ウェハー
は通常、棚状のカセットに入れられ、そのカセットから
搬送装置により、クエへ〜が一枚づつ取出され、処理装
置のステージに載置されるカセット内のウェハーの切欠
き部位置はランダムであり、処理装置では、ウェハーの
縁部の切欠き部が基準となって位置決めされるため、切
欠き部を一定の位置（例えば、ステージ正面の一定位置
）にするように、ウェハーをステージ上に載置する必要
がある。
は通常、棚状のカセットに入れられ、そのカセットから
搬送装置により、クエへ〜が一枚づつ取出され、処理装
置のステージに載置されるカセット内のウェハーの切欠
き部位置はランダムであり、処理装置では、ウェハーの
縁部の切欠き部が基準となって位置決めされるため、切
欠き部を一定の位置（例えば、ステージ正面の一定位置
）にするように、ウェハーをステージ上に載置する必要
がある。
このため、カセットから取出されたウェハーは、搬送装
置により一旦、位置決め装置に載せられ、ウェハーの切
欠き部を基準とした正確な位置に戦せ変えた後、処理装
置のステージ上に載置される。
置により一旦、位置決め装置に載せられ、ウェハーの切
欠き部を基準とした正確な位置に戦せ変えた後、処理装
置のステージ上に載置される。
このような工程で使用されるウェハーの位置決め装置は
、従来一般に、ウェハーを回転可能に支持すると共に、
ウェハーの周縁部にゴムローラを押し当て、ゴムローラ
を回転駆動することによりウェハーを回し、ウェハーの
切欠き部がゴムローラの随所又は光センサー等の箇所に
達した時、ウェハーの回転を停止し、位置決めする構造
である（例えば、特開昭５．４−１６９８４号公報参照
）〈発明が解決しようとする課題〉 従って、ウェハーが位置決めされる際、ウェハーの周縁
部がゴムローラによって押されて回転し、或は他の部材
に接触して動かされるため、脆弱なウェハーの周縁部が
傷付けられる恐れがあった本発明は、上記の課題を解決
するためになされたもので、ウェハーの周縁部にローラ
等信の部材を全く接触させず、安全に且つ正確にウェハ
ーの位置を、切欠き部を基準に位置決めすることができ
る位置決め装置を提供することを目的とする。
、従来一般に、ウェハーを回転可能に支持すると共に、
ウェハーの周縁部にゴムローラを押し当て、ゴムローラ
を回転駆動することによりウェハーを回し、ウェハーの
切欠き部がゴムローラの随所又は光センサー等の箇所に
達した時、ウェハーの回転を停止し、位置決めする構造
である（例えば、特開昭５．４−１６９８４号公報参照
）〈発明が解決しようとする課題〉 従って、ウェハーが位置決めされる際、ウェハーの周縁
部がゴムローラによって押されて回転し、或は他の部材
に接触して動かされるため、脆弱なウェハーの周縁部が
傷付けられる恐れがあった本発明は、上記の課題を解決
するためになされたもので、ウェハーの周縁部にローラ
等信の部材を全く接触させず、安全に且つ正確にウェハ
ーの位置を、切欠き部を基準に位置決めすることができ
る位置決め装置を提供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
上記の目的を達成するために、本発明のクエへ〜の位置
決め装置は、水平面上のＸ−Ｙ座標におけるＸ軸とＹ軸
方向に取付台を移動させるＸ−Ｙ軸駆動機構と、取付台
上に固定され、ウェハーを水平に挿入するための空間を
有するウェハー挿入部と、ウェハー挿入部に設けられ、
挿入されたウェハーの縁部を検出するために、ウェハー
の周縁部に対応した箇所に一定の間隔で配設された少な
くとも６個の光センサと、ウェハー挿入部の中央に配置
され、挿入されたウェハーの裏面中央に吸着し回転する
回転部と、を備えて構成される。
決め装置は、水平面上のＸ−Ｙ座標におけるＸ軸とＹ軸
方向に取付台を移動させるＸ−Ｙ軸駆動機構と、取付台
上に固定され、ウェハーを水平に挿入するための空間を
有するウェハー挿入部と、ウェハー挿入部に設けられ、
挿入されたウェハーの縁部を検出するために、ウェハー
の周縁部に対応した箇所に一定の間隔で配設された少な
くとも６個の光センサと、ウェハー挿入部の中央に配置
され、挿入されたウェハーの裏面中央に吸着し回転する
回転部と、を備えて構成される。
く作用〉
ウェハーは、専用の搬送装置等のハンドプレート上に載
せて搬送され、位置決め装置のウェハー挿入部内の空間
中央に、水平に挿入される。
せて搬送され、位置決め装置のウェハー挿入部内の空間
中央に、水平に挿入される。
ウェハーがハンドプレート上に載置された状態で、ウェ
ハー挿入部の６個の光センサが作動し、各センサからの
検出１３号に基づき、ウェハー周縁部の検出動作が行わ
れる。そして、Ｘ−Ｙ軸駆動機構が動作し、取付台つま
りウェハー挿入部を、先ず、Ｘ軸方向に往復移動させ、
Ｘ軸についてウェハーとウェハー挿入部の中心位置を合
せるように、位置決めが行われる。
ハー挿入部の６個の光センサが作動し、各センサからの
検出１３号に基づき、ウェハー周縁部の検出動作が行わ
れる。そして、Ｘ−Ｙ軸駆動機構が動作し、取付台つま
りウェハー挿入部を、先ず、Ｘ軸方向に往復移動させ、
Ｘ軸についてウェハーとウェハー挿入部の中心位置を合
せるように、位置決めが行われる。
即ち、先ず、６個の光センサのうちで、ウェハーの縁部
をより多く検出する光センナ側のＸ軸方向に、ウェハー
挿入部が移動し、各光センサがウェハーの縁部を検出し
オフした時点又はオフからオンした時点のＸ座標データ
を測定する。次に、ウェハー挿入部が前と逆方向に移動
し、同様に各光センサがウェハーの縁部を検出してオン
からオフする時点又はオフからオンする時点のＸ座標デ
ータを測定する。そして、各センサがオンからオフ又は
オフからオンする点までの移動量の半分つまり中間位置
まで、ウェハー挿入部が前とは逆方向に移動する。これ
で、Ｘ軸方向の位置決めが完了する。
をより多く検出する光センナ側のＸ軸方向に、ウェハー
挿入部が移動し、各光センサがウェハーの縁部を検出し
オフした時点又はオフからオンした時点のＸ座標データ
を測定する。次に、ウェハー挿入部が前と逆方向に移動
し、同様に各光センサがウェハーの縁部を検出してオン
からオフする時点又はオフからオンする時点のＸ座標デ
ータを測定する。そして、各センサがオンからオフ又は
オフからオンする点までの移動量の半分つまり中間位置
まで、ウェハー挿入部が前とは逆方向に移動する。これ
で、Ｘ軸方向の位置決めが完了する。
なお、ウェハーの切欠き部が光センサの位置にきた場合
、その先センサはウェハーの正しい縁部を検出できない
。このため、各光センサにおける縁部検出点が円周上に
あるか否かを判定し、円周上にない場合、その光センサ
は切欠ぎ部を検出したものとして、その検出信号は無視
し、残りの光センサからの検出信号（座標データ）を用
いてウェハーの位置決めを行う。
、その先センサはウェハーの正しい縁部を検出できない
。このため、各光センサにおける縁部検出点が円周上に
あるか否かを判定し、円周上にない場合、その光センサ
は切欠ぎ部を検出したものとして、その検出信号は無視
し、残りの光センサからの検出信号（座標データ）を用
いてウェハーの位置決めを行う。
次に、６個の光センサのうちで、ウェハーの縁部を検出
できない光センサと反対側のＹ軸方向にウェハー挿入部
が移動し、Ｘ軸の場合と同様に、各光センサがオフから
オン又はオンからオフする時点のＹ座標を測定する。さ
らに、上記と同様にウェハー挿入部が反対側に移動し、
各光センサがオンからオフ又はオフからオンする時点の
Ｙ座標を求め、さらに、ウェハー挿入部が前とは逆方向
に、縁部検出座標点間の半分だけ穆動し、これでＹ軸方
向の位置決めが完了する。
できない光センサと反対側のＹ軸方向にウェハー挿入部
が移動し、Ｘ軸の場合と同様に、各光センサがオフから
オン又はオンからオフする時点のＹ座標を測定する。さ
らに、上記と同様にウェハー挿入部が反対側に移動し、
各光センサがオンからオフ又はオフからオンする時点の
Ｙ座標を求め、さらに、ウェハー挿入部が前とは逆方向
に、縁部検出座標点間の半分だけ穆動し、これでＹ軸方
向の位置決めが完了する。
以上の動作は、ウェハー挿入部（回転部等を含む）のみ
が水平面上のＸ−Ｙ軸方向に穆動じ、ウェハーとの中心
位置合せを行ったものであり、ウェハーを移動させたり
、ウェハーに他の部材を接触させたりしていない。
が水平面上のＸ−Ｙ軸方向に穆動じ、ウェハーとの中心
位置合せを行ったものであり、ウェハーを移動させたり
、ウェハーに他の部材を接触させたりしていない。
そして次に、搬送装置のハントプレートが下がることに
よって、位置合せされたウェハーが回転部上にｅｉ置さ
れ、長石される。次に、回転部が回転することによって
、その上に吸着されたウェハーを回転させ、１個の光セ
ンサがウェハーの切欠き部を検出した時点から、さらに
所定の角度だけ回転させる。これによって、ウェハーの
向きつまり角度位置が一定の位置に位置決めされる。
よって、位置合せされたウェハーが回転部上にｅｉ置さ
れ、長石される。次に、回転部が回転することによって
、その上に吸着されたウェハーを回転させ、１個の光セ
ンサがウェハーの切欠き部を検出した時点から、さらに
所定の角度だけ回転させる。これによって、ウェハーの
向きつまり角度位置が一定の位置に位置決めされる。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図はウェハーの位置決め装置の一部断面を含む正面
図を示している。この位置決め装置は、Ｘ−Ｙ軸駆動機
構１の取付台１８上にロッドフレーム４を介してウェハ
ー挿入部２が水平に固定され、ウェハー挿入部２の中央
に、ウェハーを載せて回転する回転部３が配設されて構
成される。
図を示している。この位置決め装置は、Ｘ−Ｙ軸駆動機
構１の取付台１８上にロッドフレーム４を介してウェハ
ー挿入部２が水平に固定され、ウェハー挿入部２の中央
に、ウェハーを載せて回転する回転部３が配設されて構
成される。
Ｘ−Ｙ軸駆動機構１のベース１１上には、ねじ軸１２を
水平方向（Ｙ軸方向）に軸受を介して取付けると共に５
ステツプモータ１３により回転駆動可能とし、ベース１
１上に２木のガイド軸１４をねじ軸と同じ方向に取付け
、Ｙ軸移動フレーム１５をその上に配設する。そして、
Ｙ軸移動フレーム１５の下部に固定したガイドプロッタ
を両側のガイド軸１４に摺動可能に外嵌させ、めねじブ
ロックのねじ孔が上記ねし軸１２と螺合される。
水平方向（Ｙ軸方向）に軸受を介して取付けると共に５
ステツプモータ１３により回転駆動可能とし、ベース１
１上に２木のガイド軸１４をねじ軸と同じ方向に取付け
、Ｙ軸移動フレーム１５をその上に配設する。そして、
Ｙ軸移動フレーム１５の下部に固定したガイドプロッタ
を両側のガイド軸１４に摺動可能に外嵌させ、めねじブ
ロックのねじ孔が上記ねし軸１２と螺合される。
従って、ステップモータ１３の駆動により、Ｙ軸移動フ
レーム１５は第１図の紙面と垂直方向（Ｙ軸方向）に移
動する。
レーム１５は第１図の紙面と垂直方向（Ｙ軸方向）に移
動する。
Ｙ＠移動フレーム１５上には、ねじ軸１６が水平横方向
（Ｘ軸方向）に軸受を介して取付けられ、このねじ軸１
６はステップモータ１９により回転駆動され、ねじ軸１
６の両側にはガイド軸１７が同方向に固定される。そし
て、ガイドプロッタとめねじブロックを下部に設けた取
付台１８がＹ軸移動フレーム１５上に配設され、そのガ
イドブロックがガイド軸１７上に摺動可能に外嵌され、
めねじブロックがねじ！ｉ［ｌ１１６に螺合する。
（Ｘ軸方向）に軸受を介して取付けられ、このねじ軸１
６はステップモータ１９により回転駆動され、ねじ軸１
６の両側にはガイド軸１７が同方向に固定される。そし
て、ガイドプロッタとめねじブロックを下部に設けた取
付台１８がＹ軸移動フレーム１５上に配設され、そのガ
イドブロックがガイド軸１７上に摺動可能に外嵌され、
めねじブロックがねじ！ｉ［ｌ１１６に螺合する。
従って、ステップモータ１９の駆動により、取付台１８
は第１図の左右方向（Ｘ軸方向）に移動し、ベース１１
上のステップモータ１３の回転駆動により、取付台１８
はＹ軸方向に移動する。
は第１図の左右方向（Ｘ軸方向）に移動し、ベース１１
上のステップモータ１３の回転駆動により、取付台１８
はＹ軸方向に移動する。
取付台１８上には、複数のロッドな縦に配設したロット
フレーム４を介してウェハー挿入部２が水平に固定され
る。
フレーム４を介してウェハー挿入部２が水平に固定され
る。
ウェハー挿入部２は、基板２１上に４本のスペーサ２２
を介してカバー板２３を水平に固定し、その間にウェハ
ー２０を挿入するための空間９を形成して構成される。
を介してカバー板２３を水平に固定し、その間にウェハ
ー２０を挿入するための空間９を形成して構成される。
また、第２図に示すように、基板２１の中央には回転部
３を配置するための開口部が形成される。
３を配置するための開口部が形成される。
ウェハー挿入部２の基板２１には、その空間９に挿入さ
れたウェハー２０の周縁部を検出するための６個の光セ
ンサ２４〜２９が、第２図のよう。
れたウェハー２０の周縁部を検出するための６個の光セ
ンサ２４〜２９が、第２図のよう。
に、正確に挿入されたウェハー２０の周縁部に対応した
円周上に沿って、一定の間隔で配設される即ち、ここで
は、光センサ２４と２７がＸ軸方向の中心軸上の両端対
向位置に配置され、光センサ２４と４５度の間隔で光セ
ンサ２５と２６がウェハー周縁部の対応位置に配置され
、同様に、光センサ２７と４５度の間隔で光センサ２８
と２９がウェハー周縁部の対応位置に配置される。これ
らの光センサは少なくとも６個必要である。
円周上に沿って、一定の間隔で配設される即ち、ここで
は、光センサ２４と２７がＸ軸方向の中心軸上の両端対
向位置に配置され、光センサ２４と４５度の間隔で光セ
ンサ２５と２６がウェハー周縁部の対応位置に配置され
、同様に、光センサ２７と４５度の間隔で光センサ２８
と２９がウェハー周縁部の対応位置に配置される。これ
らの光センサは少なくとも６個必要である。
これらの光センサ２４〜２９は透過型のセンサであるた
め、カバー板２３内の各対向には投光素子８が配設され
るが、反射型の光センサを使用することもできる。
め、カバー板２３内の各対向には投光素子８が配設され
るが、反射型の光センサを使用することもできる。
ウェハー挿入部２の基板２１の中央位置には、回転部３
が回転可能に配設される。回転部３の回転軸３１は下方
に垂直に配設され、ロッドフレーム４に固定された取付
板３２上の軸受３３に支持される。そして、取付板３２
の下側にブラケットを介して固定されたステップモータ
３４に回転軸３１が連結され、ステップモータ３４によ
り回転軸３１を介して回転部３が回転駆動される。３５
は歯車を介して回転＠３１に連係された回転パルス発生
器で、回転部３の回転角度に対応した信号を図示しない
制御装置に８力する。
が回転可能に配設される。回転部３の回転軸３１は下方
に垂直に配設され、ロッドフレーム４に固定された取付
板３２上の軸受３３に支持される。そして、取付板３２
の下側にブラケットを介して固定されたステップモータ
３４に回転軸３１が連結され、ステップモータ３４によ
り回転軸３１を介して回転部３が回転駆動される。３５
は歯車を介して回転＠３１に連係された回転パルス発生
器で、回転部３の回転角度に対応した信号を図示しない
制御装置に８力する。
なお、回転部３の上面には吸着用の吸気孔が穿設され、
回転軸３１内等の管路を介して図示しない吸気装置に接
続される。上記６個の光センサ２４〜２９、及びステッ
プモータ１３．１９、及び３４は、マイクロコンピュー
タを使用した制御装置に接続され、検出信号を送ると共
に、予めメモリに記憶された制御プログラムに基づき駆
動制御される。
回転軸３１内等の管路を介して図示しない吸気装置に接
続される。上記６個の光センサ２４〜２９、及びステッ
プモータ１３．１９、及び３４は、マイクロコンピュー
タを使用した制御装置に接続され、検出信号を送ると共
に、予めメモリに記憶された制御プログラムに基づき駆
動制御される。
次に、上記構成の位置決め装置の動作を説明する。
先ず、ウェハー２０は、専用のカセット等から、搬送装
置等のハンドプレート７に載せて取出され、位置決め装
置のウェハー挿入部２内の空間９の中央に、水平に挿入
される。
置等のハンドプレート７に載せて取出され、位置決め装
置のウェハー挿入部２内の空間９の中央に、水平に挿入
される。
ウェハー２０がハンドプレート７上に＠置された状態で
、ウェハー挿入部２の６個の光センサ２４〜２９が作動
し、各センサからの検出信号に基づき、ウェハー周縁部
の検出動作が行われる。そして、Ｘ−Ｙ軸駆動機構１が
動作し、取付台１８つまりウェハー挿入部２を、先ず、
Ｘ軸方向に往復移動させ、Ｘ軸についてウェハー２０と
ウェハー挿入部２の中心位αを合せるように、位置決め
か行われる。
、ウェハー挿入部２の６個の光センサ２４〜２９が作動
し、各センサからの検出信号に基づき、ウェハー周縁部
の検出動作が行われる。そして、Ｘ−Ｙ軸駆動機構１が
動作し、取付台１８つまりウェハー挿入部２を、先ず、
Ｘ軸方向に往復移動させ、Ｘ軸についてウェハー２０と
ウェハー挿入部２の中心位αを合せるように、位置決め
か行われる。
例えば、第３図のように、ウェハー２０が正しい中心位
置０から、図の斜め右上のＰ位置（挿入されたウェハー
２０の中心位置）にずれて挿入されたと仮定する。
置０から、図の斜め右上のＰ位置（挿入されたウェハー
２０の中心位置）にずれて挿入されたと仮定する。
この場合、先ず、６個の光センサのうちで、ウェハーの
縁部をより多く検出する光センサ２７．２８．２９側の
Ｘ軸方向く図の右方向）に、Ｘ・Ｙ軸駆動機構１が作動
してウェハー挿入部２を移動させ、各光センサ２７．２
８．２９がウェハー２０の縁部を検出しオンからオフす
るた時点のＸ座標データを測定する。また、オフしてい
た左側の光センサ２４．２６がオフからオンする時点の
Ｘ座標データを測定する。
縁部をより多く検出する光センサ２７．２８．２９側の
Ｘ軸方向く図の右方向）に、Ｘ・Ｙ軸駆動機構１が作動
してウェハー挿入部２を移動させ、各光センサ２７．２
８．２９がウェハー２０の縁部を検出しオンからオフす
るた時点のＸ座標データを測定する。また、オフしてい
た左側の光センサ２４．２６がオフからオンする時点の
Ｘ座標データを測定する。
さらに、Ｘ−Ｙ軸駆動機構１の駆動により、ウェハー挿
入部２が前と逆方向（図の左方向）に穆動じ、上記と同
様に、各光センサ２７．２８．２９がウェハー２０の縁
部を検出しオフからオンする時点のＸ座標データを測定
、光センサ２４．２５．２６がオンからオフする時点の
Ｘ座標を測定する。
入部２が前と逆方向（図の左方向）に穆動じ、上記と同
様に、各光センサ２７．２８．２９がウェハー２０の縁
部を検出しオフからオンする時点のＸ座標データを測定
、光センサ２４．２５．２６がオンからオフする時点の
Ｘ座標を測定する。
次に、再びそれと逆方向（右方向）に、前回の移動量の
半分つまり中間位置まで戻るように、ウェハー挿入部２
が移動する。これで、ウェハー挿入部２（回転部３）の
中心位ｇｏがウェハー２０の中心Ｐを通るＹ方向の線上
に達し、Ｘ軸方向の位置決めが完了する。
半分つまり中間位置まで戻るように、ウェハー挿入部２
が移動する。これで、ウェハー挿入部２（回転部３）の
中心位ｇｏがウェハー２０の中心Ｐを通るＹ方向の線上
に達し、Ｘ軸方向の位置決めが完了する。
なお、各光センサによって検出されたウェハーの、ｔｉ
部の点が、円周上にあるか否かを判定し、これによって
、ウェハー２０の切欠き部（オリエンテーションフラッ
ト）２０ａが光センサ２７の位置にきていることを検出
する。そして、光センサ２７からの縁部検出座標データ
は無視し、残りの光センサからの検出信号に基づき、ウ
ェハー２０の位置決めを行う。
部の点が、円周上にあるか否かを判定し、これによって
、ウェハー２０の切欠き部（オリエンテーションフラッ
ト）２０ａが光センサ２７の位置にきていることを検出
する。そして、光センサ２７からの縁部検出座標データ
は無視し、残りの光センサからの検出信号に基づき、ウ
ェハー２０の位置決めを行う。
次に、ウェハー２０の縁部を検出しオンしている光セン
サ２５．２８側のＹ軸方向（図の上方向）に、ウェハー
挿入部２がＸ−Ｙ軸駆動機構１の作動により移動する。
サ２５．２８側のＹ軸方向（図の上方向）に、ウェハー
挿入部２がＸ−Ｙ軸駆動機構１の作動により移動する。
そして、光センサ２６．２９がウェハーの縁部を検出し
オフからオンした時点のＹ座標を測定し、同時に、光セ
ンサ２５．２８がオンからオフした時点のＹ座標を測定
する。
オフからオンした時点のＹ座標を測定し、同時に、光セ
ンサ２５．２８がオンからオフした時点のＹ座標を測定
する。
続いて、ウニへ−挿入部２０が逆方向つまり図の下方の
Ｙ軸方向にわ動じ、上記と同様、光センサ２６．２９が
ウェハーの縁部を検出しオンからオフした時点のＹ座標
を測定し、同時に、光センサ２５，２Ｂがオフからオン
した時点のＹ座標を測定する。そして、ウェハー挿入部
２は再び、上記と逆方向（上方向）に、前回の移動量の
半分つまり中ｒｉＪ位置まで戻るように、８！１７する
。
Ｙ軸方向にわ動じ、上記と同様、光センサ２６．２９が
ウェハーの縁部を検出しオンからオフした時点のＹ座標
を測定し、同時に、光センサ２５，２Ｂがオフからオン
した時点のＹ座標を測定する。そして、ウェハー挿入部
２は再び、上記と逆方向（上方向）に、前回の移動量の
半分つまり中ｒｉＪ位置まで戻るように、８！１７する
。
これで、ウェハー挿入部２（回転部３）の中心位置Ｏが
ウェハー２０の中心位置Ｐに達し、Ｘ・Ｙ軸方向の位置
決めが完了する。
ウェハー２０の中心位置Ｐに達し、Ｘ・Ｙ軸方向の位置
決めが完了する。
そして次に、搬送装置のハンドプレート７が下がること
によって、位置合せされたウェハー２０が回転部３上に
載置され、吸着される。そして４回転部３がステップモ
ータ３４により回転され、その上に吸着されたウェハー
２０を、例えば３４３図の時計方向に回転させる。この
とき、光センサ２９がオンからオフそしてオフからオン
することにより、ウェハー２０の切欠き部２０ａの両端
部を検出する。そして、切欠き部２０ａの中心位置（角
度）を測定し、そこから、さらに所定の角度だけ同方向
に回転させることにより、ウェハー２０の切欠き部２０
ａの向きが、第２図のような位置に達し、一定の角度位
置に位置決めされる。
によって、位置合せされたウェハー２０が回転部３上に
載置され、吸着される。そして４回転部３がステップモ
ータ３４により回転され、その上に吸着されたウェハー
２０を、例えば３４３図の時計方向に回転させる。この
とき、光センサ２９がオンからオフそしてオフからオン
することにより、ウェハー２０の切欠き部２０ａの両端
部を検出する。そして、切欠き部２０ａの中心位置（角
度）を測定し、そこから、さらに所定の角度だけ同方向
に回転させることにより、ウェハー２０の切欠き部２０
ａの向きが、第２図のような位置に達し、一定の角度位
置に位置決めされる。
このように、ウェハー２０の周縁部に他の部材を接触さ
せることなく、ウェハー２０の中心位置を合せ、且つそ
の切欠き部２０ａの位置を所定の角度位置に合わせるこ
とができる。
せることなく、ウェハー２０の中心位置を合せ、且つそ
の切欠き部２０ａの位置を所定の角度位置に合わせるこ
とができる。
その後、位置決めされて回転部３上に載置されたウェハ
ー２０は、その上に表示されたマーク等をカメラ等によ
り読取った後、ハンドプレート７によって再び持ちあげ
られ、所定の場所に搬送される。
ー２０は、その上に表示されたマーク等をカメラ等によ
り読取った後、ハンドプレート７によって再び持ちあげ
られ、所定の場所に搬送される。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明の位置決め装置によれば、
回転部を中央に持つウェハー挿入部内の空間にウェハー
保持しながら、ウェハー挿入部を水平面上のＸ−Ｙ軸方
向に移動してウェハーの中心位置を合せ、その後、ウェ
ハーの中心部を回転部上に載置し、ウェハーを回転させ
ながら、周縁部を検出する光センサによってウェハーの
切欠き部を所定の角度位置に合せるようにしたから、ウ
ェハーの周縁部に他の部材を全く接触させずに、正確に
位置決めすることができ、脆弱な半導体ウェハーを傷付
ける恐れはない、また、少なくとも６個の光センサによ
ってウェハーの周縁部を検出するため、オリエンテーシ
ョンフラットのみではなく、ノツチ状の切欠き部を持つ
ウェハーの位置決めにも適用することができる。
回転部を中央に持つウェハー挿入部内の空間にウェハー
保持しながら、ウェハー挿入部を水平面上のＸ−Ｙ軸方
向に移動してウェハーの中心位置を合せ、その後、ウェ
ハーの中心部を回転部上に載置し、ウェハーを回転させ
ながら、周縁部を検出する光センサによってウェハーの
切欠き部を所定の角度位置に合せるようにしたから、ウ
ェハーの周縁部に他の部材を全く接触させずに、正確に
位置決めすることができ、脆弱な半導体ウェハーを傷付
ける恐れはない、また、少なくとも６個の光センサによ
ってウェハーの周縁部を検出するため、オリエンテーシ
ョンフラットのみではなく、ノツチ状の切欠き部を持つ
ウェハーの位置決めにも適用することができる。
図は本発明の一実施例を示し、
第１図は一部断面を含む位置決め装置の正面図第２図は
第１図のＩＩ −Ｉ＋断面図、第３図は位置決め時の動
作を示す断面図である１・・・Ｘ−Ｙ！Ｔ！ｔｈ駆動機
構、 ２・・・ウェハー挿入部、 ３・・・回転部、 ５・・・空間、 １８・・・取付台、 ２０・・・ウェハー ２４〜２９・・・光センサ。 第 図 特 許 出 願 人 株式会社 メツクス 官 ２ 図 第 図
第１図のＩＩ −Ｉ＋断面図、第３図は位置決め時の動
作を示す断面図である１・・・Ｘ−Ｙ！Ｔ！ｔｈ駆動機
構、 ２・・・ウェハー挿入部、 ３・・・回転部、 ５・・・空間、 １８・・・取付台、 ２０・・・ウェハー ２４〜２９・・・光センサ。 第 図 特 許 出 願 人 株式会社 メツクス 官 ２ 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 水平面上のＸ・Ｙ座標におけるＸ軸とＹ軸方向に取付
台を移動させるＸ・Ｙ軸駆動機構と、該取付台上に固定
され、ウェハーを水平に挿入するための空間を有するウ
ェハー挿入部と、該ウェハー挿入部に設けられ、挿入さ
れたウェハーの縁部を検出するために、ウェハーの周縁
部に対応した箇所に一定の間隔で配設された少なくとも
６個の光センサと、 該ウェハー挿入部の中央に配置され、挿入されたウェハ
ーの裏面中央に吸着し回転する回転部とを備えたことを
特徴とするウェハーの位置決め装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276438A JPH0736417B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ウエハーの位置決め装置 |
| US07/483,850 US5054991A (en) | 1989-10-24 | 1990-02-23 | Wafer positioning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276438A JPH0736417B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ウエハーの位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03138957A true JPH03138957A (ja) | 1991-06-13 |
| JPH0736417B2 JPH0736417B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=17569427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1276438A Expired - Fee Related JPH0736417B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ウエハーの位置決め装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5054991A (ja) |
| JP (1) | JPH0736417B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5365672A (en) * | 1993-01-26 | 1994-11-22 | Mecs Corporation | Positioning apparatus for a semiconductor wafer |
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1989
- 1989-10-24 JP JP1276438A patent/JPH0736417B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-02-23 US US07/483,850 patent/US5054991A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5054991A (en) | 1991-10-08 |
| JPH0736417B2 (ja) | 1995-04-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |