JPH03139854A - フラットパッケージ集積回路のリード検査装置 - Google Patents

フラットパッケージ集積回路のリード検査装置

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JPH03139854A
JPH03139854A JP27604489A JP27604489A JPH03139854A JP H03139854 A JPH03139854 A JP H03139854A JP 27604489 A JP27604489 A JP 27604489A JP 27604489 A JP27604489 A JP 27604489A JP H03139854 A JPH03139854 A JP H03139854A
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Akira Koike
明 小池
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、フラットパッケージ集積回路(IC)のリー
ドの曲り、特に浮きを検査するフラットパッケージ集積
回路のリード検査装置に関する。
(従来の技術) フラットパッケージICをプリント基板に設ける場合、
フラットパッケージICのリード線が曲がって例えば上
方に向いていると、このリード線とプリント基板との間
に隙間ができてはんだ付けが不良となる。このため、は
んだ付けの前に各リード線の曲がりが検査されている。
第7図はかかる検査を示す概略構成図であって、フラッ
トパッケージICIは吸着ノズル2によって吸着されて
空間に保持され、かつこの状態にフラットパッケージI
CIの1辺の各リード線3の配列方向に投光用光センサ
4及び受光用光センサ5が1対として配置されている。
なお、第8図はイ方向から見た配置図である。このよう
な構成であれば、投光用光センサ4から放出された光4
aは、各り一ド1i13が曲がっていなければ受光用光
センサ5で受光されるが、曲がったリード線3aがある
と光4aはこのリード線3aで遮光されて受光用光セン
サ5に到達しない。しかるに、受光用光センサ5の出力
信号からリード線3の曲がりが検出される。
又、第9図はリード線画がり検査の他の構成を示す図で
あって、フラットパッケージICIはファイバープレー
ト6上に置かれている。このファイバープレート6の斜
め上方にはそれぞれミラー7.8が配置され、各光源9
,10から放射された光9a、、10aがこれらミラー
7.8で反射してフラットパッケージICIの各リード
線3に斜め方向から照射されるようになっている。そう
して、撮像装置11によって光の照射による各リード線
3の影が撮像されて、その画像信号が画像処理装置12
に送られるようになっている。このような構成であれば
、各光源9.10から放射された各光9a、10aはそ
れぞれミラー7.8で反射してフラットパッケージIC
1の各リード線3に斜め方向から照射される。このとき
、各リード線3のうち曲がって上方を向いたリード線3
aがあると、このリード線3aの影は他のリード線3の
影と比べて短く映る。一方、撮像装置11は各リード線
3,3aの各影を撮像してその画像信号を画像処理装置
12に送り、この画像処理装置12は画像信号を画像デ
ータに変換して短いリード線3aの影から曲がったリー
ド線3aを検出する。
ところで、リード線3が曲がって上方を向いている状態
はフラットパッケージICIをプリント基板上に実際に
設けたときに分かるものであって、上記のように吸着ノ
ズル2によって吸着した状態で曲がったリード線3aを
検出する方法ではその検出の信頼性が低い。そのうえ、
上記方法はフラットパッケージICIの各リード線3と
モールド部分とが平行となっていることを前提として検
査しているので、各リード線3とモールド部分とが平行
でなければ検査結果は全く信頼性が無いものとなる。
又、リード線3の影を撮像する方法では、各リード線3
の長さにばらつきがあるために短い影のリード線3が実
際に曲がっているかは確実に検査できない。
(発明が解決しようとする課題) 以上のように前者は実際にプリント基板上にフラットパ
ッケージ1を設けた状態で各リード線3の検査を行うも
のでないためその信頼性が低く、又後者は各リード線3
の長さにばらつきがあるために検査結果の信頼性が低い
そこで本発明は、プリント基板上に設けた状態と同一条
件でフラットパッケージICの各リード線の曲がりを正
確に検査できるフラットパッケージ集積回路のリード類
、検査装置を提供することを目的とする。
[発明の構成コ (課題を解決するための手段) 本発明は、フラットパッケージ集積回路を載置しこのフ
ラットパッケージ集積回路の各リードなどの影をこのフ
ラットパッケージ集積回路を載置した面とは反対の面に
透過可能なスクリーン体と、このスクリーン体の上方に
あって載置されたフラットパッケージに対して所定位置
に配設され異なる方向から光をスクリーン体に照射する
照明装置と、スクリーン体の下方からこのスクリーン体
に映った影を撮像する撮像装置と、この撮像装置の撮像
により得られる画像データからリードの浮きを検査する
検査手段とを備えて上記目的を達成しようとするフラッ
トパッケージ集積回路のリードζ、検査装置である。
(作 用) このような手段を備えたことにより、スクリーン体上に
フラットパッケージICを設けた状態に各照明装置から
光をフラットパッケージICI:照射する。これにより
、スクリーン体にはフラットパッケージICの各リード
線の影が映り、この状態に撮像装置はスクリーン体の下
方からかかる影を撮像し、この撮像により得られる各画
像デ−夕から検査手段はリード線の浮きを横方向の曲り
に変換して検査する。
(実施例) 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
第1図はフラットパッケージ集積回路のり−ド鷲検査装
置の構成図である。同図において20はスクリーン体で
あって、このスクリーン体20はフラットパッケージI
CIを載置し、このフラットパッケージICの各リード
線3の影をこのフラットパッケージICIを載置した面
とは反対の面から透過可能となるものである。具体的に
は半透明スクリーン21と透明ガラス板22とを積層し
て一体化したもので、半透明スクリーン21を上層に配
置してこの半透明スクリーン21上にフラットパッケー
ジICIが載置されるものとなる。
又、スクリーン体20の斜め上方にはそれぞれ第1及び
第2照明装置23.24が配置されており、これら照明
装置1123.24はそれぞれ別に点灯するものとなっ
ている。そして、これら第1及び第2照明装置23.2
4はそれぞれフラットパッケージICIの1辺の各リー
ド線3の配列方向に沿って光を照射するものとなってい
る。ところで、これら第1及び第2照明装置23.24
は各リードをスクリーン体20に映し出すために次のよ
うな配置条件で配置されている。すなわち、第1及び第
2照明装置23.24は第2図に示すようにフラットパ
ッケージICIの中心を介して対向配置されるとともに
第3図に示すようにフラットパッケージIC1の中心を
通る垂線からの距離Loが等しく配置されている。又、
第1及び第2照明装置23.24はスクリーン体20に
対する配置角度がθ。で等しく設定されている。さらに
、第1及び第2照明装置23.24は同一の輝度に設定
されている。
一方、スクリーン体20の下方には撮像装置25が配置
されている。この撮像装置25はCCD (固体撮像素
子)カメラ26に光学レンズ27を取付けた構成のもの
で、スクリーン体20に映ったフラットパッケージIC
−1の影、特に各リード線3の影を撮像してその画像信
号を出力するものとなっている。この画像信号は通信ケ
ーブル28を通して画像処理装置29に送られており、
この画像処理装置29は画像信号を画像データに変換し
てこの画像データから各リード線3の影の像を検出し、
これらリード線の影の像から各リード線の各ピッチを求
めてこれらピッチから曲がったリード線を検出する機能
を持ったものである。
次に上記の如く構成された装置の作用について説明する
先ず、第1及び第2照明装置23.24のうち第1照明
装置23が点灯され、この第1照明装置23から放射さ
れた光がフラットパッケージICIに対して斜め上方か
ら照射される。ここで、光がフラットパッケージICI
に照射する場合、特に配列A−A=の各リード線3を中
心として光が照射されると、フラットパッケージICI
全体の影のうち特に配列A−A−の各リード線3の影が
鮮明に半透明スクリーン21に形成され、この影がスク
リーン体20の下方から透明ガラス板22を通して映し
出される。この状態に撮像装置25はスクリーン体20
の下方からフラットパッケージICIの影を撮像してそ
の画像信号を出力する。この画像信号は通信ケーブル2
8を通って画像処理装置29に送られる。この画像処理
装置29は画像信号をディジタル変換して第4図に示す
ような画像データD、として記憶する。ここで、フラッ
トパッケージICIの各リード線3に上方、に曲がった
リード線3aがあると、このリード線3aの影はスクリ
ーン体20の下方から見て右側に曲がってスクリーン体
20に映る。
次に第1照明装置23が消灯し、これとともに第2照明
装置24が点灯する。この第2照明装置24から放射さ
れた光はフラットパッケージICIに対して斜め上方か
ら照射される。この場合、特に配列A−A=の各リード
線3を中心として光が照射されると、フラットパッケー
ジICI全体の影のうち特に配列A−A−のリード線3
の影が鮮明に半透明スクリーン21に形成され、この影
がスクリーン体20の下方から透明ガラス板22を通し
て映し出される。再び撮像装置25はスクリーン体20
の下方からフラットパッケージICIの影を撮像してそ
の画像信号を出力する。
そうすると、画像処理装置29は画像信号をディジタル
変換して第5図に示すような画像データD2として記憶
する。ここで、フラットパッケージICIの曲がったリ
ード線3aの影はスクリーン体20の下方から見て左側
に曲がってスクリーン体20に映る。
このように各照明装置23.24の点灯時の各画像デー
タD、、D2が得られると、画像処理装置29は各画像
データD、、D2において各リード線3のピッチを求め
て曲がったリード線3aを検出する。具体的に説明する
と、第6図に示すように画像データD1において各リー
ド線3の影の部分に対してスキャンを行い、このスキャ
ンラインにおける画像データを2値化処理する。そして
、この2値化画像データから各リード線3の各ピッチP
I  P2、Ps、Pa・・・を求める。ここで、画像
処理装置29には予め各リード線3のピッチ許容範囲P
。、つまり P(、−a≦Po≦Po+α が設定されている。なお、αは許容誤差である。
そこで、画像処理装置29は各ピッチP、、P2、p、
、p4・・・とピッチ許容範囲P。とを比較し、この比
較の結果各ピッチP、、P2はピッチ許容範囲P。内に
あると判断するとともに各ピッチP、、P4はピッチ許
容範囲P。外にあると判断する。又、画像処理装置29
は画像データD2に対して以上の作用と同様に各リード
線3の各ピッチを求めてピッチ許容範囲P、と比較する
。このようにして各画像データD0、D2における各ピ
ッチとピッチ許容範囲P。との比較結果が求まると、こ
れら比較結果から曲がったリード線3aが検出される。
又、画像処理装置29は各リード線3のピッチとピッチ
許容範囲P。と差からリード線3aの曲がり量を算出す
る。
このように上記一実施例においては、スクリーン体20
上にフラットパッケージICIを設けた状態に各照明装
置23.24から別々に光をフラットパッケージICI
に照射してスクリーン体20にフラットパッケージIC
Iの各リード線3の影を映し、この状態に撮像装置25
によりスクリーン体20の下方から影を撮像してその各
画像データからリード線3の曲りを検出するようにした
ので、フラットパッケージIC1をプリント基板上に載
置したのと同一条件でリード線3の曲がりを検査できる
とともにその曲がり量を求めることができる。そして、
この場合、各照明装置23゜24で別々にリード線3の
影を得るので、曲がったリード線3aを確実に検出でき
るとともに、リード線3の曲がり量が大きくなればなる
ほどピッチがピッチ許容範囲P。からずれるので、曲が
ったリード線3aを検出しやすくなる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない範囲で変形しても良い。例えば、ス
クリーン体20は半紙や擦りガラスに代えても良い。又
、照明装置23.24に加えて、これら照明装置23.
24の対向方向と直交する方向でそれぞれ対向する各照
明装置を配置しても良く、この場合フラットパッケージ
ICIの4辺の各リード線3の曲がりを同時に検出でき
る。
[発明の効果] 以上詳記したように本発明によれば、プリント基板上に
設けた状態と同一条件でフラットパッケージICの各リ
ード線の曲がりを正確に検査できるフラットパッケージ
集積回路のリード2−5検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第6図は本発明に係わるフラットパッケージ
集積回路のリード諏検査装置の一実施例を説明するため
の図であって、第1図は構成図、第2図及び第3図は各
照明装置の配置位置を示す図、第4図及び第5図は各照
明点灯時のフラットパッケージICの影の画像データの
模式図、第6図は各リード線のピッチの算出を説明する
ための模式図、第7図乃至第9図は従来技術を説明する
ための図である。 1・・・フラットパッケージIC,3・・・リード線、
0 ス ク リ ーン体、 ・・・第 1照明装置、 24・・・第2照明装置、 5・・・撮像装置、 9・・・画 像処理装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  フラットパッケージ集積回路を載置しこのフラットパ
    ッケージ集積回路の各リードなどの影をこのフラットパ
    ッケージ集積回路を載置した面とは反対の面に透過可能
    なスクリーン体と、このスクリーン体の上方にあって載
    置された前記フラットパッケージに対して所定位置に配
    設され異なる方向から光を前記スクリーン体に照射する
    照明装置と、前記スクリーン体の下方からこのスクリー
    ン体に映った影を撮像する撮像装置と、この撮像装置の
    撮像により得られる画像データから前記リードの浮きを
    検査する検査手段とを具備したことを特徴とするフラッ
    トパッケージ集積回路のリード検査装置。
JP27604489A 1989-10-25 1989-10-25 フラットパッケージ集積回路のリード検査装置 Expired - Lifetime JP2885443B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100268975B1 (ko) * 1996-02-16 2000-12-01 미야무라 신페이 패턴검사장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100268975B1 (ko) * 1996-02-16 2000-12-01 미야무라 신페이 패턴검사장치

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