JPH03140809A - 液体膜厚測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、粗面にほぼ一様に付着する液の膜厚を測定す
る液体膜厚測定装置に関する。

［従来の技術］ 現在、最も発達している印刷方式の１つに、オフセット
印刷（平板印刷）がある。これは、凸版印刷や凹版印刷
のように物理的な印刷方式ではない。つまり、砂目の立
てられたアルミ板または亜鉛板の上に感光液を塗布し、
予め準備された版を焼付け、化学処理によって版胴を作
り、版胴上のパターンにインクを付着させ、パターン以
外のところに水を含ませて、このパターン上のインクを
圧力によって印刷することができるような方法である。

すなわち、水とインク中に含まれる脂肪との反発を巧み
に利用して水とインクの部分を明確に区別することによ
り、インク部分のみを印刷するような方式である。

したがって、平板印刷機械などにおいては、印刷原板と
なる粗面を有する板にほぼ一様に液、たとえばインクと
ともに湿し水を付着させる必要がある。そして、このよ
うに液の膜厚をむらなく一様に塗布することによって均
一な印刷を行なうことができる。したがって、この湿し
水の付着膜厚を一定に維持するために液体膜厚測定装置
が必要となる。

この液体膜厚測定装置による測定は、まず版面などの被
測定面に対し所定の角度に設けられた光源から光ビーム
を照射する。さらに、この照射光の光軸と対称的な角度
および非対称的な角度において、少なくとも１個以上の
光センサを設けて、照射光による被測定面からの反射光
を受光する。

その後、各センサの受光出力に応じて付着液体膜厚の測
定を行なう。

しかし、前述の手法においては、照射光の光軸と、各光
センサの光軸との交点が被測定面と一致することが必要
である。さらに、光源および光センサと被測定面との対
向間隔を正確に維持しなげれば測定誤差が発生するため
、対向間隔の調整を容易にかつ正確に行なえる手法の出
現が要望された。この要望に答えるために、特開昭６２
−７５３０４号公報に示される液体膜厚測定装置が提案
された。この液体膜厚測定装置について、図面を参照し
て説明する。

第９図は、特開昭６２−７５３０４号公報に示される液
体膜厚測定装置の光源および各光センサと被測定面との
関係を示す図である。

図において、液体膜厚測定装置は、被測定面１に対して
対向間隔ｄを有して備えられる。該装置は、非透光性材
料により断面円弧状の装着部材１０を製し、これの外縁
部へ装着孔を設けて光源２および光センサ４．５．９を
固定して取付けている。さらに、これら光センサ４．５
．９から中心へ向けた透孔１１を各個に穿設し、それぞ
れの中央を各光軸３．６．７．８が通過できるようにし
ている。さらに詳細に説明するならば、はぼ平面上の被
測定面１に対し、所定の角度αによりビーム状の光線を
投射するように光源２が設けられる。

また、光源２の光軸３と対称的な角度αおよび非対称的
な角度βにより、被測定面１からの光軸３による投射光
に基づく反射光を受光するように第１および第２の光セ
ンサ４および５が設けられる。

ここにおいて、各光センサ４および５の光軸６および７
と、光軸３との交点Ｏは、被測定面１と一致するものと
なっている。したがって、被測定面１が平滑面であれば
、光軸３による投射光はほぼすべてのエネルギが光軸６
の方向へ反射され、これに応じて光センサ４の受光出力
は大、光センサ５の受光出力は小となるのに対し、被測
定面１が非平滑面であれば、投射光が散乱反射を生じ、
エネルギが各方向へ分散して反射光となるため、光セン
サ４の受光出力が減少する反面、光センサ５の受光出力
が増大する。ここで、版面などの被測定面１の湿し水付
着状況について説明する。

第１０図は、版面の湿し水付着状況を示す断面図である
。

図において、被測定面１である版面は、凹部２１が予め
形成され、凹部２１に湿し水２２が付着している。詳細
に説明するならば、被測定面１が版面であれば、図柄に
応じて微小な凹凸が形成される。四部２１に付着する湿
し水２２が少量のとき、液面は実線で示すように中央部
が低くなる円弧状となり、多量のときには点線で示すよ
うにほぼ平坦となる。これに従って、版面が非平滑面ま
たは平滑面と同等の反射状況を呈し、光センサ４および
５の各受光出力が前述のとおりに変化するものとなる。

したがって、光センサ４および５の各受光出力の差を求
めれば、版面の湿し水２２による膜厚の測定を行なうこ
とができる。

ただし、交点Ｏが被測定面１と一致していない場合は、
被測定面１が平滑面であっても光軸６の方向への反射光
が発生せず、測定誤差を生ずることになる。そのため、
交点Ｏに対し垂直な方向の光軸８による反射光を受光す
る第３の光センサ９が設けてあり、これによって交点Ｏ
からの反射光を受光し、投射光による光点が光センサ９
の真下にあるか否かを検出するものとなっている。

したがって、第９図のとおり装置は、光源２および光セ
ンサ４．５および９を上述の関係により一体として支持
の上、光センサ９の受光出力が最大となるように、被測
定面１に対して進退し、対向間隔ｄを調整すれば、交点
Ｏが被測定面１と正確に一致し、測定誤差を生じないよ
うになる。このときの、光センサ４および５の各受光出
力差を求めれば被測定面１へ付着した水などの液体膜厚
が正確に測定できる。したがって、この測定結果に応じ
て、給水ローラなどを駆動するモータの回転数制御など
を行なえば、液体膜厚を一定に維持することができる。

次に、上述の液体膜厚の測定処理を行なうために、次の
ような装置も提案されている。

第１１図は、特願昭６３−２７０５５０号に示される粗
面の液体膜厚測定装置の構成図である。

この装置は、前述の受光センサの受光出力に応じて液体
膜厚を算出し、かつ算出された値に相当する信号を外部
出力する機能を含んでいる。

図示する液体膜厚測定装置は、説明を簡単にするために
第９図に示した部材１０および透光１１の図示が省略さ
れている。また、前述と同様に上面が微少な凹凸を有す
る粗面の被測定面１に、たとえば湿し水２２（図示しな
い）をほぼ−様に塗布した後、その膜厚を測定している
状態にあると想定する。

図において、液体膜厚測定装置は、被測定面１に対して
所定角度α傾けて投光部３０が設けられる。また、投光
部３０から被測定面１に照射され０ た光は、その照射面で反射され、この反射光を受光する
受光部３１も設けられる。さらに、受光部３１からの受
光出力信号を入力し、湿し水２２の膜厚を算出するとと
もに、算出された膜厚値に相当する信号を外部に出力す
るための演算出力部３２を設ける。なお、本装置も被測
定面１の対向間隔ｄを有して設置されると想定する。

第１２図（ａ）ないしくＣ）は、投光部３０の構成の例
を示すブロック図である。

投光部３０は光源を有し、平行な光ビームを被測定面１
に照射するものである。たとえば、第１２図（ａ）に示
すように可視光を発光する）ＩｅＮｅレーザ４０１をそ
のまま用いてもよく、また第１２図（ｂ）に示すように
半導体レーザ４０２を投光素子として用いて、その光を
集束レンズ４０３によって集束しｌ′行な光ビームとし
て被測定面１に照射するようにしてもよい。また、第１
２図（Ｃ）に示すようにレーザに代えてハロゲンランプ
４０４を光源とし、中央に開口を有するピンホール板４
０５を用いてその開口部を通過する光１ を集束レンズ４０３よって集束させて平行な光ビームと
するようにしてもよい。

さて、上述のように構成される投光部３０から被測定面
１に照射された光は、その照射面で反射され、反射光が
受光部３１に入射する。受光部３１には、第１１図に示
すように正反射光を受光する領域に第１の受光素子、た
とえばフォトダイオード３３を設け、その周囲のいずれ
かの部分に第２の受光素子、たとえばフォトダイオード
３４を設ける。これらのフォトダイオード３３および３
４から得られる受光出力はそれぞれ、次段の演算出力部
３２に与えられる。

次に、演算出力部３２は、増幅回路３５および３６、積
分回路３７および３８、演算部３９ならびに出力部４０
を含む。前段の受光部３１のフォトダイオード３３およ
び３４から得られる受光出力は、それぞれ増幅回路３５
および３６に与えられる。増幅回路３５および３６は与
えられる信号を増幅して光信号Ｐ１およびＰ２を得るも
のであり、その出力は積分回路３７および３８に与えら
２ れる。積分回路３７および３８は光信号Ｐ１およびＰ２
を一定時間積分することによりその時間的な宇均値信号
Ｑ１およびＱ２を得るものであり、その出力は演算部３
９に与えられる。演算部３９は積分回路３７および３８
の出力Ｑ１およびＱ２の比、たとえばＱ２／Ｑｌを演算
するものであって、その演算信号を出力部４０に与える
。出力部４０は演算された信号をリニアライズするとと
もに得られた信号を膜厚に対応して０〜ＩＯＶなどの電
圧信号、または４〜２０ｍＡの電流信号として外部に出
力するよう動作する。

次に、第１１図に示す液体膜厚測定装置の動作について
、第１１図ないし第１４図を参照して説明する。

第１３図（ａ）および（ｂ）は、粗面と膜厚との関係を
説明するための概略図である。

第１４図は、膜厚と第１１図に示す演算部３９の演算出
力との関係を示すグラフである。

まず投光部３０のＨｅ−Ｎｅレーザ４０１を駆動すると
＝ｌ’−行な光ビームが被測定面１に照射され３ る。この光ビームと被測定面１との角度αを光が全反射
するような小さい角度に保ってお（ものとすれば、レー
ザビームが反射され、受光部３１に与えられる。ここで
第１３図（ａ）に示すように被測定面１の粗面１ａ上の
凹凸に対して湿し水２２の膜厚が十分に大きいときには
、レーザビームは散乱することなくすべて全反射して受
光部３１のフォトダイオード３３に与えられる。したが
って、受光部３１の受光量を増幅回路３５および３６を
介して電気信号Ｐ１およびＰ２に変換し、所定時間積分
回路３７および３８によって積分しても、積分回路３８
には極めて低いレベルの信号しか与えられなくなる。し
たがって、湿し水２２の膜厚が十分大きければ演算部３
つの出力はほぼ零に近くなる。さて第１３図（ｂ）に示
すように湿し水２２の膜厚が薄くなり被測定面１の粗面
１ａの凹凸の高さとほぼ等しくなれば、照射された光ビ
ームはすべて正反射することはなく一部がその凹凸部に
よって散乱する。したがってフォトダイオード３３で受
光される受光レベルが低下しフォ４ トダイオード３４の受光レベルが上昇する。そのためこ
の信号を電気的な光信号１およびＰ２に変換して所定時
間積分することによって演算部３９より得られる出力は
徐々に大きくなる。このように膜厚に対応した出力が演
算部３９より得られることとなり、この関係はたとえば
第１４図のように示される。したがってこの出力レベル
を予め校正しておき、その出力をたとえばリニアライザ
などを用いて直線化することによって成る範囲までの膜
厚に対応した直線的な出力を得ることができる。出力部
４０はアナログ回路から成るリニアライザを用いてもよ
く、また演算部３９の出力を一旦Ａ／Ｄ変換してディジ
タル量に変換しその出力をたとえばマイクロコンピュー
タに与え、予め入力に対応した膜厚値を持つ補正テーブ
ルを設けておきそのテーブルを読出すことによって膜厚
のディジタル値を得るようにしてもよい。また演算部３
９では積分回路３７および３８の出力の比によって膜厚
信号を得るようにしているが、両者の出力Ｑ１およびＱ
２の差から膜厚信号を得るように５ することもできる。

［発明が解決しようとする課題］ 従来の液体膜厚測定装置として、第９図および第１１図
に示すようなものが提案されてきたわけであるが、この
ような従来の方式では、受光部に受光器を２つ設置し、
２つの受光器の出力に基づき液膜圧を求めるため、装置
の構成および処理回路が複雑になるという問題点がある
。

それゆえに、本発明の目的は、受光部の受光器を１つに
し、装置の構成および処理回路が簡単な液体膜厚測定装
置を提供することである。

［課題を解決するための手段］ 本発明にかかる液体膜厚測定装置は、粗面に対して所定
角度傾けて光ビームを照射し、前記光ビームの粗面から
の反射光を受光し、前記反射光の光量または反射光量の
分布に基づいて、粗面の液膜圧を測定する装置であって
、粗面に対して所定角度傾けて粗面に向けた光ビームを
照射する投光手段と、前記投光手段から照射される先ビ
ームの一部を受光する受光手段と、前記受光手段の受光
６ 出力に応じて、前記投光手段の照射光量を安定化させる
制御手段とを備えて構成される。

［作用］ 本発明にかかる液体膜厚測定装置は、以上のように構成
されるので、前記制御手段を用いれば、投光手段からの
照射光量を常に安定化させることができる。したがって
、前記照射光ビームの粗面からの反射光を１つの受光器
で受光し、粗面の液膜圧を測定することが可能となる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。

第１図（ａ）および（ｂ）は、本発明の一実施例の受光
器を１つにして投光部の発光量を安定化する機能を備え
る液体膜厚測定装置の構成図である。なお、本装置は前
掲第１１図に示す装置を改良したものである。

第１図（ａ）において、装置は粗面板である被測定面１
から所定角度α傾けて配置される投光部３０、入射光の
一部を透過し一部を反射するバー７ フミラー４１、被測定面１からの反射光を受光する受光
部３１１、ハーフミラ−４１の反射光を受光する受光部
３１２、処理部４２および演算出力部３２１を有する。

なお、受光部３１１および３１２は、たとえばフォトダ
イオード３３を含み、フォトダイオード３３により受光
を検知し、信号を出力する。

また、演算出力部３２１は、増幅回路３５、積分回路３
７および出力部４０を含み、測定される膜厚に相当する
信号を外部に出力する。詳細に説明するならば、受光部
３１１からの受光信号はまず増幅回路３５において増幅
され、増幅された光信号Ｐは積分回路３７に与えられる
。積分回路３７は、光信号Ｐを一定時間積分し、時間的
な平均値信号Ｑを出力部４０に与える。出力部４０は、
与えられる平均値信号Ｑをリニアライズするとともに、
得られる信号を膜厚に対応して、電圧信号または電流信
号として外部に出力する。

受光部３１１および３１２のフォトダイオード３３は受
光に応じて光電変換し、受光量に応じた８ 電気信号を次段の回路に出力する。特に、受光部３１２
から出力される受光量に応じた電気信号は、処理部４２
に与えられ、応じて処理部４２は受光部３１２の受光量
が常に一定となるような投光駆動のための制御信号を投
光部３０に与える。詳細に説明するならば、処理部４２
は一定電圧レベルと受光部３１２から与えられるｉＡ号
の電圧レベルとを比較し、その比較結果に応じた制御信
号を投光部３０に出力するよう動作する。したがって、
投光部３００投光量は受光部３１２の受光量が常に一定
となるように調整され、ひいては、ハーフミラ−４１の
透過光量も常に一定に調整されることになる。つまり、
受光部３１１の受光が１つのフォトダイオード３３によ
る１点受光であっても、被測定面１上の液体膜厚は容易
に１１１１１定できる。

さて、前述第１図（ａ）においては、ハーフミラ−４１
からの反射光量に応じて、投光量を調整するようにして
いるが、第１図（ｂ）に示すように、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈ
ｔ　　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅの略）の発光素子
から照射される光ビー９ ムを光ファイバ端面から入射するときの漏れ光量に応じ
て投光量を調整することもできる。

第１図（ｂ）において、装置は粗面板である被測定面１
から所定角度α傾けて配置されたＬＥＤ３０１を含む。

さらに、ＬＥＤ３０１から照射される光ビームを入射す
る光ファイバ３０２、光ファイバ３０２から入射する光
を集光するレンズユニット３０３、レンズユニット３０
３からの光が被測定面１に照射され、その反射光を受光
する受光部３１１を含む。さらに装置は、ＬＥＤ３０１
から光ファイバ３０２へ光ビームを入射する際の漏れ光
を受光する受光部３１２、処理部４２および演算出力部
３２１を含む。なお、演算出力部３２１の構成および動
作は第１図（ａ）同様であり説明を省略する。受光部３
１１および３１２については第１図（ａ）と同様にフォ
トダイオード３３を含み、受光に応じて光電変換し、受
光量に応じた電気信号を出力する。また、処理部４２も
第１図（ａ）と同様であり、受光部３１２からの受光信
号に基づいて受光部３１２の受光量が常に一０ 定となるようにＬＥＤ３０１の投光を駆動する。

詳細に説明するならば、ＬＥＤ３０１から照射された光
ビームが光ファイバ３０２の端面に入射するとき、すべ
ての光ビームが光ファイバ３０２へ入射されるわけでは
なく、漏れ光が生じる。この漏れ光を受光部３０２のフ
ォトダイオード３３で受光するようにし、この受光量に
応じた電気信号を処理部４２に与える。これに応答して
、処理部４２は受光部３１２の受光量が常に一定となる
ような制御信号をＬＥＤ３０１に与えるので、ＬＥＤ３
０１の投光量は受光部３１２の受光量が常に一定となる
ように調整される。したがって、光ファイバ３０２およ
びレンズユニット３０３を介して被測定面１に照射され
る光量も常に一定に調整されることになる。したがって
、第１図（ａ）と同様に演算出力部３２１は、受光部３
１］のフォトダイオード３３による１点受光による受光
信号に応じて、被測定面１上の液体膜厚を容易に測定で
きる。

なお、光ファイバ３０２は通過する光ビームが１ ファイバ内部で均一となるように、たとえば２００ｍｍ
程度の長さを有する。

以上のように、第１図の装置は、従来と同様に被測定面
１との対向間隔ｄを調整し位置合わせ後、液体膜厚測定
を行なうようにしている。ところが、正確な膜厚測定に
は、対向間隔ｄを合わせるだけでなく、被測定面１の法
線方向を装置に対して所定の角度に合わせる必要がある
。なぜなら、被測定面１の傾きが変化すれば被測定面１
における光の反射方向か変化し、受光部３１１の受光面
における光の到達位置か変化するためである。しかしな
がら、第１図の装置においては、被測定面１の傾斜に起
因する、受光部３１１への入射光の到達位置のずれが検
出できないので、正確な液体膜厚１１１１１定ができな
い。これを解消するために、次のように装置を構成する
。

たとえば、前掲第１図に示す液体膜厚測定装置において
、受光部３１１を次のように構成する。

第２図（ａ）ないしくｃ）は、本発明の一実施例の受光
面における被測定面からの反射光の到達２ 位置を検出する機能を備える液体膜厚測定装置の構成図
である。なお、本装置において受光部３１３ないし受光
部３１５を除く他の構成および動作については、前掲第
１図と同様であり、図示ならびに説明を省略する。

以下、図中の斜線部は仮想受光面を示す。

第２図（ａ）において、装置は粗面板である被測定面１
から所定角度α傾けて配置される投光部３０、被測定面
１からの反射光を受光する受光部３１３を含む。受光部
３１３は、比較器６１および６２ならびにＬＥＤ５２１
ないし５５１を含み、フォトダイオード５１を中心にし
てその周辺にフォトダイオード５２．５３．５４．５５
を含む。

なお、フォトダイオード５１の出力信号は演算出力部３
２１に与えられる。

図において、装置と被測定面１との対向間隔ｄが適正で
ある場合、被測定面１における反射光はフォトダイオー
ド５１を中心にして受光部３１３に入射するので、フォ
トダイオード５２と５３、同様にフォトダイオード５４
と５５の受光に応じ３ た出力信号レベルは等しくなる。ところが、装置の位置
がずれて対向間隔ｄが大きくなると、反射光はフォトダ
イオード５３を中心にして受光部３１３に入射するので
、フォトダイオード５２よりもフォトダイオード５３の
出力信号レベルが大きくなる。反対に、装置の位置がず
れて対向間隔ｄが小さくなると、フォトダイオード５３
よりもフォトダイオード５２の出力信号レベルが大きく
なる。つまり、フォトダイオード５２および５３の出力
信号レベルを検出し、比較することにより、対向間隔ｄ
が適正となるよう装置の位置調整ができる。

ところで、被測定面と装置との位置関係は、対向間隔ｄ
のほかに、第３図（ａ）および（ｂ）に示すように、被
測定面１の左右方向および前後方向の傾斜角度との関係
がある。

第３図（ａ）に示すように、被測定面１の傾斜角度（実
線で示す）および対向間隔ｄが適正である場合、被測定
面１からの反射光は仮想受光面に対して垂直に入射する
ので、第２図（ａ）におい４ て反射光はフォトダイオード５１を中心として受光部３
１３に入射する。したがって、フォトダイオード５２お
よび５３の受光量に応じた出力信号レベルは等しくなる
。ところが、被測定面１の傾斜角度がずれ（点線で示す
）、第３図（ａ）に示すように被測定面１が仮想受光面
側が下がる（面下がり）と反射光の入射の中心は、第２
図（ａ）のフォトダイオード５３方向にずれるためフォ
トダイオード５２よりフォトダイオード５３の出力信号
レベルが大きくなる。また、被測定面１が仮想受光面に
対し投光部３０側に下がる（後下がり）と、その逆でフ
ォトダイオード５３よりフォトダイオード５２の出力信
号レベルが大きくなる。つまり、フォトダイオード５２
および５３の出力信号レベルを検知し比較することによ
り、被測定面１の仮想受光に対する前後方向の傾斜のず
れを検出し、応じて調整することができる。

また、投光部３０の後方から見た被測定面１の傾斜ずれ
に応じた調整も行なう。第３図（ｂ）に示すように被測
定面１が仮想受光面に対し右下が２５゛ りになると、反射光の入射の中心はフォトダイオード５
４方向にずれるため、フォトダイオード５５よりもフォ
トダイオード５４の出力信号レベルが大きくなる。また
、被測定面１が仮想受光面に対し左下がりになると、そ
の逆でフォトダイオード５４よりもフォトダイオード５
５の出力信号レベルが大きくなる。つまり、フォトダイ
オード５４および５５の出力信号レベルを検知し比較す
ることにより、被測定面１の仮想受光面に対する左右方
向の傾斜角度のずれを検出し、応じて調整することがで
きる。

以上のように、対向間隔ｄおよび被測定面１の傾斜角度
が適正となるように調整するには、第２図（ａ）のフォ
トダイオード５２ないし５５の出力信号レベルを検知し
比較する。その後、この比較結果を出力信号として外部
表示し、この表示に基づいて調整すればよい。つまり、
第２図（ａ）に示すように、フォトダイオード５２ない
し５５の各出力信号を比較器６１および６２に与え、そ
の比較出力信号に応じて、たとえばＬＥＤ５２１６ ないし５５１の表示媒体を点滅制御すればよい。

すなわち、対向間隔ｄおよび被測定面１の傾斜角度の調
整は、ＬＥＤ５２１ないし５５１の点滅状態を確認しな
がら行なえば容品にできる。

なお、この対向間隔ｄおよび被測定面１の傾斜角度の調
整完了に応じて（フォトダイオード５２と５３の受光レ
ベルおよびフォトダイオード５４と５５の受光レベルが
平衡状態にあり、ＬＥＤ５２１ないし５５１は点灯して
いないとき）得られるフォトダイオード５１の出力信号
レベルが、測定すべき液体膜厚に相当する。

次に、第２図（ｂ）に示すように、被測定面１からの反
射光をハーフミラ−４１により２方向に分岐するように
しても、対向間隔ｄおよび被測定面１の傾斜角度の調整
は以下に述べるよう容易に行なえる。

第２図（ｂ）において、装置は前掲第２図（ａ）と同様
に被測定面１に対して所定角度α傾けて配置された投光
部３０、被測定面１からの反射光を入射し、２方向に分
岐するノ１−フミラー４１なら７ びに受光部３１４および３１８を含む。ハーフミラ−４
１は被測定面１からの反射光を、１部は透過して受光部
３１４に入射させ、また一部は反射して受光部３１８に
入射させる。さらに受光部３１４は、比較器６１および
６２、ＡＮＤゲート６３およびＬＥＤ５２１を含む。な
お、受光部３１４および３１８は、仮想受光面に対して
フォトダイオードアレイを構成する。受光部３１４はフ
ォトダイオード５］ないし５３を配列し、受光部３１８
も同様にフォトダイオードを配列する。なお、フォトダ
イオード５２の出力信号は演算出力部３２１に与えられ
る。

ところで、第２図（ｂ）に示す装置においては、前掲第
２図（ａ）と同様に対向間隔ｄおよび被測定面１の傾斜
角度が適正である場合は、フォトダイオードアレイの出
力信号レベルは、中央のフォトダイオード５２が最大と
なるはずである。ところが、対向間隔ｄおよび被測定面
１の傾斜角度が適正でない場合は、前掲第２図（ａ）と
同様にフォトダイオードアレイの出力信号レベルの最大
は、８ アレイの中央から周辺部にずれた部分で検出される。つ
まり、各フォトダイオードアレイの出力分布を検出する
ことにより、対向間隔ｄの誤差および被測定面１の傾斜
角度のずれを検出することができる。したがって、この
検出される対向間隔ｄの誤差および被測定面１の傾斜角
度のずれに応じて、これを補正するような調整を行なえ
ばよい。

ところで、この対向間隔ｄおよび傾斜角度が適正となる
ようにするためにはフォトダイオード５１ないし５３の
出力信号の比較結果を外部表示し、この表示に基づいて
調整を行なうようにすればよい。つまり、第２図（ｂ）
に示すように、各フォトダイオード５１ないし５３の出
力信号を比較器６１および６２に与え、その比較結果を
次段のＡＮＤゲート６３を介して出力し、ＬＥＤ５２１
を点滅制御するようにすればよい。すなわち、第２図（
ｂ）に示すＬＥＤ５２１は（（フォトダイオード５１の
出力信号レベル）＜（フォトダイオード５２の出力信号
レベル）、ＡＮＤ、（フォトダイオード５３の出力信号
レベル）＜（フォトダイ２つ オード５２の出力信号レベル））成立時に、初めて点灯
することになるので、ＬＥＤ５２１点灯時のフォトダイ
オード５２の出力信号レベルが測定すべき液体膜厚に相
当する。

以上は、受光部３１４について述べたが、受光部３１８
についても同様な構成とすることで、受光部３１４と同
様に調整することができる。

また、第２図（ｃ）に示すように受光部３１５に２次元
ＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　　５ｅｎｓｉｔｉｖｅ　　
Ｄｅｔｅｃｔｏｒ；光位置検出器の略）を備えるように
しても、対向間隔ｄおよび被Ｍ１定面１の傾斜角度の調
整は以下に述べるように容易に行なえる。なお、本装置
は２次元ＰＳＤの受光面上の所定領域内で受光スポット
が検出されるとき、演算出力部３２１から液体膜厚を得
るようにしている。

第２図（Ｃ）において、装置は前掲第２図（ａ）と同様
に被測定面１に対して所定角度α傾けて配置される投光
部３０、被測定面１からの反射光を受光する受光部３１
５を含む。さらに受光部３１０ ５は、２次元ＰＳＤ６９、位置演算回路６４、絶対値回
路６５１および６５２、比較器６６および６７、ＡＮＤ
ゲート６３、ＬＥＤ５２１および総和回路６８を含む。

なお、総和回路６８の出力信号は演算出力部３２１へ与
えられる。

ところで、第２図（Ｃ）に示す装置においては、前掲第
２図（ａ）と同様に対向間隔ｄおよび被測定面１の傾斜
角度が適正である場合は、被測定面１からの反射光は受
光部３１５の２次元ＰＳＤ６９の中心部に入射する。つ
まり、２次元ＰＳＤ６９の左右出力信号レベルおよび上
下出力信号レベルを検出することにより、対向間隔ｄの
誤差および被測定面１の傾斜角度のずれが検出できる。

したがって、この検出される対向間隔ｄの誤差および被
測定面１の傾斜角度のずれに応じて、これを補正するよ
うな調整を行ない、反射光が２次元ＰＳＤ６９の中心部
分に入射するようにする。このとき、総和回路６８の出
力信号を演算出力部３２１に与えれば、適正な膜厚を得
ることができる。

なお、この調整はＡＮＤゲート６３の出力信号に１ 応じて点滅制御されるＬＥＤ５２１の表示を見て行なう
ようにすれば容易にできる。

次に、２次元ＰＳＤ６９上の受光スポット位置の検出動
作について説明する。

第２図（ｃ）に示すように２次元ＰＳＤ６９の端子Ａな
いしＤの４出力部号は、位置演算回路６４および総和回
路６８に同時に与えられる。これに応じて、位置演算回
路６４は、２次元ＰＳＤ６９の受光スポット位置を（ｘ
、ｙ）の座標値として出力し、次の絶対値回路６５１お
よび６５２に与える。詳細に説明するならば、位置演算
回路６４は、周知の技術により、端子ＡおよびＢから流
れ出る電流に応じて位置座標Ｘを演算して出力し、同様
に、端子ＣおよびＤから流れ出る電流に応じて位置座標
Ｙを演算して出力するよう動作する。

したがって、位置座標ＸおよびＹを絶対値回路６５１お
よび６５２において絶対値変換することにより、このと
きの受光スポットの位置座標（Ｘ。

Ｙ）を２次元ＰＳＤ６９の中心（原点）からの相対位置
として得ることができる。次に、２次元Ｐ２ ＳＤ６９の中心（原点）からの相対位置として得られた
位置座標ＸおよびＹを比較器６６および６７に与えて、
予め定められる基準値ＲｅｆｌおよびＲｅｆ２と比較す
る。その後、この比較結果を次のＡＮＤゲート６３に与
えれば、ＡＮＤ演算の成立時にのみＬＥＤ５２１を点灯
制御することができる。つまり、受光スポット位置が２
次元ＰＳＤ６９の中心（原点）を含む一定範囲内にある
ときに限り、ＬＥＤ５２１は点灯する。したがって、こ
のときの総和回路６８から演算出力部３２１に与えられ
る出力信号レベルが測定すべき液体膜厚に相当すること
になる。

なお、本装置においては、比較器６６および６７の基準
値ＲｅｆｌおよびＲｅｆ２を任意に設定することにより
、受光スポットが検出されるべき２次元ＰＳＤ６９の受
光面上の領域の拡大および縮小が任意に行なえる。

以上のように、第２図に示す装置は受光部において、受
光面上の反射光の到達位置を検出する機能を付加したの
で、対向間隔ｄの誤差検出および３ 被測定面１の傾斜角度のずれ検出を同時に行ない、これ
を補正した膜厚測定動作を行なうことができる。

ところで、前述の装置においては、被測定面１から常に
正常な反射光が受光部に入射されるものと想定している
が、たとえば、被測定面１が回転する場合を想定すれば
、正常な反射光が得られないこともある。つまり、第４
図に示すように、投光部３０の投光位置に版胴のギャッ
プＥが達したとき、受光部３１１には測定すべきでない
ギャップＥでの反射光が入射してしまうことになり、該
装置の誤った出力信号により、液供給制御部などの誤動
作を引き起こすことになる。これを解決するために、第
１図に示す装置の演算出力部３２１を第５図に示すよう
に構成する。

第５図は、本発明の一実施例の受光信号の有効性処理機
能を付加した液体膜厚測定装置の構成図である。

第５図において、装置は被測定面１に対して所定角度α
傾けて配置された投光部３０、受光部３４ １１および受光部３１１からの出力信号を入力し、これ
を処理する演算出力部３２２を含む。受光部３１１は被
測定面１からの正反射光を受光し光電変換するためのフ
ォトダイオード３３を含む。演算出力部３２２は、増幅
回路３５、積分回路３７、Ｓ／Ｈ（サンプル及ホールド
の略）回路３９８ルベル判定部３９ｂおよび出力部４０
を含む。なお、演算出力部３２２は、点線部分で囲まれ
るＳ／Ｈ回路３９ａおよびレベル判定部３Ｑｂを第１図
に示す演算出力部３２１に新たに追加しているが、他の
回路については前掲第１図に示す演算出力部３２１と同
様であるため、詳細な説明は省略する。

図において、投光部３０から投光された光が被測定面１
のギャップＥに照射されると、ギャップＥでの反射光は
受光部３１１のフォトダイオード３３に入射し充電変換
される。このとき、ギャップＥにおける反射光には乱反
射成分か多く含まれるために、フォトダイオード３３を
介して得られる増幅回路３５の光信号Ｐの信号レベルは
急激に５ 低下することになる。一方、レベル判定部３９ｂでは増
幅回路３５が出力する光信号Ｐを常時入力する。応じて
、レベル判定部３９ｂは、与えられる光信号Ｐの信号レ
ベルを予め定められたレベルと比較する。この比較結果
、光信号Ｐが所定レベル以上と判別すると、Ｓ／Ｈ回路
３９ａにサンプル動作を制御するような信号を与え、所
定レベル以下と判別すると、Ｓ／Ｈ回路３９ａにホール
ド動作を制御するようなトリガ信号を与える。つまり、
積分回路３７の平均値信号Ｑが、ギャップＥにおける反
射光受光により急激に変化しても、Ｓ／Ｈ回路３９ａが
ギヤツブＥ検出直前の平均値信号Ｑをホールドするので
、出力部４０の信号は大きく変動しない。したがって、
出力部４０の出力信号に応答して動作する液供給制御部
などの誤動作も防止できる。さらに説明を加えるならば
、受光部３１１から増幅回路３５を経由して、光信号Ｐ
か得られ、これが積分回路３７に与えられるまでの処理
は、極めて高速に行なわれる。そのため、ギヤツブＥ測
定時の平均値信号Ｑが出力される前６ に、Ｓ／Ｈ回路３９ａにホールド動作するようなトリガ
信号を与えることが要求される。つまり、積分回路３７
の時定数をこの要求を満足するような値に設定すれば、
演算出力部３２２の出力信号はレベル判定部３９ｂの判
別結果に応じて容易に保持できる。

以上のように、第５図に示される装置によれば被測定面
１のギヤツブＥ検出直前の演算出力部３２２の出力信号
を保持できるので、液供給制御部などの誤動作を防止で
きる。

さて、前掲第５図の装置によれば測定すべきでないギャ
ップＥなどを、通常の反射光が受光されないことに基づ
いて、検出している。しかし、ギャップＥの他に１１１
定すべきでない部分、つまり被測定面１の画線部（イン
クか塗られる部分）を測定する場合も、正確な液膜原情
報を液供給制御部に伝送することができない。たとえば
、前掲第４図に示す装置によれば、ギャップＥを含む版
胴全周の液膜厚を測定することになるので、版胴全周に
わたって画線部が占める場合は、正常な反射光７ を受光する可能性が極めて低くなり、誤った出力信号を
液供給制御部へ伝送することが頻繁に起こることになる
。これを解消するために、たとえば第６図に示すように
液体膜厚測定装置を構成する。

第６図は、本発明の一実施例の被測定面の所定位置検知
に応じて測定信号を出力する液体膜厚測定装置の構成図
である。

第６図は、印刷原版か取付けられ、一定速度で回転する
版胴に対向して前掲第１図の装置に相当する液体膜厚測
定部７３および回転位置検出部７０が設置される。また
、回転位置検出部７０の検出信号はＳ／Ｈ回路３９ａに
りえられ、応じてＳ／Ｈ回路３９ａのサンプル動作およ
びホールド動作が制御される。なお、回転位置検出部７
０は、たとえばロータリエンコーダなどを含み、版胴の
所定の回転角変位を検知したことに応じて、次段のＳ／
Ｈ回路３９ａにホールド動作を制御するトリガ信号を与
えるように動作する。一方、液体膜厚測定装置３は、前
掲第１図に示す装置同様の測定動作を行ない、測定膜厚
に相当する出力１４号を８ Ｓ／Ｈ回路３９ａに与える。したがって、本装置によれ
ば、被測定面１の所定位置の液体膜厚を測定することが
できる。なお、回転位置検出部７０は、たとえば近接ス
イッチまたは光電スイッチなどを含み、ギャップＥの検
知に応じて、次段のＳ／Ｈ回路３９ａにホールド動作す
るようなトリガ信号を与えるように動作してもよい。

図において、液体膜厚δ−１定部７３と回転位置検出部
７０の取付位置は、回転位置検出部７０がホールドトリ
ガ信号を出力するとき、測定すべき版胴上の位置に対向
するように液体膜厚測定部７３を取付ける。回転位置検
出部７０は、ギャップＥを検出した時点、あるいは版胴
の所定の回転角変位を検知した時点でＳ／Ｈ回路３９ａ
にサンプル動作指示の信号を与える。これに応答して、
Ｓ／Ｈ回路３９ａは、液体膜厚測定部７３からの出力信
号をサンプルし、保持する。この保持された信号は、回
転位置検出部７０から次のサンプル動作指示の信号が与
えられるまで保持されることになる。つまり、Ｓ／Ｈ回
路３９ａは、サンプル動作９ 指示の信号が与えられてから次のサンプル動作指示の信
号が与えられるまでの期間、液体膜厚測定部７３からの
出力信号を保持できるような時定数を持つ必要がある。

以上のように、本装置によれば所定位置の液体膜厚を測
定することになるので、画線部で測定したり、ギャップ
Ｅで測定するような状態を避けることができる。また、
版胴のように被測定面１が移動するような場合でも、測
定される液体膜厚に対応するアナログ出力信号のゆらぎ
が生じなくなるので、安定した制御信号を液供給制御部
に伝送することができる。

ところで、たとえば前掲第１図に示す装置においては、
投光部、受光部および処理回路などをすべて１つの筐体
に格納していた。しかしながら、装置に機能追加される
と装置の構成規模が大きくならざるを得ない。これを解
消するために、第７図に示すように装置を構成する。

第７図は、本発明の一実施例の光ファイバを経由して投
受光し、装置の小型化を図った液体膜厚０ 測定装置の構成図である。なお、図において演算出力部
３２１は前述同様であり、図示および説明を省略する。

図において、装置は投光および処理部３０４、受光部３
１１、光ファイバ３０２およびヘッド部７１を含む。投
光および処理部３０４ならびに受光部３１１とヘッド部
７１とを、ノイズに対して強い耐性を有する光ファイバ
３０２で接続し、相互に独立するような装置構成として
いる。なお、投光および処理部３０４は、第１図（ｂ）
に示すＬＥＤ３０１、受光部３１２および処理部４２を
含む。また、ヘッド部７１は、光ファイバ３０２の被測
定面１側の先端にレンズユニット３０３を取付けて、被
測定面１へ平行な光ビームを照射するようにする。また
、被測定面１からの反射光をレンズユニット３０３で集
束し、これを光ファイバ３０２を経由してヘッド部７１
から受光部３１１に送るようにする。

以上のように、投光は先ファイバ３０２を経由しヘッド
部７１を介して被測定面１に照射される。

１ また被測定面１からの反射光はヘッド部７１を介し光フ
ァイバ３０２を経由して受光部３１１に与えられるので
、光ファイバ３０２の使用により、投受光伝送経路中の
ノイズ成分による影響を排除できる。また、ヘッド部７
１を装置から独立させることにより、装置自体の小型化
が図れ、さらに、ヘッド部７１のみの調整により、対向
間隔ｄの適正が図れる。また、ヘッド部７１の移動によ
り任意の位置の液体膜厚が測定可能となる。

ところで、前述のまでの装置は被測定面１に対して、投
光部および受光部が露出しているために、装置内部が埃
、インクなどにより汚れやすい。また、汚れの付着によ
り、被測定面１に照射される光量および装置内部の受光
部に入射する被測定面１からの反射光量が低下しても、
従来の装置では検知できない。そのため、液供給制御部
が誤動作してしまうことになる。これを解消するために
、第８図に示すように装置を構成する。

第８図は、本発明の一実施例の結露および汚れによる投
受光量低下防止機能を有する液体膜厚測２ 窓装置の構成図である。第８図（ａ）は、透明窓４１１
および４１２を通して投光および受光するようにした装
置の構成図であり、第８図（ｂ）は、プリズム４１３お
よび４１４を通して投光および受光するようにした装置
の構成図である。なお、本装置は、特に、第７図のヘッ
ド部７１を改良したものであり、他の構成については第
７図と同様であるため図示および説明を省略する。

まず、第８図（ａ）において、装置は投光部、受光部な
らびに演算出力部とは分離して、投受光用のヘッド部７
２を含む。なお、両者は光ファイバ３０２により接続さ
れる。さらに、ヘッド部７２は、結露および汚れによる
投受光量低Ｆを防止および検出するために透明窓４１１
および４１２、結露および汚れ検出用受光部３１６およ
び３１７、比較器６６および６７ならびにＬＥＤ５６１
および５７１を含む。なお、比較器６６には基準値Ｒｅ
ｆ３が与えられ、比較器６７には基準値Ｒｅｆ４が与え
られる。また、透明窓４１１および４１２の材質につい
ては、透光性の素材から形成され３ るものとする。また、結露および汚れ検出用受光部３１
６および３１７は、フォトダイオード３３を含み、受光
して光電変換し、光信号を出力する。

第８図（ａ）において、前掲第７図同様に投光および処
理部３０４からの投光は光ファイバ３０２を経由し、透
明窓４１１を通過し被測定面１に照射される。また、被
測定面１に照射後、反射された光は透明窓４１２を通過
し、光ファイバ３０２を経由して受光部３１１に入射す
る。

さて、このとき透明窓４１１および４１２に入射する光
の透過光量は、透明窓４１１および４１２の透明の度合
に依存する。しかしながら、透明窓４１１および４１２
は、被測定面１からのインクの飛沫の付着あるいは結露
などによりその透明の度合が低下することがある。この
ような状態においては、被測定面１への照射光量は低下
し、応じて受光部３１１に入射する被測定面１からの反
射光量も低下する。これは、汚れの付着した透明窓４１
１および４１２に入射する光が乱反射するためである。

したがって、この乱反射光量を検出４ すれば、透明窓４１１および４１２は汚れが付着した状
態であるか否かが判別できる。この判別動作について、
図面を参照して説明する。

今、透明窓４１１および４１２に汚れが付着し、その透
過光量を低下させる状態にあると想定する。

まず、投光および処理部３０４からの投光が透明窓４１
１に入射するとき、透明窓４１１に付着する汚れにより
、その入射光の一部が乱反射する。

この乱反射光の一部は結露および汚れ検出用受光部３１
６に入射し、応じて入射光量に相当する受光信号が比較
器６６に与えられる。比較器６６は、基準値Ｒｅｆ３と
与えられる受光信号とを比較し、比較結果に応じてＬＥ
Ｄ５６１を点滅制御する。

つまり、結露および汚れ検出用受光部３１６の受光レベ
ルが基準値Ｒｅｆ３を越えるときのみ、ＬＥＤ５６１を
点灯制御すれば、ユーザはＬＥＤ５６１が点灯したこと
により、透明窓４１１の汚れ付着を検出することができ
る。一方、被測定面１における反射光が透明窓４１２に
入射するとき、透明窓４１２の汚れ村上により、その入
射光の一部５ 部が乱反射する。この乱反射光の一部は結露および汚れ
検出用受光部３１７に入射し、応じて入射光量に相当す
る受光信号が比較器６７に与えられる。比較器６７は基
準値Ｒｅｆ４と与えられる受光信号とを比較し、比較結
果に応じてＬＥＤ５７１を点滅制御する。つまり、結露
および汚れ検出用受光部３１７の受光レベルが基準値Ｒ
ｅｆ４を越えるときのみＬＥＤ５７１を点灯制御すれば
、ユーザはＬＥＤ５７１が点灯したことにより、透明窓
４１２の汚れ付着を検出することができる。

上述の、第８図（ａ）に示す装置は、透明窓４］１およ
び４１２を用いて汚れ付着を検出し、測定の誤動作を防
止するようにしているが、第８図（ｂ）に示すように、
透明窓４１１および４１２をプリズム４１３および４１
４で置換えてもよい。

つまり、プリズム４１３および４１４を用いて、汚れ付
着による受光量低下を検出し、測定の誤動作を防止する
ようにしてもよいわけである。

以上のように、装置と被測定面１とがなす光路に透明な
窓またはプリズムなどを設け、これを介６ して投受光するような装置構成としている。したがって
、装置内部が汚れない。また、結露および汚れの検出が
できるので、装置の誤動作を未然に防止できるとともに
、結露解除の時期および汚れ除去の時期を知らせること
ができる。また、ヘッド部だけに汚れが付着するので、
装置のメンテナンス性が向上する。

［発明の効果］ 以上のように、本発明によれば受光部の受光器を１つに
し、投光部の照射光量を安定化するようにしているので
、装置構成および処理回路が簡単になる。また、受光面
上において、粗面からの反射光の到達位置を検知するよ
うにしているので、対向間隔誤差の検出および粗面の傾
斜角度のずれを検出でき、検出結果に応じて調整すれば
、装置の誤動作を防止できる。また、光ファイバを用い
て、投受光用ヘッドを設け、これを投光部、受光部およ
び処理回路部から分離するようにしているので、投受光
用ヘッド部の小型化が図れるとともに、光の伝送は光フ
ァイバを用いて行なわれるの７ で、ノイズによる影響を回避できる。また、装置と粗面
との光路に透明な部材を設け、この部材における光の乱
反射光量を検出することにより、部材の光入射面におけ
る汚れおよび結露などを検知するようにしている。した
がって、装置内部が直接に汚れず、結露解除の時期およ
び汚れ拭き取りの時期を知ることができる。さらに、汚
れが付着しても容易にメンテナンスできる。また、受光
部ノ受光出力レベルの変位に応じて、膜厚算出のための
演算出力を保持するようにしているので、たとえば版胴
のギャップ部分を測定した場合でも、出力信号レベルは
大きく変動せず、安定した信号を次段の制御部などに伝
送できる。さらに、予め定められる計測位置の検知に応
じて、膜厚に相当する測定信号を出力するようにしてい
る。したがって、特定場所の膜厚検出が可能となり、さ
らに、揺らぎのない安定した出力信号を次段の制御部な
どに伝送できるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の、受光器を１つ８ にし投光部の発光量を安定化する機能を備える液体膜厚
測定装置の構成図である。第２図は、本発明の一実施例
の受光面における被測定面からの反射光の到達位置を検
出する機能を備える液体膜厚測定装置の構成図である。 第３図は、被測定面の傾斜角度と装置への反射光到達位
置の関係を説明する図である。第４図は、版胴のギャッ
プにおける検出動作を説明するための図である。第５図
は、本発明の一実施例の受光信号の有効性処理機能を付
加した液体膜厚測定装置の構成図である。第６図は、本
発明の一実施例の被測定面の所定位置検知に応じて測定
信号を出力する液体膜厚測定装置の構成図である。第７
図は、本発明の一実施例の光ファイバを経由して投受光
し、装置の小型化を図った液体膜厚測定装置の構成図で
ある。第８図は、本発明の一実施例の、結露および汚れ
による投受光量低下を防止する機能を有する液体膜厚測
定装置の構成図である。第９図は、特開昭６２−７５３
０４号公報に示される液体膜厚測定装置の光源および各
光センサと被測定面との関係を示す９ 図である。第１０図は、版面の湿し水付着状況を示す断
面図である。第１１図は、特願昭６３−２７０５５０号
に示される粗面の液体膜厚測定装置の構成図である。第
１２図は、投光部の構成の例を示すブロック図である。 第１３図は、粗面と膜厚との関係を説明するための概略
図である。第１４図は、膜厚と第１１図に示す演算部の
演算出力との関係を示すグラフである。 図において、１は被測定面、３０は投光部、３３はフォ
トダイオード、３１１ないし３１５．３１８は受光部、
３１６および３１７は結露および汚れ検出用受光部、３
２，３２１および３２２は演算出力部、３０２は先ファ
イバ、７１および７２はヘッド部、３９ａはサンプル＆
ホールド回路、４１はハーフミラ−１７１は回転位置検
出部、７３は液体膜厚測定部、４１１および４１２は透
明窓ならびに４１３および４１４はプリズムである。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 ０ ６８− ど＼ ０ 手 続 補 正 書 平成１年特許願第　２８０３５９　　号２、発明の名称 液体膜厚測定装置 平成２年１明 ７日 ６、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 ７、補正の内容 明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり。 以上 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　京都市右京区花園土堂町１０番地名　称　　
　（２９４）オムロン株式会社平成２年１月２９日名称
変更済（−括）代表者　立石義雄 ４、代理人 住　所　　大阪市北区南森町２丁目１番２９号　住友銀
行南森町ビル２、特許請求の範囲 （１）　粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し
、前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射
光の光量または反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜
厚を測定する装置であって、粗面に対して所定角度傾け
て粗面に向けた光ビームを照射する投光手段と、 前記投光手段から照射される光ビームの一部を受光する
受光手段と、 前記受光手段の受光出力に応じて、前記投光手段の照射
光量を安定化させる制御手段とを備えた、液体膜厚測定
装置。 （２）　粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し
、前記先ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射
光の光量または反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜
厚を測定する装置であって、粗面に対して所定角度傾け
て粗面に向けた光ビームを照射する投光手段と、 前記投光手段から照射される光ビームを粗面の近傍に導
く第１の光ファイバ手段と、 前記投光手段より照射された光ビームの粗面からの反射
光を受光する受光手段と、 粗面の近傍で前記光ビームの粗面からの反射光を前記受
光手段に導く第２の光ファイバ手段とを備えた、液体膜
厚測定装置。 （３）　粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し
、前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射
光の光量または反射大ユの分布に基づいて、粗面の液膜
厚を測定する装置であって、粗面に対して所定角度傾け
て粗面に向けた光ビームを照射する投光手段と、 前記投光手段から照射される光ビームの粗面からの反射
光を受光する受光手段と、 透明部材からなり、前記投光手段および前記受光手段が
格納され、前記投光手段からの光ビームが通過し得る投
光窓と、前記反射光が通過し得る受光窓が設けられた格
納手段と、 前記透明部材の不透明による乱反射光量を検出する検出
手段と、 前記検出手段の検出出力に応答して信号出力する出力手
段とを備えた、液体膜厚測定装置。 （４）　粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し
、前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射
光の光量または反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜
厚を１ｌｌｌ定する装置であって、受光面を有して、前
記光ビームの粗面からの反射光の受光面上の到達位置を
検出する手段と、前記検出手段の検出出力に応答して信
号を出力する出力手段とを備えた、液体膜厚測定装置。 （５）　粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し
、前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射
光の光量または反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜
捏、を測定する装置であって、前記光ビームの粗面から
の反射光を受光する受光手段と、 前記受光手段の受光出力に基づいて、粗面の液膜厚を算
出する算出手段と、 前記受光手段の受光出力の変位に基づいて、前記算出手
段の出力信号を保持する保持手段とを備えた、液体膜厚
測定装置。 （６）　粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し
、前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射
光の光量ま雄反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜厚
を測定する装置であって、前記反射光の光量または反射
光量の分布に基づいて液膜厚を測定する測定手段と、 前記測定手段と粗面との相対位置を検出する検出１段と
、 前記検出手段の検出位置と、予め定められる計ｉｆ１位
置とに基づいて、前記測定手段の出力信号を保持する保
持手段とを備えた、液体膜厚測定装置。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し、
   前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射光
   の光量または反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜厚
   を測定する装置であって、粗面に対して所定角度傾けて
   粗面に向けた光ビームを照射する投光手段と、 前記投光手段から照射される光ビームの一部を受光する
   受光手段と、 前記受光手段の受光出力に応じて、前記投光手段の照射
   光量を安定化させる制御手段とを備えた、液体膜厚測定
   装置。
2. （２）粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し、
   前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射光
   の光量または反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜厚
   を測定する装置であって、粗面に対して所定角度傾けて
   粗面に向けた光ビームを照射する投光手段と、 前記投光手段から照射される光ビームを粗面の近傍に導
   く第１の光ファイバ手段と、 前記投光手段より照射された光ビームの粗面からの反射
   光を受光する受光手段と、 粗面の近傍で前記光ビームの粗面からの反射光を前記受
   光手段に導く第２の光ファイバ手段とを備えた、液体膜
   厚測定装置。
3. （３）粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し、
   前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射光
   の光量または反射光の分布に基づいて、粗面の液膜厚を
   測定する装置であって、粗面に対して所定角度傾けて粗
   面に向けた光ビームを照射する投光手段と、前記投光手
   段から照射される光ビームの粗面からの反射光を受光す
   る受光手段と、 透明部材からなり、前記投光手段および前記受光手段が
   格納され、前記投光手段からの光ビームが通過し得る投
   光窓と、前記反射光が通過し得る受光窓が設けられた格
   納手段と、前記透明部材の不透明による乱反射光量を検
   出する検出手段と、 前記検出手段の検出出力に応答して信号出力する出力手
   段とを備えた、液体膜厚測定体装置。
4. （４）粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し、
   前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射光
   の光量また反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜厚を
   測定する装置であって、受光面を有して、前記光ビーム
   の粗面からの反射光の受光面上の到達位置を検出する手
   段と、前記検出手段の検出出力に応答して信号を出力す
   る出力手段とを備えた、液体膜厚測定装置。
5. （５）粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し、
   前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射光
   の光量また反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜厚を
   測定する装置であって、前記光ビームの粗面からの反射
   光を受光する受光手段と、 前記受光手段の受光出力に基づいて、粗面の液膜厚を算
   出する算出手段と、 前記受光手段の受光出力の変位に基づいて、前記算出手
   段の出力信号を保持する保持手段とを備えた、液体膜厚
   測定装置。
6. （６）粗面に対して所定角度傾けて光ビームを照射し、
   前記光ビームの粗面からの反射光を受光し、前記反射光
   の光量また反射光量の分布に基づいて、粗面の液膜厚を
   測定する装置であって、前記反射光の光量または反射光
   量の分布に基づいて液膜厚を測定する測定手段と、 前記測定手段と粗面との相対位置を検出する検出手段と
   、 前記検出手段の検出位置と、予め定められる計測位置と
   に基づいて、前記測定手段の出力信号を保持する保持手
   段とを備えた、液体膜厚測定装置。