JPS622113A - 反射光による表面粗さ計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）発明の技術分野 この発明は、被測定物に光源の光を照射し、被測定物か
らの鏡面反射光と散乱光とを検出して被測定物の表面の
粗さを測定する場合において、測定面に筋状の凹凸があ
る被測定物を測定する場合でも凹凸の向きに関係なく散
乱光の検出ができるようにした表面粗さ計に関するもの
である。

（ｂ）従来技術と問題点 反射光による表面粗さ計は、被測定物に光源の光を照射
し、被測定物からの反射光を検出して被測定物の表面の
粗さを測定する。この場合、測定パラメータとして、鏡
面反射光の光強度と、ある特定の反射方向の散乱光強度
とを求め、これらを比較して被測定物の表面の粗さを測
定する。

このような場合の従来技術の構成図を第２図に示す。

第２図の１は光源、２と３は検出器、４は被測定物であ
る。

第２図では、光源１の光を被測定物４に入射角θで照射
し、被測定物４からの鏡面反射光が反射角ｅで反射して
いる。検出器２は反射角θの鏡面反射光を検出する。

被測定物４からは、表面の粗さに応じて鏡面反射光以外
の散乱光が発生する。

検出器３は、鏡面反射光以外の特定の反射角に対する散
乱光を検出するためのものである。

被測定物４の測定面は、工具の加工方向に対応して筋状
の凹凸ができているのが普通である。このような被測定
物４に光源の光を照射すると、第３図のように被測定物
４からの反射散乱光は凹凸の方向と直角の方向に拡がっ
ていく。

第３図のような反射散乱光の分布を第２図のような表面
粗さ計で測定すると、凹凸の方向によって検出器３で検
出する散乱光の強度が違ってくるという問題がある。

第４図は第３図のような場合の散乱光のパターンと、検
出器３の位置による検出状態を示したものである。

このような問題をなくすためには、光源１の光を被測定
物４に入射した場合、検出器２により鏡面反射光を検出
するとともに、被測定物４の凹凸や、検出器３の位置に
関係なく散乱光を確実に検出しなければならない。

（ｃ）発明の目的 この発明は、筋状の凹凸がある被測定物４を測定する場
合でも、この凹凸の向きに関係な（鏡面反射光と散乱光
を検出できるようにした表面粗さ計の提供を目的とする
。

（ｄ）発明の実施例 最初に、この発明による実施例の構成図を第１図に示す
。

第１図の５と６はハーフミラ−１７は遮光板、８はスリ
ット、９は集光レンズ、１０は軸であり、その他の部分
は第２図と同じである。

軸１０は、鏡面反射光の進行方向である。

第１図では、ハーフミラ−５とハーフミラ−６を次のよ
うな状態になるように配置する。

ハーフミラ−５により、光源１からの光を反射し、この
反射光を軸１０に沿って被測定物４に導き、被測定物４
からの鏡面反射光を被測定物４への入射光と正反対の方
向の軸１０に沿って通過させるようにする。

ハーフミラ−８により、被測定物４の鏡面反射光を反射
させて検出器２に導くとともに、被測定物４からの反射
散乱光を遮光板７側へ通過させるようにする。

遮光板７は、被測定物４からの反射散乱光に直交するよ
うに配置される。

遮光板７には軸ｌＯを中心とする環状のスリット８を設
け、スリット８を通過した散乱光だけが集光レンズ９に
達するようにする。集光レンズ９は遮光板７のスリット
８を通過した散乱光を検出器３の受光面に集光させる。

第１図から明らかなように、被測定物４に筋状の凹凸が
があっても、軸１０を中心に光学系全体が回転しても、
常に同じ散乱光線群がスリット８を通過するようになる
。したがって、検出器３の受光量は一定になる。

（ｅ）発明の効果 この発明によれば、ハーフミラ−５と、環状のスリット
８つき遮光板８で散乱光を検出するので、筋状の凹凸が
ある被測定物を測定する場合でも、鏡面反射光と散乱光
を凹凸の向きに関係なく測定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による実施例の構成図、第２図は従来
技術の構成図、 第３図は反射散乱光の分布図、 第４図は検出器３の位置と散乱光パターンとの関係図。 １・・・・・・光源、２・・・・・・検出器、３・・・
・・・検出器、４・・・・・・被測定物、５・・・・・
・ハーフミラ−１６・・・・・・ハーフミラ−１７・・
・・・・ｊｌｆ板、８・−・−・スリット、９・・・・
・・集光レンズ、１０・・・・・・軸。 代理人　　弁理士　　小　俣　欽　司 １１１１ａ５ 第　　２１１Ｉ 第　　３　１ １Ｌ４Ｂ 検出器 昭和６１年４月−】日 特許庁長官　　宇　賀　道　部　　殿 １、事件の表示 昭和６０年特許願第１４１８４２号 ２、発明の名称 反射光による表面粗さ計 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　東京都大田区蒲田４丁目１９番７号名称　安
藤電気株式会社 代表者　　　大　城　俊　− ４、代理人　〒１４４ 居　所　　東京都大田区蒲田４丁目１９番７号６、補正
により増加する発明の数　　　０７、補正の対象　　明
細書の「発明の詳細な説明」の欄。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　光源の光を被測定物に照射し、前記被測定物からの
   鏡面反射光と散乱光を検出する表面粗さ計において、 前記光源からの光を反射して前記被測定物への照射光と
   し、前記照射光と前記鏡面反射光とが正反対になるよう
   にするとともに、前記鏡面反射光と前記散乱光とが通過
   するように配置したハーフミラーと、 前記鏡面反射光の進行方向と直交するように配置し、前
   記鏡面反射光の進行方向を中心とする環状のスリットを
   設けた遮光板と、 前記スリットを通過した前記散乱光を検出する検出器と
   を備えることを特徴とする反射光による表面粗さ計。