JPH03142189A - ワークの移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、圧電片等の小片状のワークを吸着して保持し
、所定位置へ搬送して配列するワークの移載装置に間す
る。

（発明の技術的背景とその問題点） 従来、たとえば水晶振動子の製造工程では、原石を結晶
軸に刻して所定角度に切断して板状に成形したブランク
を、複数個、軸方向を整列させてトレーに配列して電極
の蒸着を行うようにしている。

しかしてこのようなワークの移載を行う場合、ブランク
は厚みが薄く、脆弱なために、割れ、欠は等を生し易い
のできわめて慎重に取り扱う必要があり、しかもブラン
クを移載する際は高精度ζこ位置決めできることを要求
される。

このためワークとして、たとえは水晶振動子のブランク
を扱う転載装置では、第３図に示すように吸着パイプｌ
を３次元の位置決め制御の可能な移動機構２により位置
決め制御し、まず吸着パイプｌの先端にブランク３を吸
着して保持して所定位置へ移動させて吸着力を消勢して
ブランク３を解放することによりパーツフィーダ４−、
トレー５および方向整列器６等の間でブランク３の転載
を行うようにしている。

なおパーツフィーダ４は投入した円板状のブランク３を
振動させて螺旋状に搬送し順次に保持位置へ移動させる
ものである。

またトレー５は、複数のブランク３を方形に整列して配
列し、工程間の移動等に用いるものである。

さらに方向整列器６は、たとえば水晶振動子の電極の蒸
着を行う場合は、その結晶軸に対して電極の引出し方向
を規制する必要がある。このためブランク３の所定の結
晶軸方向に予めマークをつけて方向整列器６に載置した
ブランク３を回動させて光学的に位置を検出し、一定の
方向に保持した後、移載することにより結晶軸を整一・
に配列するものである。

ところでこのようなもので、たとえばパルスモータによ
って高精度に位置決め制御する移動機構によればｌ／１
００ｍｍ程度の精度で吸着パイプ１を位置決めすること
ができる。

しかしながら、吸着パイプでワークを吸着する場合、各
ワークを吸着する位置にずれを生し易く、移動機構と同
程度の精度を維持することは極めて困難である。しかし
てこのようなものではワーク毎に吸着する位置にずれを
生じ、このままで移載を行うと、たとえはフランクｔこ
蒸着する電極の位置はブランク毎にずれることになり、
完成した水晶振動子は所望の電気的特性が得られない等
の問題を生じることになる。

（発明の目的） 本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、ワーク
を高い位置精度で移載することがでさるワークの移載装
置を提供することを目的とするものである。

（発明の概要） 本発明は、小片状のワークの移載を行うものにおいて、
ワークを吸着する吸着パイプを有する真空保持器の吸着
パイプの先端ｔこフランジ状に吸着板を設けて中心に吸
着エアーの流過する透孔を穿設し、前側の板面で吸引し
たワークを保持するとともにこの吸着板の後側から上記
吸着パイプの軸方向に沿って上記吸着板の全周にエアー
を吹き出すノズルおよび真空保持器を移動させる移動機
構を設けたことを特徴とするものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を、第１図に示す真空保持器の
正面図を参照して詳細に説明する。

図中１１は吸着パイプで基端部を図示しない減圧機構に
接続し、その先端部にブランク１２を吸着するように１
ノでいる。

そしｌて吸着パイプ１１の先端にはフランジ状に中心に
透孔を有する吸着板１３を設けている。

さらに吸着パイプ１１の外周には同軸に円筒状のノズル
１４を設けている。このノズル１４は上記吸着板１３の
後面に対向する前端面に周方向に多数の吹き出し孔１５
を穿設し、図示しない加圧機構から送られるエアーを吹
き出し孔１５から上記吸着パイプ１１の軸方向に沿って
上記吸着板１３の後面全周に向かって吹き出すようにし
でいる。

なおこの場合、吸着パイプ１１の吸引力は上記ノズル１
４からの吹き出しエアーの吹き出し力に勝るように設定
している。

そして上記吸着パイプ１］および゛ノズル】４は３次元
の位置決めの可能な位置決め機構１６！こより保持され
位置決めするようにしている。

このような構成であれば、たとえは第１の位置から第２
の位置へブランクを移送する場合、吸着パイプ１１はそ
の外周のノズル１４からエアーを吹き出しつつ第１の位
置へ移動してブランク１２に接近する。そして吸着パイ
プ１１の吸引力でブランク１２がある程度浮きＬがると
、その外周の部分にノズル１４からの吹き出しエアーを
受けて受圧力を均等にするように、すなわちブランク１
２の中心部を吸着パイプ１１で吸引するように板面にｑ
ｌ−行に移動する。

したがってフランクＩ２を吸着パイプ１１で吸引する位
置は常に一定位置にできるので移載を行う際の位置精度
を極めて高くできる。

このため、たとえはブランク１２に電極を蒸着する場合
は、正確な位置に電極を形成することができそれによっ
て良好な電気的特性を得ることができる。

（発明の効果） 以上詳述したように、本発明によれはワークを正確な位
置精度で移載することができ構造も簡単なワークの移載
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の真空保持器を示す斜視図、 第２図は第１図に示す真空保持器の正面図、第３図は従
来の真空保持器の一例を説明する概略構成図である。 １１　◆ ｌ　２　・ １３　・ １４　・ ｌ　５　・ １６　＠ 吸着パイプ ブランク（「ノーク） 吸着板 ノズル 吹き出し孔 位置決め機構

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 小片状のワークを保持して移載するものにおいて、 上記ワークを吸着する吸着パイプを有する真空保持器と
   、 上記吸着パイプの先端にフランジ状に設けられ中心に吸
   着エアーの流過する透孔を有して前側の板面で吸引した
   ワークを保持する吸着板と、この吸着板の後側から上記
   吸着パイプの軸方向に沿って上記吸着板の全周にエアー
   を吹き出すノズルと、 上記真空保持器を３次元の位置決めする位置決め機構と
   、 を具備することを特徴とするワークの移載装置。