JPH03142190A - ワークの移載装置 - Google Patents
ワークの移載装置Info
- Publication number
- JPH03142190A JPH03142190A JP27780389A JP27780389A JPH03142190A JP H03142190 A JPH03142190 A JP H03142190A JP 27780389 A JP27780389 A JP 27780389A JP 27780389 A JP27780389 A JP 27780389A JP H03142190 A JPH03142190 A JP H03142190A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction pipe
- blank
- work
- workpiece
- detection bar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、圧電片等の小片状のワークを吸着して保持し
、所定位置へ搬送して配列するワークの移載装置に関す
る。
、所定位置へ搬送して配列するワークの移載装置に関す
る。
（発明の技術的背景とその問題点）
従来、たとえば水晶振動子の製造工程では、原石を結晶
軸に対して所定角度に切断して板状に成形したブランク
を、複数個、軸方向を整列させてトレーに配列して工程
間の移動を行い蒸着枠に移載して真空蒸着器に挿入して
電極の蒸着を行うようにしている。
軸に対して所定角度に切断して板状に成形したブランク
を、複数個、軸方向を整列させてトレーに配列して工程
間の移動を行い蒸着枠に移載して真空蒸着器に挿入して
電極の蒸着を行うようにしている。
しかしてこのようなワークの移載を行う場合、ブランク
は厚みが薄く、脆弱なために、割れ、欠は等を生じ易い
のできわめて慎重に取り扱う必要があり、しかもブラン
クを移載する際は高精度に位置決めできることを要求さ
れる。
は厚みが薄く、脆弱なために、割れ、欠は等を生じ易い
のできわめて慎重に取り扱う必要があり、しかもブラン
クを移載する際は高精度に位置決めできることを要求さ
れる。
移動機構２により位置決め制御し、まず吸着パイプ１の
先端にブランク３を吸着して保持して所定位置へ移動さ
せて吸着力を消勢してブランク３を解放することにより
パーツフィーダ４、トレー５および方向整列器６等の間
でブランク３の移載な行うようにしている。
先端にブランク３を吸着して保持して所定位置へ移動さ
せて吸着力を消勢してブランク３を解放することにより
パーツフィーダ４、トレー５および方向整列器６等の間
でブランク３の移載な行うようにしている。
なおパーツフィーダ４は投入した円板状のブランク３を
振動させて螺旋状に搬送し順次に保持位置へ移動させる
ものである。
振動させて螺旋状に搬送し順次に保持位置へ移動させる
ものである。
またトレー５は、複数のブランク３を方形に整列して配
列し、工程間の移動等ここ用いるものである。
列し、工程間の移動等ここ用いるものである。
さらに方向整列器６は、たとえば水晶振動子の電極の蒸
着を行う場合は、その結晶軸に対して電極の引出し方向
を規制するため、ブランク３の所定の結晶軸方向に予め
マークをつけて方向整列器６に載置したブランク３を回
動させて光学的に位置を検出し、一定の方向に保持した
後、移載することにより結晶軸を整一に配列するもので
ある。
着を行う場合は、その結晶軸に対して電極の引出し方向
を規制するため、ブランク３の所定の結晶軸方向に予め
マークをつけて方向整列器６に載置したブランク３を回
動させて光学的に位置を検出し、一定の方向に保持した
後、移載することにより結晶軸を整一に配列するもので
ある。
ところでこのようなもので、たとえばパルスモータによ
って高精度に位置決め制御する移動機構によれば１／１
００ｍｍ程度の精度で吸着パイプ１を位置決めすること
ができる。
って高精度に位置決め制御する移動機構によれば１／１
００ｍｍ程度の精度で吸着パイプ１を位置決めすること
ができる。
しかしながら、吸着パイプでワークを吸着する場合、各
ワークを吸着する位置にずれを生じ易く、特にワークを
吸着する際の風圧により吸着部位に位置ずれを生しるた
めに移動機構と同程度の精度を維持することは極めて困
難である。
ワークを吸着する位置にずれを生じ易く、特にワークを
吸着する際の風圧により吸着部位に位置ずれを生しるた
めに移動機構と同程度の精度を維持することは極めて困
難である。
しかしてこのようなものでは位置ずれを生したままで移
載を行うと、たとえばブランクに蒸着する電極の位置は
ブランク毎にずれることになり、完成した水晶振動子は
所望の電気的特性が得られない等の問題を生しることに
なる。
載を行うと、たとえばブランクに蒸着する電極の位置は
ブランク毎にずれることになり、完成した水晶振動子は
所望の電気的特性が得られない等の問題を生しることに
なる。
（発明の目的）
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、ワーク
を高い位置精度で移載することができるワークの移載装
置を提供することを目的とするものである。
を高い位置精度で移載することができるワークの移載装
置を提供することを目的とするものである。
（発明の概要）
本発明は小片状のワークを保持して移載するものにおい
て、ワークを吸着する吸着パイプに検出バーを設は吸着
パイプに吸着したワークを吸着パイプを軸方向を中心軸
にして回動機構で回動させて当接させることによって位
置を検出し、位置決め機構によって上記吸着パイプを３
次元の位置決めすることによって移載を行うことを特徴
とするものである。
て、ワークを吸着する吸着パイプに検出バーを設は吸着
パイプに吸着したワークを吸着パイプを軸方向を中心軸
にして回動機構で回動させて当接させることによって位
置を検出し、位置決め機構によって上記吸着パイプを３
次元の位置決めすることによって移載を行うことを特徴
とするものである。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を、第１図に示す要部の斜視図
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
図中１１は吸着パイプで基端部を図示しない減圧機構に
接続し、その先端部にブランク１２を吸着するとともに
、軸方向を回転軸として回動機構１３により回動可能な
構成としている。
接続し、その先端部にブランク１２を吸着するとともに
、軸方向を回転軸として回動機構１３により回動可能な
構成としている。
さらに吸着パイプ１１の基端部に回動自在に検知バー１
４を設け、この検知バー１４を保持位置から検知位置に
下降させて、その先端部を上記吸着パイプ１１に吸着し
たブランク１２を回転させて、ブランク１２の周縁に当
接させることにより圧力センサ、検知バー１４自体の変
位等により位置検出を行うようにしている。
４を設け、この検知バー１４を保持位置から検知位置に
下降させて、その先端部を上記吸着パイプ１１に吸着し
たブランク１２を回転させて、ブランク１２の周縁に当
接させることにより圧力センサ、検知バー１４自体の変
位等により位置検出を行うようにしている。
なお吸着パイプ１１てブランク１２を吸着する際は、ブ
ランク１２が検知バー１４に当接して破損することを防
止するために保持位置へ上昇させ、ブランク１２を吸着
した後に検知位置へ下降させてブランク１２を保持した
吸着パイプ１１を回動させてその周縁を検知バー１４に
当接させるようにしている。
ランク１２が検知バー１４に当接して破損することを防
止するために保持位置へ上昇させ、ブランク１２を吸着
した後に検知位置へ下降させてブランク１２を保持した
吸着パイプ１１を回動させてその周縁を検知バー１４に
当接させるようにしている。
なお吸着パイプ１１は３次元の位置決め可能な位置決め
機構１５により位置決め制御してワークの移載を行う。
機構１５により位置決め制御してワークの移載を行う。
このような構成であれば、たとえは第１の位置から第２
の位置へブランク１２を移送する場合、吸着パイプ１１
は検知バー１４を保持位置に保持して位置決め機構１５
により第１の位置にあるブランク１２に接近して吸着す
る。この後、吸着パイプ１１は第２の位置へ移動を行い
ながらブランク１２を保持したまま回動し、ブランク１
２の周縁が検知バー１４に当接すると回動を停止する。
の位置へブランク１２を移送する場合、吸着パイプ１１
は検知バー１４を保持位置に保持して位置決め機構１５
により第１の位置にあるブランク１２に接近して吸着す
る。この後、吸着パイプ１１は第２の位置へ移動を行い
ながらブランク１２を保持したまま回動し、ブランク１
２の周縁が検知バー１４に当接すると回動を停止する。
そしてブランク１２を第２の位置へ駆送した後、吸着パ
、イブ１１の吸引力を消勢してブランク１２を解放して
第２の位置へ移載する。
、イブ１１の吸引力を消勢してブランク１２を解放して
第２の位置へ移載する。
したがって吸着パイプ１１に対してブランク１２を常に
一定の相対位置に保持することができ、ブランク１２を
吸着パイプ１１で保持して移載する際の位置精度を著し
く高めることができ、しかも吸着パイプな第１の位置か
ら第２の位置へ移動中に位置決めするために移載に要す
る費消時は位置精度を高めることによって格別に増加し
ない利点がある。
一定の相対位置に保持することができ、ブランク１２を
吸着パイプ１１で保持して移載する際の位置精度を著し
く高めることができ、しかも吸着パイプな第１の位置か
ら第２の位置へ移動中に位置決めするために移載に要す
る費消時は位置精度を高めることによって格別に増加し
ない利点がある。
しかして、たとえばブランク１２に電極を蒸着する場合
、正確な位置に電極を形成することができそれによって
良好な電気的特性を得ることができる。
、正確な位置に電極を形成することができそれによって
良好な電気的特性を得ることができる。
なお本発明は上記実施例に限定されるものではなく、た
とえば上記実施例ではワークとして水晶振動子を移載す
るものについて説明しｋが、半導体チップ等の慎重な取
り扱いを要求されるワークを高い位置精度で移載するも
のに適用できることは勿論である。
とえば上記実施例ではワークとして水晶振動子を移載す
るものについて説明しｋが、半導体チップ等の慎重な取
り扱いを要求されるワークを高い位置精度で移載するも
のに適用できることは勿論である。
（発明の効果）
以上詳述したように、本発明によればワークを正確な位
置精度で移載することができ構造も簡弔なワークの移載
装置を提供することができる。
置精度で移載することができ構造も簡弔なワークの移載
装置を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例の吸着パイプの構造をボず斜
視図、 第２図は従来の真空保持器の一例を説明する概略構成図
である。 １１ ・ １２ ◆ 】 ３ ・ ｌ ４ ◆ ｌ ５ ・ 吸着パイプ ブランク（１ノーク） 回動機構 検知バー 位置決め機構 蔗 駅
視図、 第２図は従来の真空保持器の一例を説明する概略構成図
である。 １１ ・ １２ ◆ 】 ３ ・ ｌ ４ ◆ ｌ ５ ・ 吸着パイプ ブランク（１ノーク） 回動機構 検知バー 位置決め機構 蔗 駅
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 小片状のワークを保持して移載するものにおいて、 上記ワークを吸着する吸着パイプと、 この吸着パイプに設けられ上記吸着パイプに吸着したワ
ークに当接して位置を検出する検出バーと、 上記吸着パイプを軸方向を中心軸にして回動させる回動
機構と、 上記吸着パイプの３次元の位置決め制御を行う位置決め
機構と、 を具備することを特徴とするワークの移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27780389A JPH03142190A (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | ワークの移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27780389A JPH03142190A (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | ワークの移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03142190A true JPH03142190A (ja) | 1991-06-17 |
Family
ID=17588487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27780389A Pending JPH03142190A (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | ワークの移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03142190A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007026551A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドスライダ位置決め機構および磁気ヘッドスライダ検査装置 |
| CN102976098A (zh) * | 2012-10-30 | 2013-03-20 | 无锡鸿声铝业有限公司 | 一种化妆品盖体提取装置 |
-
1989
- 1989-10-25 JP JP27780389A patent/JPH03142190A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007026551A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドスライダ位置決め機構および磁気ヘッドスライダ検査装置 |
| CN102976098A (zh) * | 2012-10-30 | 2013-03-20 | 无锡鸿声铝业有限公司 | 一种化妆品盖体提取装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5333413A (en) | Automatic wafer lapping apparatus | |
| KR20010071806A (ko) | 지능형 웨이퍼 파지 시스템 및 방법 | |
| KR20080102361A (ko) | 반송 장치 및 반송 방법 | |
| JP5436876B2 (ja) | 研削方法 | |
| TW200305967A (en) | Method and apparatus for transferring a thin plate, and manufacturing method of substrate using the same | |
| JPWO2020226024A1 (ja) | 基板搬送ロボット及び基板搬送方法 | |
| KR20020067682A (ko) | 웨이퍼의 평면가공장치 및 그 평면가공방법 | |
| JP2002329769A (ja) | アライメント装置 | |
| JP2006019544A (ja) | 基板移載装置および基板搬送システム | |
| JP2011009424A (ja) | 保持テーブルアセンブリ及び保持テーブルの製造方法 | |
| JP2011009423A (ja) | 保持テーブルアセンブリ及び保持テーブルの製造方法 | |
| JP2001351890A (ja) | チップの研削方法 | |
| JPH03142190A (ja) | ワークの移載装置 | |
| US5108789A (en) | Method for manufacturing disk-shaped recording media | |
| JP5117686B2 (ja) | 研削装置 | |
| JPS61241060A (ja) | 平面自動研磨装置 | |
| JP2010201847A (ja) | 成形装置および搬送装置 | |
| CN108389810A (zh) | 搬送机构 | |
| TWI352993B (ja) | ||
| JPH0329083Y2 (ja) | ||
| JP3258191B2 (ja) | 電子部品の極性整列装置 | |
| JPS63202032A (ja) | 電気または電子部品用吸引ピックアップ装置 | |
| JP2021074787A (ja) | 加工装置 | |
| TWI866681B (zh) | 同向式多軸作業設備 | |
| JPH03142189A (ja) | ワークの移載装置 |