JPH03145669A - 現像装置 - Google Patents
現像装置Info
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- JPH03145669A JPH03145669A JP1285855A JP28585589A JPH03145669A JP H03145669 A JPH03145669 A JP H03145669A JP 1285855 A JP1285855 A JP 1285855A JP 28585589 A JP28585589 A JP 28585589A JP H03145669 A JPH03145669 A JP H03145669A
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Landscapes
- Dry Development In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複写機等の画像形成装置に設けられる現像装
置に関するものである。
置に関するものである。
一般に、−成分系の現像剤が用いられる現像装置では、
現像ローラ等からなる現像剤担持体の表面にブレード等
からなる薄層形成部材が所定の圧力で押付けられ、両者
間の摩擦帯電で現像剤に電荷が与えられることにより、
この現像剤が所定の表面電位を有する感光体に付着し、
これによって顕像が形成される。すなわち、薄層形成部
材と現像剤担持体の接触圧により現像剤の帯電量が決定
され、ひいては画像状態が決定されることになる。
現像ローラ等からなる現像剤担持体の表面にブレード等
からなる薄層形成部材が所定の圧力で押付けられ、両者
間の摩擦帯電で現像剤に電荷が与えられることにより、
この現像剤が所定の表面電位を有する感光体に付着し、
これによって顕像が形成される。すなわち、薄層形成部
材と現像剤担持体の接触圧により現像剤の帯電量が決定
され、ひいては画像状態が決定されることになる。
上記薄層を形成する手段としては、金属板を直接現像ロ
ーラに接触させるか、ゴム板を直接現像ローラに接触さ
せるか、あるいは金属板にゴム片を固定し、このゴム片
を現像ローラに接触させるか、またはゴム製のローラを
現像ローラに圧接させるといった構造が用いられている
。
ーラに接触させるか、ゴム板を直接現像ローラに接触さ
せるか、あるいは金属板にゴム片を固定し、このゴム片
を現像ローラに接触させるか、またはゴム製のローラを
現像ローラに圧接させるといった構造が用いられている
。
上記構造において、適正な画像を得るためには、現像ロ
ーラと薄層形成部材との接触圧を正確に設定する必要が
ある。すなわち、装置使用前の検査時等において、上記
接触圧を検出し、この接触圧が適正な値になるように薄
層形成部材の取付状態を調整しなければならない。
ーラと薄層形成部材との接触圧を正確に設定する必要が
ある。すなわち、装置使用前の検査時等において、上記
接触圧を検出し、この接触圧が適正な値になるように薄
層形成部材の取付状態を調整しなければならない。
ところが、上記のような従来の構造において接触圧を検
出する場合、薄層形成部材と現像ローラとの接触部分に
直接圧力センサ等を設けることは不可能であり、実際は
、歪みゲージ等で金属板やブレードの撓み状態を検出す
るといった間接的な手段がとられる。すなわち、この従
来構造では上記接触圧の精密な検出は困難であり、その
実現が大きな課題となっていた。
出する場合、薄層形成部材と現像ローラとの接触部分に
直接圧力センサ等を設けることは不可能であり、実際は
、歪みゲージ等で金属板やブレードの撓み状態を検出す
るといった間接的な手段がとられる。すなわち、この従
来構造では上記接触圧の精密な検出は困難であり、その
実現が大きな課題となっていた。
本発明は、このような事情に鑑み、現像ローラ等の現像
剤担持体と薄層形成部材との接触圧を正確に検出するこ
とにより、適正な画像の形成を実現することができる現
像装置を提供することを目的とする。
剤担持体と薄層形成部材との接触圧を正確に検出するこ
とにより、適正な画像の形成を実現することができる現
像装置を提供することを目的とする。
本発明は、感光体近傍に配置された現像剤担持体と、こ
の現像剤担持体の表面に対して押圧され、現像剤担持体
上に現像剤の薄層を形成する薄層形成部材とを備えた現
像装置において、上記薄層形成部材を、内部に流体が封
入された流体袋により構成し、この流体袋を装置内に設
けられた枠体内に圧入するとともに、この枠体と流体袋
との間に挟まれる位置に圧力検出手段を配設したもので
ある。
の現像剤担持体の表面に対して押圧され、現像剤担持体
上に現像剤の薄層を形成する薄層形成部材とを備えた現
像装置において、上記薄層形成部材を、内部に流体が封
入された流体袋により構成し、この流体袋を装置内に設
けられた枠体内に圧入するとともに、この枠体と流体袋
との間に挟まれる位置に圧力検出手段を配設したもので
ある。
また本発明は、感光体近傍に配置された現像剤担持体と
、この現像剤担持体の表面に対して押圧され、現像剤担
持体上に現像剤の薄層を形成する薄層形成部材とを備え
た現像装置において、上記薄層形成部材を、内部に流体
が封入された流体袋により構成するとともに、この流体
袋内に圧力検出手段を配設したものである。
、この現像剤担持体の表面に対して押圧され、現像剤担
持体上に現像剤の薄層を形成する薄層形成部材とを備え
た現像装置において、上記薄層形成部材を、内部に流体
が封入された流体袋により構成するとともに、この流体
袋内に圧力検出手段を配設したものである。
上記構成によれば、薄層形成部材である流体袋が、その
中に封入される流体の圧力によって、現像剤担持体上に
全域に亘って均等な接触圧で接触し、その結果、現像剤
担持体上に均一な現像剤薄層が形成される。
中に封入される流体の圧力によって、現像剤担持体上に
全域に亘って均等な接触圧で接触し、その結果、現像剤
担持体上に均一な現像剤薄層が形成される。
しかも、パスカルの原理に知られるように、流体袋内の
圧力は場所に拘らず一定であるので、この流体袋と枠体
との間や流体袋内に圧力検出手段を設けることにより、
この流体袋と現像剤担持体との実際の接触圧を検出する
ことができる。
圧力は場所に拘らず一定であるので、この流体袋と枠体
との間や流体袋内に圧力検出手段を設けることにより、
この流体袋と現像剤担持体との実際の接触圧を検出する
ことができる。
本発明の第1実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は、複写機等の画像形成装置内に設けられた現像
装置を示している。この現像装置は、−成分系(ここで
は非磁性)の現像剤りを収容するハウジング10を備え
ている。このハウジング10は、現像剤りを収容するホ
ッパ13と、現像容器14とからなり、この現像容器1
4内には、互いに接する現像ローラ(現像剤担持体)1
1および供給ローラー2が配設されている。これらのロ
ーラ11,12の回転軸は、ハウジング10の両側壁1
02に回転可能に支持され、両ローラー1゜12が図外
の駆動機構によって第11図の反時計回りの方向に連動
駆動されるようになっている。
装置を示している。この現像装置は、−成分系(ここで
は非磁性)の現像剤りを収容するハウジング10を備え
ている。このハウジング10は、現像剤りを収容するホ
ッパ13と、現像容器14とからなり、この現像容器1
4内には、互いに接する現像ローラ(現像剤担持体)1
1および供給ローラー2が配設されている。これらのロ
ーラ11,12の回転軸は、ハウジング10の両側壁1
02に回転可能に支持され、両ローラー1゜12が図外
の駆動機構によって第11図の反時計回りの方向に連動
駆動されるようになっている。
上記現像ローラー1は、感光体ドラム16の近傍に配置
され、その周面上には、ポリウレタンゴムやシリコンゴ
ム等の弾性材により袋状に形成されたエアバッグ(流体
袋)22が配設されている。
され、その周面上には、ポリウレタンゴムやシリコンゴ
ム等の弾性材により袋状に形成されたエアバッグ(流体
袋)22が配設されている。
このエアバッグ22は、上記現像ローラー1の周面に対
して現像ローラー1の軸方向(第1図の奥行き方向)全
域に接触する長さを有するとともに、内部に空気が封入
されている。そして、現像装置内に設けられた、下向き
に開口する枠体24内に圧入されており、上記内圧によ
って現像ローラー1の周面に所定の圧力で接している。
して現像ローラー1の軸方向(第1図の奥行き方向)全
域に接触する長さを有するとともに、内部に空気が封入
されている。そして、現像装置内に設けられた、下向き
に開口する枠体24内に圧入されており、上記内圧によ
って現像ローラー1の周面に所定の圧力で接している。
既にノくスカルの原理として知られているように、上記
内圧はエアバッグ22と現像ローラー1との接触箇所に
拘らず一定であるので、このエアノくラグ22は、全域
に亘って均等な圧力で現像ローラー1に圧接している。
内圧はエアバッグ22と現像ローラー1との接触箇所に
拘らず一定であるので、このエアノくラグ22は、全域
に亘って均等な圧力で現像ローラー1に圧接している。
上記枠体24は略円弧状の断面形状を有しており、この
枠体24内に上記エアバ・ソゲ22が回動可能に圧入さ
れている。詳しくは、第2図(a)に示されるように、
エアバッグ22の周面につまみ32が突設されるととも
に、枠体24に周方向に延びる長孔34が設けられ、こ
の長孔34を通して上記つまみ32が枠体24の外部に
突出しており、このつまみ32を操作することによって
、エアバッグ22を回動操作できるようになっている。
枠体24内に上記エアバ・ソゲ22が回動可能に圧入さ
れている。詳しくは、第2図(a)に示されるように、
エアバッグ22の周面につまみ32が突設されるととも
に、枠体24に周方向に延びる長孔34が設けられ、こ
の長孔34を通して上記つまみ32が枠体24の外部に
突出しており、このつまみ32を操作することによって
、エアバッグ22を回動操作できるようになっている。
なお、同じく手動でエアバッグ22を回動させる場合、
同図(b)に示されるように、エアバッグ22の側部に
っまみ36を設けるようにしてもよい。ただし、本発明
ではエアバッグ22が必ずしも回動可能である必要はな
い。
同図(b)に示されるように、エアバッグ22の側部に
っまみ36を設けるようにしてもよい。ただし、本発明
ではエアバッグ22が必ずしも回動可能である必要はな
い。
この実施例において、上記枠体24は、第1図に示され
るように、ハウジング側壁102の内面に突設された一
対のガイド板103間に上下動可能に嵌込まれている。
るように、ハウジング側壁102の内面に突設された一
対のガイド板103間に上下動可能に嵌込まれている。
この枠体24の上面には、第3図にも示されるような同
一の軸42に固定された複数のカム40が接し、上記軸
42にはギヤ44が固定されている。なお、上記カム4
0は単数でもよい。
一の軸42に固定された複数のカム40が接し、上記軸
42にはギヤ44が固定されている。なお、上記カム4
0は単数でもよい。
一方、装置本体にはカム駆動用モータ48が固定され、
このカム駆動用モータ48の原動軸481にギヤ46が
固定されており、このギヤ46が上記ギヤ44に噛合さ
れている。従って、上記カム駆動用モータ48の作動に
より、その回転力がギヤ46.44を介して軸42に伝
達され、各カム40が同時に回転するようになっており
、このカム40の回転によって枠体2.4およびエアバ
ッグ22が上下動し、その結果、エアバッグ22と現像
ローラ11との接触圧が変化するようになっている。
このカム駆動用モータ48の原動軸481にギヤ46が
固定されており、このギヤ46が上記ギヤ44に噛合さ
れている。従って、上記カム駆動用モータ48の作動に
より、その回転力がギヤ46.44を介して軸42に伝
達され、各カム40が同時に回転するようになっており
、このカム40の回転によって枠体2.4およびエアバ
ッグ22が上下動し、その結果、エアバッグ22と現像
ローラ11との接触圧が変化するようになっている。
さらに、この装置の特徴として、第1図および第3図に
示されるように、上記枠体24の内壁とエアバッグ22
の表面との間に挟まれる位置に圧力センサ(圧力検出手
段)26が配設されている。
示されるように、上記枠体24の内壁とエアバッグ22
の表面との間に挟まれる位置に圧力センサ(圧力検出手
段)26が配設されている。
この圧力センサ26の検出信号は、複写機内蔵の制御装
置28に入力されるようになっている。制御装置28は
、上記カム駆動用モータ48に駆動信号を出力すること
により、その作動制御を行うものであり、具体的には、
上記圧力センサ26の検出する圧力値が予め定められた
適正値と等しくなるように、上記カム駆動用モータ48
の駆動制御、すなわちエアバッグ22の昇降駆動制御を
行う。
置28に入力されるようになっている。制御装置28は
、上記カム駆動用モータ48に駆動信号を出力すること
により、その作動制御を行うものであり、具体的には、
上記圧力センサ26の検出する圧力値が予め定められた
適正値と等しくなるように、上記カム駆動用モータ48
の駆動制御、すなわちエアバッグ22の昇降駆動制御を
行う。
次に、この現像装置の作用を説明する。
まず、現像ローラー1および供給ローラー、2が第1図
反時計回りの方向に回転駆動されることにより、ホッパ
13から現像容器14の下部に供給された現像剤が供給
ローラー2により汲上げられ、この供給ローラー2と現
像ローラー1との接触部分で若干の摩擦帯電により現像
剤りに電荷(この実施例では負の電荷)が与えられる。
反時計回りの方向に回転駆動されることにより、ホッパ
13から現像容器14の下部に供給された現像剤が供給
ローラー2により汲上げられ、この供給ローラー2と現
像ローラー1との接触部分で若干の摩擦帯電により現像
剤りに電荷(この実施例では負の電荷)が与えられる。
この現像剤りは、現像ローラー1の局面に付着した状態
で感光体ドラム16側へ運ばれ、現像ローラ11の周面
とエアバッグ22との接触部分で薄層にされるとともに
、さらに強く摩擦帯電され、予め正の表面電位が与えら
れている感光体ドラム16の周面に付着する。これによ
って感光体ドラム16上に顕像が形成される。
で感光体ドラム16側へ運ばれ、現像ローラ11の周面
とエアバッグ22との接触部分で薄層にされるとともに
、さらに強く摩擦帯電され、予め正の表面電位が与えら
れている感光体ドラム16の周面に付着する。これによ
って感光体ドラム16上に顕像が形成される。
このとき、上述のようにエアバッグ22はその内圧によ
り全域に亘って均一な圧力で現像ローラ11と接触して
いるので、両者の間には均一な厚みおよび帯電量をもつ
現像剤薄層が形成され、その結果、良質な画像が形成さ
れることになる。
り全域に亘って均一な圧力で現像ローラ11と接触して
いるので、両者の間には均一な厚みおよび帯電量をもつ
現像剤薄層が形成され、その結果、良質な画像が形成さ
れることになる。
一方、このような現像動作中、圧力センサ26によって
エアバッグ22と枠体24とが接触する圧力か検出され
るが、パスカルの原理に知られるように、エアバッグ2
2の内圧は場所に拘らず一定であるので、結局上記圧力
センサ26によって現像ローラ11とエアバッグ22と
の接触圧が検出されることになる。そして、この検出値
が適正な値になるように制御装置28によってカム40
の回転駆動が制御されるため、現像ローラ11とエアバ
ッグ22との接触圧は常に適正な値に保たれる。
エアバッグ22と枠体24とが接触する圧力か検出され
るが、パスカルの原理に知られるように、エアバッグ2
2の内圧は場所に拘らず一定であるので、結局上記圧力
センサ26によって現像ローラ11とエアバッグ22と
の接触圧が検出されることになる。そして、この検出値
が適正な値になるように制御装置28によってカム40
の回転駆動が制御されるため、現像ローラ11とエアバ
ッグ22との接触圧は常に適正な値に保たれる。
以上のように、この装置では、エアバッグ22と枠体2
4とに挟まれる位置に圧力センサ26を設けているので
、エアバッグ22の内圧を利用して上記圧力センサ26
により現像ローラ11と工0 アバラグ22との接触圧を正確に検出することができる
。従って、エアバッグ22に微小な孔が開いた場合やエ
アバッグ22が破れた場合等の異常時に、外部に対して
即刻警告を発することができる。さらに、この実施例に
示されるように上記圧力センサ26の検出信号に基づい
て接触圧の制御を行うようにすれば、外温の変化等に起
因してエアバッグ22の内圧が変化する場合にも、エア
バッグ22と現像ローラ11との接触圧を即座に適正な
値に戻すことができる。
4とに挟まれる位置に圧力センサ26を設けているので
、エアバッグ22の内圧を利用して上記圧力センサ26
により現像ローラ11と工0 アバラグ22との接触圧を正確に検出することができる
。従って、エアバッグ22に微小な孔が開いた場合やエ
アバッグ22が破れた場合等の異常時に、外部に対して
即刻警告を発することができる。さらに、この実施例に
示されるように上記圧力センサ26の検出信号に基づい
て接触圧の制御を行うようにすれば、外温の変化等に起
因してエアバッグ22の内圧が変化する場合にも、エア
バッグ22と現像ローラ11との接触圧を即座に適正な
値に戻すことができる。
また、上記エアバッグ22は、現像ローラ11に対して
場所に拘らず常に一定の圧力で接触するため、均一な厚
みおよび帯電量をもつ現像剤薄層を形成することができ
る利点がある。
場所に拘らず常に一定の圧力で接触するため、均一な厚
みおよび帯電量をもつ現像剤薄層を形成することができ
る利点がある。
また、この実施例装置では、枠体24内においてエアバ
ッグ22を回動可能に構成しているので、エアバッグ2
2の下面が摩耗した場合には、エアバッグ22を適宜回
動させることにより、また新しい面を現像ローラ11に
接触させることができる。
ッグ22を回動可能に構成しているので、エアバッグ2
2の下面が摩耗した場合には、エアバッグ22を適宜回
動させることにより、また新しい面を現像ローラ11に
接触させることができる。
1
なお、本発明は、エアバッグ22の内圧を自動的に調整
する機構を特に設けなくても、優れた効果を期待するこ
とができる。例えば、装置使用前の検査時において、上
記圧力センサ26の検出結果を利用することにより、エ
アバッグ22と現像ローラ11との接触圧の調整をより
正確に行うことが可能となる。
する機構を特に設けなくても、優れた効果を期待するこ
とができる。例えば、装置使用前の検査時において、上
記圧力センサ26の検出結果を利用することにより、エ
アバッグ22と現像ローラ11との接触圧の調整をより
正確に行うことが可能となる。
次に、第2実施例を第4図に基づいて説明する。
ここでは、エアバッグ22の内部に圧力センサ26を設
け、この圧力センサ26によってエアバッグ22の内圧
を直接検出するようにしている。
け、この圧力センサ26によってエアバッグ22の内圧
を直接検出するようにしている。
このような構造によっても、エアバッグ22の内圧から
エアバッグ22と現像ローラ11との接触圧を正確に検
出することができる。
エアバッグ22と現像ローラ11との接触圧を正確に検
出することができる。
次に、第3実施例を第5図に基づいて説明する。
この実施例では、エアバッグ22を昇降させる代わりに
、その内部に封入されるエアの量を変えることによって
、エアバッグ22と現像ローラ11との接触圧の調整を
行うようにしている。
、その内部に封入されるエアの量を変えることによって
、エアバッグ22と現像ローラ11との接触圧の調整を
行うようにしている。
具体的に、上記エアバッグ22の内部には、ホ2
−ス25を介してポンプ30が接続されている。
一方、複写機内蔵の制御装置28は、上記圧力センサ2
6により検出された形成画像濃度が許容範囲を超えた場
合にポンプ駆動モータ31に制御信号を出力してポンプ
30を作動させ、エアバッグ22内に空気を供給し、あ
るいは脱気するように構成されている。
6により検出された形成画像濃度が許容範囲を超えた場
合にポンプ駆動モータ31に制御信号を出力してポンプ
30を作動させ、エアバッグ22内に空気を供給し、あ
るいは脱気するように構成されている。
このような構造によれば、現像装置の使用中にエアバッ
グ22の内圧が下がり、形成画像に異常が生じた場合に
も、その変化を圧力センサ26によって読取り、その検
出信号に応じてポンプ30を作動させることにより、適
正なエアバッグ22の内圧、すなわち感光体ドラム16
とエアバッグ22との適正な接触圧を保つことができる
。
グ22の内圧が下がり、形成画像に異常が生じた場合に
も、その変化を圧力センサ26によって読取り、その検
出信号に応じてポンプ30を作動させることにより、適
正なエアバッグ22の内圧、すなわち感光体ドラム16
とエアバッグ22との適正な接触圧を保つことができる
。
なお、本発明はこのような実施例に限定されず、例とし
て次のような態様をとることも可能である。
て次のような態様をとることも可能である。
(1) 本発明では、流体袋に封入される流体の種類
を問わず、空気以外の気体や、あるいは水等の液体を封
入しても上記と同様の効果を得ることができる。
を問わず、空気以外の気体や、あるいは水等の液体を封
入しても上記と同様の効果を得ることができる。
3
(2) 本発明における圧力検出手段の配設位置は、
流体袋と枠体との間の位置あるいは流体袋内であれば上
記効果を得ることができ、この範囲で適宜設定すればよ
い。
流体袋と枠体との間の位置あるいは流体袋内であれば上
記効果を得ることができ、この範囲で適宜設定すればよ
い。
(3)前記第2図(a)(b)には、流体袋であるエア
バッグ22を手動で回動させる構造を示したが、このエ
アバッグ22をモータ等によって回動駆動することも可
能である。
バッグ22を手動で回動させる構造を示したが、このエ
アバッグ22をモータ等によって回動駆動することも可
能である。
以上のように本発明は、薄層形成部材として、内部に流
体が封入された流体袋を用いるとともに、この流体袋と
枠体との間、あるいは流体袋の内部に圧力検出手段を設
けたものであるので、この圧力検出手段によって流体袋
と現像剤担持体との接触圧を正確に検出することができ
、これによって適正な画像の形成を実現することができ
る効果がある。
体が封入された流体袋を用いるとともに、この流体袋と
枠体との間、あるいは流体袋の内部に圧力検出手段を設
けたものであるので、この圧力検出手段によって流体袋
と現像剤担持体との接触圧を正確に検出することができ
、これによって適正な画像の形成を実現することができ
る効果がある。
第1図は本発明の第1実施例における現像装置の断面正
面図、第2図(a)(b)は同装置の要4 部を示す斜視図、第3図は同装置の要部を示す一部破断
側面図、第4図は第2実施例における現像装置の要部を
示す断面正面図、第5図は第3実施例における現像装置
の制御システムを示すブロック図である。 11・・・現像ローラ(現像剤担持体)、16・・・感
光体ドラム、22・・・エアバッグ(流体袋)、24・
・・枠体、26・・・圧力センサ(圧力検出手段)、D
・・・現像剤。
面図、第2図(a)(b)は同装置の要4 部を示す斜視図、第3図は同装置の要部を示す一部破断
側面図、第4図は第2実施例における現像装置の要部を
示す断面正面図、第5図は第3実施例における現像装置
の制御システムを示すブロック図である。 11・・・現像ローラ(現像剤担持体)、16・・・感
光体ドラム、22・・・エアバッグ(流体袋)、24・
・・枠体、26・・・圧力センサ(圧力検出手段)、D
・・・現像剤。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、感光体近傍に配置された現像剤担持体と、この現像
剤担持体の表面に対して押圧され、現像剤担持体上に現
像剤の薄層を形成する薄層形成部材とを備えた現像装置
において、上記薄層形成部材を、内部に流体が封入され
た流体袋により構成し、この流体袋を装置内に設けられ
た枠体内に圧入するとともに、この枠体と流体袋との間
に挟まれる位置に圧力検出手段を配設したことを特徴と
する現像装置。 2、感光体近傍に配置された現像剤担持体と、この現像
剤担持体の表面に対して押圧され、現像剤担持体上に現
像剤の薄層を形成する薄層形成部材とを備えた現像装置
において、上記薄層形成部材を、内部に流体が封入され
た流体袋により構成するとともに、この流体袋内に圧力
検出手段を配設したことを特徴とする現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1285855A JPH03145669A (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1285855A JPH03145669A (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 現像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03145669A true JPH03145669A (ja) | 1991-06-20 |
Family
ID=17696927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1285855A Pending JPH03145669A (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03145669A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0511586A (ja) * | 1991-07-04 | 1993-01-22 | Nec Corp | 現像装置 |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1285855A patent/JPH03145669A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0511586A (ja) * | 1991-07-04 | 1993-01-22 | Nec Corp | 現像装置 |
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