JPH031462U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH031462U JPH031462U JP5880489U JP5880489U JPH031462U JP H031462 U JPH031462 U JP H031462U JP 5880489 U JP5880489 U JP 5880489U JP 5880489 U JP5880489 U JP 5880489U JP H031462 U JPH031462 U JP H031462U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silent discharge
- frequency
- laser device
- gas laser
- electrodes
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Description
第１図はこの考案の一実施例を示す無声放電式
ガスレーザ装置の原理構成図、第２図ａ，ｂは上
記無声放電式ガスレーザ装置における放電電流と
高周波電圧の周波数の関係、放電電流と誘電体に
かかる電圧の関係をそれぞれ示す関係図、第３図
は従来の無声放電式ガスレーザ装置の原理構成図
、第４図は上記従来の無声放電式ガスレーザ装置
における放電電流とレーザ出力の関係を示す関係
図、第５図ａ，ｂはそれぞれ従来装置の放電電流
が高い場合と、低い場合の無声放電の状態を示す
構成図である。 図において、１ａ，１ｂは誘電体電極、２は真
空容器、２ａ，２ｂは金属電極、３ａ，３ｂは誘
電体、４は高周波高電圧電源、５は無声放電、６
は放電電流、７は全反射鏡、８は部分反射鏡、９
はレーザビーム、１０は電流検出器、１１は増幅
器、１２はオフセツト電圧源、１３はＶ／Ｆコン
バータ、１４は制御手段、１５は実施例の特性、
１６は従来装置の特性である。なお各図中、同一
符号は同一、または相当部分を示す。
ガスレーザ装置の原理構成図、第２図ａ，ｂは上
記無声放電式ガスレーザ装置における放電電流と
高周波電圧の周波数の関係、放電電流と誘電体に
かかる電圧の関係をそれぞれ示す関係図、第３図
は従来の無声放電式ガスレーザ装置の原理構成図
、第４図は上記従来の無声放電式ガスレーザ装置
における放電電流とレーザ出力の関係を示す関係
図、第５図ａ，ｂはそれぞれ従来装置の放電電流
が高い場合と、低い場合の無声放電の状態を示す
構成図である。 図において、１ａ，１ｂは誘電体電極、２は真
空容器、２ａ，２ｂは金属電極、３ａ，３ｂは誘
電体、４は高周波高電圧電源、５は無声放電、６
は放電電流、７は全反射鏡、８は部分反射鏡、９
はレーザビーム、１０は電流検出器、１１は増幅
器、１２はオフセツト電圧源、１３はＶ／Ｆコン
バータ、１４は制御手段、１５は実施例の特性、
１６は従来装置の特性である。なお各図中、同一
符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- 少なくとも一方の誘電体として両電極間に高周
波高電圧を印加した無声放電を生成させてレーザ
を励起させる様に構成された無声放電式ガスレー
ザ装置において、上記両電極間に流れる放電電流
の上下に対応して、上記高周波電圧の周波数を上
下させる制御手段を備えたことを特徴とする無声
放電式ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5880489U JPH031462U (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5880489U JPH031462U (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031462U true JPH031462U (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=31584746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5880489U Pending JPH031462U (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031462U (ja) |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP5880489U patent/JPH031462U/ja active Pending