JPH03147620A - クリーンルーム内の荷取扱い設備 - Google Patents
クリーンルーム内の荷取扱い設備Info
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- JPH03147620A JPH03147620A JP28676189A JP28676189A JPH03147620A JP H03147620 A JPH03147620 A JP H03147620A JP 28676189 A JP28676189 A JP 28676189A JP 28676189 A JP28676189 A JP 28676189A JP H03147620 A JPH03147620 A JP H03147620A
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- Japan
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- conveyor
- load
- main body
- unloading
- warehousing
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- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000013404 process transfer Methods 0.000 description 1
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はたとえば半導体のような塵埃を極端にきらう荷
(物品)の搬送や保管に採用されるクリーンルーム内の
荷取扱い設備に関するものである゛。
(物品)の搬送や保管に採用されるクリーンルーム内の
荷取扱い設備に関するものである゛。
従来の技術
従来この種の設備としては、たとえば実願昭61−19
3170号に示すように、レール装置に案内される自走
台車の搬送経路を、荷保管装置の本体側方に通過させて
、本体側方にステーションを形成し、移載装置により、
ステーションの自走台車と本体内の荷支持台との間で荷
を受け渡しするものである。また、この本体内には、荷
支持台と欄との間で荷を搬入する搬入出装置が配設され
る。
3170号に示すように、レール装置に案内される自走
台車の搬送経路を、荷保管装置の本体側方に通過させて
、本体側方にステーションを形成し、移載装置により、
ステーションの自走台車と本体内の荷支持台との間で荷
を受け渡しするものである。また、この本体内には、荷
支持台と欄との間で荷を搬入する搬入出装置が配設され
る。
発明が解決しようとする課題
上記従来構成によれば、たとえば荷を連続して入庫や出
庫を繰り返す場合、自走台車により搬送された荷を移載
装置により荷支持台に移載する。
庫を繰り返す場合、自走台車により搬送された荷を移載
装置により荷支持台に移載する。
つぎに搬入出装置により、荷支持台から棚に搬入し、次
に棚から出庫用の荷を取出して荷支持台に搬入し、再び
移載装置を駆動して荷支持台の荷を自走台車に移載し、
出庫を完了する。このような行程を繰り返すため、自走
台車の待ち時間が長くきわめて作業効率が悪い、したが
って、たとえば半導体工場等の高集積度集積回路を生産
する工程間搬送回数の増加に対応できないという問題が
あった。
に棚から出庫用の荷を取出して荷支持台に搬入し、再び
移載装置を駆動して荷支持台の荷を自走台車に移載し、
出庫を完了する。このような行程を繰り返すため、自走
台車の待ち時間が長くきわめて作業効率が悪い、したが
って、たとえば半導体工場等の高集積度集積回路を生産
する工程間搬送回数の増加に対応できないという問題が
あった。
本発明は上記問題を解決して自走台車の待ち時間を短く
でき、作業効率を向上できるクリーンルーム内の荷取扱
い設備を提供することを目的とする。
でき、作業効率を向上できるクリーンルーム内の荷取扱
い設備を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明は、レール装置と、
このレール装置に案内される自走台車とにより荷搬送装
置を構成し、この荷搬送装置の搬送経路を1箱状の本体
で囲まれた荷保管装置の側方に通過形成するとともに、
本体の側方に搬送経路のステーションを形成し、前記本
体内に、出庫用コンベヤと、入庫用コンベヤと、出庫用
コンベヤの出口と入庫用コンベヤの入口に接続されて前
記ステーションの側方を通過する荷捌きコンベヤとを設
け、前記本体に形成した開口を介してステーション位置
の自走台車と荷捌きコンベヤの荷捌き位置との間で荷を
受け渡しする移載装置を設け。
このレール装置に案内される自走台車とにより荷搬送装
置を構成し、この荷搬送装置の搬送経路を1箱状の本体
で囲まれた荷保管装置の側方に通過形成するとともに、
本体の側方に搬送経路のステーションを形成し、前記本
体内に、出庫用コンベヤと、入庫用コンベヤと、出庫用
コンベヤの出口と入庫用コンベヤの入口に接続されて前
記ステーションの側方を通過する荷捌きコンベヤとを設
け、前記本体に形成した開口を介してステーション位置
の自走台車と荷捌きコンベヤの荷捌き位置との間で荷を
受け渡しする移載装置を設け。
前記本体内に1本体内に配設された棚から出庫用コンベ
ヤに荷を搬出する出庫用搬出装置と、入庫用コンベヤか
ら前記棚に荷を搬入する入庫用搬入装置とを設けたもの
である。
ヤに荷を搬出する出庫用搬出装置と、入庫用コンベヤか
ら前記棚に荷を搬入する入庫用搬入装置とを設けたもの
である。
作用
上記構成において、自走台車をレール装置に沿って走行
させてステーション位置で停止させ、出庫用搬出装置を
駆動して荷を出庫用コンベヤ上にストレージするととも
に荷捌きコンベヤの荷捌き位置に移送する。そして、移
載装置を駆動して荷捌きコンベヤ上の荷を自走台車に移
載するとともに、自走台車上の荷を荷捌きコンベヤに移
載する。
させてステーション位置で停止させ、出庫用搬出装置を
駆動して荷を出庫用コンベヤ上にストレージするととも
に荷捌きコンベヤの荷捌き位置に移送する。そして、移
載装置を駆動して荷捌きコンベヤ上の荷を自走台車に移
載するとともに、自走台車上の荷を荷捌きコンベヤに移
載する。
次に、ステーションから自走台車を発車させて次の自走
台車を停止させ、各コンベヤを所定ストローク移動させ
て荷捌き位置に次に出庫する荷を移送する。そして、入
庫用搬入装置を駆動して入庫用コンベヤ上の荷を棚に搬
入するとともに、出庫用搬出装置を駆動して棚から出庫
する荷を出庫用コンベヤに搬出する6以上の動作を繰り
返すことにより、入庫用搬入装置の入庫所要時間または
出庫用搬出装置の出庫所要時間で入出庫を連続して繰り
返すことができ、従来に比べて入出庫作業時間を大幅に
削減できる。
台車を停止させ、各コンベヤを所定ストローク移動させ
て荷捌き位置に次に出庫する荷を移送する。そして、入
庫用搬入装置を駆動して入庫用コンベヤ上の荷を棚に搬
入するとともに、出庫用搬出装置を駆動して棚から出庫
する荷を出庫用コンベヤに搬出する6以上の動作を繰り
返すことにより、入庫用搬入装置の入庫所要時間または
出庫用搬出装置の出庫所要時間で入出庫を連続して繰り
返すことができ、従来に比べて入出庫作業時間を大幅に
削減できる。
実施例
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
1はクリーンルーム2内に設置した荷保管装置で、矩形
箱体状の本体3と、この本体3内の奥部に一定間隔をあ
けて互いに対向して配設され上下方向に複数の区画収納
空間4A、4Bを有する入庫用棚5Aおよび出庫用棚5
Bと、入出庫用棚5A、5Bの端部から前方に向かって
互いに平行に配設された入庫用コンベヤ6Aおよび出庫
用コンベヤ6Bと、本体3の前面に沿って配設されて出
庫用コンベヤ6Bの出口と入庫用コンベヤ6Aの入口と
を接続する荷捌きコンベヤ6Cと、入庫用棚5Aおよび
入庫用コンベヤ6Aの前面に沿う一定経路7A上を移動
自在に配設されて入庫用コンベヤ6A上の荷8を入庫用
棚5Aの区画収納空間4Aに搬入する入庫用搬入装置9
Aと、出庫用棚5Bおよび出庫用コンベヤ6Bの前面に
沿う一定経路7B上を移動自在に配設されて出庫用棚5
Bの荷8を出庫用コンベヤ6Bに搬出する出庫用搬出装
置9Bとを備えている。前記出庫用搬出装置9Bの一定
経路7B上の本体3前面には開口lOが形成され、この
間口10に対向する荷捌きコンベヤ6C上が荷捌き位置
(ニ)に設定される。また、出庫用コンベヤ6Bは入口
を出庫位置(イ)、中間部および出口を出庫側ストレー
ジ位置(ロ)(ハ)に設定され、入庫用コンベヤ6Aは
入口および中間部を入庫側ストレージ位置(ホ)(へ)
に、出口を入庫位置(ト)に設定される。
箱体状の本体3と、この本体3内の奥部に一定間隔をあ
けて互いに対向して配設され上下方向に複数の区画収納
空間4A、4Bを有する入庫用棚5Aおよび出庫用棚5
Bと、入出庫用棚5A、5Bの端部から前方に向かって
互いに平行に配設された入庫用コンベヤ6Aおよび出庫
用コンベヤ6Bと、本体3の前面に沿って配設されて出
庫用コンベヤ6Bの出口と入庫用コンベヤ6Aの入口と
を接続する荷捌きコンベヤ6Cと、入庫用棚5Aおよび
入庫用コンベヤ6Aの前面に沿う一定経路7A上を移動
自在に配設されて入庫用コンベヤ6A上の荷8を入庫用
棚5Aの区画収納空間4Aに搬入する入庫用搬入装置9
Aと、出庫用棚5Bおよび出庫用コンベヤ6Bの前面に
沿う一定経路7B上を移動自在に配設されて出庫用棚5
Bの荷8を出庫用コンベヤ6Bに搬出する出庫用搬出装
置9Bとを備えている。前記出庫用搬出装置9Bの一定
経路7B上の本体3前面には開口lOが形成され、この
間口10に対向する荷捌きコンベヤ6C上が荷捌き位置
(ニ)に設定される。また、出庫用コンベヤ6Bは入口
を出庫位置(イ)、中間部および出口を出庫側ストレー
ジ位置(ロ)(ハ)に設定され、入庫用コンベヤ6Aは
入口および中間部を入庫側ストレージ位置(ホ)(へ)
に、出口を入庫位置(ト)に設定される。
前記クリーンルーム2は天井側からフィルター11を介
してクリーンエアを下吹きし、下降するクリーンエアを
メツシュ形式の床12を通して床下に吸引するものであ
る。また、本体3内には独自に設けたクリーンユニット
またはクリーンルーム2用のクリーンユニットが設けら
れ、エアフィルター13やエアダクト14が配設される
。前記搬入出装置9A、9Bは、それぞれ一定経路7A
、7Bに沿って配設された床レール15に案内されて移
動自在な走行機台16と、この走行機台16に立設され
て上端が天井レール17に案内されるポスト18と、こ
のボスト18に案内されて昇降自在でかつ荷8を支持可
能な振り出し式の保持アーム19を有する昇降台20と
を備えている。
してクリーンエアを下吹きし、下降するクリーンエアを
メツシュ形式の床12を通して床下に吸引するものであ
る。また、本体3内には独自に設けたクリーンユニット
またはクリーンルーム2用のクリーンユニットが設けら
れ、エアフィルター13やエアダクト14が配設される
。前記搬入出装置9A、9Bは、それぞれ一定経路7A
、7Bに沿って配設された床レール15に案内されて移
動自在な走行機台16と、この走行機台16に立設され
て上端が天井レール17に案内されるポスト18と、こ
のボスト18に案内されて昇降自在でかつ荷8を支持可
能な振り出し式の保持アーム19を有する昇降台20と
を備えている。
前記開口10の外方には、本体3の前面に沿う一定の搬
送経路21を有する荷搬送装置22が配設される。この
荷搬送装置22は、搬送経路21に沿って配設されて上
面開放のC字形のレール装置23と、このレール装置2
3に車軸等を介して支持案内されて荷受台24aを有す
る自走台車24と、レール装置23と自走台車24を囲
みエアを吸引するダクト25を備えている。そして、開
口10に対向する位置はステーション26に形成され、
開口10の部分には開口10を通してステーション26
の自走台車24と荷捌きコンベヤ6Cの荷捌き位置(ニ
)との間で荷8の受け渡しを行う移載装置27が配設さ
れる。この移載装置27は、基台28上に垂直軸心回り
に回転自在に配設された回転体29と、この回転体29
の対称位置に突設されて昇降自在でかつ接近離間動自在
な左右一対で2組の支持腕30と、これら支持腕3oと
直交する方向に突設されて開口1oを閉鎖自在な左右一
対の扉体31とを備えている。
送経路21を有する荷搬送装置22が配設される。この
荷搬送装置22は、搬送経路21に沿って配設されて上
面開放のC字形のレール装置23と、このレール装置2
3に車軸等を介して支持案内されて荷受台24aを有す
る自走台車24と、レール装置23と自走台車24を囲
みエアを吸引するダクト25を備えている。そして、開
口10に対向する位置はステーション26に形成され、
開口10の部分には開口10を通してステーション26
の自走台車24と荷捌きコンベヤ6Cの荷捌き位置(ニ
)との間で荷8の受け渡しを行う移載装置27が配設さ
れる。この移載装置27は、基台28上に垂直軸心回り
に回転自在に配設された回転体29と、この回転体29
の対称位置に突設されて昇降自在でかつ接近離間動自在
な左右一対で2組の支持腕30と、これら支持腕3oと
直交する方向に突設されて開口1oを閉鎖自在な左右一
対の扉体31とを備えている。
32A、32Bは本体3の後部に配設された工程加工の
ために入出庫するコンベヤ、33は工程内搬送ロボット
である。
ために入出庫するコンベヤ、33は工程内搬送ロボット
である。
次に上記実施例の作用を説明する。
荷受台24aに荷8を積載した自走台車24がレール装
置23に案内されて搬送経路21を走行し、ステーショ
ン26に停止される0本体3内では、出庫用搬出装置9
Bが駆動されて出庫用45Bの荷8が出庫用コンベヤ9
Bの出庫位置(イ)に順次搬出され、また出庫用コンベ
ヤ6Bが1ストロークずつ間欠運転されて矢印六方向に
沿って出庫側ストレージ位M(ロ)(ハ)に送られ、そ
して荷捌きコンベヤ6Cが矢印B方向に駆動されて荷捌
き位置(ニ)に移送される0次に、移載装置27を駆動
し、離間状態の支持腕30をそれぞれ下降して接近動さ
せ、自走台車24および荷捌きコンベヤ6Cの荷8をそ
れぞれ支持させて上昇させる。そして、回転体29を1
80°回転させて支持腕30を下降、離間動、上昇し、
自走台車24の荷8を荷捌きコンベヤ6Cの荷捌き位!
(ニ)に移載する同時に荷捌き位置(ニ)の荷8を自走
台車24の荷受台24aに移載する。これら移載装置2
7や自走台車24の入換え作業中に、本体3内では荷捌
きコンベヤ6Cから入庫用コンベヤ6Aを矢印C方向に
駆動して入庫位置(ト)に運ばれた荷8を入庫用搬入装
置9Aにより順次目的とする入庫用機5Aの区画収納空
間4Aに搬入し、また出庫用115Bの区画収納空間4
Bの荷8を出庫用搬出装置19Bにより順次出庫用コン
ベヤ6Bの出庫位置(イ)に搬出する。
置23に案内されて搬送経路21を走行し、ステーショ
ン26に停止される0本体3内では、出庫用搬出装置9
Bが駆動されて出庫用45Bの荷8が出庫用コンベヤ9
Bの出庫位置(イ)に順次搬出され、また出庫用コンベ
ヤ6Bが1ストロークずつ間欠運転されて矢印六方向に
沿って出庫側ストレージ位M(ロ)(ハ)に送られ、そ
して荷捌きコンベヤ6Cが矢印B方向に駆動されて荷捌
き位置(ニ)に移送される0次に、移載装置27を駆動
し、離間状態の支持腕30をそれぞれ下降して接近動さ
せ、自走台車24および荷捌きコンベヤ6Cの荷8をそ
れぞれ支持させて上昇させる。そして、回転体29を1
80°回転させて支持腕30を下降、離間動、上昇し、
自走台車24の荷8を荷捌きコンベヤ6Cの荷捌き位!
(ニ)に移載する同時に荷捌き位置(ニ)の荷8を自走
台車24の荷受台24aに移載する。これら移載装置2
7や自走台車24の入換え作業中に、本体3内では荷捌
きコンベヤ6Cから入庫用コンベヤ6Aを矢印C方向に
駆動して入庫位置(ト)に運ばれた荷8を入庫用搬入装
置9Aにより順次目的とする入庫用機5Aの区画収納空
間4Aに搬入し、また出庫用115Bの区画収納空間4
Bの荷8を出庫用搬出装置19Bにより順次出庫用コン
ベヤ6Bの出庫位置(イ)に搬出する。
次に荷lOの連続入庫作業と連続出庫作業とを説明する
。
。
連続入庫する場合には、荷捌きコンベヤ6cおよび入庫
コンベヤ6Aを同期駆動し、自走台車24で運ばれてく
る荷8を移載装置22を介して順次荷捌きコンベヤ6C
の荷捌き位置(ニ)に移載し。
コンベヤ6Aを同期駆動し、自走台車24で運ばれてく
る荷8を移載装置22を介して順次荷捌きコンベヤ6C
の荷捌き位置(ニ)に移載し。
そして入庫側ストレージ位置(ホ)(へ)から入庫位置
(ト)に送る。同時に、入庫用搬入装置9Aを駆動して
入庫位W(ト)の荷8を入庫用機5Aに搬入する。
(ト)に送る。同時に、入庫用搬入装置9Aを駆動して
入庫位W(ト)の荷8を入庫用機5Aに搬入する。
連続出庫する場合は、出庫用コンベヤ6Bおよび荷捌き
コンベヤ6cを同期駆動し、出庫用搬出装置9Bにより
出庫位置(イ)に搬入された荷8を出庫側ストレージ位
置(ロ) (ハ)を介して荷捌き位置(ニ)に移送し、
移載装置27により順次荷8をステーション26位置の
自走台車24の荷受台24aに移載する。同時に、出庫
用搬出装置9Bを駆動して出庫用棚5Bから入庫位M(
イ)に荷8を連続して補充する。
コンベヤ6cを同期駆動し、出庫用搬出装置9Bにより
出庫位置(イ)に搬入された荷8を出庫側ストレージ位
置(ロ) (ハ)を介して荷捌き位置(ニ)に移送し、
移載装置27により順次荷8をステーション26位置の
自走台車24の荷受台24aに移載する。同時に、出庫
用搬出装置9Bを駆動して出庫用棚5Bから入庫位M(
イ)に荷8を連続して補充する。
前記入庫および出庫の連続作業では、少なくとも入出庫
コンベヤ6A、6Bのストレージ数の荷8を搬入搬出装
置9A、9Bの作業時間に関係なく、連続して入出庫す
ることができる。
コンベヤ6A、6Bのストレージ数の荷8を搬入搬出装
置9A、9Bの作業時間に関係なく、連続して入出庫す
ることができる。
発明の効果
以上に述べたごとく本発明によれば、荷保管装置の荷捌
き位置に荷捌きコンベヤを設けるとともに、この荷捌き
コンベヤに対して荷を受渡しする入庫用コンベヤおよび
出庫用コンベヤを設け、入庫用コンベヤから棚に荷を搬
入する入庫用搬入装置と、棚から出庫用コンベヤに荷を
搬出する出庫用搬出装置を設けたので、連続した搬入高
作業に要する待ち時間を、入庫用搬入装置または出庫用
搬出装置の入出庫作業の1サイクルに必要な時間とする
ことができ、従来に比べて待ち時間を半減できる。さら
に、入庫用コンベヤおよび出庫用コンベヤにストレージ
できる分だけ、荷を連続して入庫および出庫することが
でき、自走台車がステーションに集中した時に容易に対
応できる。したがって、通常時の入出庫処理能力を大幅
に向上でき、しかも集中した入庫や出庫に対しても容易
に対応できて効率のよい入出庫作業が行える。
き位置に荷捌きコンベヤを設けるとともに、この荷捌き
コンベヤに対して荷を受渡しする入庫用コンベヤおよび
出庫用コンベヤを設け、入庫用コンベヤから棚に荷を搬
入する入庫用搬入装置と、棚から出庫用コンベヤに荷を
搬出する出庫用搬出装置を設けたので、連続した搬入高
作業に要する待ち時間を、入庫用搬入装置または出庫用
搬出装置の入出庫作業の1サイクルに必要な時間とする
ことができ、従来に比べて待ち時間を半減できる。さら
に、入庫用コンベヤおよび出庫用コンベヤにストレージ
できる分だけ、荷を連続して入庫および出庫することが
でき、自走台車がステーションに集中した時に容易に対
応できる。したがって、通常時の入出庫処理能力を大幅
に向上でき、しかも集中した入庫や出庫に対しても容易
に対応できて効率のよい入出庫作業が行える。
図面は本発明の一実施例を示し、第1図は荷保管装置の
平面断面図、第2図は第1図に示すI−■断面図である
。 (イ)・・・出庫位置、(ロ)(ハ)・・・出庫側スト
レージ位置、(ニ)・・・荷捌き位置、(ホ)(へ)・
・・入庫側ストレージ位置、(ト)・・・入庫位置、1
・・・荷保管設備、2・・・クリーンルーム、3・・・
本体、5A・・・入庫用棚、5B・・・出庫用棚、6A
・・・入庫用コンベヤ、6B・・・出庫用コンベヤ、6
C・・・荷捌きコンベヤ、8・・・荷、9A・・・入庫
用搬入装置、9B・・・出庫用搬出装置、10・・・開
口、21・・・搬送経路、22・・・荷搬送装置、24
・・・自走台車、26・・・ステーション、27・・・
移載装置。
平面断面図、第2図は第1図に示すI−■断面図である
。 (イ)・・・出庫位置、(ロ)(ハ)・・・出庫側スト
レージ位置、(ニ)・・・荷捌き位置、(ホ)(へ)・
・・入庫側ストレージ位置、(ト)・・・入庫位置、1
・・・荷保管設備、2・・・クリーンルーム、3・・・
本体、5A・・・入庫用棚、5B・・・出庫用棚、6A
・・・入庫用コンベヤ、6B・・・出庫用コンベヤ、6
C・・・荷捌きコンベヤ、8・・・荷、9A・・・入庫
用搬入装置、9B・・・出庫用搬出装置、10・・・開
口、21・・・搬送経路、22・・・荷搬送装置、24
・・・自走台車、26・・・ステーション、27・・・
移載装置。
Claims (1)
- 1、レール装置と、このレール装置に案内される自走台
車とにより荷搬送装置を構成し、この荷搬送装置の搬送
経路を、箱状の本体で囲まれた荷保管装置の側方に通過
形成するとともに、本体の側方に搬送経路のステーショ
ンを形成し、前記本体内に、出庫用コンベヤと、入庫用
コンベヤと、出庫用コンベヤの出口と入庫用コンベヤの
入口に接続されて前記ステーションの側方を通過する荷
捌きコンベヤとを設け、前記本体に形成した開口を介し
てステーション位置の自走台車と荷捌きコンベヤの荷捌
き位置との間で荷を受け渡しする移載装置を設け、前記
本体内に、本体内に配設された棚から出庫用コンベヤに
荷を搬出する出庫用搬出装置と、入庫用コンベヤから前
記棚に荷を搬入する入庫用搬入装置とを設けたことを特
徴とするクリーンルーム内の荷取扱い設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28676189A JP2592687B2 (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | クリーンルーム内の荷取扱い設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28676189A JP2592687B2 (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | クリーンルーム内の荷取扱い設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03147620A true JPH03147620A (ja) | 1991-06-24 |
| JP2592687B2 JP2592687B2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=17708706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28676189A Expired - Fee Related JP2592687B2 (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | クリーンルーム内の荷取扱い設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2592687B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2374339A (en) * | 2001-02-21 | 2002-10-16 | Daifuku Kk | Materials handling system |
| CN108438703A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-08-24 | Aem科技(苏州)股份有限公司 | 一种基板转移装置及基板转移方法 |
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1989
- 1989-11-01 JP JP28676189A patent/JP2592687B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| GB2374339A (en) * | 2001-02-21 | 2002-10-16 | Daifuku Kk | Materials handling system |
| GB2374339B (en) * | 2001-02-21 | 2004-01-21 | Daifuku Kk | Materials handling system |
| CN108438703A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-08-24 | Aem科技(苏州)股份有限公司 | 一种基板转移装置及基板转移方法 |
| CN108438703B (zh) * | 2018-03-08 | 2023-12-26 | Aem科技(苏州)股份有限公司 | 一种基板转移装置及基板转移方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2592687B2 (ja) | 1997-03-19 |
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