JPH03147852A - 多連型液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、例えばインクジェット・プリンタのヘッドに
用いられるような多連型液体吐出装置に関し、特に、圧
電素子の圧電効果を利用して液体を吐出するように構成
されたものに関する。

〔従来の技術〕

従来より、インクシエンド・プリンタのへンドにおける
インクシエンド噴出構造として、圧電素子を利用したも
のが公知である。−例を、第２図を参照して説明する。

第２図の構造では、ガラスやセラミックス等の剛性材料
よりなるベース１に複数個の溝１ａ〜ＩＣが形成されて
いる。溝１ａ−１ｃを開底するように、ベース１の上面
には、金属よりなる振動板２が貼り付けられている。振
動板２の上面においいては、溝１ａ〜ＩＣのそれぞれに
対応する部分に圧電素子３３〜３Ｃが貼り付けられてい
る。

圧電素子３ａ〜３Ｃは、圧電板に電極を形成した構造を
有し、この電極に電圧を印加することにより駆動され、
溝１ａ−１ｃの上部の振動板部分をベンディング変形さ
せて、それによって溝１３〜１ｃの容積を変化させてイ
ンクジェットを噴出し得るように構成されている。

従来のインクシエンド噴出装置の他の例としては、円筒
型の圧電セラミックスの内周面及び外周面に電極を形成
し、それに電圧を印加することにより、素子の内径を変
形させてインクを吐出する圧電素子を用いたものが知ら
れている。この場合には、−台のプリンタに対して、数
１０個の上記圧電素子を組み込んでヘッドが構成されて
いた。

〔発明が解決しようとする技術的課題〕第２図を参照し
て説明した第１の従来例では、ガラスやセラミックス等
からなるベース１に、熱膨張係数の異なる金属板を貼り
付けるものであるため、周囲温度が変化した場合に剥が
れが生じるおそれがあり、信頼性の点で難があった。

また、圧電素子３ａ〜３Ｃを振動板２に貼り付けるに際
しては、谷溝１ａ〜ＩＣの上部の正しい位置に、−枚ご
とに正確に貼り付ける必要があり、該貼り付は作業に多
大の手間を要していた。

さらに、圧電素子３ａ〜３ｃの一素子ずつを電気的に接
続しなければならず、電気的な接続に際しても煩雑な作
業を強いられていた。

他方、円筒型の圧電素子を多数組み込んだ従来例では、
各圧電素子が独立の素子で構成されているので、組立て
に煩雑な作業を必要とし、コストがかなり高く付いてい
た。のみならず、独立した素子を組み合わせるものであ
るため、ヘッドがかなり大型のものにならざるを得なか
った。

よって、本発明の目的は、多連型の液体吐出装置であっ
て、雰囲気温度の変動に関わらず確実に動作し、組立て
が容易であり、かつ小型化及び軽量化を図り得る構造を
備えたものを提供することにある。

〔技術的課題を解決するための手段〕

本発明は、複数個の液体吐出用貫通孔のそれぞれに対応
して圧電素子が設けられており、圧電素子の圧電効果を
利用した多連型液体吐出装置であって、下記の構成を備
えることを特徴とする。

すなわち、両端面に開口した複数個の液体吐出用貫通孔
が並設されたセラミック体と、このセラミック体内にお
いて、各液体吐出用貫通孔の内壁にまたは該貫通孔の周
囲のセラミック部分の少なくとも一部を囲むように形成
された内部電極と、内部電極と対向するように、セラミ
ック体の両端面を結ぶ外側面に形成された外部電極とを
備える。

そして、セラミック体のうち、内部電極と外部電極とに
挟まれたセラミック部分は圧電セラミックスにより構成
されており、かつ内部電極及び外部電極のうち一方が液
体吐出用貫通孔毎に独立して形成されており、他方が共
通電極として形成されており、それによって各液体吐出
用貫通孔毎に対応した圧電素子が設けられている。

内部電極が各液体吐出用貫通孔毎に独立に形成された構
造では、各内部電極は、各貫通孔の内壁または各貫通孔
の周囲のセラミック部分を囲むように配置されており、
外部電極はセラミック体の両端面を結ぶ外側面を覆うよ
うに形成された共通電極により構成される。

他方、内部電極が共通電極で構成されている構造の場合
には、この共通電極は、各貫通孔周囲のセラミック部分
の一部を囲むように形成された複数の駆動電極部と、こ
の複数の駆動電極部を互いに接続するように配置された
接続電極部とを有する。他方、外部電極は、圧電セラミ
ックスにより構成されたセラミンク部分を介して上記各
駆動電極部と対向するように、各液体吐出用貫通孔毎に
独立して形成されている。

〔作用］ 単一のセラミック体を利用して複数個の圧電素子が各液
体吐出用貫通孔に対応して構成されているので、製造が
容易であり、高密度に各液体吐出用貫通孔を設けること
ができる。

また、単一のセラミック体内に電極及び液体吐出用貫通
孔を形成することにより構成されているので、すなわち
熱膨張係数の異なる異種材料を貼り合わせたものでない
ため、周囲温度が変化しても１１１がれ等が生し難い。

さらに、各圧電素子は、セラくツク体内の内部電極にお
いて、あるいはセラミック体の外側面に形成された外部
電極において、相互に電気的に接続されて構成されてい
るので、各圧電素子を駆動するのに必要な電気的な接続
も容易とされている。

なお、内部電極が各液体吐出用貫通孔毎に独立された構
造、特に、液体吐出用貫通孔の周囲のセラミンク部分を
囲むように各内部電極が形成された構造では、駆動され
る液体吐出用貫通孔周囲の第１のセラミンク部分が隣接
する液体吐出用貫通孔間において独立されているため、
クロストークを効果的に抑制することができる。

さらに、内部電極を共通とした構造では、外部電極側に
おいて各圧電素子毎に外部電極が独立形成されているの
で、駆動に際しての電気的な接続がより一層容易とされ
ている。

〔実施例の説明〕

以下、インクジェット・プリンタのヘッドに用いられる
構造に適用した実施例につき説明する。

第１図は、本発明の第１の実施例の多連型液体吐出装置
の斜視図である。この多連型液体吐出装置１１では、セ
ラミック体１２の両端面に延びるように、複数個の液体
吐出用貫通孔１３ａ〜１３ｄが所定距離を隔てて並設さ
れている。第１図では、液体吐出用貫通孔１３ａ−１３
ｄの一方端が開いた一方側の端Ｗ１２ａのみが図示され
ているが、他方端面側においても液体吐出用貫通孔１３
ａ−＋３ｄが開口されている。

各液体吐出用貫通孔１３ａ−１３ｄの周囲の断面ドーナ
ツ型のセラミンク部分１４ａ−１４ｄを囲むように複数
の独立した内部電極１５ａ−１５ｄが形成されている。

他方、セラミック体１２のうち、上記内部電極１５ａ〜
１５ｄの外側のセラミック部分１６は圧電性セラミック
スにより構成されている。そして、セラミ、り体１２の
両端面を除く外側面の全域に渡り外部電極１７が形成さ
れている。従って、セラミンク部分１６を介して、各内
部電極１５ａ〜１５ｄと、外部電極１７とが対向するよ
うに構成されているため、各液体吐出用貫通孔１３ａ−
１３ｄ毎に、圧電素子が構成されていることがわかる。

第１の実施例の多連型液体吐出装置１１では、外部電極
１７に一方の極性の電位を与え、任意の内部電極１５ａ
〜１５ｄに他方の極性の電位を与えることにより、任意
の圧電素子を駆動することができ、それによって所望の
貫通孔１３ａ−１３ｄを変形させてインクジェットを噴
出することができる。

上記の構造から明らかなように、この多連型液体吐出装
置１１では、単一のセラミック体１２内に、各液体吐出
用貫通孔１３　ａ−１３ｄが並設されているだけでなく
、よ変事−のセラ兆ツク体１２を利用して各液体吐出用
貫通孔１３ａ〜１３ｄに対応した圧電素子が構成されて
いる。従って、独立した圧電素子を後で組み合わせるも
のでないため、煩雑な組立て作業を実施する必要がなく
、また複数個の圧電素子及び液体吐出貫通孔を高密度に
形成することができる。

さらに、セラミックスと電極材料のみを用いるものであ
るため、第２図従来例のように異種材料を貼り合わせる
必要がない。従って、雰囲気温度が変化したとしても、
剥がれ等が生じ難い。

次に、第１図の多連型液体吐出装置の製造方法につき説
明する。まず、第３図に示すように、容器２１内にアル
ミナまたはチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等のセラミ
ックスのスラリー２２を貯留する０次に、このスラリー
２２内に、導電性材料よりなる固定治具２３に一端側が
固定されたカーボン芯２４ａ〜２４ｄを浸漬する。

なお、カーボン芯２４ａ〜２４ｄは、後述する焼成工程
により飛散されるものであり、上記第１の実施例の液体
吐出用貫通孔１３ａ〜１３ｄを形成するためのものであ
る。従って、液体吐出用貫通孔の数に応じたカーボン芯
が用意される。

次に、固定治具２３と容器２１との間に直流電圧を印加
し、セラミック・スラリー２２を帯電させると共に、一
方の電極である各カーボン芯２４ａ〜２４ｄ側にセラミ
ックスを移動させ、カーボン芯２４ａ〜２４ｄの周囲に
セラミンク・スラリーを付着させる。

次に、スラリー２２からカーボン芯２４ａ〜２４ｄを引
き上げ、付着したセラミック・スラリーを乾燥させる。

上記工程を経ることにより、第４図に示すように、カー
ボン芯２４ａ〜２４ｄの周囲に円形状にセラミック層２
５ａ〜２５ｄを形成することができる。

次に、第４図の円筒状のセラミック層２５ａ〜２５ｄを
乾燥させた後、その外表面に内部電極となる金属層を形
成する。金属層は、例えばＡｇ−Ｐｄからなる導電ペー
スト中に、セラミンクＮ２５ａ〜２５ｄを浸漬する方法
により形成することができる。この金属層の形成は、導
電ペーストの塗布等の他の方法によっても行い得る。

次に、各セラミック層２５ａ〜２５ｄ及び金属層が形成
された複数のカーボン芯２４ａ〜２４ｄを、圧電セラミ
ックスで一体化し、ｌ　１００〜１２００°Ｃの温度で
焼成することにより、第５図辷示す焼結済みセラミック
体１２が得られる。

なお、圧電性セラミックスで各カーボン芯２４ａ〜２４
ｄを一体化するに際しては、圧電性セラミックスを主体
とするスラリー中に、セラミック層２５ａ〜２５ｄ及び
金属層が外表面に形成されたカーボン芯２４８〜２４ｄ
を浸漬したり、あるいは適宜の金型を用い、各カーボン
芯２４ａ〜２４ｄが内部に配置されるように圧電性セラ
ミックスを成形することにより得られる。

このような焼成前の成形に際しては、内部電極となる金
属層の一部が第５図のセラミック体１２の両端面に露出
するようにしておくことが好ましい、これは、インクジ
ェット噴出素子の内部電極を駆動するに際しての外部と
の電気的接続を容易とするためである。

なお、第５図から明らかなように、焼結されたセラミッ
ク体１２内では、カーボン芯２４ａ〜２４ｄが図示され
ていない。これは、焼成に際してカーボン芯２４ａ〜２
４ｄが燃え尽き、飛散するからである。

次に、セラミック体１２の外側面に、Ａｇを主体とする
導電ペーストを塗布した後、７００〜８ｏｏ’ｃの温度
で焼き付けを行うことにより、第１図に示した外部電極
１７を形成する。このようしにて、第１の実施例の液体
吐出装置１１を得ることができる。

上記製造工程の説明から明らかなように、本実施例の液
体吐出装置１１では、比較的簡単な工程により複数の液
体吐出用貫通孔１３ａ−１３６が並設された多連型液体
吐出装置を得ることができる。しかも、従来例のように
、圧電素子を溝の上に正確に位置決めし、固着するとい
う煩雑な作業を省略することができる。従って、量産性
に優れた多連型液体吐出装置を得ることができる。

第６図は、本発明の第２の実施例の液体吐出装置を示す
断面図である。第２の実施例の液体吐出装置３１では、
セラミック体３２内に、所定距離を隔てて複数個の液体
吐出用貫通孔３３ａ〜３３ｄが形成されている。各液体
吐出用貫通孔３３ａ〜３３ｄの周囲には、セラミック部
分３４ａ〜３４ｄが配置されている。

他方、セラミック体３２内には共通電極として構成され
た一対の内部電極３５．３６が形成されている。各内部
電極３５．３６は、それぞれ、各貫通孔３３ａ〜３３ｄ
の周囲のセラごツク部分３４ａ〜３４ｄの一部を覆うよ
うに形成された駆動電極部３５ａ〜３５ｄ、３６ａ　〜
３６ｄと、駆動電極部３５ａ〜３５ｄ、３６ａ　〜３６
ｄを電気的に接続する接続ｉｔ電極部５ｅ〜３５ｇ及び
３６ｅ〜３６ｇとを有する。すなわち、本実施例の液体
吐出装置３１では、各液体吐出用貫通孔３３ａ〜３３ｄ
の形状に合わせて、その周囲のセラミック部分３４ａ〜
３４ｄ゛の一部を覆うように、横断面が半円形の駆動電
極部３５ａ〜３５ｄ、３６ａ〜３６ｄが形成されている
。そして、各駆動電極部３５ａ　〜３５ｄ、３６ａ　〜
３６ｄが互いに接続電極部３５ｅ〜３５ｇ、３６ｅ〜３
６ｇにより電気的に接続されている。゛ 内部電極３５．３６の外側には、圧電性セラミックスよ
りなるセラ粟ツク部分３７ａ、３７ｂが形成されている
。そして、各セラミック部分３７ａ　　３７ｂの外表面
は、図示のように内部電極３５３６の駆動電極部３５ａ
〜３５ｄ、３６ａ　〜３６ｄの横断面形状に合わせて、
各液体吐出用貫通孔３３ａ〜３３ｄ毎に横断面が半円形
の形状となるように盛り上げられている。この盛り上げ
られた部分に、各液体吐出用貫通孔３３ａ〜３３ｄごと
に、独立した外部電極３８ａ〜３８ｄ、３９ａ〜３９ｄ
が形成されている。

よって、本実施例では、内部電極３５．３６と、各外部
型Ｆｊ３８ａ　〜３８ｄ、３９ａ　〜３９ｄとが、圧電
性セラミックスよりなるセラミック部分３７ａ、３７ｂ
を介して対向するように配置されているので、各液体吐
出用貫通孔３３ａ〜３３ｄの上部に一対の圧電素子が配
置された構造が実現されている。従って、内部電極３５
．３６を一方の極性の電位に共通に接続し、外部電極３
８ａ〜３８ｄ、３９ａ〜３９ｄを他方の極性の電位に適
宜接続することにより、所望の液体吐出用貫通孔３３ａ
〜３３ｄの容積を変動させ、液体を所望の液体吐出用貫
通孔３３ａ〜３３ｄから吐出させることができる。

第２の実施例においても、単一のセラミック体３２内に
、複数個の液体吐出用貫通孔３３ａ〜３３ｄが並設され
ており、かつ単一のセラミック体３２内に複数個の圧電
素子が一体的に構成されている。よって、第１図に示し
た第１の実施例と同様に、高密度に複数個の液体吐出用
素子を形成することができ、また第２図従来例のように
異種材料を貼り合わせるものでないため雰囲気温度が変
動しても剥がれ等の事故が生し難い。

次に、第２の実施例の液体吐出装置３１の製造方法を説
明する。

まず、第７図に示すように、アルミナまたはチタン酸ジ
ルコン酸鉛等のセラミンク材料からなる矩形のグリーン
シート４１上に、導電ペースト４２を塗布する。この導
電ペースト４２は、第７図では全面に塗布されているが
、該導電ペースト４２は、内部電極３５．３６を構成す
るためものであるため、全面に塗布する必要は必ずしも
ない。

例えば、前述した接続電極部３５ｅ〜３５ｇ、３６０〜
３６ｇを構成する部分については、セラミックグリーン
シート４１の一方長辺４１ａから他方長辺４１ｂの間の
一部にのみ形成されていてもよい。

導電ペースト４２としては、白金、パラジウムまたはこ
れらの合金を主体とするものを適宜用いることができる
。

次に、第７図に矢印で示すように、導電ペースト４２が
形成された側の主面上に、チタン酸ジルコン酸鉛のよう
な圧電性セラミックスを主体とする矩形のグリーンシー
ト４３を積層し、平板型の積層体を得る。

次に、第８図に示すように、上記積層体を金型４４を用
いてプレス成形する。金型４４は、下面に半円筒型の突
出部４５ａ〜４５ｄが形成された上金型４５と、上面に
曲面状凹部４６ａ〜４６ｄが形成された下金型４６と、
ガイド４８，４９とを有する。第８図に図示されている
ように、上金型４５と下金型４６とを近接させることに
より、積層体５０の上面及び下面に、半円筒型突出部４
５ａ〜４５ｄ及び曲面状凹部４６ａ〜４６ｄに基づく凹
凸を付与する。

次に、第９図に示すように、ブレス成形された積層体５
０の上面側の半円筒型凹部に該半円筒型凹部の径に相当
するカーボン芯５１ａ〜５１ｄを載置する。

次に、第９図のカーボン芯５１ａ〜５１ｄが載置された
積層体５０上に、第８図のプレス装Ｗ４４により成形さ
れる前の積層体を上下逆転して積層し、第１０図に示す
プレス装置５２でブレス成形する。

プレス装置５２は、下方に、第８図に示したプレス装置
４４の下金型４６と同一形状の下金型５３を有し、上金
型として、下金型５３と同一形状の上金型５４を有する
。５５．５６はガイドである。上金型５４が下金型５３
と同一形状を有するため、このプレス装置５２によりブ
レス成形することにより、第１１図に示す積層体５７を
得ることができる。

この積層体５７を、所定の焼成温度で焼成することによ
り、カーボン芯５１ａ〜５１ｄが燃え尽き、飛散されて
、カーボン芯５１ａ〜５１ｄが存在していた部分に、第
６図に示す液体吐出用貫通孔３３ｅ〜３３ｇが形成され
る。

次に、第６図に示したように、独立した外部電極３８ａ
　〜３８ｄ、３９ａ　〜３９ｄを、各液体吐出用貫通孔
３３ａ〜３３ｄに対応して形成する。

外部電極３８ａ　〜３８ｄ、３９ａ　〜３９ｄの形成は
導電ペーストの印刷・焼付け、あるいはいわゆる転写方
式等により形成することができる。

なお、転写方式により外部電極を形成する場合には、焼
結に先立って、第１０図のプレス装置５２でブレス成形
するに際し、セラミックグリーンシートの外表面に外部
電極３８ａ〜３８ｄ、３９ａ〜３９ｄとなる導電性材料
が付与された樹脂フィルムを積層体の上下に積層し、ブ
レス成形に際して積層体上に転写することによって形成
することも可能である。この場合には、上金型５４及び
下金型５３と、積層体を構成しているグリーンシートと
の間に樹脂フィルムが存在することになる。

従って、セラミツタグリーンシートの上金型５４及び下
金型５３への付着を防止することができる。

上記のように、第２の実施例の多連型液体吐出装置の製
造工程においても、比較的簡単な一連の工程により、複
数個の液体吐出部を簡単に構成することができる。しか
も、カーボン芯の間隔を決定するだけで、各液体吐出用
貫通孔３３ａ〜３３ｄの位置決めが行われ、また第８図
及び第１Ｏ図に示したプレス装置４４．５２の金型の形
状を選択するだけで、各圧電素子部分の位置決めや内部
電極の形成も容易に行い得ることがわかる。

なお、上述した第１及び第２の実施例の液体吐出装置で
は、内部電極が液体吐出用貫通孔周囲のセラミック部分
の周囲の少なくとも一部を囲むように形成されているが
、貫通孔の内壁に形成した構造としてもよい、この場合
、内部電極を形成する方法としては、焼成して液体吐出
用貫通孔が並設されたセラミック体を作成した後、貫通
孔の内壁に導電ペーストを塗布し、次いで焼付けて形成
する方法、あるいはカーボン芯の表面に導電ペーストを
付与しておき、焼成の段階でカーボン芯を飛散させる共
に焼付けて形成してもよい。

また、上述した第１及び第２の実施例の液体吐出装置で
は、４個の液体吐出用貫通孔が形成されていたものを図
示したが、それ以外の数の液体吐出用貫通孔が形成され
たものにも、本発明を通用できることは言うまでもない
。また、各液体吐出用貫通孔の断面形状や内部電極の横
断面形状についても、図示例に限らず、適宜変更し得る
ことを指摘しておく。

さらに、第２の実施例の例において、カーボン芯の他に
焼成の段階で燃え尽きて飛散する材料、例えば樹脂やワ
ックスからなる芯を用いてもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、単一のセラミンク体内に複数個の液体
吐出用貫通孔及びそれに対応した圧電素子が構成されて
いるので、多連型液体吐出装置の小型化・軽量化・高密
度化を容易に図ることができる。

また、単一のセラミンク体内に電極材料を配した構造を
有するだけであるため、雰囲気温度が変化したとしても
剥がれ等が生し難い。従って、信頼性に優れた多連型の
液体吐出装置を実現することが可能となる。

のみならず、独立した複数個の液体吐出用素子を組み合
わせた従来例の場合のような煩雑な組立て作業を省略す
ることができ、比較的簡単な一連の工程により製造する
ことができるので、製造コストを効果的に低減すること
が可能となる。

従って、本発明によれば、例えば、小型・軽量であり、
高速印字可能なインクジェット・プリンタ用ヘッドを得
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の多連型液体吐出装置の
斜視図、第２図は従来の液体吐出装置の一例を説明する
ための断面図、第３図〜第５図は第１の実施例を製造す
る工程を説明するための各図であり、第３図はカーボン
芯をセラミック・スラリー中に浸漬した状態を示す略図
的断面図、第４図はカーボン芯の周囲にセラミック層を
猛威した状態を示す側面図、第５図は焼結されたセラξ
７り体を示す斜視図、第６図は本発明の第２の実施例の
多連型液体吐出装置の端面図、第７図〜第１１図は第２
の実施例の多連型液体吐出装置を製造する工程を説明す
るための各図であり、第７図はグリーンシート上に導電
ペーストを塗布し、さらに圧電材料よりなるグリーンシ
ートを積層する工程を説明するための斜視図、第８図は
第１の金型内でグリーンシートを成形する工程を示す略
図的正面図、第９図は成形された積層体にカーボン芯を
Ｒ置した状態を示す前方＠面図、第１０図は第９図の積
層体上にさらにセラミックグリーンシートを積層して成
形する工程を説明するための略図的正面図、第１１図は
成形された積層体の前方端面図である。 図において、１１．３１は多連型液体吐出装置、１２．
３２はセラミック体、１２ａ、３２ａは端面、１３ａ〜
１３ｄ、３３ａ　〜３３ｄは液体吐出用貫通孔、１４ａ
＝１４ｄ、３４ａ　〜３４ｄはセラミック部分、１５ａ
−１５ｄ、３５．３６は内部電極、３５ａ　〜３５ｄ、
３６ａ〜３６ｄは駆動電極部、３５ａ〜３５ｇ、３６ｅ
〜３６ｇは接続電極部、１６はセラミック部分、３７は
圧電性セラミック層よりなるセラミック部分、１７．３
８ａ〜３８　ｄ、　　３９　ａ　〜３９　ｄは外部電極
を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数個の液体吐出用貫通孔のそれぞれに対応して
   圧電素子が設けられており、圧電素子の圧電効果を利用
   して液体を吐出させる多連型液体吐出装置であって、 両端面に開口した複数個の液体吐出用貫通孔が並設され
   たセラミック体と、 前記セラミック体内において、各液体吐出用貫通孔の内
   壁にまたは該貫通孔の周囲のセラミック部分の周囲の少
   なくとも一部を囲むように形成された内部電極と、 前記内部電極と対向するように、前記セラミック体の両
   端面を結ぶ外側面に形成された外部電極とを備え、 前記セラミック体のうち、内部電極と外部電極との間に
   挟まれたセラミック部分が圧電セラミックスにより構成
   されており、かつ 前記内部電極及び外部電極のうち、一方が各液体吐出用
   貫通孔毎に独立されて形成されており、他方が共通電極
   とされており、それによって各液体吐出用貫通孔に対応
   した複数個の圧電素子が設けられている、多連型液体吐
   出装置。
2. （２）前記内部電極が、各液体吐出用貫通孔毎に独立に
   形成されており、各内部電極は、各貫通孔の内壁または
   各貫通孔の周囲のセラミック部分を囲むように配置され
   ており、 前記外部電極は前記セラミック体の両端面を結ぶ外側面
   を覆うように形成された共通電極よりなる、請求項１に
   記載の多連型液体吐出装置。（３）前記内部電極は、各
   貫通孔の周囲のセラミック部分の一部を囲むように形成
   された複数の駆動電極部と、複数の駆動電極部を互いに
   電気的に接続するように配置された接続電極部とを有す
   る共通電極で構成されており、 前記外部電極は、圧電セラミックスにより構成されたセ
   ラミック部分を介して前記各駆動電極部と対向するよう
   に、各液体吐出用貫通孔毎に独立して形成されている、
   請求項１に記載の多連型液体吐出装置。