JPH03148043A - 赤外線顕微分光測定装置 - Google Patents
赤外線顕微分光測定装置Info
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- JPH03148043A JPH03148043A JP1286892A JP28689289A JPH03148043A JP H03148043 A JPH03148043 A JP H03148043A JP 1286892 A JP1286892 A JP 1286892A JP 28689289 A JP28689289 A JP 28689289A JP H03148043 A JPH03148043 A JP H03148043A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、赤外線顕微分光測定装置の改良に関する。
第２図は、従来の一般的な赤外線顕微分光測定装置を示
し、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介して試料
３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像させ、そ
の後、分光測定系５及び表示装置６により分光スペクト
ルを得て、解析を行う。
し、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介して試料
３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像させ、そ
の後、分光測定系５及び表示装置６により分光スペクト
ルを得て、解析を行う。
他方、赤外分光法の一つとして、吸収が極端に強くて透
過スペクトルの得にくい物質や、透過スペクトルを測定
できるような状態に試料を調製することが困難な場合な
どに用いられるＡＴＲ（＾−ｔｔｅｎｕａｔｅｄ Ｔ
ｏｔａｌ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）法などがよく知ら
れている。
過スペクトルの得にくい物質や、透過スペクトルを測定
できるような状態に試料を調製することが困難な場合な
どに用いられるＡＴＲ（＾−ｔｔｅｎｕａｔｅｄ Ｔ
ｏｔａｌ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）法などがよく知ら
れている。
第３図は、一般的なＡＴＲ法による赤外線分光測定装置
の一部を概略的に示すもので、この図において、７，８
は集光ミラー、９．１０はミラーである。そして、ミラ
ー９．ｌＯの間に形成される光路中には、反射用の高屈
折率媒質としての光学媒体、例工ばＫＨ２−５、ゲルマ
ニウム、シリコン等の光圧折率材料からなるＡＴＲ結晶
１１が設けてあり、このＡＴＲ結晶１１の一面には試料
３′がＡＴＲ結晶１１に接するようにして設けられてい
る。
の一部を概略的に示すもので、この図において、７，８
は集光ミラー、９．１０はミラーである。そして、ミラ
ー９．ｌＯの間に形成される光路中には、反射用の高屈
折率媒質としての光学媒体、例工ばＫＨ２−５、ゲルマ
ニウム、シリコン等の光圧折率材料からなるＡＴＲ結晶
１１が設けてあり、このＡＴＲ結晶１１の一面には試料
３′がＡＴＲ結晶１１に接するようにして設けられてい
る。
而して、上記構成のＡＴＲ法赤外線分光測定装置におい
て、図外の光源からの赤外線を集光ミラー７及びミラー
９を介してＡＴＲ結晶１１に入射させると、この赤外線
が試料３゛との接触面で全反射する際、特定波長の赤外
線が試料３゛中の測定成分により、その測定成分の感応
基の種類に対応して吸収される。そして、ＡＴＲ結晶Ｉ
Ｉを全反射しながら通過した赤外線を、ミラー１０及び
集光ミラー８を介して図外の分光測定器に入射させ、測
定成分に対応する分光スペクトルを得る。
て、図外の光源からの赤外線を集光ミラー７及びミラー
９を介してＡＴＲ結晶１１に入射させると、この赤外線
が試料３゛との接触面で全反射する際、特定波長の赤外
線が試料３゛中の測定成分により、その測定成分の感応
基の種類に対応して吸収される。そして、ＡＴＲ結晶Ｉ
Ｉを全反射しながら通過した赤外線を、ミラー１０及び
集光ミラー８を介して図外の分光測定器に入射させ、測
定成分に対応する分光スペクトルを得る。
ここで、上記二つの装置における光学系に着目した場合
、赤外線顕微分光測定装置では、光源１からの赤外線を
コンデンサ鏡２で試料３に集光照射して、その透過光を
対物鏡４で拡大結像させるため、必然的にコンデンサ鏡
２と対物鏡４を同軸上に配置しなければならない。
、赤外線顕微分光測定装置では、光源１からの赤外線を
コンデンサ鏡２で試料３に集光照射して、その透過光を
対物鏡４で拡大結像させるため、必然的にコンデンサ鏡
２と対物鏡４を同軸上に配置しなければならない。
一方、ＡＴＲ法は、第３図からも明らかなように、ＡＴ
Ｒ結晶１１に入射する赤外線の光軸と全反射しながら出
射する赤外線の光軸は同軸にはならず、このため従来ま
では、赤外線顕微分光測定装置においてＡＴＲ法が行わ
れることはなかった。
Ｒ結晶１１に入射する赤外線の光軸と全反射しながら出
射する赤外線の光軸は同軸にはならず、このため従来ま
では、赤外線顕微分光測定装置においてＡＴＲ法が行わ
れることはなかった。
このため、測定する試料によって装置を使い分ける必要
があり、非常に効率の悪いものであった。
があり、非常に効率の悪いものであった。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、簡単な操作により、ＡＴＲ分析を
も可能とする赤外線顕微分光測定装置を提供することに
ある。
目的とするところは、簡単な操作により、ＡＴＲ分析を
も可能とする赤外線顕微分光測定装置を提供することに
ある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る赤外線顕微分
光測定装置は、集光素子部と拡大結像素子部の一方が他
方に対して光軸と直交する方向に位置変更できる移動機
構を設け、前記両者の間にＡＴＲ結晶を介装してＡＴＲ
分析が行えるように構成した点に特徴がある。
光測定装置は、集光素子部と拡大結像素子部の一方が他
方に対して光軸と直交する方向に位置変更できる移動機
構を設け、前記両者の間にＡＴＲ結晶を介装してＡＴＲ
分析が行えるように構成した点に特徴がある。
上記特徴構成によれば、集光素子部あるいは拡大結像素
子部の一方が他方に対して光軸と直交する方向に移動で
きるため、ＡＴＲ分析を赤外線顕微分光測定装置で行え
るようになり、装置を効率よく使用することができる。
子部の一方が他方に対して光軸と直交する方向に移動で
きるため、ＡＴＲ分析を赤外線顕微分光測定装置で行え
るようになり、装置を効率よく使用することができる。
さらに、赤外顕微鏡としての機能により、ＡＴＲ法によ
る測定の際の光学調整も観察しながら行えるため、高精
度な調整が可能となる。
る測定の際の光学調整も観察しながら行えるため、高精
度な調整が可能となる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は、本発明に係る赤外線顕微
分光測定装置の一構成例を示し、これらの図において第
２図及び第３図に示す符号と同一のものは、同一物また
は相当物を示す。
分光測定装置の一構成例を示し、これらの図において第
２図及び第３図に示す符号と同一のものは、同一物また
は相当物を示す。
第１図（ａ）において、Ａは光源１とコンデンサ鏡２か
ら成る集光素子部であり、Ｂは対物鏡４、分光測定系５
、接眼レンズ１２、光路切換え用ミラー１３から成る拡
大結像素子部である。
ら成る集光素子部であり、Ｂは対物鏡４、分光測定系５
、接眼レンズ１２、光路切換え用ミラー１３から成る拡
大結像素子部である。
而して、光源１からの可視光をコンデンサ鏡２を介して
試料３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像させ
、その後、接眼レンズ１２により試料３の像を観察する
。
試料３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像させ
、その後、接眼レンズ１２により試料３の像を観察する
。
一方、分光測定を行う場合には、光源１を赤外線に切換
え、光路切換え用ミラー１３を対物鏡４と接眼レンズ１
２の間に介装することにより分光測定系５に光を導き、
この分光測定系５内の分光器により分光スペクトルを得
て、表示装置６により分光スペクトルを表示する。
え、光路切換え用ミラー１３を対物鏡４と接眼レンズ１
２の間に介装することにより分光測定系５に光を導き、
この分光測定系５内の分光器により分光スペクトルを得
て、表示装置６により分光スペクトルを表示する。
ここで、第１図（ａ）に示す赤外線顕微分光測定装置が
従来の赤外線顕微分光測定装置と大きく異なる点は、集
光素子部Ａを、光軸と直交する方向に移動できるような
機構、例えば、手動あるいは自動で移動させるスライド
機構１４を設けたことである。
従来の赤外線顕微分光測定装置と大きく異なる点は、集
光素子部Ａを、光軸と直交する方向に移動できるような
機構、例えば、手動あるいは自動で移動させるスライド
機構１４を設けたことである。
従って、ＡＴＲ法による測定を行う場合には、第１図（
ｂ）に示すように、ＡＴＲ結晶１１で生ずる入射及び出
射赤外線の光軸のズレに相当する分を、予めスライド機
構１４により集光素子部Ａを移動して補正するだけで、
通常の透過式赤外線顕微分光測定装置と同様の操作で、
測定が行える。
ｂ）に示すように、ＡＴＲ結晶１１で生ずる入射及び出
射赤外線の光軸のズレに相当する分を、予めスライド機
構１４により集光素子部Ａを移動して補正するだけで、
通常の透過式赤外線顕微分光測定装置と同様の操作で、
測定が行える。
即ち、試料３′と接するようにして設けられたＡＴＲ結
晶１１の端面に、コンデンサ鏡２で集光された光源１か
らの可視光を入射し、ＡＴＲ結晶ｌｌ内で全反射しなが
ら出射した光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ１
２によりＡＴＲ結晶１１の端面を観察し、ＡＴＲ結晶１
１を通る光の光軸調整を行うことができる。
晶１１の端面に、コンデンサ鏡２で集光された光源１か
らの可視光を入射し、ＡＴＲ結晶ｌｌ内で全反射しなが
ら出射した光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ１
２によりＡＴＲ結晶１１の端面を観察し、ＡＴＲ結晶１
１を通る光の光軸調整を行うことができる。
その後、ＡＴＲ分析を行う場合には、光源Ｉを赤外線に
切換え、光路切換え用ミラー１３により分光測定系５に
光を導き、解析を行う。
切換え、光路切換え用ミラー１３により分光測定系５に
光を導き、解析を行う。
なお、スライド機構１４には通常の赤外線顕微分光測定
のための集光素子部Ａの位置とＡＴＲ法のための集光素
子部Ａの位置に目印を設けるか、あるいはモータ等で移
動させる場合には、リミットスイッチを設けて、再現性
を向上させる。
のための集光素子部Ａの位置とＡＴＲ法のための集光素
子部Ａの位置に目印を設けるか、あるいはモータ等で移
動させる場合には、リミットスイッチを設けて、再現性
を向上させる。
以上、本実施例では集光素子部Ａにスライド機構１４を
設けて、集光素子部Ａを移動させたが、拡大結像素子部
Ｂにスライド機構１４を設けて、拡大結像素子部Ｂを移
動させてもよい。
設けて、集光素子部Ａを移動させたが、拡大結像素子部
Ｂにスライド機構１４を設けて、拡大結像素子部Ｂを移
動させてもよい。
また、本実施例では透過式赤外線顕微分光測定装置にお
いて説明したが、反射式赤外線顕微分光測定装置におい
ても適用されるのは云うまでもない。
いて説明したが、反射式赤外線顕微分光測定装置におい
ても適用されるのは云うまでもない。
以上説明したように、本発明によれば、集光素子部ある
いは拡大結像素子部のどちらか一方を光軸と直交する方
向に移動させるだけで、ＡＴＲ法による赤外線分光測定
を赤外線顕微分光測定装置で行えるようになり、装置を
効率よく使用でき、また、赤外顕微鏡の機能により、Ａ
ＴＲ法による測定の際の光学調整も、非常に高精度に行
うことができるのである。
いは拡大結像素子部のどちらか一方を光軸と直交する方
向に移動させるだけで、ＡＴＲ法による赤外線分光測定
を赤外線顕微分光測定装置で行えるようになり、装置を
効率よく使用でき、また、赤外顕微鏡の機能により、Ａ
ＴＲ法による測定の際の光学調整も、非常に高精度に行
うことができるのである。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は、本発明に係る赤外線顕微
分光測定装置の一実施例を示し、第１図（ａ）は、透過
式赤外線顕微分光測定用の光学配置図であり、第１図（
ｂ）は、ＡＴＲ法による赤外線顕微分光測定用の光学配
置図である。 第２図及び第３図は、従来技術を説明するための図で、
第２図は、従来の透過式赤外線分光測定装置の構成図で
あり、第３図は従来のＡＴＲ法による赤外線分光測定装
置の構成図である。 １−光源、２−・・コンデンサ鏡、３．３”−・試料、
４一対物鏡、５−分光測定系、１１・−Ａ Ｔ Ｒ結晶
、１４・・・移動機構、Ａ −集光素子部、Ｂ −拡大
結像素子部。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫 事件の表示 平成 発明の名称 ３、 補正をする者 事件との関係 特 許 願第２８６８９２号 赤外線顕微分光測定装置
分光測定装置の一実施例を示し、第１図（ａ）は、透過
式赤外線顕微分光測定用の光学配置図であり、第１図（
ｂ）は、ＡＴＲ法による赤外線顕微分光測定用の光学配
置図である。 第２図及び第３図は、従来技術を説明するための図で、
第２図は、従来の透過式赤外線分光測定装置の構成図で
あり、第３図は従来のＡＴＲ法による赤外線分光測定装
置の構成図である。 １−光源、２−・・コンデンサ鏡、３．３”−・試料、
４一対物鏡、５−分光測定系、１１・−Ａ Ｔ Ｒ結晶
、１４・・・移動機構、Ａ −集光素子部、Ｂ −拡大
結像素子部。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫 事件の表示 平成 発明の名称 ３、 補正をする者 事件との関係 特 許 願第２８６８９２号 赤外線顕微分光測定装置
Claims (1)
- 光源と、その光源から照射される赤外線を集光するコン
デンサ鏡から成る集光素子部と、前記コンデンサ鏡によ
って集光された赤外線を試料に照射し、該試料からの透
過あるいは反射光を拡大結像する対物鏡と、前記透過あ
るいは反射光を分析する分光測定系から成る拡大結像素
子部とを備えた赤外線顕微分光測定装置において、前記
集光素子部と拡大結像素子部の一方が他方に対して光軸
と直交する方向に位置変更できる移動機構を設け、前記
両者の間にＡＴＲ結晶を介装してＡＴＲ分析が行えるよ
うに構成したことを特徴とする赤外線顕微分光測定装置
。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28689289A JPH0776746B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 赤外線顕微分光測定装置 |
| EP90119771A EP0425882B1 (en) | 1989-11-03 | 1990-10-15 | Infrared microscopic spectrometer |
| DE69015968T DE69015968T2 (de) | 1989-11-03 | 1990-10-15 | Spektrometer-Mikroskop für Infrarot. |
| US07/823,600 US5229611A (en) | 1989-11-03 | 1992-01-17 | Infrared microscopic spectrometer using the attenuated total reflection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28689289A JPH0776746B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 赤外線顕微分光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03148043A true JPH03148043A (ja) | 1991-06-24 |
| JPH0776746B2 JPH0776746B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=17710352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28689289A Expired - Lifetime JPH0776746B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 赤外線顕微分光測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0425882B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0776746B2 (ja) |
| DE (1) | DE69015968T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078488A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Hokkaido Univ | 電気化学赤外分光装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5093580A (en) * | 1990-03-02 | 1992-03-03 | Spectra-Tech, Inc. | ATR objective and method for sample analyzation using an ATR crystal |
| FR2685788B1 (fr) * | 1991-12-31 | 1994-02-11 | Thomson Csf | Camera infrarouge a systeme optique auto-athermalise. |
| SE518836C2 (sv) * | 1999-05-25 | 2002-11-26 | Flir Systems Ab | Anordning och förfarande för ett infrarött bildanalyserande autofokus |
| AT410322B (de) * | 2001-04-05 | 2003-03-25 | Lendl Bernhard Dipl Ing Dr Ins | Verfahren zur prozessüberwachung von biotechnologischen prozessen |
| DE102012106867B4 (de) * | 2012-07-27 | 2016-10-13 | Universität Hamburg | Vorrichtung und Verfahren zur resonator-verstärkten optischen Absorptionsmessung an Proben mit kleinem Absorptionswirkungsquerschnitt |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2462110B2 (de) * | 1974-08-07 | 1977-05-12 | Ausscheidung aus: 24 37 984 Wilhelm Will KG, Optisches Werk, 6331 Nauborn | Verfahren zur steigerung der foerderlichen vergroesserung eines optischen mikroskopes und mikroskop zur durchfuehrung des verfahrens |
| US4591266A (en) * | 1981-08-10 | 1986-05-27 | Laser Precision Corporation | Parabolic focusing apparatus for optical spectroscopy |
| DE3303140A1 (de) * | 1983-01-31 | 1984-08-02 | Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten | Infrarot-spektrometer |
| US4547068A (en) * | 1983-03-04 | 1985-10-15 | Covey Joel P | Optical analytical instrument beam condenser |
-
1989
- 1989-11-03 JP JP28689289A patent/JPH0776746B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-10-15 DE DE69015968T patent/DE69015968T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-15 EP EP90119771A patent/EP0425882B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078488A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Hokkaido Univ | 電気化学赤外分光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69015968T2 (de) | 1995-06-22 |
| DE69015968D1 (de) | 1995-02-23 |
| JPH0776746B2 (ja) | 1995-08-16 |
| EP0425882B1 (en) | 1995-01-11 |
| EP0425882A1 (en) | 1991-05-08 |
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