JPH0776746B2 - 赤外線顕微分光測定装置 - Google Patents
赤外線顕微分光測定装置Info
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- JPH0776746B2 JPH0776746B2 JP28689289A JP28689289A JPH0776746B2 JP H0776746 B2 JPH0776746 B2 JP H0776746B2 JP 28689289 A JP28689289 A JP 28689289A JP 28689289 A JP28689289 A JP 28689289A JP H0776746 B2 JPH0776746 B2 JP H0776746B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、赤外線顕微分光測定装置の改良に関する。
〔従来の技術〕 第２図は、従来の一般的な赤外線顕微分光測定装置を示
し、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介して試料
３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像させ、そ
の後、分光測定系５及び表示装置６により分光スペクト
ルを得て、解析を行う。
し、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介して試料
３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像させ、そ
の後、分光測定系５及び表示装置６により分光スペクト
ルを得て、解析を行う。
他方、赤外分光法の一つとして、吸収が極端に強くて透
過スペクトルの得にくい物質や、透過スペクトルを測定
できるような状態に試料を調製することが困難な場合な
どに用いられるATR（Attenuated Total Reflection）法
などがよく知られている。
過スペクトルの得にくい物質や、透過スペクトルを測定
できるような状態に試料を調製することが困難な場合な
どに用いられるATR（Attenuated Total Reflection）法
などがよく知られている。
第３図は、一般的なATR法による赤外線分光測定装置の
一部を概略的に示すもので、この図において、7,8は集
光ミラー、9,10はミラーである。そして、ミラー9,10の
間に形成される光路中には、反射用の高屈折率媒質とし
ての光学媒体、例えばKRS−５、ゲルマニウム、シリコ
ン等の光屈折率材料からなるATR結晶11が設けてあり、
このATR結晶11の一面には試料３′がATR結晶11に接する
ようにして設けられている。
一部を概略的に示すもので、この図において、7,8は集
光ミラー、9,10はミラーである。そして、ミラー9,10の
間に形成される光路中には、反射用の高屈折率媒質とし
ての光学媒体、例えばKRS−５、ゲルマニウム、シリコ
ン等の光屈折率材料からなるATR結晶11が設けてあり、
このATR結晶11の一面には試料３′がATR結晶11に接する
ようにして設けられている。
而して、上記構成のATR法赤外線分光測定装置におい
て、図外の光源からの赤外線を集光ミラー７及びミラー
９を介してATR結晶11に入射させると、この赤外線が試
料３′との接触面で全反射する際、特定波長の赤外線が
試料３′中の測定成分により、その測定成分の感応基の
種類に対応して吸収される。そして、ATR結晶11を全反
射しながら通過した赤外線を、ミラー10及び集光ミラー
８を介して図外の分光測定器に入射させ、測定成分に対
応する分光スペクトルを得る。
て、図外の光源からの赤外線を集光ミラー７及びミラー
９を介してATR結晶11に入射させると、この赤外線が試
料３′との接触面で全反射する際、特定波長の赤外線が
試料３′中の測定成分により、その測定成分の感応基の
種類に対応して吸収される。そして、ATR結晶11を全反
射しながら通過した赤外線を、ミラー10及び集光ミラー
８を介して図外の分光測定器に入射させ、測定成分に対
応する分光スペクトルを得る。
ここで、上記二つの装置における光学系に着目した場
合、赤外線顕微分光測定装置では、光源１からの赤外線
をコンデンサ鏡２で試料３に集光照射して、その透過光
を対物鏡４で拡大結像させるため、必然的にコンデンサ
鏡２と対物鏡４を同軸上に配置しなければならない。
合、赤外線顕微分光測定装置では、光源１からの赤外線
をコンデンサ鏡２で試料３に集光照射して、その透過光
を対物鏡４で拡大結像させるため、必然的にコンデンサ
鏡２と対物鏡４を同軸上に配置しなければならない。
一方、ATR法は、第３図からも明らかなように、ATR結晶
11に入射する赤外線の光軸と全反射しながら出射する赤
外線の光軸は同軸にはならず、このため従来までは、赤
外線顕微分光測定装置においてATR法が行われることは
なかった。
11に入射する赤外線の光軸と全反射しながら出射する赤
外線の光軸は同軸にはならず、このため従来までは、赤
外線顕微分光測定装置においてATR法が行われることは
なかった。
このため、測定する試料によって装置を使い分ける必要
があり、非常に効率の悪いものであった。
があり、非常に効率の悪いものであった。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、簡単な操作により、ATR分析をも
可能とする赤外線顕微分光測定装置を提供することにあ
る。
目的とするところは、簡単な操作により、ATR分析をも
可能とする赤外線顕微分光測定装置を提供することにあ
る。
上述の目的を達成するため、本発明に係る赤外線顕微分
光測定装置は、集光素子部と拡大結像素子部の一方が他
方に対して光軸と直交する方向に位置変更できる移動機
構を設け、前記両者の間にATR結晶を介装してATR分析が
行えるように構成した点に特徴がある。
光測定装置は、集光素子部と拡大結像素子部の一方が他
方に対して光軸と直交する方向に位置変更できる移動機
構を設け、前記両者の間にATR結晶を介装してATR分析が
行えるように構成した点に特徴がある。
上記特徴構成によれば、集光素子部あるいは拡大結像素
子部の一方が他方に対して光軸と直交する方向に移動で
きるため、ATR分析を赤外線顕微分光測定装置で行える
ようになり、装置を効率よく使用することができる。
子部の一方が他方に対して光軸と直交する方向に移動で
きるため、ATR分析を赤外線顕微分光測定装置で行える
ようになり、装置を効率よく使用することができる。
さらに、赤外顕微鏡としての機能により、ATR法による
測定の際の光学調整も観察しながら行えるため、高精度
な調整が可能となる。
測定の際の光学調整も観察しながら行えるため、高精度
な調整が可能となる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図（ａ），（ｂ）は、本発明に係る赤外線顕微分光
測定装置の一構成例を示し、これらの図において第２図
及び第３図に示す符号と同一のものは、同一物または相
当物を示す。
測定装置の一構成例を示し、これらの図において第２図
及び第３図に示す符号と同一のものは、同一物または相
当物を示す。
第１図（ａ）において、Ａは光源１とコンデンサ鏡２か
ら成る集光素子部であり、Ｂは対物鏡４、分光測定系
５、接眼レンズ12、光路切換え用ミラー13から成る拡大
結像素子部である。
ら成る集光素子部であり、Ｂは対物鏡４、分光測定系
５、接眼レンズ12、光路切換え用ミラー13から成る拡大
結像素子部である。
而して、光源１からの可視光をコンデンサ鏡２を介して
試料３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像さ
せ、その後、接眼レンズ12により試料３の像を観察す
る。
試料３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像さ
せ、その後、接眼レンズ12により試料３の像を観察す
る。
一方、分光測定を行う場合には、光源１を赤外線に切換
え、光路切換え用ミラー13を対物鏡４と接眼レンズ12の
間に介装することにより分光測定系５に光を導き、この
分光測定系５内の分光器により分光スペクトルを得て、
表示装置６により分光スペクトルを表示する。
え、光路切換え用ミラー13を対物鏡４と接眼レンズ12の
間に介装することにより分光測定系５に光を導き、この
分光測定系５内の分光器により分光スペクトルを得て、
表示装置６により分光スペクトルを表示する。
ここで、第１図（ａ）に示す赤外線顕微分光測定装置が
従来の赤外線顕微分光測定装置と大きく異なる点は、集
光素子部Ａを、光軸と直交する方向に移動できるような
機構、例えば、手動あるいは自動で移動させるスライド
機構14を設けたことである。
従来の赤外線顕微分光測定装置と大きく異なる点は、集
光素子部Ａを、光軸と直交する方向に移動できるような
機構、例えば、手動あるいは自動で移動させるスライド
機構14を設けたことである。
従って、ATR法による測定を行う場合には、第１図
（ｂ）に示すように、ATR結晶11で生ずる入射及び出射
赤外線の光軸のズレに相当する分を、予めスライド機構
14により集光素子部Ａを移動して補正するだけで、通常
の透過式赤外線顕微分光測定装置と同様の操作で、測定
が行える。
（ｂ）に示すように、ATR結晶11で生ずる入射及び出射
赤外線の光軸のズレに相当する分を、予めスライド機構
14により集光素子部Ａを移動して補正するだけで、通常
の透過式赤外線顕微分光測定装置と同様の操作で、測定
が行える。
即ち、試料３′と接するようにして設けられたATR結晶1
1の端面に、コンデンサ鏡２で集光された光源１からの
可視光を入射し、ATR結晶11内で全反射しながら出射し
た光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ12によりAT
R結晶11の端面を観察し、ATR結晶11を通る光の光軸調整
を行うことができる。
1の端面に、コンデンサ鏡２で集光された光源１からの
可視光を入射し、ATR結晶11内で全反射しながら出射し
た光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ12によりAT
R結晶11の端面を観察し、ATR結晶11を通る光の光軸調整
を行うことができる。
その後、ATR分析を行う場合には、光源１を赤外線に切
換え、光路切換え用ミラー13により分光測定系５に光を
導き、解析を行う。
換え、光路切換え用ミラー13により分光測定系５に光を
導き、解析を行う。
なお、スライド機構14には通常の赤外線顕微分光測定の
ための集光素子部Ａの位置とATR法のための集光素子部
Ａの位置に目印を設けるか、あるいはモータ等で移動さ
せる場合には、リミットスイッチを設けて、再現性を向
上させる。
ための集光素子部Ａの位置とATR法のための集光素子部
Ａの位置に目印を設けるか、あるいはモータ等で移動さ
せる場合には、リミットスイッチを設けて、再現性を向
上させる。
以上、本実施例では集光素子部Ａにスライド機構14を設
けて、集光素子部Ａを移動させたが、拡大結像素子部Ｂ
にスライド機構14を設けて、拡大結像素子部Ｂを移動さ
せてもよい。
けて、集光素子部Ａを移動させたが、拡大結像素子部Ｂ
にスライド機構14を設けて、拡大結像素子部Ｂを移動さ
せてもよい。
また、本実施例では透過式赤外線顕微分光測定装置にお
いて説明したが、反射式赤外線顕微分光測定装置におい
ても適用されるのは云うまでもない。
いて説明したが、反射式赤外線顕微分光測定装置におい
ても適用されるのは云うまでもない。
以上説明したように、本発明によれば、集光素子部ある
いは拡大結像素子部のどちらか一方を光軸と直交する方
向に移動させるだけで、ATR法による赤外線分光測定を
赤外線顕微分光測定装置で行えるようになり、装置を効
率よく使用でき、また、赤外顕微鏡の機能により、ATR
法による想定の際の光学調整も、非常に高精度に行うこ
とができるのである。
いは拡大結像素子部のどちらか一方を光軸と直交する方
向に移動させるだけで、ATR法による赤外線分光測定を
赤外線顕微分光測定装置で行えるようになり、装置を効
率よく使用でき、また、赤外顕微鏡の機能により、ATR
法による想定の際の光学調整も、非常に高精度に行うこ
とができるのである。
第１図（ａ），（ｂ）は、本発明に係る赤外線顕微分光
測定装置の一実施例を示し、第１図（ａ）は、透過式赤
外線顕微分光測定用の光学配置図であり、第１図（ｂ）
は、ATR法による赤外線顕微分光測定用の光学配置図で
ある。 第２図及び第３図は、従来技術を説明するための図で、
第２図は、従来の透過式赤外線分光測定装置の構成図で
あり、第３図は従来のATR法による赤外線分光測定装置
の構成図である。 １……光源、２……コンデンサ鏡、3,3′……試料、４
……対物鏡、５……分光測定系、11……ATR結晶、14…
…移動機構、Ａ……集光素子部、Ｂ……拡大結像素子
部。
測定装置の一実施例を示し、第１図（ａ）は、透過式赤
外線顕微分光測定用の光学配置図であり、第１図（ｂ）
は、ATR法による赤外線顕微分光測定用の光学配置図で
ある。 第２図及び第３図は、従来技術を説明するための図で、
第２図は、従来の透過式赤外線分光測定装置の構成図で
あり、第３図は従来のATR法による赤外線分光測定装置
の構成図である。 １……光源、２……コンデンサ鏡、3,3′……試料、４
……対物鏡、５……分光測定系、11……ATR結晶、14…
…移動機構、Ａ……集光素子部、Ｂ……拡大結像素子
部。
Claims (1)
- 【請求項１】光源と、その光源から照射される赤外線を
集光するコンデンサ鏡から成り、集光した赤外線を試料
に照射する集光素子部と、該試料からの透過あるいは反
射光を拡大結像する対物鏡と、前記透過あるいは反射光
を分析する分光測定系から成る拡大結像素子部とを備え
た赤外線顕微分光測定装置において、前記集光素子部と
拡大結像素子部の一方が他方に対して光軸と直交する方
向に位置変更できる移動機構を設け、前記両者の間にAT
R結晶を介装してATR分析が行えるように構成したことを
特徴とする赤外線顕微分光測定装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28689289A JPH0776746B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 赤外線顕微分光測定装置 |
| EP90119771A EP0425882B1 (en) | 1989-11-03 | 1990-10-15 | Infrared microscopic spectrometer |
| DE69015968T DE69015968T2 (de) | 1989-11-03 | 1990-10-15 | Spektrometer-Mikroskop für Infrarot. |
| US07/823,600 US5229611A (en) | 1989-11-03 | 1992-01-17 | Infrared microscopic spectrometer using the attenuated total reflection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28689289A JPH0776746B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 赤外線顕微分光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03148043A JPH03148043A (ja) | 1991-06-24 |
| JPH0776746B2 true JPH0776746B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=17710352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28689289A Expired - Lifetime JPH0776746B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 赤外線顕微分光測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0425882B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0776746B2 (ja) |
| DE (1) | DE69015968T2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5093580A (en) * | 1990-03-02 | 1992-03-03 | Spectra-Tech, Inc. | ATR objective and method for sample analyzation using an ATR crystal |
| FR2685788B1 (fr) * | 1991-12-31 | 1994-02-11 | Thomson Csf | Camera infrarouge a systeme optique auto-athermalise. |
| SE518836C2 (sv) * | 1999-05-25 | 2002-11-26 | Flir Systems Ab | Anordning och förfarande för ett infrarött bildanalyserande autofokus |
| AT410322B (de) * | 2001-04-05 | 2003-03-25 | Lendl Bernhard Dipl Ing Dr Ins | Verfahren zur prozessüberwachung von biotechnologischen prozessen |
| JP2007078488A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Hokkaido Univ | 電気化学赤外分光装置 |
| DE102012106867B4 (de) * | 2012-07-27 | 2016-10-13 | Universität Hamburg | Vorrichtung und Verfahren zur resonator-verstärkten optischen Absorptionsmessung an Proben mit kleinem Absorptionswirkungsquerschnitt |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2462110B2 (de) * | 1974-08-07 | 1977-05-12 | Ausscheidung aus: 24 37 984 Wilhelm Will KG, Optisches Werk, 6331 Nauborn | Verfahren zur steigerung der foerderlichen vergroesserung eines optischen mikroskopes und mikroskop zur durchfuehrung des verfahrens |
| US4591266A (en) * | 1981-08-10 | 1986-05-27 | Laser Precision Corporation | Parabolic focusing apparatus for optical spectroscopy |
| DE3303140A1 (de) * | 1983-01-31 | 1984-08-02 | Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten | Infrarot-spektrometer |
| US4547068A (en) * | 1983-03-04 | 1985-10-15 | Covey Joel P | Optical analytical instrument beam condenser |
-
1989
- 1989-11-03 JP JP28689289A patent/JPH0776746B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-10-15 DE DE69015968T patent/DE69015968T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-15 EP EP90119771A patent/EP0425882B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69015968T2 (de) | 1995-06-22 |
| DE69015968D1 (de) | 1995-02-23 |
| JPH03148043A (ja) | 1991-06-24 |
| EP0425882B1 (en) | 1995-01-11 |
| EP0425882A1 (en) | 1991-05-08 |
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