JPH031542U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH031542U JPH031542U JP6043489U JP6043489U JPH031542U JP H031542 U JPH031542 U JP H031542U JP 6043489 U JP6043489 U JP 6043489U JP 6043489 U JP6043489 U JP 6043489U JP H031542 U JPH031542 U JP H031542U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- semiconductor device
- refrigerant
- branch
- cooling structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案による半導体素子の冷却構造の
実施例を示す断面図、第２図は従来の半導体素子
の冷却構造を示す断面図である。 図において、１０は電子基板、１１は半導体素
子、１２は熱伝導弾性体、１３，１４，１５はク
ーリングプレート、１６は冷媒供給流路、１７（
１７ａ〜１７ｅ）は分岐流路、１８は冷媒帰還流
路、１９（１９ａ〜１９ｅ）はノズル、２０は噴
射口、２１は冷媒入口、２２は冷媒出口、２３は
封止栓、２４はガスケツトである。
実施例を示す断面図、第２図は従来の半導体素子
の冷却構造を示す断面図である。 図において、１０は電子基板、１１は半導体素
子、１２は熱伝導弾性体、１３，１４，１５はク
ーリングプレート、１６は冷媒供給流路、１７（
１７ａ〜１７ｅ）は分岐流路、１８は冷媒帰還流
路、１９（１９ａ〜１９ｅ）はノズル、２０は噴
射口、２１は冷媒入口、２２は冷媒出口、２３は
封止栓、２４はガスケツトである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 冷媒供給流路１６と、冷媒帰還流路１８とを併
設するとともに、電子基板１０上に搭載される各
半導体素子１１に対して、冷媒供給流路１６から
分岐する分岐流路１７を形成し、この分岐流路１
７内に設置されるノズル１９を通して冷媒の噴流
を半導体素子１１に衝突させて冷却する半導体素
子の冷却構造において、 各分岐流路１７の流路長を、各分岐流路１７の
入口部の流速に比例して可変させたことを特徴と
する半導体素子の冷却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6043489U JPH031542U (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6043489U JPH031542U (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031542U true JPH031542U (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=31587794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6043489U Pending JPH031542U (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031542U (ja) |
-
1989
- 1989-05-26 JP JP6043489U patent/JPH031542U/ja active Pending
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