JPH03155648A - ウエハーカセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、ウェハーカセットに関する。

［従来の技術］ 従来、第３図及び第４図に示すように、ウェハーカセッ
トｌのウェハー保持溝３は、ウェハー２が平面に対し垂
直に保持されるようになっている。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、従来技術では、ウェハー保持溝３の厚さはウェ
ハー２の厚さより厚いため、ウェハー２を保持した場合
、第３図及び第４図に示すようにウェハー２はウェハー
保持溝３内でガタが生じ、ウェハー２が動いてしまう、
そのため、発塵の原因となる。

また、ウニバー２をウェハーカセットｌから違うウェハ
ーカセットまたはウェハーポートに移し替えを自動で行
なう場合、ウェハー２がウェハー保持溝３内のガタ分だ
け位置が決まらない。このためウェハー２の位置を決め
るために、機械的に第５図に示すようにウェハ−カセッ
ト１自体を傾斜治具４によって傾斜させ、ウェハー２を
一定方向に傾けることにより、ウェハー２のウェハー保
持溝３内での位置を決めなければならないという問題点
を有していた。

［課題を解決するための手段１ 上記課題を解決するため、本発明のウェハーカセットは
、ウェハーを収納するウエハーカセットにおいて、前記
ウェハーが一定方向に傾くように前記ウェハーカセット
のウェハー保持溝が垂直面に対し斜めになっていること
を特徴とする。

［実　施　例］ 以下に本発明の実施例を図面にもとすいて説明する。第
１図において、ウェハーカセットｌのウェハー保持溝３
は、垂直面に対し斜めになっている。第２図に、ウェハ
ーカセットｌの上面から見たウェハー保持溝３に対する
ウェハー２の位置を示す。ウェハー保持溝３が斜めにな
っていることにより、ウェハーカセットｌ中のウェハー
２は、自重によりウェハー保持溝３内のウェハー２のガ
タ分に関係なく、必ずウェハー保持溝３の傾斜している
方向に倒れる。こうすることにより、ウェハーカセット
１を搬送する場合、ウェハー２は、ウェハー保持溝３内
でウェハー保持溝３内のウェハー２のガタに関係なく、
一定方向に倒れるために、搬送中もウェハー２はウェハ
ーカセット１内で動かず、発塵を防止することができる
。

第６図は、ウェハーカセット２からウェハーポート６に
自動でウェハー移し替えを行なう場合の一実施例である
。ウェハーカセット１内のウェハー２は、吸着部５で真
空吸着により吸着される。

ウェハー２を吸着部５で吸着するとき、ウェハー２は、
ウェハー保持溝３内のウェハー２のガタに関係なく一定
方向に倒れているため、吸着ミスは発生しにくい、吸着
されたウェハー２は、ウェハーポート６上に搬送され移
し替えられる。

［発明の効果］ 以上述べたように、本発明のウェハーカセットは、ウェ
ハー保持溝を垂直面に対して斜めにすることにより、ウ
ェハー保持溝内でのウェハーのガタをなくすことができ
、発展を防止するという効果がある。また、ウェハーの
移し替えをする場合、ウェハー保持溝内でウェハーの位
置が決まるため、ウェハーカセット自体な治具などによ
り傾ける必要がないという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明のウェハーカセットの横断面図。 第２図は、本発明のウェハーカセットの上面から見たウ
ェハーの位置を示した図。 第３図は、従来のウェハーカセットの横断面図。 第４図は、従来のウェハーカセットの上面から見たウェ
ハーの位置を示した図。 第５図は、従来のウェハーカセットのウェハーの位置決
め方法を示した図。 第６図は、本発明のウェハーカセットを用いてウェハー
移し替えを行う実施例を示した図。 第１図 第２図 ウェハーカセット ウェハー ウェハー保持溝 傾斜治具 吸着部 ウェハーポート ′Ｉ６３図 ！！４図 以 上 箒Ｓ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハーを収納するウェハーカセットにおいて、前記ウ
   ェハーが一定方向に傾くように、前記ウェハーカセット
   のウェハー保持溝が垂直面に対し斜めになっていること
   を特徴とするウェハーカセット。